CN107109627A - 蒸发坩埚 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于接收蒸发物的设备，以及用于制作这样的设备(1)的方法，其中，该设备(1)包括一个具有一个接收腔(3)的接收件(2)，其中，该设备(1)包括一个具有一个排出口(5)的顶端件(4)，其中，该接收件(2)具有一个用于与该顶端件(4)机械连接的螺纹区段(6)，其中，该顶端件(4)具有一个用于与该接收件(2)机械连接的对应螺纹区段(7)，其中，该接收件(2)由热解的氮化硼构成。

Description

蒸发坩埚

本发明涉及一种用于接收蒸发物的设备以及一种用于制造这样的设备的方法。

在制造太阳能电池时，可以通过蒸发方法--尤其真空蒸发方法--将某种材料施加到载体或者基质上。由此，可以借助这样的蒸发方法，以有效的方式将例如铜、铟、镓、氟化钠、氟化钾和/或硒施加到载体的表面上。这能够以所谓的薄层法(Dünnschichtverfahren)实现例如制造太阳能电池。

这样的蒸发法，也可称为热蒸发法，对于这样的蒸发法，要使用蒸发设备。这可能包括例如用于产生热能的装置、用于传递热能的装置以及至少一个用于接收蒸发物的设备。在此，蒸发物可以通过用于产生和传递热能的装置而加热到期望的温度，例如从1000摄氏度到1200摄氏度的范围内的温度，其中，然后，所形成的材料蒸汽可以运动到载体或者基质并且在那儿凝固。

在蒸发法结束后，或者在发生故障时，残余材料可能残留在用于接收蒸发物的设备中。从用于接收的设备中除去该残余材料可能有问题，特别在填充口或者排出口的直径小于接收腔本身的直径的情况下。

已知不同的用于除去在坩锅(Tiegel)中的残余材料量的方法，例如熔化、腐蚀或者应用敞开的、装在可分的石墨承热器(Graphitsuszeptor)内的坩锅。

还已知用于接收蒸发物的两件式的设备。WO2007/069865A1描述了一种具有坩埚体和盖的坩埚。该盖可以在此通过螺纹固定而固定在坩埚体上。

US4，812，326公开了具有坩埚和盖的蒸发设备。不过其中没有公开通过螺纹连接坩埚和盖。

专利文献US2007/0289526A1公开了一种具有基座件(Basisteil)和上部件(Oberteil)的多件式坩埚。它们可以组合在一起。在该文献中也没有公开通过螺纹的连接。

专利文献US2009/0229524A1公开了一种具有柱形坩埚和可以置于该坩埚的上区段的排出单元的蒸发设备。在该文献中也没有公开通过螺纹的连接。

专利文献US2010/0040780A1公开了用于蒸发物的容器。两件式的坩埚包括上部件和下部件。其中该上部件可与该下部件组合。不过，在该文献中没有公开通过螺纹的连接。

专利文献US2010/0031878A1公开了具有坩埚的施加设备。但在此，该坩埚一件式地组成。

专利文献JP2290963A公开了具有坩埚盖和坩埚体的坩埚。公开内容为该坩埚体和该坩埚盖能够通过螺纹件相互固定。

提出的技术问题是，提供用于接收蒸发物的设备和用于制造这样的设备的方法，该设备简化残余物的除去，保证在高温范围内无污染地接收蒸发材料，具有好的热传递性能，在出现的工艺气体的影响下尽可能无反应，以及具有高的设备耐腐蚀性和用于加载和卸载的足够机械稳定性。

所述技术问题的解决方案通过具有权利要求1和14的特征的产品实现。本发明其它有利的实施方案通过从属权利要求给出。

本发明的基本思想是，提供一种用于接收蒸发物的两件式的设备，其能够通过螺纹连接而机械地连接，其中，接收件由热解的氮化硼构成，并且由此具有高的耐腐蚀性。同时，保证该接收件的高机械稳定性。

提出一种用于接收蒸发物的设备。该设备在此也可以称为坩埚。该蒸发物可以尤其是铜、铟、镓、氟化钠、氟化钾、硒或者这些材料的至少两种的混合物。

该设备包括一个具有一个接收腔(Aufnahmevolumen)的接收件。该接收腔在此用于接收蒸发物。这意味着，蒸发物，尤其在固体或者液体状态中的蒸发物，可布置或者被布置在接收腔内。该接收件可以尤其向一侧打开。由此，接收件可以例如包括一个空心柱形区段，该空心柱形区段具有其中端部关闭的第一端部和其中端部敞开的另外一个端部。该接收件的中央中心线在此可以从第一端部延伸到另外一个端部。该接收件可以在该关闭的端部上具有例如部分球形的、尤其半球形的区段。

另外，所述设备包括一个具有至少一个排出口的顶端件。排出口可以尤其构造成在顶端件中的通流口或者通孔。在此，可以设想排出口有不同的几何形状的构造。由此，排出口可以构造成瓶颈形、大腹玻璃瓶颈形(Karaffenhalsfoermig)或者为--优选薄壁的--混合器(Blender)。也可以设想，包围或者围住排出口的表面可以构造成任意旋转体的表面。

该顶端件可以例如具有进入侧的第一表面和排出侧的另一个表面，其中，该第一表面可以称作与顶端件的该另一个表面对置的表面。所述排出口在此可以从该第一表面延伸出去到该另一个表面。沿着所述顶端件中可从该另一个表面向着该第一表面指向的中央中心线，所述排出口的直径可以变化。由此，在第一区段中的直径可以例如不变，并且相当于入口直径(Einlassdurchmess)，然后减少到最小直径，并且然后又增大到排出直径。当然，仍然也可以想象直径的其它的分布走向，尤其直径的不变的分布走向、逐渐变细的分布走向或者逐渐变宽的分布走向。

接下来涉及到垂直方向，其中，垂直方向相对于接收件从接收件的第一端部到另一个端部取向，并且相对于顶端件从第一表面到另一个表面取向。此外，垂直方向可以分别平行于接收件和顶端件的中央中心线。基于该垂直方向，接收件关闭的端部也可以称为下端部，而敞开的端部也称为上端部。此外，第一表面可以称为顶端件的下表面而另一个表面称为顶端件的上表面。

此外，接收件具有一个用于与顶端件机械地连接的螺纹区段。该螺纹区段在此优选布置在接收件的另一个、即上端部。在此，螺纹区段可以这样地布置在接收件上：使得在另一个端部的(上)边缘和该螺纹区段之间不设置间距或者设置预定的间距。所述间距在此可以理解成沿着先前解释的垂直方向。由此，螺纹区段可以直接衔接在敞开的(上)端部的边缘上，或者与该边缘隔开预定距离布置。接收件侧的螺纹区段可以尤其布置在接收件的先前解释的空心柱形区段之内或之上。

所述顶端件具有用于与接收件机械地连接的对应的螺纹区段。顶端件侧螺纹区段尤其布置在顶端件的下部区域内。

由此，接收件可以与顶端件通过螺纹区段机械地连接。对应地在此意味着，接收件侧的螺纹区段的螺纹参数这样地与顶端件侧的螺纹区段的螺纹参数匹配，使得能够实现稳定的机械连接。由此，如此说明了用于接收蒸发物的设备的两件式构造，其中，两个部件能够通过螺纹连接被机械地连接。于是在连接状态中，两个部件的中心线可以在同一直线上或者重叠。

在此可以这样地选择螺纹参数，使得保证机械连接无间隙。但优选提供或者能够实现具有预定间隙的机械连接。通过该间隙可以尤其补偿制作引起的公差，公差例如因不平整而造成。所述间隙甚至可以实现尤其轻便的拧紧。此外，可以与接收件和顶端件的各种材料匹配地选择螺纹参数。这些将在后面详细解释。

接收件的内径可以位于10毫米和200毫米之间。接收件的外径可以位于10.4毫米到200.4毫米之间。接收件的壁厚可以位于0.4毫米到5.0毫米之间。

排出口的最大直径在此可以小于或者等于接收件的最大内径。顶端件的最大外径在此可以大于接收件的最大外径。

根据本发明，接收件由热解氮化硼(pBN)构成。

热解氮化硼用于接收件以优选的方式保证：接收件构造有非常高的耐腐蚀性并且在通常的工艺条件下在蒸发过程中仅仅导致蒸发物的非常少的污染。

热解的氮化硼一般仅具有较低的机械强度和刚性。尤其由热解氮化硼构成的构件易变形并且易断裂，尤其当该构件具有孔洞或者裂口时更是如此。由此，迄今为止，热解的氮化硼在机械上不适合于构成螺纹区段或者在由热解的氮化硼构成的构件上设置螺纹区段。这也在开头解释的现有技术中表明。由此，虽然文献US2007/0289526A1、US2010/0031878A1和US2010/0040780A1分别在坩埚中公开了热解的氮化硼，却没在任何一处公开在由热解的氮化硼构成的构件上设置螺纹区段。

但令人吃惊的是，在由热解的氮化硼构成的构件上，也可以布置或者构成--尤其具有特定螺纹参数的--螺纹区段。

由此，整体以有利的方式简化了从接收件除去残余材料，因为顶端件和接收件能够简单地机械地相互分离。此外以有利的方式给出可靠的机械连接，这种连接可以在不妨碍接收件的机械稳定性，尤其在不破坏的情况下提供。

在一种优选的实施形式中，接收件的螺纹区段构造成内螺纹，其中顶端件的对应的螺纹区段构造成外螺纹。由此以有利的方式给出紧凑的结构形式。

在此，顶端件可以具有一个用于接收件的边缘区段的止动边或者面，或者构成为一个用于接收件的边缘区段的止动边或者面，其中，在拧紧时，该止动元件限制接收件和顶端件之间的相对运动。由此，例如顶端件可以具有螺纹区段和沿着顶端件的先前解释的中心线、尤其在垂直方向上，接着螺纹区段的一个区段，其中，该接着螺纹区段的区段的直径大于顶端件的螺纹区段的外径，并且由此提供突出部或者止动面。

所述止动边或者止动面在此可以例如通过顶端件(外)直径从螺纹区段到接着螺纹的区段跳跃式增加的方式而提供。也可以设想，直径沿着中心线尤其在垂直方向上，从螺纹区段到接着螺纹区段的区段并且/或者在接着螺纹区段的区段内，持续地增加，尤其线性地增加。由此，接着螺纹区段的区段可以具有一个椎体区段形式的外表面，它的直径沿着中心线尤其在垂直方向上增加。由此可以在拧紧时获得较好的密封性能。

在另一种实施形式中，接收件的螺纹区段构造成外螺纹，其中，顶端件的对应的螺纹区段构造成内螺纹。由此可以实现，制造具有更大的排出口的顶端件。在这样的情况下，顶端件也可以具有或者构成一个用于接收件的边缘区段的止动边或者止动面。

在另一种优选的实施形式中，接收件的螺纹区段构成加固元件。这可以意味着，接收件的螺纹区段的至少一个螺纹参数这样地选择，使得可以提供接收件的期望的机械稳定性。

对应于凹槽(Sicken)的一个功能，尤其接收件侧的螺纹区段的凹陷(Vertifungen)可以用于加固接收件。

由此，尤其可以这样地选择至少一个螺纹参数，使得具有螺纹区段的接收件的抗扭强度和/或抗切强度和/或抗压强度和/或抗拉强度和/或压缩强度和/或抗弯强度和/或抗剪强度大于没有螺纹区段的接收件的那些强度。在此，除了螺纹区段之外，没有螺纹区段的接收件具有如带有螺纹区段的接收件一样的构造，尤其一样的形状和尺寸。由此，以有利的方式通过设置螺纹区段提高接收件的机械强度。

这可以以有利的方式实现设备操作的简化，以接收蒸发物，尤其简化从蒸发设备的取出。由此，提出的设备可以例如倾斜地，即在不平行于重力方向的方向上从蒸发设备取出。迄今为止，这仅以高的谨慎并且与此同时高的时间花费才可实现，这是因为，在这样倾斜地取出时，由于剩余的残余材料--残余材料例如仍可具有最高达20kg的重量--之故，由热解氮化硼构成的接收件出现变形，并且由于这种变形之故，可能例如出现与蒸发设备的其它构件发生机械接触，尤其与电热丝接触。这又可能导致该构件以及接收件的破坏或者损坏。通过设置螺纹区段，减少或者甚至避免了接收件的这种变形，从而从现在起也可以实现先前描述的倾斜的取出。

在另外一种实施形式中，接收件的螺纹区段具有在2毫米(包括2)和50毫米(包括50)之间的范围内的螺纹距。

替换地，或者与其他特征相结合，接收件的螺纹区段具有在1(包括1)和10(包括10)之间的范围内的螺纹数。

替换地，或者与其他特征相结合，接收件的螺纹区段具有在10毫米(包括10)和200毫米(包括200)之间的范围内的外径。

替换地，或者与其他特征相结合，接收件的螺纹区段具有在10毫米(包括10)和200毫米(包括200)之间的范围内的内径。

替换地，或者与其他特征相结合，接收件的螺纹区段具有在10毫米(包括10)和200毫米(包括200)之间的范围内的核心直径。

当然，外径、内径和核心直径在此这样地相互匹配地选择，以使得可提供具有期望的性能的螺纹。

替换地，或者与其他特征相结合，接收件的螺纹区段具有在20度(包括20度)和120度(包括120度)之间的范围内的螺纹啮合角(Flankenwinkel)。

已经证明，借助一个或者多个从先前解释的范围的螺纹参数,可以达到接收件的期望的机械稳定性、尤其强度，这能够实现将甚至大的质量的蒸发物，例如直至40kg的质量的蒸发物保存在接收件中并且运输，并且在接收件不变形的情况下被保存并且运输，特别是也在前述倾斜取出的方案中实施。在此，螺纹参数特别地与应用热解的氮化硼作为用于接收件的材料相匹配。

拧紧的设备，尤其具有已布置在接收腔中的蒸发物的拧紧的设备，可以作为一件式的构件来操作，其中减少或者甚至避免了变形，尤其是接收件的变形。

在另外一种实施形式中，接收件的螺纹区段构造成圆螺纹。由此可以实现，借助已知制备接收件的方法来由热解氮化硼制造坩埚。

在另外一种实施形式中，顶端件由石墨构成。由此，以有利的方式得到，顶端件具有用于所提出的螺纹连接的足够机械强度。同时，顶端件具有期望的导热性并且在蒸发时也仅造成蒸发物的最小污染。此外，在制造所提出的用于接收蒸发物的设备时，以有利的方式实现成本节省。

通过应用由石墨构成的尤其厚壁的顶端件，可以实现达到最佳的温度分布。而且，可以在顶端件上避免蒸发物的冷凝。

此外，以有利的方式实现：通过石墨顶端件，例如在制造太阳能电池期间，可以保护用于接收蒸发物的设备、尤其接收件以免损坏，尤其避免因为碎玻璃掉落在提出的设备上而引起的损坏。

在另外一种实施形式中，接收件的最大壁厚小于或者等于5.0毫米，尤其小于或者等于2.0毫米。由此以有利的方式与制造接收件的要求相匹配。

在另外一种实施形式中，顶端件具有至少一个用于将顶端件布置在保持结构上的固定器具或者构成这样的固定器具。这也可以意味着，所述固定器具可以固定在顶端件上。

在此，所述至少一个固定器具可以这样地构成：使得能够实现与保持结构的动力啮合(Kraftschlüssige)的机械连接和/或形状配合(Formschlüssige)的机械连接。所述保持结构在此可以尤其是蒸发设备的另外一个构件。所述保持结构可以尤其至少部分地由冷却装置构成，例如由这样的冷却装置的壁区段构成。替换地，或者与其他特征相结合，所述保持结构可以至少部分地例如由蒸发设备的壳体区段而构成。

所述固定器具可以例如布置或者构成在顶端件的固定区段内，例如以凹陷和/或凹进部的形式，特别是盲孔状的凹陷和/或凹进部。

当然，仍然也可以设想其它样式构造的固定器具。

例如，顶端件可以具有一个局部区段，尤其是一个(空心)柱形的局部区段，其中，保持区段(Halteabschnitts)的一个最大直径大于顶端件的螺纹区段外径。在该局部区段的边缘区段内，尤其是在一个从局部区段的第一内径延伸至另一个内径的边缘区段内，该局部区段可以具有凹陷和/或凹进部，尤其构造成盲孔状的凹陷。在此可以选择第一内径大于螺纹区段的最大外径。在此可以选择另一个内径小于或者等于该局部区段的最大直径。尤其是，该边缘区段可以是顶端件的突出的或者挑出的区段(局部区段)。

固定器具在此也可以称为用于制造机械连接的部件，例如另外的螺纹、固定或者夹紧连接的元件或者另外的机械连接的元件。

在另外一种实施形式中，顶端件具有至少一段局部区段，其中，顶端件的外径在该局部区段内变大。该局部区段在此可以沿着或者平行于顶端件的中心线而延伸。尤其是，该外径可以在垂直方向上变大。

该外径在此可以沿着或者平行于中心线跳跃式地变大。替换地，该外径可以也沿着或者平行于中心线连续地变大，尤其可区分地，优选线性地变大。在该外径线性的变大的情况下，顶端件可以具有一个部分锥形的或者一个部分空心锥形的区段。

如先前解释的那样，该外径的变大可以在螺纹区段和沿着中心线、尤其在垂直方向上接着该螺纹区段的区段之间实现，并且/或者在接着螺纹区段的区段内实现。不过这并不是强制性的。该变大也可以出现在顶端件沿着顶端件的中心线的其它的区段之间并且/或者在这些区段内。

尤其，该外径可以变得大于接收件的最大外径。由此，可以在拧紧时获得好的密封性能。

在另外一种实施形式中，顶端件具有至少一段具有预定外径的局部区段，其中，该局部区段的预定外径大于顶端件沿着或者平行于顶端件中心线而与该具有预定外径的局部区段相邻布置的局部区段的外径。沿着或者平行于中心线而与该具有预定外径的局部区段相邻布置的局部区段，可以例如是沿着或者平行于中心线、尤其在垂直方向上在具有预定外径的局部区段之前的局部区段，并且/或者沿着或者平行于中心线、尤其在垂直方向上在具有预定外径的局部区段之后的局部区段。局部区段的预定外径也可以大于顶端件的所有其它局部区段的外径。

由此，顶端件尤其可以具有一个凸出的或者挑出的局部区段。该凸出的局部区段可以例如构成接下来还会详细解释的止动边。该预定外径可以例如位于20毫米和400毫米之间的范围内。

具有预定外径的局部区域能够以有利的方式更好地传递热能到顶端件内。这又以有利的方式导致，能够使顶端件的通流口的增大通过蒸发物而最小化或者将其完全地阻止。

即，如果顶端件例如通过先前描述的保持结构而布置在具有加热设备的蒸发设备之内或之上，则在顶端件和加热装置--例如通过至少一根电热丝构成的加热装置--之间的空间距离可以在具有预定外径的局部区段内减少。在加热装置围绕或者包围顶端件时，这可以尤其是这样的情况。由此，可以提高在该区域内从加热装置传递到顶端件的热能。

也说明由蒸发设备和顶端件构成的组件，其中，蒸发装置包括加热装置，其中，加热装置包围顶端件或者顶端件的至少一段局部区段。由此，加热装置可以包括或者包含空心柱形区段，顶端件能够布置在该空心柱形区段的内容积内。该顶端件在此能够通过保持结构而布置在蒸发设备内。加热装置的一个内径在此可以大于顶端件的最大外径或者顶端件布置在加热装置内的局部区段的最大外径。加热装置的内径优选是恒定的。顶端件在此可以具有先前描述的具有预定外径的局部区段。由此，顶端件和加热装置之间的一个(径向)距离，在位于顶端件和加热装置之间间隙内的至少一段局部区段内，可小于间隙内沿着或者平行于顶端件的中心线、与间隙内的所述至少一段局部区段相邻布置的局部区段内的距离。

可能的是，为了顶端件的隔热，在顶端件和加热装置之间的间隙内布置隔热材料，尤其不同于空气的隔热材料。在此，隔热材料可以布置在整个间隙内。但优选的是，在顶端件具有预定外径的局部区段的区域范围内，间隙的各局部区段都没有隔热材料。这意味着，在间隙的这些局部区段内不布置隔热材料。例如可以在该局部区段内布置空气。由此，精确地在该部分区域内改善热能传递。

在另外一种实施形式中，顶端件具有或者构成一个止动边。该止动边在此限制顶端件相对于接收件的插入或者拧入深度。尤其，顶端件可以仅这样深地被拧入到接收件内直到接收件，尤其接收件的端面，碰在由所述止动边构成的止动面上。

在此，所述止动边可以设置或者布置或者构成在顶端件的侧面上。如先前已经解释的那样，可以通过使顶端件在螺纹区段内的直径到顶端件在接下来的区段内的直径作跳跃式的增加来提供止动边，其中，该接下来的区段沿着顶端件的中心线、尤其在垂直方向上在所述螺纹区段后面。

由此，以有利的方式得到拧入深度的机械限制和与此同时设备的更好的可操作性。

在另外一种实施形式中，在顶端件通流口的第一局部区段内，通流口的直径沿着或者平行于顶端件的中心线、从通流口的进入侧的端部直到排出侧的端部而减少，其中，直径在余下的局部区段内又变大。这可以意味着，在进入侧端部上的直径大于在第一局部区段的端部上的直径，其中，在排出侧的端部上的直径大于在第一局部区段的端部上的直径，该在第一局部区段的端部的直径与所述余下的局部区段的开端相当。也就是说，在进入侧的端部和第一局部区段的端部之间，并且/或者在第一局部区段的端部和排出侧的端部之间，直径可以沿着顶端件的中心线减少和/或者变大。例如，通流口在一个局部区段内的直径可以在第一种方案中仅仅变大或者保持恒定，在第二种方案中仅仅变小或者保持恒定，或者在第三种方案中既变大又变小又保持恒定。

通流口进入侧的端部在此可以称为通流口朝向拧紧状态的接收腔的开口。所述排出侧的端部可以称为通流口与进入侧的端部对置的端部。所述直径在此可以尤其是持续地、优选可区分地变化。优选的是，通流口在进入侧的端部的直径大于在排出侧的端部的直径。

此外，提供用于制造用于接收蒸发物的设备的方法。在此提供具有接收腔的接收件。此外，提供具有排出口的顶端件。此外提供具有用于与顶端件机械连接的螺纹区段的接收件。此外提供具有用于与接收件机械连接的对应的螺纹区段的顶端件。根据本发明，接收件由热解的氮化硼构成。

该方法可以有利的方式实现制备先前解释的实施形式之一的设备。

尤其，螺纹区段可以通过氮化硼在相应的凹模(Negativform)上的气相沉积(Phasenabscheidung)的方法制作。

也公开根据先前解释的实施形式之一的设备在用于将蒸发物施加到载体、尤其在制作太阳能电池中的基底上的蒸发设备内的应用。

也公开用于将蒸发物施加到载体、尤其在制作太阳能电池中的基底上的蒸发设备，其具有根据先前解释的实施形式之一的设备。蒸发设备可以还包括先前解释的保持结构和/或加热装置。

本发明将借助实施例详细地解释。附图示出：

图1根据本发明的用于接收蒸发物的设备的侧视图，

图2根据本发明的设备在拧紧在一起的状态中的横截面，

图3接收件的横截面，

图4顶端件在第一实施形式中的横截面，

图5顶端件在另外一种实施形式中的横截面，和

图6蒸发设备的横截面。

在后文中，相同的附图标示指代具有相同的或者类似技术特征的元件。

图1中示出本发明的用于接收未示出的蒸发物的设备1的透视图。设备1包括一个具有接收腔3的接收件2(见图2)。另外，设备1包括一个具有排出口5的顶端件4(见图2)。

接收件2具有一个接收件侧的螺纹区段6，该螺纹区段构成内螺纹。在此示出，接收件侧螺纹区段6具有四个的螺纹头数。顶端件4具有一个顶端件侧的螺纹区段7，该螺纹区段构造成外螺纹。

接收件侧的螺纹区段6和顶端件侧的螺纹区段7在此构成对应的螺纹区段，所述螺纹区段能够实现接收件和顶端件4的机械连接。接收件2由热解的氮化硼构成。

此外，还示出垂直方向z，该垂直方向在图1中从下往上地指向。接收件侧的螺纹区段6在此布置在接收件2的上端部，而顶端件侧的螺纹区段7在顶端件4的下端部。

为了将蒸发物蒸发到未示出的基质上，尤其在制造太阳能电池的情况下，布置在接收件2中的蒸发物被加热，并且能够通过接收腔3并且通过排出口5从接收腔3逸出去到基质那。

图2示出本发明的设备1的横截面。又示出接收件2和顶端件4，它们在图2中示出的状态中相互拧紧。在此，接收件侧的螺纹区段6与顶端件侧的螺纹区段7相互作用。

图2中可见，接收件2具有一个第一空心柱形区段8和一个底部区段9。底部区段9在此构造成半球形，并且在空心柱形区段8的第一端部封闭第一空心柱形区段8，该空心柱形区段8的第一端部也可以称为下端部，上封闭第一空心柱形区段8。下端部在此表示空心柱形区段8相对于垂直方向z的下端部。在此在图2中示出，垂直方向z从下往上地指向。

在空心柱形区段8的另外一个也可称为上端部的端部，空心柱形区段8是敞开的。在此示出，接收件侧的螺纹区段6布置在接收件2、尤其空心柱形区段8的在垂直方向z上的上端部。

接收件侧的螺纹区段6在此构成空心柱形区段8的侧面部分。由此，不但空心柱形区段8内置的侧面，而且空心柱形区段8外置的侧面，都在接收件侧的螺纹区段6的区域内具有隆起和凹陷，这些隆起和凹陷构成接收件侧的螺纹区段6或者是其中的组成部分。这可以以优选的方式实现接收件侧的螺纹区段6的薄壁的实施方式。

另外还示出顶端件4的通流口5。通流口5在横截面中构造成大腹玻璃瓶颈形。这可以意味着，该通流口在顶端件4也可以称为下端部的第一端部上的直径具有第一直径(入口直径)。沿着垂直方向z，该直径可以在第一区段中保持恒定，并在垂直方向z上与该第一区段衔接的第二区段中变小，直到到达尤其最小的第二直径。在垂直方向z上与该第二部分衔接的第三部分中，直径可以又变大，例如到另外一个直径(排出直径)上，该另外一个直径构成排出口5在顶端件4的也可称为上端部的另一个端部上的直径。在此，该另一个直径可以比第一直径更小。

图3中示出图1示出的接收件2的横截面。在此示出，第一空心柱形区段8具有第一内径ID1_2。另外示出，在垂直方向z上，另一个空心柱形区段10衔接接收件侧的螺纹区段6，该另一个空心柱形区段10具有另一个内径ID2_2，其中，该另一个内径ID2_2可以比第一内径ID1_2更大。此外示出接收件2的壁厚WS_2。图3中尤其也可见，接收件侧的螺纹区段6构造成圆螺纹。

另外，还示出接收件2的总高H_2，其例如可以位于从250毫米到600毫米的范围内。

另外，还示出另一个柱形区段10的高度H10_2，其可以位于从5毫米到15毫米的范围内。另外，还示出接收件侧的螺纹区段6的高度H6_2。高度H6_2可以位于从2毫米到100毫米的范围内，优选在5毫米到45毫米之间。

图4中示出图1中示出的顶端件4的横截面。又可以看到图2描述的通流口5。另外示出排出口5的第一直径ID1_4。该排出口的第一直径ID1_4在此比图3中示出的接收件2的另一个空心柱形区段10的另一个内径ID2_2更小。

另外，还示出顶端件侧螺纹区段7的最小外径ADmin_7。排出口5的最小外径ADmin_7和第一直径ID1_4之间的差值在此构成顶端件4的最小壁厚。另外示出顶端件侧的螺纹区段7的最大外径ADmax_7。

顶端件4在此包括一个顶端件侧的螺纹区段7、一个第一空心柱形区段27和一个另一段空心柱形区段28，其中，在垂直方向z上，第一空心柱形区段27衔接顶端件侧的螺纹区段7，并且另一段空心柱形区段28衔接第一空心柱形区段27。

第一空心柱形区段27的外径大于顶端件侧的螺纹区段7的最大外径ADmax_7。由此，顶端件4构成止动边12或者止动面，用于接收件2、尤其用于接收件2在垂直方向7上的上端或者上端部。

另一个空心柱形区段28的外径又小于第一空心柱形区段27的外径，并且小于排出口5的第一直径ID1_4。不过，另一个空心柱形区段28的外径大于排出口5的最小内径。

图5示出在另外一种实施形式中的顶端件4的横截面。

有别于图4中示出的顶端件4，图5中示出的顶端件4具有一个保持区段13，用于将顶端件4固定至未示出的保持结构。

保持区段13在此具有一个空心柱形的局部区段14或者构成空心柱形的局部区段14。另外，保持区段13具有一个环形的局部区段16或者构成一个环形的局部区段16。通过环形的局部区段16，顶端件4的上端部与空心柱形的局部区段14的上端部连接。尤其，环形的局部区段16可以将顶端件4的先前解释的第一空心柱形区段27与保持区段13的空心柱形的局部区段14连接。环形的局部区段16和空心柱形的局部区段14可以在此一件式地构成。顶端件4和保持区段13也可以一件式地构成。

空心柱形的局部区段14在也可称为下端部的第一端部上是敞开

的。环形的局部区段16在此构成空心柱形的局部区段14在也可称为上端部的另一个端部的端面。由此，空心柱形的局部区段14具有一个封闭的另一个端部。

顶端件4或者图4中示出的顶端件结构，在此布置在空心柱形的局部区段14的内部容积内，并且在空心柱形的局部区段14第一端部上从该内部容积伸出。

空心柱形的局部区段14的内径大于顶端件4的最大外径。由此，顶端件4与保持区段13以环形的凹陷形式构成盲孔式的接收开口15，该接收开口可以用于接收支承结构的区段。图5中示出，环状间隙的盲孔式的接收开口15阶梯地构成，其中，空心柱形的局部区段14的内径可以沿着垂直方向z跳跃式地和/或连续地、尤其线性的改变，尤其变小。

图6示出蒸发设备在垂直方向z上的上端部。该蒸发设备在此包括一个本发明的用于接收蒸发物的设备1，其具有根据图5中示出的实施方式构成的顶端件4。

已示出，顶端件4置于该蒸发设备的上区段17。该蒸发设备在此包括至少部分为空心柱形的加热装置18，其包围顶端件4的大部分。在加热装置18和顶端件4之间可以--至少在局部区段--布置未示出的隔热材料。

该蒸发设备此外还包括一个空心柱形构成的隔热空间19和一个空心柱形的冷却装置20，其中，隔热空间19布置在冷却装置20和加热装置18之间。隔热空间19在此表示空腔，例如真空空腔。隔热空间19在此为空心柱形的隔热柱体22围绕。冷却装置20又包括外部的柱体和内部的柱体，其中，冷却液可以布置在内部和外部的柱体之间，或者在内部和外部的柱体之间流动。

在此示出，加热装置18、隔热空间19和冷却装置20的上端部伸入到接收开口15内，或者布置在接收开口15内。由此顶端件4通过空心柱形的局部区段14、尤其通过空心柱形的局部区段14的下端部和通过阶梯构成的止动面，支撑在冷却装置20和保持环21上。

另外，还示出保持环21，其一方面构成用于隔热柱体22和/或冷却装置20的止动元件，另一方面卡住另外一块空心柱形的隔热板23。隔热板23以它的上端部突出到环形局部区段16的环形凹槽内。保持环21在此可以包括内环和外环，其中，该外环贴靠在隔热板23的外侧面，而该内环贴靠在隔热板23的内侧面上。另外，保持环21可以具有用于连接内环和外环的连接接片(Verbindungsstege)，其通过隔热板23内的缝隙延伸，其中，该缝隙布置在隔热板23的下端部上。保持环21可以通过保持螺栓24而拉紧。

空心柱形的局部区段14尤其通过保持环21或者保持螺栓24和固定元件26支承在冷却装置20上，尤其在上部的冷却外壳元件25上。冷却外壳元件25在此封闭在冷却装置20的外部柱体和内部柱体之间包围的空腔。

由此，能够实现本发明设备1的悬挂固定。但是，之所以能够仅仅在蒸发设备的局部部分上实现这种样式的悬挂固定，是因为接收件侧的螺纹区段作为凹陷元件的构造保证了设备1、尤其接收件2的足够的机械固定。

附图标记列表

1 用于接收蒸发物的设备

2 接收件

3 接收腔

4 顶端件

5 排出口

6 接收件侧的螺纹区段

7 顶端件侧螺纹区段

8 空心柱形区段

9 半球形的区段

10 另一个空心柱形区段

12 止动面

13 保持区段

14 空心柱形的局部区段

15 接收开口

16 环形的局部区段

17 上部区段

18 加热装置

19 隔热空间

20 冷却装置

21 保持环

22 隔热柱体

23 隔热板

24 保持螺栓

25 冷却外壳元件

26 固定元件

27 第一空心柱形区段

28 另一个空心柱形区段

z 垂直方向

ID1_2 接收件的第一内径

ID2_2 接收件的另一个内径

WS_2 接收件的壁厚

H_2 接收件的总高

H6_2 接收件侧的螺纹区段的高度

H10_2 另一个空心柱形区段的高度

ID1_4 顶端件的第一内径

ADmin_7 顶端件侧的螺纹区段的最小外径

ADmax_7 顶端件侧的螺纹区段的最大外径

Claims (14)

1.用于接收蒸发物的设备，其中，该设备(1)包括一个具有一个接收腔(3)的接收件(2)，其中，该设备(1)包括一个具有一个排出口(5)的顶端件(4)，其中，该接收件(2)具有一个用于与该顶端件(4)机械连接的螺纹区段(6)，其中，该顶端件(4)具有一个用于与该接收件(2)机械连接的对应螺纹区段(7)，

其特征在于，

该接收件(2)由热解的氮化硼构成。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的螺纹区段(6)构成内螺纹，其中，所述顶端件(4)的对应螺纹区段(7)构成外螺纹。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的螺纹区段(6)构成外螺纹，其中，所述顶端件(4)的对应螺纹区段(7)构成内螺纹。

4.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的螺纹区段(4)构造成加固元件。

5.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的螺纹区段(6)具有2毫米和50毫米之间的范围的螺距，和/或1和10之间的范围内的螺纹数，和/或10毫米和200毫米之间的范围内的外径，和/或10毫米和200毫米之间的范围内的内径，和/或10毫米和200毫米之间的范围内的核心直径，和/或30度和120度之间的范围内的螺纹断面角。

6.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的螺纹区段(6)构造成圆螺纹。

7.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述顶端件(4)由石墨构成。

8.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述接收件(2)的最大壁厚小于或者等于5.0毫米。

9.根据以上权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述顶端件(4)具有至少一个用于将该顶端件(4)布置在保持结构上的固定器具，或者构成这样的固定器具。

10.根据权利要求1至9之一所述的设备，其特征在于，所述顶端件(4)具有至少一个局部区段，其中，该顶端件(4)的外径在该局部区段内变大。

11.根据权利要求1至10之一所述的设备，其特征在于，所述顶端件(4)具有至少一段具有预定外径的局部区段，其中，该局部区段的预定外径大于该顶端件(4)沿着该顶端件(4)的中心线与该具有预定外径的局部区段相邻地布置的局部区段的外径。

12.根据权利要求1至11之一所述的设备，其特征在于，所述顶端件(4)具有或者构成止动边。

13.根据权利要求1至12之一所述的设备，其特征在于，在所述顶端件(4)的通流口(5)的第一局部区段内，该通流口(5)的直径沿着该顶端件(4)的中心线从该通流口(5)的进入侧的端部直到该通流口(5)的排出侧的端部减少，其中，该直径在余下的局部区段内又变大。

14.用于制造用于接收蒸发物的设备(1)的方法，其中，提供一个具有一个接收腔(3)的接收件(2)，其中，提供一个具有一个排出口(5)的顶端件(4)，其中，提供具有一个用于与该顶端件(4)机械连接的螺纹区段(6)的接收件(2)，其中，提供具有一个用于与该接收件(2)机械连接的对应螺纹区段(7)的顶端件(4)，其特征在于，该接收件(2)由热解的氮化硼构成。