JPH0228902B2 - - Google Patents

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JPH0228902B2
JPH0228902B2 JP55038368A JP3836880A JPH0228902B2 JP H0228902 B2 JPH0228902 B2 JP H0228902B2 JP 55038368 A JP55038368 A JP 55038368A JP 3836880 A JP3836880 A JP 3836880A JP H0228902 B2 JPH0228902 B2 JP H0228902B2
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    • H01L29/456—Ohmic electrodes on silicon

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、相補型MOS半導体装置の製造方法
にかかり、特に相補型半導体装置の浅い拡散層
と、配線金属とを接続する構造およびその製造方
法に関する。
従来、配線金属としてアルミニウムを使用する
場合には、第１図に示す如く、Ｎ型シリコン基板
３に形成されたＰ型拡散層６及びこの基板に設け
られたＰウエル４に形成されたＮ型拡散層５とア
ルミニウム配線１とは酸化膜９に開孔したコンタ
クト孔内を通して直接接触していた。この場合ア
ルミニウム配線１と拡散層５及び６の電気的接続
を良くするため400℃〜500℃の温度で熱処理され
るのが普通で以下この熱処理をアロイと呼ぶこと
にする。従来技術による構造ではアロイにより基
板のシリコンが配線用アルミニウム中に拡散する
と同時に、この配線用アルミニウムが基板のシリ
コン中にも拡散し、シリコンとアルミニウムの熱
合金反応物が形成される。この熱合金反応物はア
ロイスパイクと呼ばれ、コンタクト部より接合付
近に向かい反応が進むアロイスパイクはアロイ時
間と共に深くなり、ついにはＰ−Ｎ接合リークお
よび接合の破壊という劣化現象を引き起こす欠点
を有していた。相補型MOS半導体装置からなる
集積回路の高集積化に伴い、近年素子寸法の縮小
化と拡散層深さが0.5μｍ以下のシヤロウ化が要求
されているが、従来のプロセスでは前述のような
欠点を有するため拡散層深さは0.5μｍ以下には出
来ず、相補型MOS半導体装置からなる集積回路
の高集積化に制限を加えている。
尚第１図で、ゲートシリコン酸化膜１０上にそ
れぞれシリコンゲート電極７，８が設けられそれ
にアルミニウム電極配線２が接続されている。
本発明は上述の欠点を除去し、相補型MOS半
導体装置からなる集積回路の高集積化を可能にす
る新規な相補型MOS半導体装置の製造方法を提
供するものである。
本発明はたとえば第２図に示すように、相補型
MOS半導体装置において、ソース、ドレインと
なるＮ型不純物領域５及びソース、ドレインとな
るＰ型不純物領域６がすでに形成されたシリコン
基板３の上の二酸化シリコン層９の所定位置に開
孔されたコンタクト孔部分のＮ型不純物領域５と
配線を結合すべきコンタクト開口領域には、Ｎ型
不純物がドープされた半導体層たとえば多結晶シ
リコン１２を形成してＮ型拡散層１３を設け、Ｐ
型不純物領域６と配線を結合すべきコンタクト開
口領域にはＰ型不純物をイオン注入することによ
り、Ｐ型拡散層１４を設け、その後ソース、ドレ
インのコンタクト孔部分の配線金属１と多結晶シ
リコン１２との間、ソース、ドレインのコンタク
ト孔部分の配線金属１とシリコン基板３との間、
およびゲートのコンタクト部分の配線金属２とシ
リコンゲート電極７，８との間にノンドープの多
結晶シリコン層１１を挾んだことを特徴とする。
すなわち本発明の特徴は、半導体基板のＰ型の
領域にＮ型のソース、ドレイン領域を熱拡散法で
形成し、Ｎ型の領域にＰ型のソース、ドレイン領
域を熱拡散法で形成する工程と、前記半導体基板
の主面に形成されかつ前記各ソース、ドレイン領
域に達する開孔を有する絶縁膜上および該各開孔
内に第１の多結晶シリコン膜を形成する工程と、
前記Ｐ型のソース、ドレイン領域上の前記第１の
多結晶シリコン膜の部分をマスクした状態でＮ型
の不純物を露出せる該第１の多結晶シリコン膜に
熱拡散法により導入し、これによりこのＮ型の不
純物を該第１の多結晶シリコン膜を貫通して前記
Ｎ型のソース、ドレイン領域上の開孔を通して半
導体基板に導入する工程と、前記第１の多結晶シ
リコン膜をパターニングすることにより、前記Ｎ
型のソース、ドレイン領域上の開孔内およびその
近傍にＮ型化された該第１の多結晶シリコン膜を
残余せしめる工程と、前記残余せるＮ型の第１の
多結晶シリコン膜をマスクした状態で前記Ｐ型の
ソース、ドレイン領域上の開孔を通してＰ型の不
純物を半導体基板内にイオン注入法で導入する工
程と、実質的にノンドープの第２の多結晶シリコ
ン膜を全面に被着し、その上にアルミニウム膜を
被着し、該アルミニウム膜および第２の多結晶シ
リコン膜をパターニングして各ソース、ドレイン
領域に対する電極を形成する工程とを有する相補
型MOS半導体装置の製造方法にある。ここでＰ
型のソース、ドレイン領域上の第２の多結晶シリ
コン膜には上層のアルミニウム膜からのアルミニ
ウムが入りＰ型となる。一方、Ｎ型のソース、ド
レイン領域上の第２の多結晶シリコン膜にもアル
ミニウムが入るがその量よりもその下の第１の多
結晶シリコン膜よりのＮ型不純物の侵入が大であ
るから、この部分はＮ型となる。
以下、本発明の一実施例を従来技術と比較しな
がら、図面を用いて詳しく説明する。
本発明に基づくＮ型不純物領域のコンタクト部
の断面図を第４図ａに、Ｐ型不純物領域のコンタ
クト部の断面図を第４図ｂに示す。Ｎ型及びＰ型
不純物領域のどちらのコンタクト孔部８０におい
てコンタクトを行う不純物領域（拡散層）５又は
６はアルミニウム配線１との間には半導体層１２
と１１又は１１が挟まれている。従つてアロイに
よつて、アルミニウム中へのシリコンの拡散現象
は起こるが、拡散するシリコンが、該挟まれた半
導体層より供給されるため、シリコン基板３の拡
散層５及び６は、この現象とは全く無関係とな
り、良好なＰ−Ｎ接合が保たれる。
また、従来技術によるコンタクト孔の部分を拡
大した第３図ａ及び第３図ｂに示すように開口さ
れたコンタクト孔部８０が拡散層５又は６からズ
レている時にはアルミニウム配線１がＰ−Ｎ接合
を短絡してしまい良好なＰ−Ｎ接合を得ることが
できない。しかし、第４図ａ及び第４図ｂに示す
ように、本発明によれば、開孔されたコンタクト
孔部が拡散層５又は６からズレていてもコンタク
ト孔の下のシリコン基板には、Ｎ型不純物領域で
は半導体層１２にＮ型の不純物を拡散する時に半
導体層を貫き抜いてＮ型の不純物が基板にも拡散
され、Ｎ型の拡散層１３が形成される。また、Ｐ
型不純物領域ではあらかじめイオン注入によりＰ
型の拡散層１４が形成されているため、上述のよ
うな短絡事故はなく良好なＰ−Ｎ接合を得ること
が出来る。
次に、第５図乃至第１８図を用いて、本発明の
新規な相補型MOS半導体装置の製造方法の一実
施例について順次説明する。まず従来の製造方法
に従い、第５図に示すようにＮ型シリコン基板３
の表面に、熱酸化法などにより二酸化シリコン９
を設け、Ｐウエル４を形成すべき部分を写真蝕刻
法により選択エツチングし、その後熱拡散法又は
イオン注入法を用いて第６図に示すようにホウ素
をテポジツト、ドライブインし、Ｐウエル４を形
成する。次に第７図に示すように素子を形成すべ
き部分の二酸化シリコンを写真蝕刻法により選択
エツチングした後、第８図に示すように熱酸化法
によりゲート酸化膜１０を形成する。
その後気相成長法などにより、多結晶シリコン
５０を被着する。その後第９図に示すように、多
結晶シリコン５０を必要な部分図ではゲート部分
７と８を残し、写真蝕刻法により選択エツチング
し、第１０図に示すように、CVD法などにより
シリコン窒化膜１５をＮ型不純物領域の拡散層を
形成する際にマスクとなるだけの厚さを有する層
となるように全面に被着し、写真蝕刻法によりＮ
型不純物領域となる部分を選択的にエツチングす
る。しかる後第１１図に示すように、Ｎ型不純物
領域のソース及びドレイン用拡散層５を熱拡散法
により形成する。この時、Ｎ型不純物領域の多結
晶ポリシリ８にもＮ型不純物が拡散される。その
後第１２図に示すように、Ｐ型不純物領域となる
部分に被着したシリコン窒化膜１５を選択的にエ
ツチングする。
その後第１３図に示すように、Ｐ型の不純物を
熱拡散法により導入してＰ型不純物領域のソー
ス、ドレイン用拡散層６を形成する。この時、Ｐ
型不純物はＰ型不純物領域の多結晶シリコン７に
も拡散される。その後、第１４図に示すように所
定の位置にコンタクト孔を開孔した後、全面に多
結晶シリコン５０を被着し、第１５図に示すよう
にＮ型不純物領域上の多結晶シリコン５０の部分
にＮ型の不純物を熱拡散３０によりドープする。
この時Ｐ型不純物領域上の多結晶シリコンにはＮ
型不純物のマスクとなるだけの窒化膜１５などを
形成しておく。この時、Ｎ型の不純物は多結晶シ
リコンを貫通してコンタクト孔を通してＰウエル
４中にもドープされるので、コンタクト孔の下に
は必ず拡散層１３ができる。従つてたとえコンタ
クト孔を設けた位置がＮ型拡散層の所定の位置か
らズレていても、配線金属１がＮ型拡散層５のＰ
ウエル４とを短絡することを防ぐ大きな長所を有
する。第１６図に示すように多結晶シリコン５０
を選択的にエツチングしてＮ型の多結晶シリコン
１２を形成する。その後第１７図に示すごとくＰ
型不純物領域にＰ型の不純物をイオン注入４０し
てＰ型拡散層１４を形成する。この際、Ｎ型不純
物領域およびＮ型多結晶シリコンにはイオン注入
防止用の所定のマスク６０を設けて行う。従つて
たとえコンタクト孔を設けた位置がＰ型拡散層の
所定の位置からズレていても、配線金属１がＰ型
拡散層と基板とを短絡することを防ぐ大きな長所
を有する。その後、第１８図に示すように気相成
長法などにより、全面におよそ500Å3000Åのノ
ンドープの多結晶シリコン１を被着した後、該多
結晶シリコンの上に真空蒸着法などにより配線用
アルミニウム７０を被着する。その後、第１９図
に示すように、写真蝕刻工程により所定の配線１
及び２を形成し、第２０図に知すように、該配線
金属１及び２をマスクとして該多結晶シリコン１
１を選択的に除去して、相補型MOS半導体装置
を得ることが出来る。
以上主にシリコンゲート技術を用いて本発明を
説明してきたが、アルミゲート技術にも本発明を
適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術によるシリコンゲート相補型
MOS半導体装置の断面図であり、第２図は本発
明の一実施例によるシリコンゲート相補型MOS
半導体装置の断面図である。また、第３図ａ及び
第３図ｂは、従来技術による拡散層とコンタクト
孔とが位置ズレした時のコンタクト部の平面図及
び同平面図におけるＡ−A′矢視断面図であり、
第４図ａ及び第４図ｂは本発明による拡散層とコ
ンタクト孔とが位置ズレした時のそれぞれＮ型不
純物領域及びＰ型不純物領域の断面図である。第
５図乃至第２０図は本発明に基づく一実施例であ
る相補型MOS半導体装置の製造方法を順次工程
順に説明する図である。 なお、図において、１……ソース及びドレイン
用引き出しアルミニウム配線、２……アルミニウ
ムゲート電極、３……Ｎ型シリコン基板、４……
Ｐウエル、５……Ｎ型拡散層、６……Ｐ型拡散
層、７……Ｐ型不純物領域間上のシリコンゲート
電極、８……Ｎ型不純物領域のシリコンゲート電
極、９……フイールド部の二酸化シリコン、１０
……ゲート部分の二酸化シリコン、１１……ノン
ドープの配線用多結晶シリコン、１２……Ｎ型不
純物をドープした多結晶シリコン層、１３……多
結晶シリコンを貫通したＮ型不純物により形成さ
れたＮ型拡散層、１４……イオン注入４０により
形成されたＰ型拡散層、１５……窒化膜、３０…
…Ｎ型不純物の熱拡散、４０……Ｐ型不純物のイ
オン注入、５０……多結晶シリコン層、６０……
イオン注入防止用マスク、７０……配線用アルミ
ニウム層、８０……コンタクト孔部である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 半導体基板のＰ型の領域にＮ型のソース、ド
    レイン領域を熱拡散法で形成し、Ｎ型の領域にＰ
    型のソース、ドレイン領域を熱拡散法で形成する
    工程と、前記半導体基板の主面に形成されかつ前
    記各ソース、ドレイン領域に達する開孔を有する
    絶縁膜上および該各開孔内に第１の多結晶シリコ
    ン膜を形成する工程と、前記Ｐ型のソース、ドレ
    イン領域上の前記第１の多結晶シリコン膜の部分
    をマスクした状態でＮ型の不純物を露出せる該第
    １の多結晶シリコン膜に熱拡散法により導入し、
    これによりこのＮ型の不純物を該第１の多結晶シ
    リコン膜を貫通して前記Ｎ型のソース、ドレイン
    領域上の開孔を通して半導体基板に導入する工程
    と、前記第１の多結晶シリコン膜をパターニング
    することにより、前記Ｎ型のソース、ドレイン領
    域上の開孔内およびその近傍のみにＮ型化された
    該第１の多結晶シリコン膜を残余せしめる工程
    と、前記残余せるＮ型の第１の多結晶シリコン膜
    をマスクした状態で前記Ｐ型のソース、ドレイン
    領域上の開孔を通してＰ型の不純物を半導体基板
    内にイオン注入法で導入する工程と、実質的にノ
    ンドープの第２の多結晶シリコン膜を全面に被着
    し、その上にアルミニウム膜を被着し、該アルミ
    ニウム膜および第２の多結晶シリコン膜をパター
    ニングして各ソース、ドレイン領域に対する電極
    を形成する工程とを有することを特徴とする相補
    型MOS半導体装置の製造方法。
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