JP3848782B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に素子分離領域に選択的に厚い酸化膜、いわゆるLOCOS酸化膜を形成する工程を備えた半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、シリコン集積回路の素子分離領域には、寄生トランジスタの発生を防止するため、LOCOS酸化膜と呼ばれる厚い酸化膜が選択的に形成されている。一般的に、LOCOS酸化膜の形成は、半導体基板1上に酸化膜2および耐酸化膜として窒化膜3を積層形成する(図6)。ここで、窒化膜3は、耐酸化膜として機能する他、チャネルストッパー領域を形成するためのイオン注入のマスク膜として使用できる厚さに形成される。具体的には、1000オングストローム程度の厚さに形成する必要がある。
【0003】
次に通常のホトリソグラフ法により、LOCOS酸化膜形成予定領域の窒化膜3をエッチング除去し、酸化膜2を露出させる。パターニングされた窒化膜3をマスクとして使用して、酸化膜2を通して半導体基板1中に、図中点線で示すように、チャネルストッパー領域を形成するため半導体基板1と同じ導電型の不純物をイオン注入する(図7)。
【0004】
その後、窒化膜3をマスクとして選択酸化を行い、半導体基板1表面にLOCOS酸化膜4を形成する。この酸化工程で、先に半導体基板1中に注入した不純物は、半導体基板1中に拡散し、半導体基板より不純物濃度の高いチャネルストッパー領域5が形成される(図8)。
【0005】
このとき、LOCOS酸化膜4は比較的厚く形成する必要があるため、酸化膜の成長と同時に、イオン注入された不純物が深さ方向、横方向にそれぞれ拡散し、チャネルストッパー領域5が、素子形成予定領域まで拡散形成されてしまう。
【0006】
このようにチャネルストッパー領域5が拡散した素子形成予定領域に、例えばMOS型電界効果トランジスタを形成する場合、まず、ゲート酸化膜6を介してゲート電極7を形成し、ゲート電極7とLOCOS酸化膜4をマスクとして使用し、半導体基板1と逆導電型の不純物をイオン注入し、ソース領域8、ドレイン領域9を形成する。この結果、いわゆる狭チャネル効果が生じてしまう。
【0007】
更に、ソース領域8およびドレイン領域9の一部がチャネルストッパー領域5と重なり、ソース領域8あるいはドレイン領域9とチャネルストッパー領域5間の接合耐圧が低下し、耐圧の高い半導体装置を形成するためには、十分な距離を保つ必要が生じ、自己整合的に形成することができず、微細化の妨げとなっていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来のLOCOS酸化膜の形成方法では、チャネルストッパーの形成とLOCOS酸化膜の形成が自己整合的にできるという利点があるが、近年、半導体集積回路の微細化に伴い、素子形成予定領域へのチャネルストッパー領域の入り込みが無視できなくなり、素子特性が劣化してしまうという問題点があった。本発明はこれらの問題点を解決し、素子特性を劣化させることのない半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、一導電型の半導体基板上に、選択的に素子分離のための酸化膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法において、一導電型の半導体基板上に第1の酸化膜、第1の窒化膜、第2の酸化膜、第2の窒化膜および多結晶シリコン膜を順次積層形成する工程と、前記素子分離のための酸化膜形成予定領域の前記多結晶シリコン膜および前記第2の窒化膜をエッチング除去する工程と、パターニングされた該多結晶シリコン膜を酸化し、前記第2の窒化膜上に該第2の窒化膜より幅広のチャネルストッパー形成用膜を形成する工程と、該チャネルストッパー形成用膜をマスクとして使用し、前記半導体基板中に一導電型の不純物をイオン注入する工程と、前記チャネルストッパー形成用膜をエッチング除去し、前記第2の窒化膜をマスクとして使用し、前記第2の酸化膜をパターニングし、さらに該第2の酸化膜をマスクとして使用し、前記素子分離のための酸化膜形成予定領域の前記第1の窒化膜をエッチング除去すると同時に、前記第2の窒化膜もエッチング除去する工程と、パターニングされた前記第1の窒化膜をマスクとして使用し、少なくとも該第1の窒化膜端部近傍は前記不純物が注入されていない前記半導体基板を酸化し、前記半導体基板表面にチャネルストッパーを備えた前記素子分離のための酸化膜を形成する工程とを含むことを特徴とするものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、MOS型電界効果トランジスタの製造工程を例にとり説明する。まず、P型の導電性を有する半導体基板1上に熱酸化法により200オングストローム程度の酸化膜2を形成する。次に酸化膜2上にCVD法により1000オングストローム程度の耐酸化性の窒化膜3を積層形成する。更に、後工程で窒化膜3を選択的にエッチングすることができる膜、例えば、CVD法により1000オングストローム程度形成した酸化膜10と、酸化膜10を選択的にエッチングすることができる膜、例えば、CVD法により1000オングストローム程度の窒化膜11を形成する。その後、CVD法によりリンを不純物として含むポリシリコン膜12を3500オングストローム程度順次積層形成する(図1)。ここで、ポリシリコン膜に不純物を添加するのは、後工程でポリシリコンを酸化する際、酸化速度を大きくするためであり、また形成された酸化膜の体積を大きくするためでもある。従って、添加される不純物は、リンに限らず、砒素であってもよい。また、不純物を含まないポリシリコン膜を形成した後、不純物を添加しても良い。
【0011】
次に通常のホトリソグラフ法により、LOCOS酸化膜形成予定領域のポリシリコン膜12および窒化膜11をエッチング除去し、酸化膜10を露出させる(図2)。
【0012】
ポリシリコン膜12を、例えば、900℃、ウエット雰囲気で30分間酸化する。この酸化により、ポリシリコン膜12の表面の一部あるいは全部が酸化され、厚さが4から5倍になる。その結果、窒化膜11上に1.5ミクロン程度ヒサシ状に張り出した形状が形成される。この酸化前と比較して幅広のパターンとなったポリシリコン膜12をマスクとして使用して、酸化膜10、窒化膜3および酸化膜2を通して半導体基板1中に、チャネルストッパー領域を形成するためP型不純物をイオン注入する(図3)。たとえば、上記条件では、ボロンイオン(B11)を加速エネルギー100KeV、ドーズ量3×1013atom/cm2の条件で注入する。
【0013】
次に、酸化したポリシリコン膜12をエッチング除去する。窒化膜11をマスクとして使用し、酸化膜10をパターニングする。さらに、酸化膜10をマスクとして使用し、窒化膜3をエッチング除去する。このエッチングと同時に、窒化膜11もエッチング除去される。酸化膜10を除去した後、あるいは除去せず、窒化膜3をマスクとして使用し、半導体基板1表面にLOCOS酸化膜4を形成する。一例として、950℃、ウエット雰囲気で430分間酸化し、7500オングストローム程度のLOCOS酸化膜を形成する。
【0014】
このとき、LOCOS酸化膜を形成するために使用した窒化膜3は、先にチャネルストッパーを形成するために使用したポリシリコン膜12より、素子形成領域の内側に1.5ミクロン程度移動したことになる。つまり、窒化膜端部近傍はチャネルストッパー領域を形成するための不純物が注入されていない半導体基板1が露出している。従って、LOCOS酸化膜4形成後のチャネルストッパー領域の素子形成領域への拡散が少なくなったことになる。一例として、上記LOCOS酸化膜の形成条件では、チャネルストッパー領域の拡散深さは1.5ミクロンとなり、素子形成予定領域まで拡散領域が形成されないことになる。
【0015】
窒化膜3を除去した後、通常の半導体装置の製造方法に従い、ゲート酸化膜6、ゲート電極7、ソース領域8、ドレイン領域9等を形成することによって、図5に示すMOS型電界効果トランジスタを形成することができる。
【0016】
このように形成されたMOS型電界効果トランジスタは、チャネルストッパー領域5がソース、ドレイン領域8、9から離れて形成されるため、狭チャネル効果を抑制することができる。また、ソース、ドレイン領域8、9とチャネルストッパー領域5とを自己整合的に形成しても、その耐圧を大きくすることができるという利点がある。
【0017】
以上MOS型電界効果トランジスタを例にとり、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、他のトランジスタ、ダイオード等を含む半導体集積回路に適用することが可能であることは言うまでもない。
【0018】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明により形成したLOCOS酸化膜を使用し半導体装置を形成した場合、素子特性の劣化を防ぐことができるという利点がある。また、本発明の製造方法は、通常の半導体装置の製造工程を使用するため、歩留まり良く半導体装置を形成することができるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を説明する図である。
【図2】本発明の実施の形態を説明する図である。
【図3】本発明の実施の形態を説明する図である。
【図4】本発明の実施の形態を説明する図である。
【図5】従来のLOCOS酸化膜の形成方法を説明する図である。
【図6】従来のLOCOS酸化膜の形成方法を説明する図である。
【図7】従来のLOCOS酸化膜の形成方法を説明する図である。
【図8】従来のLOCOS酸化膜の形成方法を説明する図である。
【図9】従来のMOS型電界効果トランジスタを説明する図である。
【符号の説明】
1 半導体基板
2 酸化膜
3 窒化膜
4 LOCOS酸化膜
5 チャネルストッパー領域
6 ゲート酸化膜
7 ゲート電極
8 ソース領域
9 ドレイン領域
10 酸化膜
11 窒化膜
12 ポリシリコン膜
Claims (1)
- 一導電型の半導体基板上に、選択的に素子分離のための酸化膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法において、
一導電型の半導体基板上に第1の酸化膜、第1の窒化膜、第2の酸化膜、第2の窒化膜および多結晶シリコン膜を順次積層形成する工程と、
前記素子分離のための酸化膜形成予定領域の前記多結晶シリコン膜および前記第2の窒化膜をエッチング除去する工程と、
パターニングされた該多結晶シリコン膜を酸化し、前記第2の窒化膜上に該第2の窒化膜より幅広のチャネルストッパー形成用膜を形成する工程と、
該チャネルストッパー形成用膜をマスクとして使用し、前記半導体基板中に一導電型の不純物をイオン注入する工程と、
前記チャネルストッパー形成用膜をエッチング除去し、前記第2の窒化膜をマスクとして使用し、前記第2の酸化膜をパターニングし、さらに該第2の酸化膜をマスクとして使用し、前記素子分離のための酸化膜形成予定領域の前記第1の窒化膜をエッチング除去すると同時に、前記第2の窒化膜もエッチング除去する工程と、
パターニングされた前記第1の窒化膜をマスクとして使用し、少なくとも該第1の窒化膜端部近傍は前記不純物が注入されていない前記半導体基板を酸化し、前記半導体基板表面にチャネルストッパーを備えた前記素子分離のための酸化膜を形成する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP09734898A JP3848782B2 (ja) | 1998-04-09 | 1998-04-09 | 半導体装置の製造方法 |
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JPH11297687A JPH11297687A (ja) | 1999-10-29 |
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JP (1) | JP3848782B2 (ja) |
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1998
- 1998-04-09 JP JP09734898A patent/JP3848782B2/ja not_active Expired - Fee Related
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