JPH02275785A - セラミックス焼結体の矯正方法 - Google Patents
セラミックス焼結体の矯正方法Info
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- JPH02275785A JPH02275785A JP9690889A JP9690889A JPH02275785A JP H02275785 A JPH02275785 A JP H02275785A JP 9690889 A JP9690889 A JP 9690889A JP 9690889 A JP9690889 A JP 9690889A JP H02275785 A JPH02275785 A JP H02275785A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 title abstract 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 6
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、セラミックス焼結体、特に棒状又は板状のも
のの曲がり又はそりの矯正方法に関し、形状の良好な棒
状又は板状セラミックス焼結体を安定に、容易に矯正す
るための方法に関する。
のの曲がり又はそりの矯正方法に関し、形状の良好な棒
状又は板状セラミックス焼結体を安定に、容易に矯正す
るための方法に関する。
従来の技術
焼結により直ちに真直性の良好なセラミックス、特に棒
状や板状のものを得ることが困難であったため、通常焼
結後、研削加工等の機械的な手段を用いて真直性の良好
な棒状、管状や板状等のセラミックス製品を製造してい
た。
状や板状のものを得ることが困難であったため、通常焼
結後、研削加工等の機械的な手段を用いて真直性の良好
な棒状、管状や板状等のセラミックス製品を製造してい
た。
発明が解決しようとする課題
近年セラミックスの優れた特性が着目され、各種分野に
セラミックス部品が使用されている。
セラミックス部品が使用されている。
棒、管状や板状等の形状の実用化に対しては、真直性が
良好であることが要求され、その対処として焼結後の研
削加工によるとその加工費が高く、量産性に欠け、又特
に炭化ケイ素焼結体等の場合は硬度が高く、ダイヤモン
ド砥石を用いても容易に研削することができず、製造に
長時間を要した。
良好であることが要求され、その対処として焼結後の研
削加工によるとその加工費が高く、量産性に欠け、又特
に炭化ケイ素焼結体等の場合は硬度が高く、ダイヤモン
ド砥石を用いても容易に研削することができず、製造に
長時間を要した。
課題を解決するための手段
本発明者は、焼結体の矯正方法として次の方法すなわち
、セラミックス焼結体を耐熱性治具間に挾んで加熱処理
することを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方法お
よびセラミックス焼結体の曲がり又はそりを矯正する方
法において、セラミックス焼結体を、互いに向き合った
側に、焼結体の目的の形状に合わせた矯正溝が設けられ
た1対の焼結治具間に配置し、焼結治具同志は接しない
ように間隙を設け、焼結治具の自重又は加圧によって焼
結体に圧力をかけながら再度、焼結温度で加熱処理する
ことを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方法を見出
した。
、セラミックス焼結体を耐熱性治具間に挾んで加熱処理
することを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方法お
よびセラミックス焼結体の曲がり又はそりを矯正する方
法において、セラミックス焼結体を、互いに向き合った
側に、焼結体の目的の形状に合わせた矯正溝が設けられ
た1対の焼結治具間に配置し、焼結治具同志は接しない
ように間隙を設け、焼結治具の自重又は加圧によって焼
結体に圧力をかけながら再度、焼結温度で加熱処理する
ことを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方法を見出
した。
本発明について、セラミックス焼結体として炭化ケイ素
を例として、又その形状として棒状のものについて詳細
に説明する。
を例として、又その形状として棒状のものについて詳細
に説明する。
まず、本発明が使用される焼結体について述べる。セラ
ミックス焼結体原料である炭化ケイ素微粉末に、メチル
セルローズ、ポリビニルアルコール等の結合剤、グリセ
リン等の分散剤、BおよびC等の焼結助剤を所定量論え
、更に水を加えて、混練機等により十分に混練してペー
ストを造る。
ミックス焼結体原料である炭化ケイ素微粉末に、メチル
セルローズ、ポリビニルアルコール等の結合剤、グリセ
リン等の分散剤、BおよびC等の焼結助剤を所定量論え
、更に水を加えて、混練機等により十分に混練してペー
ストを造る。
次にこのペーストを真空押出機等にて、押出成形して棒
状の成形体を得る。
状の成形体を得る。
必要に応じてこの成形体を切断し、アルゴン雰囲気+1
J又は真空中にて19(10〜2i00℃にて焼結する
。
J又は真空中にて19(10〜2i00℃にて焼結する
。
このようにして得られた棒状炭化ケイ素焼結体に本発明
が適用される。
が適用される。
不発明を第1図を用いて説明する。第1図は矯正時の棒
状焼結体の配置図で、1は前述の未驕正の曲がった棒状
焼結体で、2,3は互いに向き合った側にセラミックス
焼結体の形状に合わせた曲がり矯正溝4,5を設けた焼
結治具で、焼結治具2,3同志が接しないように間隔6
を設けである。
状焼結体の配置図で、1は前述の未驕正の曲がった棒状
焼結体で、2,3は互いに向き合った側にセラミックス
焼結体の形状に合わせた曲がり矯正溝4,5を設けた焼
結治具で、焼結治具2,3同志が接しないように間隔6
を設けである。
この焼結治具2,3の曲がり矯正溝4,5にセラミック
ス焼結体1を挾み、焼結治具の自重によりセラミックス
焼結体の外径方向に圧力が加わるように配設する。
ス焼結体1を挾み、焼結治具の自重によりセラミックス
焼結体の外径方向に圧力が加わるように配設する。
このようにして配設された棒状炭化ケイ素焼結体を再度
1900〜2100℃の焼結温度で2〜3時間加熱する
ことにより、真直性の良好な棒状炭化ケイ素焼結体を得
ることができる。
1900〜2100℃の焼結温度で2〜3時間加熱する
ことにより、真直性の良好な棒状炭化ケイ素焼結体を得
ることができる。
本発明の適用できるセラミックスとしては炭化ケイ素、
アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミナ等であり、矯正す
る形状にしても棒状、管状、板状等のものに使用しつる
。
アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミナ等であり、矯正す
る形状にしても棒状、管状、板状等のものに使用しつる
。
実施例
以ド、本発明を実施例にて詳細に説明する。
実施例 1
il 30 mmφ、長さ600ml1、曲がりの最大
値が511111の棒状炭化ケイ素焼結体および黒鉛製
焼結治具を第1図に示すように配設し、焼結炉に設置し
た。
値が511111の棒状炭化ケイ素焼結体および黒鉛製
焼結治具を第1図に示すように配設し、焼結炉に設置し
た。
その後、炉内を加熱し、アルゴンガス雰囲気中にて19
80°C13時間再焼結を行なった。この再焼結体の曲
がりは0.5n+uと矯正された。
80°C13時間再焼結を行なった。この再焼結体の曲
がりは0.5n+uと矯正された。
比較例 1
実施例1において溝のない黒鉛焼結治具に30+++n
+φXGOOmllの棒状焼結体1を載せて、実施例1
と同様に再焼結処理を行なった。その結果、その曲がり
は2.5mmであった。
+φXGOOmllの棒状焼結体1を載せて、実施例1
と同様に再焼結処理を行なった。その結果、その曲がり
は2.5mmであった。
発明の効果
棒状又は板状セラミックス焼結体の本発明の方法による
加熱によって得られた棒状又は板状セラミックスは真直
性がきわめて高く、通常何らの機械加工を必要としない
。
加熱によって得られた棒状又は板状セラミックスは真直
性がきわめて高く、通常何らの機械加工を必要としない
。
しかも手段が簡+1であるため簡便に迅速に、且つ大量
に、棒状又は板状セラミックスの曲がりを矯正すること
ができる。
に、棒状又は板状セラミックスの曲がりを矯正すること
ができる。
第1図は、矯丁時の棒状セラミックス焼結体の配置図で
ある。
ある。
Claims (2)
- (1)セラミックス焼結体を耐熱性治具間に挾んで加熱
処理することを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方
法。 - (2)セラミックス焼結体の曲がり又はそりを矯正する
方法において、セラミックス焼結体を、互いに向き合っ
た側に、焼結体の目的の形状に合わせた矯正溝が設けら
れた1対の焼結治具間に配置し、焼結治具同志は接しな
いように間隙を設け、焼結治具の自重又は加圧によって
焼結体に圧力をかけながら再度、焼結温度で加熱処理す
ることを特徴とするセラミックス焼結体の矯正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9690889A JPH02275785A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | セラミックス焼結体の矯正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9690889A JPH02275785A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | セラミックス焼結体の矯正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02275785A true JPH02275785A (ja) | 1990-11-09 |
JPH0565474B1 JPH0565474B1 (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=14177462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9690889A Pending JPH02275785A (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | セラミックス焼結体の矯正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02275785A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002356375A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Ngk Insulators Ltd | 窒化珪素製細長物の製造方法 |
CN111747755A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-10-09 | 无锡英罗唯森科技有限公司 | 一种薄壁管的制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5125241A (en) * | 1974-08-26 | 1976-03-01 | Yamaha Motor Co Ltd | Jidonirinshano dendosochi |
JPS54150409A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-26 | Ngk Spark Plug Co | Firing ceramic substrate |
JPS62100479A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-09 | 電気化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結シ−トの製造方法 |
-
1989
- 1989-04-17 JP JP9690889A patent/JPH02275785A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5125241A (en) * | 1974-08-26 | 1976-03-01 | Yamaha Motor Co Ltd | Jidonirinshano dendosochi |
JPS54150409A (en) * | 1978-05-18 | 1979-11-26 | Ngk Spark Plug Co | Firing ceramic substrate |
JPS62100479A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-09 | 電気化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結シ−トの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002356375A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Ngk Insulators Ltd | 窒化珪素製細長物の製造方法 |
CN111747755A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-10-09 | 无锡英罗唯森科技有限公司 | 一种薄壁管的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0565474B1 (ja) | 1993-09-17 |
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