JPH0224884A

JPH0224884A - 媒体用部材

Info

Publication number: JPH0224884A
Application number: JP17568688A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Nakayama; 正俊中山; Kunihiro Ueda; 国博上田; Masatoshi Okamura; 岡村　昌寿
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1988-07-14
Filing date: 1988-07-14
Publication date: 1990-01-26
Anticipated expiration: 2012-10-29
Also published as: JP2670689B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、ビデオテープ、オーディオテープ、コンビニ
−クー用カートリッジ等の磁気や光等を利用して情報の
記録および／または再生を行なう媒体用部材に関する。

〈従来の技術〉ビデオカセット、オーディオカセット、コンピューター
用カートリッジ、ビデオフロッピーディスク、レーザー
ビジョンディスク等の各種情報の記録・再生担体では、
テープ状ないしディスク状の記録ないし再生用の媒体が
、収納ケース内に収納され、媒体は、収納ケースおよび
記録・再生装置内を走行ないし回転する。

すなわち、これらの記録・再生担体内部では、記録・再
生媒体と、収納ケースを構成する部材や収納ケース内に
配置された部材とが、あるいはこれら各部材同士が、互
いに摺接しながら逼動する。

ビデオテープを例にとると、カセットケース内には、記
録媒体であるビデオテープとともに、ビデオテープを巻
き取るリール、リールをロックするブレーキ、またテー
プの走行をガイドするガイドボール、テープガイド等の
種々の部材とが収納されている。

そして、媒体を記録・再生装置に装填すると、たとえば
、ビデオテープとガイドボール、テープガイド等のテー
プ走行ガイド部材や、リールとリールリーフバネなどが
互いに摺動する。

したがって、これらの部材には、テープやディスク等の
媒体の走行や回転が正確で、しかも円滑かつ安定に行な
えるように、Ａ：摩擦係数が低いこと、Ｂ：部材やテープのケズレおよびそれに起因するドロッ
プアウト等をなくすため、耐摩耗性に優れ表面硬度が高
いこと、Ｃ：記録・再生の誤動作につながる静電気等の帯電を防
ぐため、帯電防止性に優れていること等の特性が要求さ
れる。

従来、このような部材は、成形の容易さや軽量性から、
通常、樹脂材質で形成されるが、上記の特性を満足させ
るために、表面に帯電防止用の塗膜を形成したり、必要
な部材を一部耐摩耗性に優れた金属にしたり、金属被膜
を設けたりしている。

〈発明が解決しようとする課題〉しかし、帯電防止塗膜を設けるときには薄膜で均一な塗
膜を形成することが困難で、ブルーミング等の問題があ
り、また、部材の一部を金属化するときには、加工工数
が増加してコスト高になる、また、複雑な形状のものの
加工が困難である等の欠点がある。

このような実状から、本発明者らは、先に上記の部材に
有機金属（特開昭５８−２２２１１５号公報）、ケイ素
化合物で特開昭５８−２２２４３８号公報）等のプラズ
マ重合膜を形成する旨の提案をしている。

しかし、これらのものでは帯電防止性のみに注目し、走
行摩擦の評価も行っていない。

本発明の目的は、帯電防止性にすぐれ、記録・再生媒体
の走行等が正確、円滑かつ安定に行なわれ、耐久性に優
れ、記録・再生に際してドロップアウトが少なく、部品
点数や加工工数増も招かない、媒体用部材を提供するこ
とにある。

く課題を解決するための手段〉このような目的は、以下の本発明によって達成される。

すなわち、本発明は、テープ状ないしディスク状の媒体
を走行または回転可能に収納する収納ケースを構成する
部材またはこの収納ケース内に配置される部材であって
、その表面に、Ｃ，ＦおよびＮを含み、ＦおよびＮの含
有量の合計が５〜４０ａｔ％：　Ｎ／Ｆの原子比が０．
２〜５であるプラズマ重合膜を形成したことを特徴とす
る媒体用部材である。

また、この場合、プラズマ重合膜が、さらにＨを含むこ
とが好ましい。

以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。

本発明の媒体用部材は、テープ状ないしディスク状の媒
体を走行または回転可能に収納する前記収納ケースを構
成するか、あるいはこの収納ケース内に配置される部材
であり、その表面に航記のプラズマ重合膜を形成したも
のである。

第１図には、本発明の媒体用部材をビデオテープカセッ
トに適用した例が示される。

この場合には、媒体として可撓性基体に磁性層を有する
記録テープ１１を用い、カセット１４が収納ケースを構
成する。

第１図に示されるビデオカセットにおいて、カセット１
４は、上部カセットハーフ１４１と下部カセットハーフ
１４２およびガードバネル１４５をタッピングネジ１１
７で組みたてることにより形成され、これらの部材から
、本発明のケースが構成される。　このカセット１４の
内部には、テープを巻回した供給リール１３Ｓ、テープ
を巻取る巻取りリール１３Ｔ、また、使用時以外にリー
ルが回転するのを防ぐブレーキ１６等が設けられ、さら
にテープガイド１５３、ガイドローラー１５４等の走行
ガイド部材が設置される。

供給リール１３Ｓと巻取りリール１３Ｔはカセット内に
並んで配置され、リールルーフバネ１４１１により下部
カセットハーフ１４２に圧着される。　また、ブレーキ
１６は両リールの上部中央に配置される。　さらに、テ
ープガイド１５３、ガイドローラー１５４等のテープ走
行ガイド部材は、テープ送り出し口およびテープ引き込
み口付近に配置される。

さらに、他の部材として、供給リール１３Ｓと記録テー
プ１１とを接続するためのリーダートレーラ−テープ１
２１が設けられる。

供給リール１３ｓから供給される磁気テープ１１はガイ
ドボール１５１、テープパッド１５２間をテープパッド
１５２により適度なパックテンションを与えられつつ通
過し、テープ供給口のテープガイド１５３を経て記録・
再生機器内に引き込まれる。　記録・再生機器内を走行
したテープは、テープガイド１５３とガイドローラー１
５４の間を通過して、巻取りリール１３Ｔに巻き取られ
る。

ビデオカセットは通常上記のような構造を有するもので
あるが、このようなビデオカセットを構成する部材の多
くは、記録テープ１１と、あるいは各部材同士で、摺動
する。

本発明においては、このようなビデオカセットを構成す
る部材の表面に、所定のプラズマ重合膜を形成するもの
であるが、中でも特に、記録テープ１１と接触する走行
ガイド部材であるガイドボール１５１、テープバッド１
５２、テープガイド１５３、ガイドローラー１５４、ま
た、記録テープと接続しているリーダートレーラ−テー
プ１２１、さらにはリールリーフバネ１４１１と接触す
るリールセンターボス１３３３、上部カセットハーフ１
４１および下部カセットハーフ１４２の前面部１４１ａ
、１４２ａの表面に所定のプラズマ重合膜を形成したと
き、より良好な効果が得られる。

次に第２図に、本発明の媒体用部材を、オーディオカセ
ットに適用した例を示す。

この場合も、ビデオカセットと同様に、媒体として、可
撓性基体に磁性層を有する記録テープ２１を用い、カセ
ット２５がケースを構成する。

第２図に示されるオーディオカセットにおいて、カセッ
ト２５はハーフサイドＡ２５１とハーフサイドＢ２５３
を組み合せることにより形成され、これらの部材より、
オーディオカセットのケースが構成されるウ　このカセ
ット２５の内部には、テープを巻出または巻き取るハブ
部２３１、クランプ２３３やテープの走行をガイドする
ガイドローラ２４３、ガイドビン２４１、さらに、他の
部材として、テープの巻回を帯電なく、正確にかつスム
ーズに行なうためのシート２６１や、ハブ部２３１、ク
ランプ２３３と記録テープ２１とを接続するリーダーテ
ープ２２１等が設けられる。

ハブ部２３１から供給されるテープは、ガイドビン２４
１、ガイドローラー２４３により走行経路をガイドされ
、記録・再生装置内のヘッド等との接触部に入る。　ヘ
ッドバッド２４５に挟まれて、ヘッドと摺接したのち、
再びガイドローラ２４３とガイドビン２４１とによって
走行経路をガイドされ、もう一方のハブ部２３１に巻回
される。

本発明においては、ビデオカセットと同様に、このよう
なオーディオカセットを構成する部材の表面に、前記し
たプラズマ重合膜を形成するものであるが、中でも特に
、走行ガイド部材であるガイドビン２４１、ガイドロー
ラー２４３や、また、リーダーテープ２２１やシート２
６１等の表面に所定のプラズマ重合膜を形成したとき、
より良好な結果を得る。

本発明は、上記のビデオカセット、オーディオカセット
の他、同種の磁気テープと同種の部材を有する各種ビデ
オカセット、オーディオカセット、コンピューターカー
トリッジに適用しても有効である。　また、その他、フ
ロッピーディスク、ハードディスク、コンパクトディス
ク等の各種ディスク状の媒体およびクリーニングカセッ
ト等の媒体の部材に施しても、有効である。

本発明においてプラズマ重合膜は、ＣとＮとＦ、より好
ましくはＣとＨとＮとＦとを含有する。

このときＦおよびＮの含有量の合計は、５〜４０ａｔ％
、より好ましくはｉｏ〜３５ａｔ％である。

この値が５ａｔ％未満であると後述のＦ／Ｎの比をコン
トロールしても十分な帯電防止性が発現せず４０ａｔ％
を超＾ると膜の強度が低下し、部材としての耐久性が低
下する。

また、Ｎ／Ｆの原子比は、０．２〜５、より好ましくは
０．３〜３である。

この値がこの範囲を外れると十分な帯電防止性が発揮で
きなくなってしまう。

ＮおよびＦ以外の残部はＣ単独であっても、ＣとＨとか
ら構成されていてもよい。

ＣとＨとを含有する場合Ｈ／Ｃの原子比は、通常２以下
、特に０．０５〜２程度である。

なお、プラズマ重合膜中のＣ，Ｎ、Ｆ、Ｈおよびその他
の元素の含有量の分析は、ＳＩＭＳ（２次イオン質量分
析）等に従えばよい。

ＳＩＭＳを用いる場合、本発明においてプラズマ重合膜
は膜厚１０〜１０００人にて好適に用いられるので、プ
ラズマ重合膜表面にて、Ｃ１Ｎ、Ｆ、Ｈおよびその他の
元素をカウントして算出すればよい。

あるいは、Ａｒ等でイオンエツチングを行いながら、Ｃ
，Ｎ、Ｆ、Ｈおよびその他の元素のプロファイルを測定
して算出してもよい。

ＳＩＭＳの測定については、表面科学基礎講座　第３巻
（１９８４）表面分析の基礎と応用（Ｐ２Ｏ）　　“Ｓ
ＩＭＳおよびＬＡＭＭＡ”の記載に従＾ばよい。

このような組成にて、形成されるプラズマ重合膜の膜厚
は１０〜ｉ　ｏｏｏ人、より好ましくは２０〜１００λ
であることが好ましい。

この膜厚が１０００人を超えると、成膜時の内部応力が
膜中に残留し、膜自体の強度が低下し、媒体の破断強度
が低下し、膜ケズレが生じドロップアウトが発生し易い
。

また、膜厚が１０人未満であると、本発明の実効がな（
、耐久性に劣り、膜ケズレを生じ、ドロップアウトが発
生し易い、　さらに、面状態の悪化等の不都合を生じる
。

なお、膜厚の測定は、エリプソメーター等を用いればよ
い。

またこのような膜厚の制御は、プラズマ重合膜形成時の
反応時間、原料ガス流量等を制御すればよい。

本発明においてブ′ラズマ重合膜に用いる原料ソースと
しては、通常、上記の各元素を含むソースを複数組合せ
て用いればよい。

使用可能なソースとしては下記のものが挙げられる。

（１）炭化水素通常、操作性の良いことから、常温で気体のメタン、エ
タン、プロパン、ブタン、ペンタン、エチレン、プロピ
レン、ブテン、ブタジェン、アセチレン、メチルアセチ
レン、その他の飽和ないし不飽和の炭化水素の１種以上
。

（２）フッ化炭素またはフッ化炭化水素テトラフロロメ
タン、オクタフロロプロパン、オクタフロロシクロブタ
ン、テトラフロロエチレン、ヘキサフロロプロピレン、
トリフロロクロロメタン、ジフロ口メタン、トリフロロ
ブロモメタン、ジフロロエタン、テトラフロロエタン等
の１種以上。

（３）含窒素系炭化水素エチレンイミン、メチルアミン、エチルアミン、ジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン等の１
種以上。

（４）上記（１）〜（３）の組合わせに加え、あるいは
これに替え含窒素フッ化炭化水素を用いることもできる
。

（５）その他Ｎ０１Ｎ２０、ＮＯ糞などのＮＯｘ、Ｈ２，０□、０１
、Ｈ，０１ＮＨ，、ＮＦ、、Ｃ０１ＣＯ３等の１種以上
をソースに加えて用いても好適である。

上記したようにソース中にはＢｒ、Ｃ１ｌ、０等が含有
されていてもよい。

さらに必要に応じて、原料にＳｔ、Ｂ、Ｐ、Ｓ等ソース
微量成分として添加することもできる。

これらソースの使用量比は、目的とするプラズマ重合膜
組成に応じ、適宜設定することができる。

プラズマ重合膜は、前述の原料ガスの放電プラズマを基
板（本発明においては媒体用部材）に接触させることに
・より重合膜を形成するものである。

プラズマ重合の原理について概説すると、気体を低圧に
保ち電場を作用させると、気体中に少量存在する自由電
子は、常圧に比べ分子間距離が非常に大きいため、電界
加速を受け５〜１０ｅＶの運動エネルギー（電子温度）
を獲得する。

この加速電子が原子や分子に衝突すると、原子軌道や分
子軌道を分断し、これらを電子、イオン、中性ラジカル
など、通常の状態では不安定の化学種に解離させる。

解離した電子は再び電界加速を受けて、別の原子や分子
を解離させるが、この連鎖作用で気体はたちまち高度の
電離状態となる。　そしてこれはプラズマガスと呼ばれ
ている。

気体分子′は電子との衝突の機会が少ないのでエネルギ
ーをあまり吸収せず、常温に近い温度に保たれている。

このように、電子の運動エネルギー（電子温度）と、分
子の熱運動（ガス温度）が分離した系は低温プラズマと
呼ばれ、ここでは化学種が比較的原型を保ったまま重合
等の加酸的化学反応を進めつる状況を創出しており、本
発明はこの状況を利用して基板上にプラズマ重合膜を形
成しようとするものである。　なお低温プラズマを利用
するため、基板への熱影響は全くない。

基板表面にプラズマ重合膜を形成する装置例が第３図に
示しである。　第３図は、周波数可変型の電源を用いた
プラズマ重合装置である。

第３図において、反応容器Ｒには、原料ガス源５１１ま
たは５１２から原料ガスがそれぞれマスフローコントロ
ーラ５２１および５２２を経て供給される。ガス源５１
１または５１２から別々のガスを供給する場合は、混合
器５３において混合して供給する。

原料ガスは、各々１〜２５０ｍ６／分の流量範囲をとり
つる。

反応容器Ｒ内には、対向する電極５５１．５５２が設け
られて′おり、一方の電極５５１は例えば周波数可変型
の電源５４に接続され、他方の電極５５２は接地されて
いる。　基板は、通常、電極５５２上に載置される。

さらに、反応容器Ｒ内には、容器内を排気するための真
空系統が配備され、そしてこれは液体窒素トラップ５７
、油回転ポンプ５８および真空コントローラ５９を含む
。　これら真空系統は反応容器内を０．Ｏ１〜１０　Ｔ
ｏｒｒの真空度の範囲に維持する。

操作においては１反応容器Ｒ内がまず１０−３丁ｏｒｒ
以下になるまで油回転ポンプにより容器内を排気し、そ
の後原料ガスが所定の流量において容器内に混合状態で
供給される。

このとき、反応容器内の真空は０．０１〜１０　Ｔｏｒ
ｒの範囲に管理される。

原料ガスの流量が安定すると、電源がオンにされる。　
こうして、基板表面にプラズマ重合膜が形成される。

キャリアガスとして、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２などを使用して
もよい。

なお、印加電流、処理時間等は通常の条件とすればよい
。

プラズマ発生源としては、高周波数放電の他に、マイク
ロ波放電、直流放電、交流放電等いずれでも利用できる
。

このようなプラズマ重合膜は、基板上、特にプラズマ処
理された基板上に形成されることが好ましい。

基板表面をプラズマ処理することによって、この基板と
プラズマ重合膜との接着力が向上する。

基板表面のプラズマ処理法の原理、方法および形成条件
等は前述したプラズマ重合法のそれと基本的に、はぼ同
一である。

ただし、プラズマ処理は原則として、無機ガスを処理ガ
スとして用い、他方、前述したプラズマ重合法によるプ
ラズマ重合膜の形成には原則として、有機ガス（場合に
よっては無機ガスを混入させてもよい）を原料ガスとし
て用いる。

本発明においてプラズマ処理ガスとしては、特に制限は
ない。

さらに、プラズマ処理電源の周波数については、特に制
限はなく、直流、交流、マイクロ波等いずれであっても
よい。

このように、より好ましい態様としてプラズマ処理され
た基板上には、前述のプラズマ重合膜が形成される。

く実験例および実施例〉以下、本発明を具体的実験例および実施例を挙げて本発
明の詳細な説明する。

［実験例１］第３図に示される装置を用いて、３０μｍ厚のＰＥＴ製
のシートの表面に、下記表１に示されるプラズマ重合膜
を２００人厚に形成し、シートサンプルを得た。　動作
圧力０，０５Ｔｏｒｒ、プラズマ出力２００Ｗ、プラズ
マ周波数１３．５６ＭＨｚとした。　プラズマ重合の原
料ガスおよび流量を表１に示す。

なお、プラズマ重合膜の組成（Ｆ＋ＮおよびＮ／Ｆ）は
Ｓ　Ｉ　Ｍ　Ｓにて測定した。　また、膜厚はエリプソ
メータにて測定した。

このようにして得られたシートの摩擦係数（μ）を測定
した。　また、シートに５０００Ｖの電荷をチャージし
て、帯電量の半減期を測定した。　さらに、２０℃、６
０％ＲＨにて２４時間保存後にも帯電量の半減期の測定
を行なった。

結果を表２に示す。

なお、比較例として、同様の材質、膜厚からなり、プラ
ズマ重合膜を形成しないシートおよび本発明範囲外の組
成のプラズマ重合膜を形成したシートにも同様の実験を
行なった。　結果を表２に併記する。

表　　１６（比較）７（比較）８（比較）９（比較）１０（比較）２Ｆ４３Ｆ６Ｈ４ＣＩＦＩＢｒＦ　ｓ２Ｆ４２Ｈ４Ｊｓ９．５２Ｆ４Ｈ３ＦＮＨ。

ＣＨ，ＮＨ２ＮＦ。

ＨＩＮＨ２Ｈ３ＮＨｚ０．３３０．８９０．５５１．５０．５１０．５３０．０８表　　２シートサンプル　重合膜Ｎｏ、　　　　　Ｎｏ。

半減期　（ｓｅｅ）初期　　保存後６（比較）７（比較）８（比較）９（比較）１０　（比較）１１（比較）０．１７０．１８０．１７０．１９０．２００．１８０．２９０．２４０．２３０．３５０．３９〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００〉６００［実験例２］第３図に示される装置を用いて、ステンレス製の直径４
　ｍ　ｍのボールの表面に、厚さ５００人厚に、前記表
１に示されるプラズマ重合膜を形成し、サンプルを得た
。　プラズマ重合膜に関しては、前記実験例１と同様で
ある。

このようにして作製したボールの摩擦係数μを測定した
。

結果を表３に示す。

なお、比較例として、同様の材質からなり、プラズマ重
合膜を形成しないボール（サンプルＮｏ、ｌｌ）および
ＰＯＭ製のボール（サンプルＮｏ、１２）にも同様の実
験を行なった。

結果を表３に併記する。

なお、摩擦係数μは、０．２５以下であることが望まし
く、これ以上の数値であると円滑な走行は望めない。

表サンプル　　重合膜　　　　　　μ Ｎ　ｏ　、　　　　Ｎ□　。

１　　　　　　　　　　１　　　　　　　　　０．１４
２　　　２　　　０．１５３　　　３　　　０．１２４　　　４　　　０．１６５　　　５　　　０．１７６（比較）　　　６　　　　　　０．１４７（比較”）
　　　７　　　　　　０．２２８（比較）　　　８　　
　　　　０．１８９（比較）　　　９　　　　　　０．
１７ｉｏ（比較）　　　１０　　　　　　０．２６１１
（比較）　　　−０，２７１２（比較）　　　−０，３７［実施例１］下記の部材の表面に実験例１および２と同様のプラズマ
重合膜を形成し、その部材を用いて第１図に示されるビ
デオカセットを作製した。

なお、プラズマ重合膜の膜厚は５００人とした。

リーダートレーラ−テープｌ　２１　（ＰＥＴ製）ガイ
ドボールｌ　５１　（ＰＯＭ製）テープパッド１５２　（ＰＥＴ製）テープガイドｌ　５３　（ＰＯＭ製）ガイドローラー１５４　（ＰＯＭ製）リールセンターボス１３３３　（ＰＯＭ製）記録テープ
１１は、１４μｍ厚のＰＥＴフィルムの上に、Ｃｏ被着
−ｙ、　Ｆ　ｅ　ｔ　Ｏｓを磁性粉とする磁性層を有す
るものである。

なお、一つのビデオカセットにおいて、各部材は、同じ
プラズマ重合膜を形成したものである。

このようして作製したサンプルビデオカセットを用いて
、下記の実験を行なった。

（１）ドロップアウト各サンプルにおける初期と、６０℃、９０％ＲＨ１２０
０パス耐久走行後のドロップアウトを測定した。

試験方法は、全長１２０分のビデオテープの毎分あたり
のドロップアウトの数を測定し、これの平均を算出した
。

結果は、この試験を各サンプルビデオカセットを１０巻
行なったものの平均値である。

結果を表４に示す。

表　　　４Ｎｏ、　　　　　　　Ｎｏ、　　　初　　期ｌ　　　　
　　　　８６（比較）７（比較）８（比較）９（比較）１Ｇ（比較）１１（比較）耐久走行後なお、このような試験においては、１つのサンプルにつ
き１回でもドロップアウト数２０を超える結果が出た場
合、実用に耐えないが、本発明品においては１回たりと
もドロップアウト数２０を超える結果は出なかった。

また本来の使用においては、ドロップアウトキャンセラ
ーが有効に働くので、２０個以下のドロップアウトは目
視には表れない。

［実施例２］下記の部材の表面に実験例１および２と同様のプラズマ
重合膜を形成し、その部材を用いて第２図に示されるオ
ーディオカセットを作製した。　なお、プラズマ重合膜
の膜厚は５００人とした。

リーダーテープ２２１　（ＰＥＴ製１２５μｍ厚）シー
ト２６１　（ＰＥＴ製、３５ｕｍ厚）ガイドビン２４１
　（ＳＵＳ製）ガイドローラー２４３　ｉＰＯＭ製）記録テープ２１は、Ｃ−９０用のＰＥＴフィルムの上に
、Ｃｏ被着−γＦｅ＊０＊を磁性粉とする磁性層を有す
るものである。

なお、一つのオーディオカセットにおいて、各部材ば、
同じプラズマ重合膜を形成したものである。

このようしてイ乍製したサンプルオーディオカセットを
用いて、下記の実験を行なった。

（１）レベルダウン各サンプルの６０℃、９０％ＲＨ１２００バス耐久走行
後のレベルダウンを測定した。

試験条件は、Ｂ＆に社製のレベルレコーダー２３０７に
て、■・０ｋＨｚの信号を用い、録音および再生にフィ
ルターは用いずに、チャートスピードは０．３ｍｍ／ｓ
ｅｃとした・このような条件で、各ナンプルにつきカセ
ット１０巻の耐久走行前後の再生信号をチエツクし、テ
ープ全長で、耐久走行前に対し、３ｄＢ以上の低下が一
つでもあったものは×、一つもなかったものは○で評価
した。

結果を表５に示す。

表　　　５６（比較）７（比較）８（比較）９（比較）１０（比較）以上の結果より、本発明の効果は明らかである。

〈発明の効果〉本発明の媒体用部材は、その表面に所定のプラズマ重合
膜を形成したものである。

従って、本発明の媒体用部材は、非常に高い帯電防止性
を有し、しかも低摩擦、耐摩耗性が高い等の優れた特性
を有する。

また、このような部材を用いた担体は、帯電防止性が高
く、しかも記録・再生媒体の走行・運動が正確、円滑か
つ安定で、しかもドロップアウトが少ない等の優れた特
性を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の媒体用部材を用いたＶＨＳビデオカ
セットの構造を示す分解斜視図である。符号の説明１１・・・記録テープ、１２１・・・リーダートレーラ−テープ、１２３・・・
接着テープ、１３Ｓ・・・供給リール、１３Ｔ・・・巻取りリール、１３１・・・リールフランジ、１３３・・・リールハブ、１３３１・・・ハブ部、１３３３・・・リールセンターボス、１３５・・・テープクランプ、１４１・・・上部カセットハーフ、１４１１・・・リールリーフバネ、１４１２・・・クリアウィンド、１４２・・・下部カセットハーフ、１４５・・・ガードパネル、１４５１・・・ガードバネルバネ、１４７・・・ロックプレート、１４７１・・・ロックプレートバネ、１５１・・・ガイドボール、１５２・・・テープパッド、１５３・・・テープガイド、１５４・・・ガイドローラー１５４１・・・ガイドローラービン、１６１・・・ブレーキレバー１６１１・・・ブレーキバネ、１６２・・・レリーズレバ− 第２図は、本発明の媒体用部材を用いたオーディオカセ
ットの構造を示す分解斜視図である。符号の説明２１・・・記録テープ、２２１・・・リーダーテープ、２３１・・・ハブ部、２３３・・・クランプ。２４１・・・ガイドビン、２４３・・・ガイドローラー２４３１・・・ガイドローラービン、２４５・・・ヘッドパッド、２５１・・・ハーフサイドＡ、２５３・・・ハーフサイドＢ、２５５・・・シールド板、２５７・・・タッピングネジ、２６１・・・シート第３図は直流、交流および周波数可変型電源を使用した
プラズマ処理装置の概略図である。符号の説明５３・・・混合器、５４・・・直流、交流および周波数可変型電源、５７・
・・液体窒素トラップ、５８・・・油回転ポンプ、５１１．５１２・・・処理ガス源、

Claims

【特許請求の範囲】

（１）テープ状ないしディスク状の媒体を走行または回
転可能に収納する収納ケースを構成する部材またはこの
収納ケース内に配置される部材であって、その表面に、
Ｃ、ＦおよびＮを含み、ＦおよびＮの含有量の合計が５
〜４０ａｔ％、Ｎ／Ｆの原子比が０．２〜５であるプラズマ重
合膜を形成したことを特徴とする媒体用部材。
（２）プラズマ重合膜が、さらにＨを含む請求項１に記
載の媒体用部材。