JPS62157324A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体およびその製造方法

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JPS62157324A
JPS62157324A JP60299027A JP29902785A JPS62157324A JP S62157324 A JPS62157324 A JP S62157324A JP 60299027 A JP60299027 A JP 60299027A JP 29902785 A JP29902785 A JP 29902785A JP S62157324 A JPS62157324 A JP S62157324A
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JP
Japan
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atoms
protective film
film layer
magnetic
recording medium
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JP60299027A
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English (en)
Inventor
Takashi Kubota
隆 久保田
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は磁気記録媒体およびその製造方法に関し、さ
らに詳しくは摩擦係数が小さくて走行安定性および耐久
性に優れた磁気記録媒体およびその製造方法に関する。
〔従来の技術〕
一般に、金属もしくはそれらの合金などを真空蒸着、ス
パッタリング等によって基体フィルム上に被着するか、
あるいは磁性粉末を結合剤成分とともに基体フィルム上
に被着してつくられる磁気記録媒体は、記録再生時に磁
気ヘッド等と激しく摺接するため磁性層が摩耗されやす
く、特に真空蒸着等によって形成される強磁性金属薄膜
層は、高密度記録に適した特性を有する反面、磁気ヘッ
ドとの摩擦係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、耐久
性に劣るという難点がある。
このため、従来から磁性層上に種々の保護膜層を設ける
などして、耐久性を改善することが行われており、たと
えば、ケイ素系有機化合物のプラズマ重合保護膜層を磁
性層上に設けたり(特開昭57−82229号、特開昭
58−60427号)、フッ素系有機化合物のプラズマ
重合保護膜層を磁性層上に設ける(特開昭58−888
28号、特開昭58−102330号)ことが提案され
ている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、ケイ素系有機化合物のプラズマ重合保護膜層
を磁性層上に設けたものは、耐摩耗性に優れるものの摩
擦係数が大きくて走行性に劣り、フッ素系有機化合物の
プラズマ重合保護膜層を磁性層上に設けたものは、摩擦
係数が小さくて走行性に優れるものの耐摩耗性にに劣る
という難点があり、未だ、耐久性と走行性がともに良好
なものは得られていない。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明は、かかる現状に鑑み鋭意研究を重ねた結果な
されたもので、磁性層上に、少なくとも炭素原子と、水
素原子と、フッ素原子と、金属原子とを含む有機高分子
化合物からなる保護膜層を設け、金属原子の触媒的な作
用によりプラズマ重合反応を促進させ、有機高分子化合
物からなる保護膜層の強度を強化して耐久性を充分に改
善するとともに、無極性のフッ素原子による潤滑作用に
より摩擦係数を充分に低減して、走行性を充分に改善し
たものである。
この発明において、磁性層上に被着形成される有機高分
子化合物からなる保護膜層は、処理槽内で、有機金属化
合物のモノマーガスとフッ素系有機化合物のモノマーガ
スとの混合ガスを、高周波あるいはマイクロ波等により
プラズマ重合させて磁性層の表面に被着することによっ
て形成される。この際、プラズマ重合保護膜層中に含ま
れる金属は触媒的な作用をしてプラズマ重合を促進する
゛ ため、極めて架橋密度の高いプラズマ重合保護膜層
が形成され、耐摩耗性が充分に向上される。またプラズ
マ重合保護膜層中に含まれるフッ素は無極性で優れた潤
滑作用を有するため、プラズマ重合保護膜層の摩擦係数
が充分に低減され、走行性が充分に向上される。
このようなプラズマ重合に使用される有機金属化合物の
七ツマーガスとしては、モノマー分子中の金属原子数比
が比較的大きいものが好ましく使用され、たとえば、フ
ェロセン、チタノセン、クロモセン、コバルトセン等の
メタロセン、ペンタカルボニル鉄、テトラカルボニルニ
ッケル、オクタカルボニルジコバルト、ヘキサカルボニ
ルクロミウム、ブタジェン鉄トリカルボニル等の金属カ
ルボニル化合物、トリメチルアルミニウム、ジメチル亜
鉛、テトラメチルスズ、テトラメチルゲルマニウム、ジ
エチル水銀等の金属アルキル化合物、ペンフェトキシタ
ンタル、チタニウムテトライソプロポキサイドなどが好
適なものとして使用される。またこれらのモノマーガス
と混合して使用されるフッ素系有機化合物のモノマーガ
スとしては、たとえば、CF4 、C2F4 、C3F
6などの七ツマーガスが好適なものとして使用される。
これらの有機金属化合物の七ツマーガスとフッ素糸有機
化合物のモノマーガスとの混合ガスは、高周波あるいは
マイクロ波等によりラジカルが生成され、この生成され
たラジカルが反応し重合して被膜となる。
プラズマ重合を行う場合のガス圧および高周波やマイク
ロ波の電力は、ガス圧が高くなるほど被着速度が速くな
る反面モノマーガスが比較的架橋密度低くプラズマ重合
されて硬い保護膜層が得られず、またガス圧を低くして
高周波電力を高くすると被着速度が遅くなる反面架橋密
度が比較的高くて硬い保護膜層が得られる。ところが、
ガス圧を低くして高周波電力を高くしすぎると、モノマ
ーガスが粉末化してしまい、プラズマ重合保護膜層が形
成されなくなったり、金属が含有されにくくなるため、
ガス圧を0.003〜5トールの範囲内とし、平方セン
チあたりの高周波電力を0.03〜3W / cnlの
範囲内とするのが好ましく、ガス圧を、0.005〜3
トールとし、平方センナあたりの高周波電力を0.05
〜2 W / cnTの範囲内とするのがより好ましい
。このようにしてプラズマ重合によって被着形成される
金属原子およびフッ素原子を含む有機化合物のプラズマ
重合保護膜層は、プラズマ重合保護膜層中に含ませた金
属が触媒的な作用をしてプラズマ重合を促進するため、
極めて架橋密度の高いプラズマ重合保護膜層が形成され
、またプラズマ重合保護膜層中に含まれるフッ素は無極
性で優れた潤滑作用を有するため、プラズマ重合保護膜
層の摩擦係数が充分に低減される。従って、この種の金
属原子およびフッ素原子を含む有機化合物のプラズマ重
合保護膜層が、磁性層上に形成されると耐久性および走
行性が一段と向上される。このような金属原子およびフ
ッ素原子を含む有機化合物のプラズマ重合保護膜層の膜
厚は、20〜1000人の範囲内であることが好ましく
、膜厚が薄すぎるとこの保護膜層による耐久性および走
行性の効果が充分に発揮されず、厚すぎるとスペーシン
グロスが大きくなりすぎて電磁変換特性に悪影響を及ぼ
す。
このようにして形成された有機高分子化合物からなる保
護膜層における金属原子は、保護膜層を構成する炭素原
子と水素原子とフッ素原子と金属原子の合計量に対して
10〜50重量%の割合で含有されていることが好まし
く、10M量%より少なくては充分に架橋密度の高いプ
ラズマ重合保護膜層が形成されず、耐摩耗性が充分に向
上されない。また50重量%より多くなるとフッ素の潤
滑効果が低減されて走行性が充分に改善されない。また
、このような有機高分子化合物からなる保護膜層中にお
けるフッ素原子は、炭素原子と水素原子とフッ素原子と
金属原子の合計量に対して30〜60重量%の割合で含
有されていることが好ましく、30重量%より少なくて
は充分に潤滑効果を発揮することができず、走行安定性
が充分に向上されない。また60重量%より多くなると
金属の触媒的な作用が効果的に発揮されず、耐摩耗性が
充分に向上されない。さらに、このような有機高分子化
合物からなる保護膜層中における炭素原子は、炭素原子
と水素原子とフッ素原子と金属原子の合計量に対して1
0〜40重量%であることが好ましく、水素原子は、炭
素原子と水素原子とフッ素原子と金属原子の合計量に対
して0.5〜5重量%であることが好ましい。なお、上
記有機高分子化合物からなる保護膜層中には、酸素原子
を含有させることができる。
基体上に形成される磁性層は、T−Fe2o3粉末、F
e3O4粉末、Co含含有−Fe2o3粉末、Co含有
Fe3O4粉末、Fe粉末、C。
粉末、Fe−Ni粉末などの磁性粉末を結合剤成分およ
び有機溶剤等とともに基体上に塗布、乾燥するか、ある
いは、Co、 Fe、 Ni、Co−Ni合金、Co−
Cr合金、Co−Fe合金、C。
−P合金、Co−N1−P合金などの強磁性材を、真空
蒸着、イオンブレーティング、スパッタリング、メッキ
等の手段によって基体上に被着するなどの方法で形成さ
れる。
また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体とす
る磁気テープ、合成樹脂フィルム、アルミニウム板およ
びガラス板等からなる円盤やドラムを基体とする磁気デ
ィスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の
種々の形態を包含する。
〔実施例〕
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例1 厚さ10μmのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に
装填し、5X10−5)−ルの真空下でコバルトを加熱
蒸発させてポリエステルフィルム上に厚さ1000人の
コバルトからなる強磁性金属薄膜層を形成した。次いで
、第1図に示すプラズマ処理装置を使用し、強磁性金属
薄膜層を形成したポリエステルフィルム1を、処理槽2
内の供給ロール3から円筒状キャン4の周側面に沿って
摺接移動させ、巻き取りロール5に巻き取るようにセッ
トした。次いで、処理槽2に取りつけたガス導入管6か
らペンタカルボニル鉄の七ツマーガスを20secmの
流量で導入し、かつ02F4のモノマーガスを30se
cmの流量で導入して、電極7に13.56MHzの高
周波電力を250Wで印加してプラズマ重合を行い、厚
さ200人のプラズマ重合保護膜層を形成した。プラズ
マ重合保護膜層中における鉄の含有率は30重量%で、
フッ素の含有率は40重量%であった。しかる後、所定
の巾に裁断して第2図に示すようなポリエステルフィル
ム1上に強磁性金属薄膜層10およびプラズマ重合保護
膜層11を順次に積層形成した磁気テープAをつくった
。なお、第1図中8は処理槽2内を減圧するための排気
系であり、9は電極7に高周波を印加するための高周波
電源である。
実施例2 実施例1におけるプラズマ重合保護膜層の形成において
、ペンタカルボニル鉄の七ツマーガスに代えて、クロモ
センのモノマーガスを同量導入した以外は実施例1と同
様にして厚さ200人のプラズマ重合保護膜層を形成し
、磁気テープAをつくった。プラズマ重合保護膜層にお
けるクロムの含有率は15重量%で、フッ素の含有率は
45M量%であった。
実施例3 実施例1におけるプラズマ重合保護膜層の形成において
、02F4のモノマーガスに代えて、03FGのモノマ
ーガスを同量導入した以外は実施例1と同様にして厚さ
200人のプラズマ重合保護膜層を形成し、磁気テープ
Aをつくった。プラズマ重合保護膜層における鉄の含有
率は23fi量%で、フッ素の含有率は45重量%であ
った。
実施例4 α−Fe磁性粉末       600重量部エスレッ
クCN (積木化学工業  80〃社製、塩化ビニル−
酢酸ビニ ル共重合体) パンデソクスT−5250(大  30〃日本インキ化
学工業社製、ウ レタンエラストマー) コロネートし (日本ボリウレタ  10〃ン工業社製
、三官能性低分子 量イソシアネート化合物) メチルイソブチルケトン    400〃トルエン  
         400〃この組成物をボールミル中
で72時間混合分散して磁性塗料を調製し、この磁性塗
料を厚さ10μmのポリエステルフィルム上に乾燥圧が
4μmとなるように塗布、乾燥して磁性層を形成した。
次いで、これに実施例1と同様にしてプラズマ重合保護
膜層を形成し、磁気テープをつくった。
比較例1 実施例1におけるプラズマ重合保護膜層の形成において
、ペンタカルボニル鉄の七ツマーガスの導入を省いた以
外は、実施例1と同様にして厚さが150人で、フッ素
の含有率が65重量%のプラズマ重合保護膜層を形成し
、磁気テープをつくった。
比較例2 実施例1におけるプラズマ重合保護膜層の形成において
、c2F4のモノマーガスの導入を省いた以外は、実施
例1と同様にして厚さが170人で、鉄の含有率が25
重量%のプラズマ重合保護膜層を形成し、磁気テープを
つくった。
比較例3 実施例1において、プラズマ重合保護膜層の形成を省い
た以外は実施例1と同様にして磁気テープをつくった。
各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
摩擦係数を測定し、耐久性を試験した。
摩擦係数は摺動試験機を用いて100回摺動後のF;f
擦係数を測定した。また耐久性試験はスチル寿命試験機
を用いてスチル寿命を測定して行った。
下表はその結果である。
〔発明の効果〕
上表から明らかなように、この発明で得られた磁気テー
プ(実施例工ないし4)は、いずれも比較例1ないし3
で得られた磁気テープに比し、摩擦係数が小さくて、ス
チル寿命が長く、このことからこの発明によって得られ
る磁気記録媒体は、一段と走行性および耐久性に優れて
いることがわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図はプラズマ重合保護膜層を形成する際に使用する
プラズマ処理装置の1例を示す概略断面図、第2図はこ
の発明の製造方法によって得られた磁気テープの部分拡
大断面図である。 1・・・ポリエステルフィルム(基体)、10・・・強
磁性金属薄膜N(磁性層)、11・・・プラズマ重合保
護膜層(有機高分子化合物からなる保護膜層)、A・・
・磁気テープ(磁気記録媒体)特許出願人  日立マク
セル株式会社 第1図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、基体上に磁性層を形成し、この磁性層上に少なくと
    も炭素原子と、水素原子と、フッ素原子と、金属原子と
    を含む有機高分子化合物からなる保護膜層を設けたこと
    を特徴とする磁気記録媒体2、有機高分子化合物からな
    る保護膜層中に、炭素原子と水素原子とフッ素原子と金
    属原子との合計量に対して10〜50重量%の金属原子
    を含有させた特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体 3、有機高分子化合物からなる保護膜層中に、炭素原子
    と水素原子とフッ素原子と金属原子との合計量に対して
    30〜60重量%のフッ素原子を含有させた特許請求の
    範囲第1項および第2項記載の磁気記録媒体 4、有機高分子化合物からなる保護膜層の膜厚が20〜
    1000Åである特許請求の範囲第1項ないし第3項記
    載の磁気記録媒体 5、基体上に磁性層を形成し、次いで、この磁性層を、
    有機金属化合物のモノマーガスとフッ素系有機化合物の
    モノマーガスの混合モノマーガス中にさらしてプラズマ
    重合を行い、磁性層上に少なくとも炭素原子と、水素原
    子と、フッ素原子と、金属原子とを含む有機高分子化合
    物からなる保護膜層を形成することを特徴とする磁気記
    録媒体の製造方法 6、有機高分子化合物からなる保護膜層中に、炭素原子
    と水素原子とフッ素原子と金属原子との合計量に対して
    10〜50重量%の金属原子を含有させた特許請求の範
    囲第5項記載の磁気記録媒体の製造方法 7、有機高分子化合物からなる保護膜層中に、炭素原子
    と水素原子とフッ素原子と金属原子との合計量に対して
    30〜60重量%のフッ素原子を含有させた特許請求の
    範囲第5項および第6項記載の磁気記録媒体の製造方法 8、有機高分子化合物からなる保護膜層の膜厚を20〜
    1000Åにした特許請求の範囲第5項ないし第7項記
    載の磁気記録媒体の製造方法
JP60299027A 1985-12-28 1985-12-28 磁気記録媒体およびその製造方法 Pending JPS62157324A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0224884A (ja) * 1988-07-14 1990-01-26 Tdk Corp 媒体用部材

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0224884A (ja) * 1988-07-14 1990-01-26 Tdk Corp 媒体用部材

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