JPH0224616A - 焦点検出装置 - Google Patents

焦点検出装置

Info

Publication number
JPH0224616A
JPH0224616A JP17555788A JP17555788A JPH0224616A JP H0224616 A JPH0224616 A JP H0224616A JP 17555788 A JP17555788 A JP 17555788A JP 17555788 A JP17555788 A JP 17555788A JP H0224616 A JPH0224616 A JP H0224616A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
focus detection
lens
light
optical
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17555788A
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiko Nagano
明彦 長野
Kazuki Konishi
一樹 小西
Hiroki Someya
広己 染矢
Tokuichi Tsunekawa
恒川 十九一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP17555788A priority Critical patent/JPH0224616A/ja
Publication of JPH0224616A publication Critical patent/JPH0224616A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は写真用カメラやビデオカメラ等に好適な焦点検
出装置に関し、特に対物レンズの瞳を複数の領域に分割
し、各領域を通過する光束を用いて複数の被写体像に関
する光量分布を形成し、これらTj、数の光量分布の相
対的な位置関係を求めることにより対物レンズの撮影画
面内の複数領域での合焦状態を検出する際に好適な焦点
検出装置に関するものである。
(従来の技術) 従来より対物レンズを通過した光束を利用した受光型の
焦点検出方式に所謂像ずれ方式と呼ばれる方式がある。
この像ずれ方式は例えば第5図に示すように対物レンズ
5による被写体像の形成される予定結像面近傍に視野マ
スク1とフィールドレンズ2を配置し、フィールドレン
ズ2の後方に絞り6と2つの2次レンズ3a、3bとを
有する2次光学系3を配置し、更にその後方に複数の受
光素子列(ラインセンサー)4a、4bを有する受光手
段4とを配置した構成を採っている。
そしてフィールドレンズ2と2次光学系3とから対物レ
ンズ5の瞳の異った2つの領域を通過した光束を用いて
2つの被写体像に関する光量分布を各々受光素子列面上
に形成している。このときの受光素子列面上に形成され
る2つの光量分布の相対的な位置関係、即ち光量分布の
ずれ量は対物レンズの合焦状態により異ってくる。例え
ば受光素子列上の素子の並び方向に対物レンズの予定結
像面からの焦点外れ量に応じた横ずれ量となって現われ
てくる。視野マスク1の開口部は撮影画面上の焦点検出
領域に対応し、焦点検出領域外からの光束か受光手段4
に入射するのを防止している。
第5図(A)は対物レンズ5が合焦状態にある場合で、
点光源である被写体Pが受光素子列4a、4b面上の略
中夫に形成されている。第6図(A)はこのときの受光
素子列4a、4bからの出力信号を示し、点光源Pの受
光素子列4a。
4b面上における間隔はIoとなっている。
第5図(B)は対物レンズ5が被写体側に繰り出された
前ビン状態であり、このとき受光素子列4a、4b面上
に形成される点光源Pの間隔は第6図(B)に示す如く
同図(A)に比べてずれて狭くなってくる。
第5図(C)は対物レンズ5がフィルム面側に繰り込ま
れた後ビン状態であり、このとき受光素子列4a、4b
面上に形成される点光源Pの間隔はずれて第6図(C)
に示す如く同図(A)に比べて広くなってくる。
般にはこのときの2つの受光素子列上の光量分布の相対
的な横ずれ量δと対物レンズの焦点外れ倣dとは一定の
関数の関係にある。
対物レンズの合焦状態、即ち焦点外れ量はこのときの2
つの光量分布の相対的な位置関係、即ち光量分布の横ず
れ量を受光手段により検出することにより行っている。
しかしながら第6図に示す焦点検出装置において所定の
開口部を有する視野マスクや1対の受光素4列を複数有
する受光手段等を用いて撮影画面内の複数領域の焦点検
出を行なう場合、対象とする焦点検出領域以外からの光
束が所定の焦点検出領域に対応する受光素子列に入射し
てくる場合があり、良好なる焦点検出ができないという
問題点があった。
第7図は複数領域の焦点検出を行なう場合の焦点検出装
置の要部斜視図である。同図において視野マスク1は開
口部1a、Ib、Ic、ld、Ieより成り、2次光学
系3は2次レンズ31,32,33.34より成り、受
光手段4は受光素子列(ラインセンサ) 40.4+。
42、・・・49より成り、絞り6は開口部61.62
,63.64より成っている。尚、同図においてフィー
ルドレンズ2は省略している。
視野マスク1は撮影レンズの焦点面近傍に配置されるた
め、視野マスク1の開口部は焦点検出領域と略一致して
いる。視野マスク1の開口部の2次光学系3により形成
される共役像の位置に受光手段4が配置されている。同
図において視野マスク1の開口部1a〜1eと2次光学
系3の2次レンズ31〜34、そして受光手段4の受光
素子列40〜49との対応関係は表−1に如くになって
いる。
表−1 般に同図に示す構成において焦点検出領域の大きさある
いは2次レンズ31,32,33.34の不図示の対物
レンズの光軸からの平行偏心を等を任意に設定すると視
野マスク1の開口部を透過した光束の一部が前記開口部
と対応関係にない2次レンズを透過後、前記開口部と対
応関係にないラインセンサに入射する場合がある(例え
ば視野マスク1の開口部1bを透過した光束の一部が絞
り開口部61.2次レンズ31を通過後、ラインセンサ
42.43に入射する場合等)。ラインセンサに所定の
焦点検出領域外の光束が入射すると対をなすラインセン
サ上の像の相関をとることか出来なくなり、良好なる焦
点検出ができないという問題点があった。
これに対して特開昭59−195607号公報では視野
マスクと2次光学系の近傍に各々偏光フィルターを配置
して、対象外の光束を遮光した焦点検出装置か提案され
ている。
しかしながら同公報の焦点検出装置は、例えば−眼レフ
カメラに適用するとピント板近傍に配置1/た偏光フィ
ルターによりファインダー観察像の光学性能が低下して
くるという問題点があった。
(発明が解決しようとする問題点) 本発明は像ずれ方式を利用して撮影画面内の複数領域の
焦点検出を行う際、偏光フィルター等から成る第1.第
2光学フィルターを焦点検出系の適切なる光路中に配置
することにより、ファインダー観察像の品位を低下させ
ることなく対象とする焦点検出領域以外からの光束が対
象とする受光素子列に入射するのを効果的に防止し、高
い焦点検出精度を有した一眼レフカメラ等に好適な焦点
検出装置の提供を目的とする。
(問題点を解決するための手段) 対物レンズの予定結像面近傍に所定の開口部を有する視
野マスクを、その後方に1対の2次レンズを複数個有す
る2次光学系を配置し、該対物レンズの瞳の異なる領域
を通過した光束を用いて物体像に関する複数の光量分布
を1対の受光素子列を複数個有する受光手段面上に形成
し、該複数の光量分布の相対的な位置関係を該受光手段
により求め、該受光手段からの出力信号を用いて演算手
段により該対物レンズの像面上の複数領域の焦点検出を
行う際、該2次光学系の近傍には第1光学フィルターが
該受光手段面の前方には第2光学フィルターか各々設け
られており、該第1.第2光学フィルターは各々該1対
の2次レンズと該1対の2次レンズと対応する1対の受
光素子列とから成る1組の光学要素に入射する光に対し
て同一の光学特性を有する領域Aと他の組の光学要素に
入射する光に対しては領域Aとは異った光学特性を有す
る領域Bの少なくとも2つの領域が設けられていること
である。
(実施例) 第1図は本発明を一眼レフカメラに適用したときの第1
実施例の要部概略図、第2図は第1図の焦点検出系のみ
を抽出して展開したときの要部斜視図である。第3図は
第1図の要部を展開したブロック図である。
第1.第2図において5は対物レンズ(「撮影レンズ」
ともいう。)、5aは対物レンズ5の予定結像面、3は
2次光学系であり、対物レンズ5の光軸に対して平行偏
心して2次元的に配置した1対の2次レンズ31と32
.33と34の2つを有している。4は受光手段であり
1対の受光素子列を複数個有している。
7.8は各々第1.第2光学フィルターであり、例えば
偏光フィルターから成っている。第1光学フィルター7
は偏光フィルターより成る4つの領域71〜74を有し
、第2光学フィルター8は偏光フィルターより成る3つ
の領域81〜83を有している。
9は視野マスクでありファインダー系の視野を制限して
いる。12はピント板でありフレネルレンズを有し、か
つ焦点検出領域に相当する非拡散(素通し)領域12a
〜12gを有している。
13はコンデンサーレンズ、14はペンタダハプリズム
(第2図において展開したブロックで示している。)、
15は接眼レンズ、16は測光ユニットであり結像レン
ズと受光センサーを有している。
17はビームスプリッタ、18は演算処理回路、19は
駆動装置であり撮影レンズ5を駆動させている。100
は保持部材であり焦点検出系の一部を保持している。1
10は回転部材であり保持部材100で保持されている
各要素を回転させている。
第1図において撮影レンズ5を透過した被写体光は跳ね
上げミラー10によりファインダー光学系に導かれる。
ピント板12近傍に結像した被写体光の一部は視野マス
ク9、コンデンサーレンズ13、ペンタダハプリズム1
4、ビームスプリッタ17、接眼レンズ15を介して観
察者の眼に到達する。
方、ピント板12の非拡散(素通し)領域を透過した焦
点検出光束は視野マスク9、コンデンサーレンズ13、
ペンタダハプリズム14を透過後、ビームスプリッタ1
丁によって反射され、絞りも兼ねた第1光学フィルター
7.2次光学系3、第2光学フィルター8を介して受光
手段4に投影される。受光手段4からの出力信号により
演算処理回路18において受光素子列に対応した領域の
焦点検出が行なわれ、その情報に基づいて撮影レンズ5
の駆動装置19により撮影レンズ5の繰り出しく繰り込
み)が行なわれる。
ここで、コンデンサーレンズ13は焦点検出光学系のフ
ィールドレンズを兼ねている。また接眼レンズ15から
の逆入射光が受光手段4に入射するのを防止するために
ビームスプリッタ17の図中上面と偏光フィルター7と
の間は空間が設けられている。
本実施例においてはピント板12は撮影レンズ5の焦点
面近傍に配置され、拡散面の一部は拡散性をもたない非
拡散の素通し領域12a〜12gが形成されている。前
記非拡散領域12a〜12gは撮影画面内の焦点検出領
域と略一致している。視野マスク9は撮影レンズ5によ
る撮影画面を表示するものである。コンデンサーレンズ
13はピント板12の一方の面に形成されたフレネルレ
ンズとともに、撮影レンズ5の射出瞳とファインダーの
観察者の瞳とが共役関係を満足するように設定されてい
る。又同時に本発明に係る焦点検出装置のフィールドレ
ンズの役割も兼ねている。即ち、焦点検出装置の2次光
学系3の入射瞳をファインダー観察者の瞳と略等価の位
置に設定することによりコンデンサーレンズ13とフレ
ネルレンズとが撮影レンズ5の射出瞳と2次光学系3の
入射瞳との兵役関係を満足させている。
2次光学系3は撮影レンズ5の光軸(X軸)から等距離
z、平行偏心した2組のレンズで構成され、X軸に関し
て対称である。また、2次光学系3はピント板12と受
光手段4とか共役関係を満足するように設定されている
次に第3図に示すように撮影レンズ5の光軸に関して対
称な組をなす2次レンズ33.34と、それと対応関係
にあるラインセンサ40,41を例にとり説明する。
所定の焦点検出領域12aの2次レンズ33による共役
像はラインセンサ40に投影される。同様に焦点検出領
域12aの2次レンズ34による共役像はラインセンサ
41に投影される。ところが、2次レンズ33.34の
撮影レンズ5の光軸からの平行偏心fa Z rを任意
に設定するとラインセンサ40の2次レンズ34による
共役像が視野マスク9の開口内に発生する場合がある(
ラインセンサ41においても同様)。
本実施例においてはピント板12と2次光学系3の瞳ま
での距離をX。、2次光学系3の瞳と受光手段4までの
距離をX1%視野マスク9の2軸方向の開口の大きさを
2zoとして X+ /(xo +x、)<Z+ /za  −(+)
を満足させるように焦点検出系を設定している。
これより2次レンズ34によるラインセンサ40の共役
像が視野マスク9の開口外に発生するようにしている(
ラインセンサ41においても同様)。
即ち、焦点検出系を前記(1)式を満足させることによ
りファインダー光学系の視野マスク9を焦点検出系の視
野マスクの一部に兼用している。
また他の2次レンズ対31.32についても同様である
又、本実施例ではビームスプリッタ17と2次光学系3
との間には2次光学系3の入射瞳を制限する絞りを兼ね
た偏光フィルターより成る第1光学フィルター7を配置
している。第1光学フィルター7の分割した領域71.
72及び73.74は撮影レンズ5の光軸に対して対称
な形状をなしており、また対応する分割領域(例えば領
域71と72)の偏光軸は平行になフている。尚、分割
領域71〜74以外は光不透過領域となっている。又受
光手段4近傍に偏光フィルターより成る3つの領域81
,82.83を有する第2光学フィルター8を配置して
いる。
表−2にピント板12の非拡散領域12a〜12gと各
光学部材との対応関係及び各領域の偏光フィルターの偏
光軸との関係を示す。
表−2 表−2に示すように組をなす2次レンズ31゜る。
32に対応した領域71.72の偏光フィルターの偏光
特性は同一で、その偏光軸はZ軸と平行となっている。
また2次レンズ31.32と対応関係にあるラインセン
サ42,43.44,45.46.47を包括する第2
光学フィルター8の領域81.83の偏光フィルターの
偏光軸は領域71.72の偏光フィルターの偏光方向と
同一でZ軸と平行になっている。
一方、他の組をなす2次レンズ33.34に対応した領
域73.74の偏光フィルターの偏光特性は同一で、そ
の偏光軸はy軸と平行となっている。また2次レンズ3
3.34と対応関係にあるラインセンサ40,41を包
括する第2光学フィルター8の領域82の偏光フィルタ
ーの偏光軸は第1光学フィルター7の領域73.74の
偏光フィルターの偏光軸と同一でy軸と平行となってい
る。
次にピント板12の非拡散領域12aに対応した領域の
焦点検出を行なう場合を例にとり説明すピント板12の
非拡散領域12aを透過した焦点検出光束はフィールド
レンズ13、ペンタダハプリズム14、ビームスプリッ
タ17を介して絞りを兼ねた第1光学フィルター7に到
達する。焦点検出光束のうち第1光学フィルター7の領
域71.72を透過できる偏光軸がZIP4Iと平行な
光束は2次レンズ31.32により分割され、m2光学
フィルター8の領域81.83に達する。このとき焦点
検出光束と第2光学フィルター8の領域81.83の偏
光フィルターの偏光軸は平行であるため焦点検出光束は
領域81.83を透過しラインセンサ46,47上に投
影される。さらに各ラインセンサからの出力信号をもと
に演算処理回路18により焦点検出が行なわれる。
ピント板12の非拡散領域12aを透過した焦点検出光
束のうち第1光学フィルター7の領域73.74を透過
できる偏光軸がy軸と平行な光束は2次レンズ33.3
4により分割され第2光学フィルター8の領域82に達
する。このとき焦点検出光束と第2光学フィルター8の
領域82の偏光フィルターの偏光軸は平行であるため焦
点検出光束は第2光学フィルター8の領域82を透過し
ラインセンサ40,4i上に投影される。さらに各ライ
ンセンサからの出力信号をもとに演算処理回路18によ
り焦点検出が行なわれる。
次にピント板12の非拡散領域12bに対応した領域の
焦点検出について説明する。
ピント板12の非拡散領域12bを透過した焦点検出光
束はフィールドレンズ13、ペンタダハプリズム14、
ビームスプリッタ17を介して絞りを兼ねた第1光学フ
ィルター7に到達する。焦点検出光束のうち第1光学フ
ィルター7の分割領域71.72を透過できる偏光軸が
Z軸と平行な光束は2次レンズ31.32により分割さ
れ、第2光学フィルター8の領域81.83に達する。
このとき焦点検出光束と第2光学フィルター8の領域8
1.83の偏光フィルターの偏光軸は平行であるため焦
点検出光束は第2光学フィルター8の領域81.83を
透過しラインセンサ44.45上に投影される。さらに
各ラインセンサからの出力信号をもとに演算処理回路1
8により焦点検出が行なわれる。
一方、ピント板12の非拡散領域12bの2次レンズ3
4による共役像がラインセンサ46゜47上に発生する
場合が生じる。
しかしながら本実施例において2次レンズ34を透過す
る光束は第1光学フィルター7の領域74を透過した光
束であるためその偏光軸はy軸と平行である。またライ
ンセンサ46,47に対応した第2光学フィルター8の
領域81.83の偏光フィルターの偏光軸はZ軸と平行
であるため、前記光束は第2光学フィルター8の領域8
1.83において遮光されラインセンサ46゜47には
入射しない。
ピント板12の非拡散領域12cにおいても略同様であ
る。
次にピント板12の非拡散領域12dに対応した領域の
焦点検出について説明する。
ピント板12の非拡散領域12dの焦点検出が行なわれ
る場合、焦点検出ユニットであるところの第1光学フィ
ルター7.2次光学系3、第2光学フィルター8、受光
手段4を保持する保持部材100はX軸を回転軸として
X軸止方向にむかって時計回りを一方向として+450
回転す【1.この時、ピント板12の非拡散領域12d
の2次レンズ31.32による共役像はラインセンサ4
4.45と一致する。
ピント板12の非拡散領域12dを透過した焦点検出光
束はフィールドレンズ13、ペンタダハプリズム14、
ビームスプリッタ17を介して絞りを兼ねた第1光学フ
ィルター7に到達する。焦点検出光束のうち第1光学フ
ィルター7の領域71.72を透過できる偏光軸が2軸
と平行な光束は2次レンズ31.32により分割され、
第2光学フィルター8の領域81.83に達する。この
時、焦点検出光束と第2光学フィルター8の領域81.
83の偏光フィルターの偏光軸は平行であるため焦点検
出光束は第2光学フィルター8の領域81.83を透過
しラインセンサ44,45上に投影される。さらに各ラ
インセンサからの出力信号をもとに演算処理回路18に
より焦点検出が行なわれる。
ところがピント板12の非拡散領域12dの2次レンズ
34による共役像がラインセンサ46゜47上に発生す
る場合が生じる。
しかしながら本実施例において2次レンズ34を透過す
る光束は第1光学フィルター7の領域74を透過した光
束であるためその偏光軸はy軸と平行である。またライ
ンセンサ46,47に対応した第2光学フィルター8の
領域81.83の偏光フィルターの偏光軸はZ軸と平行
であるため前記光束は第2光学フィルター8の領域81
゜83において遮光されラインセンサ46,47に入射
しない。
ピント板12の非拡散領域12fにおいても略同様であ
る。
また、ピント板12の非拡散領域12e及び12gの焦
点検出が行なわれる場合、焦点検出ユニットの保持部材
100はX軸を回転軸としてX軸止方向にむかって時計
回りを一方向として一45°回転する。この時ピント板
12の非拡散領域12e及び12gの2次レンズ31.
32による共役像はラインセンサ44,45及び42゜
43と一致する。焦点検出方法については非拡散領域1
2d、12fの場合と同様である。
第4図は第2図に示した焦点検出ユニットの回転機構の
一実施例の説明図である、iooは保持部材であり前述
の各要素から成る焦点検出ユニットを保持している。1
01はラック、110は回転部材、111はモータ、1
12はウオームギアである。回転部材110はモータ1
11と公知のウオームギアで構成され回転部材110の
回転軸は焦点検出ユニットの保持部材100の回転軸と
直交している。焦点検出ユニットの保持部材100の外
周の一部には公知のラック101が設けられており、前
記ウオームギア112とラック101はかみあわされて
いる。
モータ111の軸が所定量回転することにより、その回
転量は、ウオームギア112、ラック101を介して焦
点検出ユニットの保持部材100に伝達される。
焦点検出ユニットの保持部材100は演算処置回路18
からの信号に基づいて回転部材110によりX軸を回転
軸として回転可能となっている。
尚、本実施例において第1.第2光学フィルターとして
偏光軸の異なる偏光フィルターを用いたが透過波長域が
異なる分光フィルターを用いても良い。
(発明の効果) 本発明によれば像ずれ方式を利用した焦点検出装置にお
いて撮影画面内の複数の領域で焦点検出を行う際、前述
の構成を有する第1.第2光学フィルターを焦点検出系
の所定の位置に設けることにより、対象とする受光素子
列に入射する光束以外の光束が入射するのを効果的に防
止することができ、高い検出精度を有する焦点検出装置
を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(よ本発明を一眼レフカメラに適用したときの第
1実施例の要部概略図、第2図は第1図の焦点検出系の
みを抽出して展開したときの要部斜視図、第3図は本発
明に係る焦点検出装置のブロック図、第4図は本発明に
係る焦点検出ユニットの回転機構の一実施例の概略図、
第5.第6図は従来の像ずれ方式の焦点検出装置の光学
系の説明図、第7図は複数領域で焦点検出を行う場合の
光学系の概略図である。 図中、1は視野マスク、2はフィールドレンズ、3は2
次光学系、4は受光手段、5は撮影レンズ、6は絞り、
7は第1光学フィルター、8は第2光学フィルター、9
は視野マスク、15は接眼レンズ、17はビームスプリ
ッタ、18は演算処理回路、19は駆動装置、100は
保持部材、110は回転部材である。 第 図 ↑ 特許出願人  キャノン株式会社 代  理  人     高  梨  幸  雄 ″第 図 碑 稟 図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)対物レンズの予定結像面近傍に所定の開口部を有
    する視野マスクを、その後方に1対の2次レンズを複数
    個有する2次光学系を配置し、該対物レンズの瞳の異な
    る領域を通過した光束を用いて物体像に関する複数の光
    量分布を1対の受光素子列を複数個有する受光手段面上
    に形成し、該複数の光量分布の相対的な位置関係を該受
    光手段により求め、該受光手段からの出力信号を用いて
    演算手段により該対物レンズの像面上の複数領域の焦点
    検出を行う際、該2次光学系の近傍には第1光学フィル
    ターが該受光手段面の前方には第2光学フィルターが各
    々設けられており、該第1、第2光学フィルターは各々
    該1対の2次レンズと該1対の2次レンズと対応する1
    対の受光素子列とから成る1組の光学要素に入射する光
    に対して同一の光学特性を有する領域Aと他の組の光学
    要素に入射する光に対しては領域Aとは異った光学特性
    を有する領域Bの少なくとも2つの領域が設けられてい
    ることを特徴とする焦点検出装置。
  2. (2)前記領域Aと領域Bは互いに偏光軸が直交する偏
    光フィルターより構成されていることを特徴とする請求
    項1記載の焦点検出装置。
JP17555788A 1988-07-14 1988-07-14 焦点検出装置 Pending JPH0224616A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17555788A JPH0224616A (ja) 1988-07-14 1988-07-14 焦点検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17555788A JPH0224616A (ja) 1988-07-14 1988-07-14 焦点検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0224616A true JPH0224616A (ja) 1990-01-26

Family

ID=15998164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17555788A Pending JPH0224616A (ja) 1988-07-14 1988-07-14 焦点検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0224616A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5543886A (en) * 1991-05-02 1996-08-06 Canon Kabushiki Kaisha Focus state detection apparatus
US5637145A (en) * 1995-01-06 1997-06-10 Toshiba Machine Co., Ltd. Method of vapor phase epitaxial growth

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5543886A (en) * 1991-05-02 1996-08-06 Canon Kabushiki Kaisha Focus state detection apparatus
US5637145A (en) * 1995-01-06 1997-06-10 Toshiba Machine Co., Ltd. Method of vapor phase epitaxial growth

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8773645B2 (en) Distance measuring device and imaging device
JP3108697B2 (ja) 焦点検出装置
US5212514A (en) Camera having a focus detecting optical system
JP2643326B2 (ja) 焦点検出装置を有した一眼レフカメラ
JP2749818B2 (ja) 視線検出装置
JP3283235B2 (ja) 多点焦点検出装置
JPH0224616A (ja) 焦点検出装置
JPS601603B2 (ja) カメラの測距測光装置
US5822627A (en) Focus state detection device
JPS6313010A (ja) 焦点検出装置
JP2000171695A (ja) 焦点検出装置
JP3586365B2 (ja) 測光装置
JP2600823B2 (ja) 焦点検出装置
JPH0772765B2 (ja) カメラの自動合焦装置
JP4323592B2 (ja) 焦点検出装置
JP3912891B2 (ja) 焦点検出装置及びそれを用いた光学機器
JP3215726B2 (ja) 焦点検出装置
JPS59195607A (ja) 合焦検出装置
JPH03604B2 (ja)
US6275657B1 (en) Dual image coincidence type finder system
JP2006171658A (ja) ファインダー光学系及びそれを備えた撮像装置
JPH10254028A (ja) カメラのファインダー装置
JPH0224615A (ja) 焦点検出装置
JPH0310231A (ja) 観察方向可変のファインダー光学系
JPH02910A (ja) 焦点検出光学装置