JPH02205883A - ホログラムの多層接着方法 - Google Patents
ホログラムの多層接着方法Info
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- JPH02205883A JPH02205883A JP2587089A JP2587089A JPH02205883A JP H02205883 A JPH02205883 A JP H02205883A JP 2587089 A JP2587089 A JP 2587089A JP 2587089 A JP2587089 A JP 2587089A JP H02205883 A JPH02205883 A JP H02205883A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
多層のホログラムを重ねて接着する際の位置決め方法に
関し、 多層のホログラム基板をその加工精度や位置ずれ等に影
響されずに正確に位置決めして接着し得るようにするこ
とを目的とし、 所定のホログラムを形成した複数枚の透明基板を多層に
接着する際に、各透明基板に位置決め用の同一のホログ
ラムを予め形成しておき、該位置決め用ホログラムの回
折光が同一の位置に来るように位置決めして透明基板を
重合接着するように構成する。
関し、 多層のホログラム基板をその加工精度や位置ずれ等に影
響されずに正確に位置決めして接着し得るようにするこ
とを目的とし、 所定のホログラムを形成した複数枚の透明基板を多層に
接着する際に、各透明基板に位置決め用の同一のホログ
ラムを予め形成しておき、該位置決め用ホログラムの回
折光が同一の位置に来るように位置決めして透明基板を
重合接着するように構成する。
本発明は多層ホログラムの接着方法、より正確には、ホ
ログラムを多層に重ねて接着する際の位置決め方法に関
する。
ログラムを多層に重ねて接着する際の位置決め方法に関
する。
同一のホログラムを量産する場合には、一般にマスクホ
ログラムを複写するコピー法が用いられる。コピーによ
り得られたホログラム(コピーホログラム)を多層に重
合接着する場合には、その位置決めが肝要である。第4
図にホログラムコピー法の原理を示す。先ず、マスクホ
ログラムを作成する。透明基板11上に形成した感光材
13に参照波Rと物体波0との干渉により干渉縞(ホロ
グラム)を作成する。これがマスクホログラム20であ
る。次に、このマスクホログラム20を用いて、コピー
ホログラムを作成する。それには、マスクホログラム2
0に上記作成光(参照波Rまたは物体波0)の一方を再
生光(コピー光)として照射すればよい。その結果、マ
スクホログラム21の干渉縞が再生され、透過光く0次
光)と1次回折光とが生じる。これら回折光がコピーホ
ログラムの作成光となる。つまり、透明基板21上に感
光膜23を形成したコピーホログラム乾板にマスクホロ
グラム20と同一のコピーホログラム30が形成される
。こうして作成した複数枚のコピーホログラム30を多
層に重合する場合には、第5図に示す如き水平基台40
上において、該基台40に垂直な突き当てく基準面)4
1にコピーホログラム30を一枚ずつ一端面を押し当て
て位置決めする。
ログラムを複写するコピー法が用いられる。コピーによ
り得られたホログラム(コピーホログラム)を多層に重
合接着する場合には、その位置決めが肝要である。第4
図にホログラムコピー法の原理を示す。先ず、マスクホ
ログラムを作成する。透明基板11上に形成した感光材
13に参照波Rと物体波0との干渉により干渉縞(ホロ
グラム)を作成する。これがマスクホログラム20であ
る。次に、このマスクホログラム20を用いて、コピー
ホログラムを作成する。それには、マスクホログラム2
0に上記作成光(参照波Rまたは物体波0)の一方を再
生光(コピー光)として照射すればよい。その結果、マ
スクホログラム21の干渉縞が再生され、透過光く0次
光)と1次回折光とが生じる。これら回折光がコピーホ
ログラムの作成光となる。つまり、透明基板21上に感
光膜23を形成したコピーホログラム乾板にマスクホロ
グラム20と同一のコピーホログラム30が形成される
。こうして作成した複数枚のコピーホログラム30を多
層に重合する場合には、第5図に示す如き水平基台40
上において、該基台40に垂直な突き当てく基準面)4
1にコピーホログラム30を一枚ずつ一端面を押し当て
て位置決めする。
しかるに、上記の如き方法では、ホログラム材料(感光
材)が外側にはみ出したり、あるいは透明基板(一般に
はガラス基板)21の加工精度、更には透明基板の重合
時の位置ずれ等の影響により正確な位置決めが難しいと
いう問題があった。
材)が外側にはみ出したり、あるいは透明基板(一般に
はガラス基板)21の加工精度、更には透明基板の重合
時の位置ずれ等の影響により正確な位置決めが難しいと
いう問題があった。
また、マスクホログラムをコピーするコピー時に使用す
る位置決め保持治具(図示せず)と重合接着時に使用す
る位置決め保持治具(40,41)とは別々であるため
、コピーホログラム30間の対応位置の再現が非常に困
難である。
る位置決め保持治具(図示せず)と重合接着時に使用す
る位置決め保持治具(40,41)とは別々であるため
、コピーホログラム30間の対応位置の再現が非常に困
難である。
本発明の目的はこのような従来技術に鑑み、治具等を一
切使用せず、多層のホログラム基板をその加工精度や位
置ずれ等に影響されずに正確に位置決めして接着可能な
方法を提案することにある。
切使用せず、多層のホログラム基板をその加工精度や位
置ずれ等に影響されずに正確に位置決めして接着可能な
方法を提案することにある。
上記目的を達成するために、本発明によれば、所定のホ
ログラムを形成した複数枚の透明基板を多層に接着する
際に、各透明基板に位置決め用の同一のホログラムを予
め形成しておき、該位置決め用ホログラムの回折光が同
一の位置に来る(必ずしも一ケ所に結像する必要はない
)ように位置決めして透明基板を重合接着するように構
成したことを特徴とする。
ログラムを形成した複数枚の透明基板を多層に接着する
際に、各透明基板に位置決め用の同一のホログラムを予
め形成しておき、該位置決め用ホログラムの回折光が同
一の位置に来る(必ずしも一ケ所に結像する必要はない
)ように位置決めして透明基板を重合接着するように構
成したことを特徴とする。
全てのコピーホログラムに形成された同一の位置決め用
ホログラムにレーザが入射すると各コピーホログラムの
相関位置が一致している限り同一の位置に結像する。従
って、位置決め用ホログラムの回折光を離れた位置で観
察しながら、それらが所定の一点に来るようにコピーホ
ログラムを位置調整すれば、各コピーホログラムの作成
時における相関位置が正確に再現される。位置決め用ホ
ログラムと光学中心との光学的位置関係は透明基板の加
工精度や位置ずれ等の影響を全く受けない。
ホログラムにレーザが入射すると各コピーホログラムの
相関位置が一致している限り同一の位置に結像する。従
って、位置決め用ホログラムの回折光を離れた位置で観
察しながら、それらが所定の一点に来るようにコピーホ
ログラムを位置調整すれば、各コピーホログラムの作成
時における相関位置が正確に再現される。位置決め用ホ
ログラムと光学中心との光学的位置関係は透明基板の加
工精度や位置ずれ等の影響を全く受けない。
即ち、本発明ではコピーホログラムの機械的位置はどう
であれ、位置決め用ホログラムの結像点のみが一致する
ように観察するだけでよい。
であれ、位置決め用ホログラムの結像点のみが一致する
ように観察するだけでよい。
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
まず初めに、第1図を参照して本発明の基本原理を説明
する。
する。
第1図において、マスクホログラム20を作成する際に
、本来のホログラム(干渉縞部分)15とは別に位置決
め用ホログラム51を形成しておく。位置決め用ホログ
ラム51は所定の空間周波数分布を有するものであれば
どのようなホログラムパターンでもよいが、回折光を所
望の位置に収束させるためには、第1図に示す如く、そ
の干渉縞のピッチが一方向に漸次減少あるいは増大する
ように変化するものでなければならない。
、本来のホログラム(干渉縞部分)15とは別に位置決
め用ホログラム51を形成しておく。位置決め用ホログ
ラム51は所定の空間周波数分布を有するものであれば
どのようなホログラムパターンでもよいが、回折光を所
望の位置に収束させるためには、第1図に示す如く、そ
の干渉縞のピッチが一方向に漸次減少あるいは増大する
ように変化するものでなければならない。
位置決め用ホログラム51は好ましくは本来の必要なホ
ログラム部分13に干渉しない位置、例えば基板20の
隅に形成される。マスクホログラム20を再生してコピ
ーホログラム30を作成する際に、この位置決め用ホロ
グラム51もホログラム部分13と同時にコピーホログ
ラムにコピー(転写)する。コピーホログラム30に転
写された位置決め用ホログラム53 (位置決め用ホロ
グラム51と同一)は第1図に拡大して示す如く、その
空間周波数分布に従い、入射光(レーザビーム等)60
を所定方向に回折する。ビームの入射位置によりその回
折方向(出射方向)は変化する。
ログラム部分13に干渉しない位置、例えば基板20の
隅に形成される。マスクホログラム20を再生してコピ
ーホログラム30を作成する際に、この位置決め用ホロ
グラム51もホログラム部分13と同時にコピーホログ
ラムにコピー(転写)する。コピーホログラム30に転
写された位置決め用ホログラム53 (位置決め用ホロ
グラム51と同一)は第1図に拡大して示す如く、その
空間周波数分布に従い、入射光(レーザビーム等)60
を所定方向に回折する。ビームの入射位置によりその回
折方向(出射方向)は変化する。
そこで、離れた位置から回折光を観察し、回折光が所望
の位置に来るようにコピーホログラム30を動ず。全て
のコピーホログラムについて同様な操作を繰り返すこと
により多層に積層重合する際にコピーホログラムを同一
位置に確実に位置決め出来る、即ち、コピーホログラム
の正確な位置決めが出来る。
の位置に来るようにコピーホログラム30を動ず。全て
のコピーホログラムについて同様な操作を繰り返すこと
により多層に積層重合する際にコピーホログラムを同一
位置に確実に位置決め出来る、即ち、コピーホログラム
の正確な位置決めが出来る。
第2図は本発明に係るマスクホログラムの作成方法の一
実施例を示すものである。マスクホログラム30は先ず
初めに所望のホログラム部分15(第1図)に対応する
窓71を有するマスク70を用いて必要なホログラム部
分15を干渉露光し、次いで、位置決め用ホログラム5
3に対応する小窓71″を有するマスク70“を用いて
位置決め用ホログラムの干渉露光を行う。こうして形成
されたマスクホログラム30を用いて上記の方法でコピ
ーホログラムを量産する。
実施例を示すものである。マスクホログラム30は先ず
初めに所望のホログラム部分15(第1図)に対応する
窓71を有するマスク70を用いて必要なホログラム部
分15を干渉露光し、次いで、位置決め用ホログラム5
3に対応する小窓71″を有するマスク70“を用いて
位置決め用ホログラムの干渉露光を行う。こうして形成
されたマスクホログラム30を用いて上記の方法でコピ
ーホログラムを量産する。
第3図に2枚のコピーホログラム30を重合接着する場
合の実施例を示す。尚、第3図においてはコピーホログ
ラム30の位置決め用ホログラム53の位置を意図的に
異ならせであるが、これは本発明を実施する上で各コピ
ーホログラムの位置決め用ホログラムの形成位置の異同
(但し、各ホログラムの空間周波数は同一)は何ら問題
とならないということを示すためのもので、位置決め用
ホログラムはいずれの位置にあっても、これに再生光(
例えばレーザ光)を照射すると、所定の位置、例えば−
点Pに収束する。換言すれば、すべてのコピーホログラ
ムを位置決め用ホログラムによる回折光が点Pに収束す
るように位置を動かせばコピーホログラムの位置合わせ
が完了する。尚、特に図示はしないがコピーホログラム
同士の接着は例えば、紫外線硬化型樹脂等により行われ
る。
合の実施例を示す。尚、第3図においてはコピーホログ
ラム30の位置決め用ホログラム53の位置を意図的に
異ならせであるが、これは本発明を実施する上で各コピ
ーホログラムの位置決め用ホログラムの形成位置の異同
(但し、各ホログラムの空間周波数は同一)は何ら問題
とならないということを示すためのもので、位置決め用
ホログラムはいずれの位置にあっても、これに再生光(
例えばレーザ光)を照射すると、所定の位置、例えば−
点Pに収束する。換言すれば、すべてのコピーホログラ
ムを位置決め用ホログラムによる回折光が点Pに収束す
るように位置を動かせばコピーホログラムの位置合わせ
が完了する。尚、特に図示はしないがコピーホログラム
同士の接着は例えば、紫外線硬化型樹脂等により行われ
る。
以上に記載した通り、本発明によれば、各ホログラムに
予め位置決め用ホログラムを形成し、それに入射する位
置合わせ用ビームの回折光が所定の位置に来るように各
ホログラムを位置調整するだけで、各ホログラムの正確
な位置合わせが簡単且つ確実に出来る。
予め位置決め用ホログラムを形成し、それに入射する位
置合わせ用ビームの回折光が所定の位置に来るように各
ホログラムを位置調整するだけで、各ホログラムの正確
な位置合わせが簡単且つ確実に出来る。
第1図は本発明の基本原理を説明する図解図、第2図は
本発明におけるマスクホログラムの作成方法を示す図、
第3図は2枚のコピーホログラムを積層する場合の一実
施例を示す図、第4図はコピーホログラムの原理を説明
する図、第5図は従来のホログラム積層方法を説明する
図。 11.21・・・透明基板、 15.25・・・ホログラム部分、 20・・・マスクホログラム、 30・・・コピーホログラム。 位置決めのための方法例 第3図 第4図 帛5図
本発明におけるマスクホログラムの作成方法を示す図、
第3図は2枚のコピーホログラムを積層する場合の一実
施例を示す図、第4図はコピーホログラムの原理を説明
する図、第5図は従来のホログラム積層方法を説明する
図。 11.21・・・透明基板、 15.25・・・ホログラム部分、 20・・・マスクホログラム、 30・・・コピーホログラム。 位置決めのための方法例 第3図 第4図 帛5図
Claims (1)
- 所定のホログラムを形成した複数枚の透明基板(21)
を多層に接着する際に、各透明基板に位置決め用の同一
のホログラム(53)を予め形成しておき、該位置決め
用ホログラムの回折光が同一の位置に来るように位置決
めして透明基板を重合接着することを特徴とするホログ
ラムの多層接着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2587089A JPH02205883A (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | ホログラムの多層接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2587089A JPH02205883A (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | ホログラムの多層接着方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02205883A true JPH02205883A (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=12177825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2587089A Pending JPH02205883A (ja) | 1989-02-06 | 1989-02-06 | ホログラムの多層接着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02205883A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018506063A (ja) * | 2015-01-08 | 2018-03-01 | オプタリシス リミテッド | アラインメントの評価方法 |
-
1989
- 1989-02-06 JP JP2587089A patent/JPH02205883A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018506063A (ja) * | 2015-01-08 | 2018-03-01 | オプタリシス リミテッド | アラインメントの評価方法 |
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