JP2018506063A - アラインメントの評価方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 遠視野における第1の回折パターンを形成するために第1の回折素子を照明し、
前記遠視野における第2の回折パターンを形成するために第2の回折素子を照明し、
前記遠視野における前記第1の回折パターンと前記第2の回折パターンとの間の位置関係及び回転関係の少なくとも一方を決定することを含む、
前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子の相対的なアラインメントの評価方法。 - 前記遠視野における前記第1の回折パターンと前記第2の回折パターンとの間の位置関係は、前記第1の回折パターンの第1の特徴と前記第2の回折パターンの第2の特徴との間の位置関係を決めることにより決定される、請求項1に記載の評価方法。
- 前記第1の特徴は、前記第1の回折パターンの最大値又は最小値であり、前記第2の特徴は、前記第2の回折パターンの最大値又は最小値である、請求項2に記載の評価方法。
- 前記第1の特徴は、前記第1の回折パターンの第n次の最大値であり、前記第2の特徴は、前記第2の回折パターンの第n次の最大値である、請求項2に記載の評価方法。
- 前記第1の特徴は、前記第1の回折パターンの第0次の最大値であり、前記第2の特徴は、前記第2の回折パターンの第0次の最大値である、請求項2に記載の評価方法。
- 前記第1の回折パターン及び前記第2の回折パターンは、放射状に非対称な回折パターンである、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記決定された位置関係及び回転関係の少なくとも一方に基づいて、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させることを含む、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折パターンと前記第2の回折パターンとの間の前記位置関係及び前記回転関係の少なくとも一方が、所定の位置関係及び回転関係になるまで、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させることをさらに含む、請求項7に記載の評価方法。
- 前記第1の回折パターンが前記第2の回折パターンと実質的に重なるまで、前記第1の回折素子を前記第2の回折素子に対して回転させることをさらに含む、請求項7又は8に記載の評価方法。
- 前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させた後に、請求項1に記載の方法を繰り返すステップをさらに含む、請求項7乃至請求項9のいずれか1項に記載の評価方法。
- 遠視野における第1の回折素子の第1の像を形成するために前記第1の回折素子を照明し、
前記遠視野における第2の回折素子の第2の像を形成するために第2の回折素子を照明し、
前記遠視野における第1の像と第2の像との間の位置関係を決定することを含む、
前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子の相対的なアラインメントの評価方法。 - 前記照明するステップは、前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子を発散光で照明することを含む、請求項11に記載の評価方法。
- 前記照明するステップは、実質的にコリメート光であり、光学的にインコヒーレントな光により前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子を照明することを含む、請求項11に記載の評価方法。
- 前記第1の像の第1の特徴と前記第2の像の第2の特徴との間の位置関係を決めることにより、前記遠視野における前記第1の像と前記第2の像との間の位置関係が決定されることを含む、請求項11乃至請求項13のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記決定された位置関係に基づいて、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動させることを含む、請求項11乃至請求項14のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の像と前記第2の像との間の位置関係が所定の位置関係になるまで、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動することをさらに含む、請求項15に記載の評価方法。
- 前記第1の像の一方の側が前記第2の像の対応する側と同一線上になるまで、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動することをさらに含む、請求項15に記載の評価方法。
- 前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動した後に、請求項11の方法を繰り返すステップをさらに含む、請求項11乃至請求項17のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子を共通の平面上に固定することをさらに含む、請求項1乃至請求項18のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子は素子又は格子の2Dアレイであること及び前記第2の回折素子は素子又は格子の2Dアレイであることの少なくとも一方を含む、請求項1乃至請求項19のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子は、空間光変調器、電荷結合素子(CCD)、回折光学素子、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)、マイクロ電気機械的装置、又はシリコン上液晶素子である、請求項1乃至請求項20のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子に表示される第1の回折パターンに対応する像と、前記第2の回折素子に表示される第2の回折パターンに対応する像との間に光学的相関を実行することをさらに含む、請求項1乃至請求項21のいずれか1項に記載の評価方法。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載のステップと請求項11乃至請求項22のいずれか1項に記載のステップとを含む、光学相関器の2つの空間光変調器をアラインメントする方法。
- 添付の図面を参照して実質的に上述した第1の回折素子及び第2の回折素子の相対的なアラインメントを評価する方法と光学相関器の2つの空間光変調器を整列する方法。
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