JP6656722B2 - アラインメントの評価方法 - Google Patents
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Description
Claims (12)
- 遠視野における複数の最大値を含む第1のラインアレイと、前記第1のラインを横切り、複数の最大値を含む第2のラインアレイと、を含む第1の回折パターンを形成するための素子又は格子の2Dアレイを含む第1の回折素子を照明し、
前記遠視野における複数の最大値を含む第3のラインアレイと、前記第3のラインを横切り、複数の最大値を含む第4のラインアレイと、を含む第2の回折パターンを形成するための素子又は格子の2Dアレイを含む第2の回折素子を照明し、
前記遠視野における中心最大値から離れた前記第1のラインアレイの最大値と、中心最大値から離れた前記第3のラインアレイの最大値との間の位置関係及び回転関係の少なくとも一方を決定し、
前記遠視野における中心最大値から離れた前記第2のラインアレイの最大値と、中心最大値から離れた前記第4のラインアレイの最大値との間の位置関係及び回転関係の少なくとも一方を決定し、
前記遠視野における前記第1の回折素子の第1の像を形成するために前記第1の回折素子を発散光又は実質的にコリメートされたインコヒーレント光で照明し、
前記遠視野における前記第2の回折素子の第2の像を形成するために前記第2の回折素子を発散光又は実質的にコリメートされたインコヒーレント光で照明し、
前記遠視野における前記第1の像と前記第2の像との間の位置関係を決定することを含む、
単一平面に配置された回折素子のタイル状アレイにおける前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子の相対的な回転及び移動アラインメントの評価方法。 - 前記第1の回折パターン及び前記第2の回折パターンは、放射状に非対称な回折パターンである、請求項1に記載の評価方法。
- 前記決定された位置関係及び回転関係の少なくとも一方に基づいて、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させることを含む、請求項1又は請求項2に記載の評価方法。
- 前記第1の回折パターンと前記第2の回折パターンとの間の前記位置関係及び前記回転関係の少なくとも一方が、所定の位置関係及び回転関係になるまで、又は前記第1の回折パターンが実質的に前記第2の回折パターンと重なり合うまで、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させることをさらに含む、請求項3に記載の評価方法。
- 前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を回転させた後に、
前記遠視野における第1の回折パターンを形成するために前記第1の回折素子を照明し、
前記遠視野における第2の回折パターンを形成するために前記第2の回折素子を照明し、
前記遠視野における前記中心最大値から離れた前記第1のラインアレイの最大値と、前記中心最大値から離れた前記第3のラインアレイの最大値との間の位置関係及び回転関係の少なくとも一方を決定し、
前記遠視野における前記中心最大値から離れた前記第2のラインアレイの最大値と、前記中心最大値から離れた前記第4のラインアレイの最大値との間の位置関係及び回転関係の少なくとも一方を決定するステップを繰り返すことをさらに含む、請求項3又は請求項4に記載の評価方法。 - 前記第1の像の第1の特徴と前記第2の像の第2の特徴との間の位置関係を決めることにより、前記遠視野における前記第1の像と前記第2の像との間の位置関係が決定されることを含む、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記決定された位置関係に基づいて、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動させることを含む、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の像と前記第2の像との間の前記位置関係が所定の位置関係になるまで、又は前記第1の像の一方の側が前記第2の像の対応する側と同一直線上になるまで、前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動することをさらに含む、請求項7に記載の評価方法。
- 前記第2の回折素子に対して前記第1の回折素子を移動した後に、
前記遠視野における前記第1の回折素子の第1の像を形成するための前記第1の回折素子を発散光又は実質的にコリメートされたインコヒーレント光で照明し、
前記遠視野における前記第2の回折素子の第2の像を形成するための前記第2の回折素子を発散光又は実質的にコリメートされたインコヒーレント光で照明し、
前記遠視野における前記第1の像と前記第2の像との間の位置関係を決定するステップを繰り返すことをさらに含む、請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の評価方法。 - 前記第1の回折素子及び前記第2の回折素子を共通の平面上に固定することをさらに含む、請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子は、空間光変調器、電荷結合素子(CCD)、回折光学素子、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)、マイクロ電気機械的装置、又はシリコン上液晶素子である、請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1の回折素子に表示される第1の回折パターンに対応する像と、前記第2の回折素子に表示される第2の回折パターンに対応する像との間の光学的な相関関係を決定することをさらに含む、請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載の評価方法。
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