JPS62217283A - ホログラム記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明を以下の順序で説明する。

Ａ　産業上の利用分野 Ｂ　発明の概要 Ｃ従来の技術 Ｄ　発明が解決しようとする問題点 Ｅ　問題点を解決するための手段 ２作用 Ｇ　実施例 Ｇ−１同種多重ホログラム記録装置（第１図）Ｇ−２同
種多像再生装面（第２図） Ｇ−３異種多重ホログラム記録装置（第３図）Ｇ−４異
種多像再生装置（第４図） Ｇ−５色彩多重ホログラム記録装置（第５図）Ｇ−６多
重色彩像の分離再生（第６図）Ｈ発明の効果 Ａ　産業上の利用分野 本発明は、一つまたは複数の物体波と複数または一つの
参照波とにより同種または異種の複数のホログラムを同
一の記録媒体に多重化して記録するホログラム記録装置
に関する。

Ｂ　発明の概要 本発明しま、一つまたは複数の物体波と複数または一つ
の参照波とにより同種または異種の複数のホログラムを
同一の記録媒体に多重化して記録するホログラム記録装
置において、可干渉光源から放出された光ビームを、光
透過性物体を通過してホログラム記録板を物体波として
照射すべき１本または複数本の光ビームと、ホログラム
記録板を参照波として照射すべき複数本または１本の光
ビームとに分割するとともに、ホログラム記録板を物体
波または参照波として照射すべき１本の光ビームの光路
上に光拡散板を配置することによって、再生時にゴース
ト像が発生しない状態で複数のホログラムを同時に記録
することができるようにしたものである。

Ｃ従来の技術 半導体素子の製造に際してのパターン形成工程における
露光処理としては、従来一般的に、フォトレジストが塗
布された半導体ウェーハにガラスマスクを密着させて光
を照射する方法が採られている。しかし、半導体ウェー
ハとガラスマスクの間にゴミや埃があると、素子のピン
ホールの原因となるばかりか、ガラスマスクに傷を付け
るおそれがある。また、ガラスマスク上にゴミや埃があ
ると、これがそのまま露光されて、その直下のつ工−ハ
領域が不良になってしまう。そのため、ガラスマスクを
密着させないで露光を行う方法も考えられているが、一
般に光源にはインコヒーレント光源を用いているので、
光の回り込みや回折によってパターンの微細化に制約が
ある。

ところで、像の記録再生技術の一つとして、ホログラフ
ィがある。ホログラフィは、像情報を含んだ光波である
物体波に参照波と呼ばれる光波を加えて物体波の振幅と
位相を干渉縞として記録し、その記録された干渉縞であ
るホログラムに記録時の参照波と同様の再生波を照射し
て像を再生するもので、ホログラムには物体の各点の情
報が広い範囲にわたってばらまかれて記録される。従っ
て、ホログラムのある部分に傷があり、あるいはゴミや
埃が付着していても、再生像の画質が全体的に幾分劣化
するだけで、再生像の一部が欠けてしまうことはない。

従って、ホログラフィをリソグラフィに応用し、例えば
、その像がホログラムとして記録されるべき物体を半導
体ウェー八に形成すべきパターンのものにし、その再生
像をフォトレジストが塗布された半導体ウェーハ上に現
出させて露光を行うときは、従来の露光方法における上
述のような不都合を生じることがない。

しかも、ホログラフィにおいては、同一の物体の像を複
数、同一の記録媒体に多重化して記録し、異なる位置に
同時にまたは順次再生することができるとともに、異な
る物体の複数の像を、同一の記録媒体に多重化して記録
し、異なる位置に同時にまたは順次再生することができ
る。従って、上述のようにホログラフィにおける像の再
生を半導体素子の製造に際してのパターン形成工程にお
ける露光処理に用いるときは、１枚のホログラム記録仮
によって、複数の半導体ウェーハに対して同一パターン
の露光を同時に行うことができ、また一つの半導体ウェ
ーハに対して異なるパターン形成工程における異なるパ
ターンの露光を順次行うことができる。

同一の物体の像を複数、同一の記録媒体に多重化して記
録するには、一つの物体からの一つの物体波に対して複
数の参照波を順次または同時に干渉させればよく、また
、異なる物体の複数の像を同一の記録媒体に多重化して
記録するには、一つの参照波に対して異なる物体からの
複数の物体波を順次または同時に干渉させればよい。そ
して、いずれも、複数の参照波または物体波を同時に記
録媒体に照射すれば、筒車な装置により短時間で、複数
の像を多重化して記録することができる。

Ｄ　発明が解決しようとする問題点 しかし、一つの物体波に対して複数の参照波を同時に干
渉させる場合、あるいは一つの参照波に対して複数の物
体波を同時に干渉させる場合、参原波同士あるいは物体
波同士が互いに干渉し合い、再生時にゴースト像が発生
する不都合がある。

かかる点に濫み、本発明は、再生時にゴースト像が発生
しない状態で同種または異種の複数のホログラムを同一
の記録媒体に同時に記録することができるようにしたも
のである。

Ｅ　問題点を解決するための手段 本発明においては、可干渉光源と、この可干渉光源から
放出された光ビームを、光透過性物体を透過してホログ
ラム記録板を物体波として照射すべき１本または複数本
の光ビームと、ホログラム記録板を参照波として照射す
べき複数本または１本の光ビームとに分割する分光手段
と、ホログラム記録板を物体波または参照波として照射
すべき１本の光ビームの光路上に配された光拡散板とを
設ける。

Ｆ作用 上記のように構成された本発明に係るホログラム記録装
置によれば、光拡散板が一つの物体波または参照波の形
成にのみ用いられて、物体波と参照波の干渉においての
み光情報が符号化され、参照波同士または物体波同士の
干渉においてば光情報は符号化されないので、再生時の
光源として記録時と同じ可干渉光源が用いられ、再生波
の形成に光拡散板が用いられることによって、記録時に
おける参照波同士または物体波同士の干渉の結果は再生
波中に適当にばらまかれて減衰し、記録時における参照
波同士または物体波同士の干渉により再生時にゴースト
像が発生ずることはない。

Ｇ　実施例 Ｇ−１同種多重ホログラム記録装置（第１図）第１図は
本発明に係るホログラム記録装置の一例で、同一の物体
の像を複数、同時に記録する場合である。

光源として可干渉光源１０、具体的にはレーザ光源が設
けられる。可干渉光源１０から放出された光ビームＬｉ
の光路上にはシャッター２０が設けられ、シャッター２
０が開かれると、光ビームＬ　ｉがビーム・スプリッタ
３０に入射する。ビーム・スプリッタ３０において、光
ビームＬｉはビーム・スプリッタ３０を透過する光ビー
ムＬｏと、ビーム・スプリンタ３０で反射して偏向する
光ビームＬａに二分される。ビーム・スプリッタ３０で
反射した光ビームＬａは、ビーム・スプリッタ３１に入
射して、ビーム・スプリッタ３１を透過する光ビームＬ
ｂと、ビーム・スプリッタ３１で反射して偏向する光ビ
ームＬ１に二分される。ビーム・スプリッタ３１を透過
した光ビームＬｂは、ビーム・スプリンタ３２に入射し
て、ビーム・スプリッタ３２を透過する光ビームＬｃと
、ビーム・スプリンタ３２で反射して偏向する光ビーム
Ｌ２に二分される。ビーム・スプリッタ３２を透過した
光ビームＬｃは、ビーム・スプリッタ３３に入射して、
ビーム・スプリンタ３３を透過する光ビームＬｄと、ビ
ーム・スプリッタ３３で反射して偏向する光ビームＬ３
に二分される。ビーム・スプリッタ３３を透過した光ビ
ームＬｄは、ビーム・スプリッタ３４で反射して偏向し
、光ビームＬ４となる。この場合、光ビームＬｏ、ＬＬ
、Ｌ２、Ｌ３．Ｌ４の強度が互いに等しくされる。また
、光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４の光ビームＬｏに対
する角度は、それぞれθ１．θＩ　＋０２、θ、＋θ２
＋θ３．θ、＋θ２＋θ３＋０４である。

光ビームＬＯの光路上には、レンズ系４０．光拡散板５
０および光透過性物体６０が順次配される。光拡散板５
０は、スリガラスなどの材料により形成される。光透過
性物体６０は、例えば、半導体素子の製造に際しての特
定のパターン形成工程における特定の露光パターンのも
のである。光ビームＬｏは、レンズ系４０により太い光
束にされ、光拡散板５０によりばらばらに拡散されて、
光透過性物体６０を透過することにより、物体波００と
される。この物体波Ｏｏの光路上の、光透過性物体６０
から所定の距離Ｄ１の位置に、例えば光軸に垂直に、写
真恣光作用ないし怒光記録作用のあるホログラム記録板
７０が配され、物体波○Ｏがホログラム記録板７０に入
射する。一方、光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４の光路
上にはレンズ系４１．４２，４３．４４がそれぞれ配さ
れ、光ビームし１．Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４はレンズ系４１゜
４２．４３．４４により太い光束にされた後、それぞれ
参照波Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４としてホログラム記録板
７０に入射する。

かくして、ホログラム記録板７０上において物体波００
と参照波Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４が互いに干渉し合い、
ホログラム記録板７０に光透過性物体６０の像の４個の
干渉縞が重畳して形成される。そして、適当な露光時間
の後にシャッター２０が閉じられる。かくして、ホログ
ラム記録板７０に光透過性物体６０の像の４個のホログ
ラムが多重化されて記録される。

なお、図の例は参照波Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４が物体波
○Ｏに対して図の下方側にすべて配される構成にされた
場合であるが、一部の参照波が物体波Ｏｏに対して図の
上方側に配される構成にされてもよい。

Ｇ−２同種多像再生装置（第２図） 第２図は、同一のホログラム記録板から同一の物体の像
を複数、異なる場所に同時に再生する、同種多像再生装
置の一例である。

再生用の露光装置８０は、照射筒８１の一端に可干渉光
源８２が取り付けられ、他端に上述のように同一の物体
の像の複数のホログラムが多重化されて記録されたホロ
グラム記録板７１が取り付けられる。可干渉光源８２か
ら放出された光ビームＬｊの光路上にはシャッター８３
．レンズ系８４および光拡散板８５が順次配され、シャ
ッター８３が開かれると、光ビームＬｊはレンズ系８４
により太い光束にされた後、照射光Ｕとして光拡散板８
５を透過してホログラム記録板７１に入射する。そして
、照射光Ｕがホログラム記録板７１を通り過ぎるとき、
同一の物体の像が複数、同時に再生される。この場合、
各再生波は、記録時における各参照波の角度方向の、ホ
ログラム記録板７１から照射筒８１の軸方向に記録時に
おける光透過性物体とホログラム記録板との間の距萬譚
り。

の位置に、それぞれ像情報を運ぶ。

そのため、ホログラム記録板７１と対向して試料載置台
９１が配され、その照射筒８１の中心軸の延長上の位置
に光吸収体１０１が埋設され、光吸収体１０１の片側の
光吸収体１０１からｄｌ＋ｄ、＋ｄ、、ｄ、＋ｄ７＋ｄ
、の距離の位置に半導体ウェーハ１１１ｘ、１１２ｘ、
１１３ｘが載置され、反対側の光吸収体１０１からｄ、
、ｄ。

＋ｄｚ　、ｄ＋　　＋ａ２＋ｄ、の距離の位置に半導体
ウェーハ１ｉｌｙ、１１２ｙ、１１３ｙが載置され、ホ
ログラム記録板７１から半導体ウェーハ１１１ｘ、１１
２ｘ、１１３ｘ、１ｉｌｙ、１１２ｙ、１１３ｙ上に塗
布されたフォトレジスト１２１ｘ、１２２ｘ、１２３ｘ
、１２１）’、１２２ｙ。

１２３ｙまでの照射筒８１の中心軸の方向における距甜
がり、とされ、ホログラム記録板７１と半導体ウェーハ
１ｌｌｘ、１１２ｘ、１１３ｘ、１１１ｙ、１１２ｙ、
１１３ｙとの間にアパーチャＡＯ，Ａｌｘ、Ａ２ｘ、Ａ
３ｘ、Ａｌｙ、Ａ２ｙ。

Ａ３ｙを有する光選択板１３１が配される。記録時にお
ける隣り合う参照波間の角度θ１．θ２゜θ、・・・が
同一であるときは、上述の距離ｄ１、ｄ２．ｄ、は互い
に異なるものにされるが、上述の距ｄａ＋　、ｄｚ　、
（Ｌ＋を互いに等しくできるように、記録時において隣
り合う参照波間の角度θ３．θ２．θつ　・・・が互い
に異なる所定の角度に設定されてもよい。

か（して、実像情報を有する１次回折再生波Ｋｌｘ、に
２ｘ、に３ｘ、　　Ｋｔｙ、に２ｙ、に３３’が光選択
板１３１のアパーチャＡｌｘ、Ａ２ｘ。

Ａ３ｘ、Ａｌｙ、Ａ２ｙ、Ａ３ｙを通過してフォトレジ
スト１２１ｘ、１２２ｘ、１２３ｘ、１２１ｙ、１２２
ｙ、１２３ｙ上に到達し、虚像情報を有する回折光は光
選択板１３１に遮られ、ホログラム記録板７１を直接通
過したＯ次回折光ＫＯは光選択板１３１のアパーチャＡ
Ｏを通過して光吸収体１０１に吸収される。このように
して、複数の半扉体ウェーハに対して同一パターンの露
光を同時に行うことができる。

そして、ホログラム記録板７１に記録された複数のホロ
グラムが上述のように一つの物体波と複数の参照波によ
り同時に形成されたものであっても、上述のように光拡
散板が物体波の形成にのみ用いられて、物体波と参照波
の干渉においてのみ光情報が符号化され、参照波同士の
干渉においては光情報は符号化されないので、再生用の
露光装置８０において光源として記録次と同じ可干渉光
源８２が用いられ、ホログラム記録板７１の手前に光拡
散板８５が配されることによって、記録時における参照
波同士の干渉の結果は再生波中に適当にばらまかれて減
衰し、記録時における参照波同士の干渉により再生時に
ゴースト像が発生することはない。

Ｇ−３異種多重ホログラム記録装置（第３図）第３図は
本発明に係るホログラム記録装置の他の例で、異なる物
体の複数の像を同時に記録する場合である。

第１図の例と同様に、可干渉光源１０と、シャッター２
０と、可干渉光源１０から放出された光ビームｌｉを５
本の光ビームＬｏ、Ｌ１．Ｌ２゜Ｌ３．Ｌ４に分割する
ビーム・スプリッタ３０．３１．３２，３３．３４が設
けられる。この場合も、光ビームＬｏ、Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ
３．Ｌ４の強度が互いに等しくされる。また、光ビーム
Ｌｌ。

Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４の光ビームＬｏに対する角度は、それ
ぞれθ、２θ、３θ、４θである。

光ビームＬｏの光路上にはレンズ系４０および光拡散板
５０が順次配され、光ビームＬｏはレンズ系４０により
太い光束にされ、光拡散板５０によりばらばらに拡散さ
れて、参照波ＲＯとされる。

一方、光ビームＬ１．Ｌ２．Ｌ３．Ｌ４の光路上には、
それぞれ、レンズ系４１，４２．４３．４４および光透
過性物体６１．６２，６３．６４が順次配される。光透
過性物体６１．　６２．　６３゜６４は、例えば、半導
体素子の製造に際しての異なるパターン形成工程におけ
る異なる露光パターンのものである。光ビームＬｌ、Ｌ
２．Ｌ３．Ｌ４は、それぞれ、レンズ系４１．４２．４
３．４４により太い光束にされた後、光透過性物体６１
゜６２．６３．６４を透過することより、物体波Ｏ１，
０２，０３，０４とされる。そして、参照波Ｒｏの光路
上の、光透過性物体６１，６２，６３゜６４から所定の
距離り、の位置に、例えば参照波ＲｏＯ光軸に垂直にホ
ログラム記録板７０が配され、参照波ＲＯおよび物体波
ＯＸ、０２，０３゜０４がホログラム記録板７０に入射
する。

かくして、ホログラム記録板７０上において参照波Ｒｏ
と物体波０１．０２，０３．０４が互いに干渉し合い、
ホログラム記録板７０に光透過性物体６１，６２，６３
．６４の像の４個の干渉縞が重畳して形成される。そし
て、適当な露光時間の後にシャッター２０が閉じられる
。かくして、ホログラム記録板７０に光透過性物体６１
，６２゜６３．６４の像の４個のホログラムが多重化さ
れて記録される。

なお、図の例は物体波０１．０２，０３．０４が参照波
ＲＯに対して図の下方側にすべて配される構成にされた
場合であるが、一部の物体波が参照波Ｒｏに対して図の
上方側に配される構成にされてもよい。

Ｇ−４異種多像再生装置（第４図） 第４図は、同一のホログラム記録板から異なる物体の複
数の像を異なる場所に同時に再生する、異種多像再生装
置の一例である。

再生用の露光装置８０は、照射筒８１の一端に可干渉光
源８２が取り付けられ、他端に上述のように異なる物体
の像の複数のホログラムが多重化されて記録されたホロ
グラム記録板７２が取り付けらる。可干渉光源８２から
放出された光ビームＬｊの光路上にはシャッター８３．
レンズ系８４および光拡散板８５が順次配され、シャッ
ター８３が開かれると、光ビームＬｊはレンズ系８４に
より太い光束にされた後、照射光Ｕとして光拡散板８５
を透過してホログラム記録板７２に入射する。そして、
照射光Ｕガホログラム記録仮７２を通り過ぎるとき、異
なる物体の複数の像が同時に再生される。この場合、各
再生波は、記録時における各物体波の角度方向の、ホロ
グラム記録板７２の中心Ｃｏから記録時における各光透
過性物体とホログラム記録板との間の距離Ｄ２の位置に
、それぞれ像情報を運ぶ。

そのため、ホログラム記録板７２と対向して球面状の試
料載置台９２が配され、その照射筒８１の中心軸の延長
」二の位置に光吸収体１０２が埋設され、光吸収体１０
２の片側の光吸収体１０２に対して記録時における各物
体波の参照波に対する角度θ、２θ、３θの位置に半４
体ウェーハ１１１ｘ、１１２ｘ、１１３ｘが載置され、
反対側の光吸収体１０２に対してθ、２θ、３θの角度
の位置に半導体ウェーハ１ｉｌｙ、１１２ｙ、１１３ｙ
が載置され、ボログラム記録板７２の中心ＣＯから半導
体ウニ　ｚｓｌｌｌｘ、１１２Ｘ、１１３ｘ、１１１）
’、１１２ｙ、１１３ｙ上に塗布されたフォトレジスｌ
１２１ｘ、１２２ｘ、１２３ｘ、１２１）’、１２２ｙ
、１２３ｙまでの距離がＤ２とされ、ホログラム記録板
７２と半導体つ工−ハ１１１ｘ、１１２ｘ、１１３ｘ、
ｌｌｌ１１１２ｙ、１１３ｙとの間にアパーチャＡＯ，
Ａｌｘ、Ａ２ｘ、Ａ３ｘ、Ａｌｙ、Ａ２ｙ、Ａ３ｙを有
する球面状の光選択板１３２が配される。

かくして、実像情報を有する１次回折再生波Ｋｌ　ｘ、
に２ｘ、に３ｘ、Ｋｌｙ、に２Ｙ、に３ｙが光選択板１
３２のアパーチャＡｌｘ、Ａ２ｘ。

Ａ３ｘ、Ａｌｙ、Ａ２ｙ、Ａ３ｙを通過してフォトレジ
スト１２１ｘ、１２２ｘ、１２３ｘ、１２１ｙ、１２２
ｙ、１２３ｙ上に到達し、虚像情報を有する回折光は光
選択板１３２に遮られ、ホログラム記録板７２を直接通
過したＯ次回折光ＫＯは光選択板１３２のアパーチャＡ
Ｏを通過して光吸収体１０２に吸収される。このように
して、複数の半導体ウェーハに対して異なるパターンの
露光を同時に行うことができる。

そして、ホログラム記録板７２に記録された複数のホロ
グラムが上述のように一つの参照波と複数の物体波によ
り同時に形成されたものであっても、上述のように光拡
散板が参照波の形成にのみ用いられて、参照波と物体波
の干渉においてのみ光情報が符号化され、物体波同士の
干渉においては光情報は符号化されないので、再生用の
露光装置８０において光源として記録時と同じ可干渉光
源８２が用いられ、ホログラム記録板７２の手前に光拡
散板８５が配されることによって、記録時における物体
波同士の干渉の結果は再生波中に適当にばらまかれて減
衰し、記録時における物体波同士の干渉により再生時に
ゴースト像が発生することはない。

なお、第４図に示す照射筒８１がホログラム記録板７２
の中心ＣＯを支点として紙面に沿う方向にθの角度ずつ
間欠的に回転し、それぞれの停止位置においてシャッタ
ー８３が一定時間開かれるようにすれば、異なる物体の
複数の像を同一の場所に順次再生することができ、同一
の半導体つ工−ハに対して異なるパターンの露光を順次
行うことができる。

Ｇ−５色彩多重ホログラム記録装置（第５図）第５図は
本発明に係るホログラム記録装置のさらに他の例で、異
なる波長の光波による複数のホログラムを同時に記録す
る場合の一例として、それぞれ青、緑、赤の色光成分に
よる三つのホログラムを同時に記録する場合である。

可干渉光源１０は、この場合、波長λＢの青色光成分、
波長λ、の緑色光成分および波長λにの赤色光成分を有
する可干渉光を放出するものにされる。可干渉光Ｓ１Ｏ
から放出された光ビームＬｉの光路上にはシャッター２
０が設けられ、シャッター２０が開かれると、光ビーム
Ｌｉがビーム・スプリッタ３０に入射する。ビーム・ス
プリッタ３０において、光ビームＬｉは、ビーム・スプ
リッタ３０を透過する光ビームＬＯと、ビーム・スプリ
ッタ３０で反射して偏向する光ビームＬａに二分される
。光ビームＬｏおよびＬａは、それぞれ光ビームＬｉと
同様に波長λ３．λＧ、λＲの青、緑、赤の色光成分を
含む。ビーム・スプリッタ３０で反射した光ビームＬａ
は、ダイクロイック・ミラー３６に入射して、ダイクロ
イック・ミラー３６を透過する波長λ６．λ６の緑、赤
の色光成分を有する光ビームＬｅと、ダイクロイック・
ミラー３６で反射して偏向する波長λ、の青色光成分の
光ビーム［，８に分けられる。ダイクロイック・ミラー
３６を透過した光ビームＬｅは、ダイクロイック・ミラ
ー３７に入射して、ダイクロインク・ミラー３７を透過
する波長λ３の赤色光成分の光ビームＩ−ｆと、ダイク
ロイ・ツク・ミラー３７で反射して偏向する波長λ、の
緑色光成分の光ビームＬＧに分けられる。ダイクロイ、
２り・ミラー３７を透過した光ビームＬｆは、ミラー３
８で反射して偏向し、波長λ、の赤色光成分の光ビーム
Ｌ、Ｉとなる。この場合、光ビームＬｍ、Ｌｃ、Ｌ、＊
の光ビームＬｏに対する角度は、それぞれθ１．θ１＋
θ２．θ、＋θ２＋θ、である。

光ビームＬｏの光路上にはレンズ系４０および光拡散板
５０が順次配され、光ビームＬＯはレンズ系４０により
太い光束にされ、光拡散板５０によりばらばらに拡散さ
れて、参照波ＲＯとされる。

参照波Ｒｏは、波長λ８．λ６．λ７の青、緑。

赤の色光成分を含む。一方、光ビームＬａ、ＬＧ、ＬＲ
の光路上には、それぞれ、レンズ系４６゜４７．４８お
よび光透過性物体６０Ｂ、６０Ｇ。

６０Ｒが順次配され、光ビームＬｌｌ、ＬＧ、ＬＲは、
それぞれ、レンズ系４６，４７．４８により太い光束に
された後、光透過性物体５０Ｂ、６０Ｇ、６０Ｒを透過
することにより、波長λ６．λ９．λ８の青、緑、赤の
色光成分の物体波０８゜Ｏａ　、ＯＲとされる。そして
、参照波Ｒｏの光路上の、光透過性物体６０Ｂ、６０Ｇ
、６０Ｒから所定の距離Ｄ３の位置に例えば参照波Ｒｏ
の光軸に垂直にホログラム記録板７０が配され、参照波
Ｒｏおよび物体波ＯＲ、Ｏｃ　、ＯＲがホログラム記録
板７０に入射する。この場合、ホログラム記８板７０は
、例えば、波長λＢ＋　　６＋　　２３に対λ して平坦な光感度特性を有するものにされる。

かくして、ホログラム記録板７０上において、参照波Ｒ
ｏの波長λ６の青色光成分と波長λ６の青色光成分の物
体波０８が、参照波ＲＯの波長λ、の緑色光成分と波長
λ。の緑色光成分の物体波０゜が、参照波Ｒｏの波長λ
８の赤色光成分と波長λ３の赤色光成分の物体波ＯＲが
、それぞれ互いに干渉し合い、ホログラム記録板７０に
、光透過性物体６０Ｂ、６０Ｇ、６０Ｒの像の波長λ８
、λ。、λ７の青、緑、赤の色光成分による干渉縞が重
畳して形成される。そして、適当な露光時間の後にシャ
ッター２０が閉じられる。か（して、ホログラム記録板
７０に、光透過性物体６０Ｂ。

６００．６ＯＲの像の波長λＢ、λＧ、λＲの青。

緑、赤の色光成分によるホログラムが多重化されて記録
される。

Ｇ−６多重色彩像の分離再生（第６図）第６図は、同一
のホログラム記録板から青、緑。

赤の色光成分による像を異なる場所に同時に再生する方
法を示す。

第５図の色彩多重ホログラム記録装置における参照波Ｒ
Ｏと同様に、可干渉光源から放出されて、レンズ系によ
り太い光束にされ、光拡散板により拡散された、波長λ
３．λ。、λ、の青５緑、赤の色光成分を有する光ビー
ムが再生波Ｌｐとして、上述のように波長λ３．λ。、
λ８の青、緑、赤の色光成分によるホログラムが多重化
されて記録されたホログラム記録板７３に、垂直に入射
させられる。

これにより、ホログラム記録板７３に関して再生波Ｌｐ
の進行方向側の、再生波Ｌｐの光軸に対して記録時にお
ける波長λ８．λ。、λ８の青。

緑、赤の色光成分の物体波Ｏｓ　、　Ｏｃ　、　　Ｃａ
ｔの参照波Ｒｏに対する角度θ１．θ、＋θ２．θ、＋
θ２＋θ、の方向の、ホログラム記録板７３の中心Ｃｏ
から記録時における光透過性物体６０Ｂ。

６０Ｇ、６０Ｒとホログラム記録板７０との間の距離り
、の位置Ｐｓ、Ｐｃ、Ｐｉに、光透過性物体６０Ｂ、６
０Ｇ、６０Ｒの波長λ６．λＧ、λ３の青、緑、赤の色
光成分による実像が再生され、ホログラム記録板７３に
関して再生波Ｌｐの進行方向と反対側の、再生波Ｌｐの
光軸に対してθ１、θ１　＋θ２．θ、＋０２十〇、の
角度の方向の、ホログラム記録板７３の中心ＣＯからり
、の距離の位ＷＱｓ　、Ｑｃ　、ＯＲに、光透過性物体
６０Ｂ。

６０Ｇ、ｅｏＲの波長λ８．λ。、λ□の青、緑。

赤の色光成分による虚像が再生される。

そして、記録時において波長の異なる物体波同士の間で
は干渉を生じないとともに、波長λ６゜λ。、λ８の青
、緑、赤の色光成分を有する参照波の形成に光拡散板が
用いられることにより波長λ６．λ６．λやの青、緑、
赤の色光成分によるホログラムは互いに独立に符号化さ
れて記録されるので、再生時の光源として記録時と同じ
可干渉光源が用いられ、再生波Ｌｐの形成に光拡散板が
用いられることによって、再生時にゴースト像が発生す
ることはない。

Ｈ発明の効果 本発明によれば、再生時にゴースト像が発生しない状態
で、一つまたは複数の物体波と複数または一つの参照波
とにより同種または異種の複数のホログラムを同一の記
録媒体に同時に記録することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るホログラム記録装置の一例の構成
を示す図、第２図は第１図の装置に対応する同種多像再
生装置の一例の構成を示す図、第３図は本発明に係るホ
ログラム記録装置の他の例の構成を示す図、第４図乙３
）゛第３図の装置に対応する異種多像再生装置の一例の
構成を示す図、第５図は本発明に係るホログラム記録装
置のさらに他の例の構成を示す図、第６図は第５図の装
置に対応する多重色彩像の分離再生の方法を示ｊ−図で
ある。 図中、１０は可干渉光源、３０〜３４はビーム・スプリ
ッタ、５０は光拡散板、６０〜６４は光透過性物体、Ｏ
ｏ、０１．０２，０３，０４は物体波、Ｒｏ、Ｒ１，Ｒ
２，Ｒ３，Ｒ４は参照波、７０はホログラム記録板であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 可干渉光源と、 この可干渉光源から放出された光ビームを、光透過性物
   体を透過してホログラム記録板を物体波として照射すべ
   き１本または複数本の光ビームと、上記ホログラム記録
   板を参照波として照射すべき複数本または１本の光ビー
   ムとに分割する分光手段と、 上記ホログラム記録板を物体波または参照波として照射
   すべき上記１本の光ビームの光路上に配された光拡散板
   と を備えたホログラム記録装置。