JPH02192707A - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、静電８徂のバラツキの少ない積層セラミック
コンデンサの製造方法に関する。

［従来の技術］ 従来から積層セラミックコンデンサの製造は次のように
して行なわれている。

まず誘電体材料となる原料粉末と有機バインダとを混合
したスラリー状の混合溶液と、ポリエチレンテレフタレ
ー等の長尺なベースフィルムを用意する。この長尺なベ
ースフィルム上にドクターブレード法等の塗布方法によ
って、前記混合溶液を十数８川〜数十μｍの厚さで均一
に塗布し、そのまま乾燥炉を通過させて、有機溶剤を気
化させるとともに、前記混合溶液を乾燥させ、ベースフ
ィルム上に長尺なセラミックグリーンシーＩ・を形成す
る。さらに、この長尺なセラミックグリーンシートをベ
ースフィルムから剥した後、所定の大きさに切断し、Ｉ
ＲＪ断じたシートを金属製の額縁状の枠に貼り付けて印
刷用のシートとする。

次に、上記のようにして形成されたセラミックグリーン
シート上に内部電極を印刷する印刷機と印刷時に使用さ
れるスクリーンフレームを用意する。この場合、スクリ
ーンフレームには、スクリーン印刷機に適合した寸法で
ステンレスやナイロン等の網（ステンシルと言われる）
が張られ、このステンシルに光硬化性樹脂を塗布し、縦
横に複数の内部電極を配置したパターンをホトエツチン
グ法によって形成し、該パターン部分の樹脂が除去され
、他の部分が樹脂で被覆された印刷用スクリーンが形成
される。

このようにして形成された印刷用スクリーンを印刷機に
セラｉ・するとともに、枠に貼付した印刷用シートを上
記印刷用スクリーンの一ト方にセットする。そして、前
記ステンシル上に４電性ペーストを塗布し、スキージを
ステンシルに押し付けながら移動させ、前記印刷用スク
リーン上に形成されたパターンから、塗布された導電性
ペーストをグリーンシート上に押し出すことにより印刷
用シート上に印刷する。上記のようにして印刷される積
層セラミックコンデンサの印刷パターンは、例えば４．
　　Ｏｎ＋ｍＸ０．　７ｍｓ＋程度のＡパターンと、こ
のＡパターンを長手方向に対して２．５關移動させたＢ
パターンの二つのパターンを用意し、それぞれのパター
ンからなるパターン１ｊ手を使って印刷している。

さらに、第４図（ａ）のように、上記二つのパターン評
によって内部電極の印刷された二［［ｉのグリーンシー
ト１０．１１を積層する方法として、第４図（ｂ）のよ
うに、前記枠の所定の位置上にＡパターンのグリーンシ
ートｌＯとＢパターンのグリーンシート１１を交互に爪
ねで、打ち抜き、圧着した後、図中Ｘ　−Ｘ、　　Ｙ　
−Ｙで示される位置で縦横に切断され、２．　５＋ｕ＋
Ｘ１．６１１１１の微細な寸法に細断されろ。なお、図
中では理解を容易にするために、グリーンシートのシル
１部の四列の一部について表わしている。最後にこれら
を焼成したあと、両端部に４電件のペーストを塗布して
焼き付け、外部電極を形成して、第３図のような積層セ
ラミックコンデンサを製造していた。

この積層セラミックコンデンサは、印刷スクリーンのＡ
パターンとこれと半ピッチずれたＢパターンによって交
互に左右にずれて形成された内部電極２２ａ、２２ｂを
有する誘電体セラミック層２０ａ、２０ｂが交互に積層
され、さらに、この両側に電極を育しないセラミック層
２１が圧着されている。そして、このように積面された
内部電極２２ａ、２２ｂとセラミック層２０　ａ、　　
２０　ｂ、　　２１の両端面に各々」−配向部電極２２
ａ、２２ｂが接触するように、外部電極２３ａ、２３ｂ
が形成されている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来の積層セラミックコンデンサの製造方
法によれば、内部電極がスクリーン印刷されるが、この
場合、Ａパターンと８パターンはそれぞれ異なるステン
シルに形成されることになる。枠に張られたステンシル
は、部分的にテンシロンが異なり、特に中央部分と１Ｎ
辺部分では大きくテンシーンが異なる。

そして、異なるスクリーン上に形成されたＡパターンと
Ｂパターンとでは、それぞれの誤差があり、これらのパ
ターンを使用して別個に印刷すると、パターンの相異に
よる誤差に加えて、パターンの重なり精度にバラツキが
生じ、これが原因となって、静電容ユのバラツキが太き
（なるといった問題点があった。

本発明は、上記従来の積層セラミックコンデンサの製造
方法における問題点に鑑み、一つの印刷パターンを用い
ることによって、問題点を解消することのできるｆｆ１
ｆｆセラミツクコンデンサの製造方法を提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段］ すなわち、上記目的を達成するために、本発明では、第
一に、誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗布
し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン群
を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち抜
き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコン
デンサの製造方法において、内部電極パターンＡ１　Ｂ
を一列おきに半ピッチずらした同一配列のパターン１ｉ
ｒをグリーンシート１２上に印刷、配列し、上記パター
ン１１￥をその奇数列分交互にずらして打ち抜き、それ
らを順次積層することを特徴とする積層セラミックコン
デンサの製造方法を提供する。

第二に、誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗
布し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン
群を配列し、これをパターン１１１毎に所定の大きさに
打ち抜き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミッ
クコンデンサの製造方法において、内部電極パターンＡ
、　　Ｂを一列おきに半ピッチずらした同一配列のパタ
ーンｌｊＦを、同パターン群の奇数列分交互にずらして
グリーンシート１２．１３上に印刷、配列し、上記パタ
ーン１ｉｆをその列方向にずらさずに打ち抜き、それら
を順次積層することを特徴とする積層セラミックコンデ
ンサの製造方法を提供する。

［作　　　用コ 上記本発明による積層セラミックコンデンサの製造方法
によれば、異なるＡパターン、！：Ｂパターンを一つの
ステンシルを使用して印刷し、内部電極パターンを形成
することができる。

このため、同一パターン上の中央部分と周辺端部でのス
キージの印圧の相異による誤差は生じるものの、同一パ
ターンによって形成されたより近傍の内部電極パターン
同士の誤差は極めて小さく、はとんど無視することがで
きる程度である。このため、前記従来例のように、異な
るスクリーン上に形成されたＡパターンとＢパターンと
の相異によってもたらされる誤差はＭ消される。

よって、これらを積層、焼成した場合、パターンの重な
り精度にバラツキが生じることもなく、静電容ユのバラ
ツキが極めて小さい積層セラミックコンデンサを製造す
ることができる。

［実　施　例］ 以下、本発明の実施例について、具体的に説明を加える
。

最初に、誘電体材料となる原料粉末を印刷用のセラミッ
クグリーンシートとするまでの］二程は従来例と同一で
あるため、説明は省略する。

なお、従来例の第４図と同様に、第１図及び第２図では
理解を容易にするために、図中グリーンシートの端部の
四列の一部について表わしている。

まず、第１図（ａ）のように、第一列のＡパターンを４
．０ｍｎＸ０．７報の形状のものを、０゜６ｍＩＩの間
隔で形成する。次に第二列のＢパターンとして、まず上
記第一列のＡパターンの側端部の延長線が中央に位ｒｄ
するように、１．　８ｍｍ＋Ｘ０．７ｍ＋ｎの形状のも
のを形成し、その次に０゜６市の間隔をおいて４．０關
Ｘ０．７＋１Ｉ１１の形状のものを多数形成し、最後に
上記１．８−＝ｌＸＯ。

７１の形状のものを形成する。つまり、Ｂパターンの第
二列目は、Ａパターンの第一列［１に対して、両端側部
に形成されたｌ、　　８＋ａｗ＋Ｘ０．　７ｍｍの形状
のものを介して、半ピッチずらした同一配列のパターン
ＨＴをグリーンシートＩ２−１−に印刷、配列する。

このような同一配列のパターン群が印刷、配列された後
、第１図（ｂ）のように、上記パターンｆｉ＋をその奇
数列分、交互にずらして打ち抜き、それらを順次積層す
る。次にこれらを圧着して、図中Ｘ−Ｘ、Ｙ−Ｙで示さ
れる位置で縦横に２゜５ｍｍＸ１．６＋ａｍの寸法に細
断し、焼成した後、両端部に導電性ペーストを塗布して
、焼き付け、外部電極を形成して積層セラミックコンデ
ンサを製造した。

次に、第二の製造方法として、第１図（８）で示された
ように、内部電極Ａパターン、Ｂパタ−ンを一列おきに
半ピッチずらした同一配列のパターン群とともに、第２
図（ａ）のように、同一ターン評の奇数列分交互にずら
してグリーンシーｈ１３上に印刷、配列する別のパター
ン１ｉｒを形成する。このように、印刷スクリーン上の
同一パターンから形成された上記パターン群を使用して
印刷、配列されたグリーンシート１２．１３を、第２図
（ｂ）のように、その列方向にずらさずに打ち抜いた。

そして、それらを順次積層し、これらを圧着して、図中
Ｘ−Ｘ、　　Ｙ−Ｙで示される位置でＭｌに２．　５　
ｍｍＸ　１．　６　ｍｆｆ１（７）寸法に細断して、Ｍ
層セラミックコンデンサを製造した。

このような上記二つの方法により製造された積層セラミ
ックコンデンサを、それぞれ無作為に１００個抽出し、
静電容量をオ！す定しで、その測定分布のひろがりを標
準偏差／平均値（σ／７）で示したところ、その値はσ
／ｘ＝２．３％であった。この数値の比較例として、従
来の方法によって製造された積層セラミックコンデンサ
を同様の条件で測定したところ、σ／　Ｘ　＝３．４％
であった。

［発明の効果］ 前記説明からも明らかなように、本発明による積層セラ
ミックコンデンサの製造方法によれば、従来、別個のス
クリーンによって形成していた複数のパターンを、一つ
のステンシルをイ吏用して印刷し、内部電極パターンを
形成することによって、同一パターン上の中央部分と周
辺Ｘｆ４部でのスキージの印圧の相異による１ヒ１差は
生じるものの、同一パターンによって形成されたより近
傍の内部電極パターン同士の誤差は極めて小さく、はと
んど無視することができる程度となる。これにより、従
来例のように、異なるスクリーン上に形成されたパター
ンの相異によってもたらされる誤差は解消される。

このため、これらをＭ層、焼成した場合、パターンの積
層精度が良々、静電容量のバラツキが極めて小さい、精
度の良い積層セラミックコンデンサを製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、本発明の実施例Ｉによって同一グリー
ンシート上に複数のパターンを印刷した状態を示す平面
図、第１図（ｂ）は、上記のようにして形成した複数の
パターンをＭ層した状態を示す平面図、第２図（ａ）は
、本発明の実施例２によって同一グリーンシート上に複
数のパターンを印刷した状態を示す平面図、第１図（ｂ
）は、上記のようにして形成した複数のパターンを積層
した状態を示す平面図、第３ｔＲ１（ａ）は、積層セラ
ミックコンデンサの構造を示す断面図、第３図（ｂ）は
、積層セラミックコンデンサの構造を示す一部切り欠け
た状態の斜視図、第４図（ａ）は、従来の方法によって
、別個のグリーンシート上にそれぞれの単一パターンを
印刷した状態を示す平面図、第４図（ｂ）は、上記のよ
うにして形成した複数のパターンを積層した状態を示す
平面図である。 Ａ、　　Ｂ・・・印ｇリパターン　ｌ０１１１．１２．
１３・・・セラミックグリーンシート　２０ａ、２０ｂ
・・・３ａ　’Ｆｓ体セラミックｎ　　２１・・・セラ
ミック層２２ａ、２２ｂ”−内部電極　２３ａ、２３ｂ
・・・外部電極 特許出願人　　太陽誘電株式会社 代　　理　　人　弁理士　北條　和由 く ■ １＝＝−−＝−＋＋−−−−

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗布
   し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン群
   を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち抜
   き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコン
   デンサの製造方法において、内部電極パターンを一列お
   きに半ピッチずらした同一配列のパターン群をグリーン
   シート上に印刷、配列し、上記パターン群をその奇数列
   分交互にずらして打ち抜き、それらを順次積層すること
   を特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
2. （２）誘電体グリーンシート上に、導電ペーストを塗布
   し、内部電極パターンを縦横に複数印刷したパターン群
   を配列し、これをパターン群毎に所定の大きさに打ち抜
   き、積層し、圧着した後、焼成する積層セラミックコン
   デンサの製造方法において、内部電極パターンを一列お
   きに半ピッチずらした同一配列のパターン群を、同パタ
   ーン群の奇数列分交互にずらしてグリーンシート上に印
   刷、配列し、上記パターン群をその列方向にずらさずに
   打ち抜き、それらを順次積層することを特徴とする積層
   セラミックコンデンサの製造方法。