JPH02167671A - カーボン入り電着砥石 - Google Patents
カーボン入り電着砥石Info
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- JPH02167671A JPH02167671A JP32314188A JP32314188A JPH02167671A JP H02167671 A JPH02167671 A JP H02167671A JP 32314188 A JP32314188 A JP 32314188A JP 32314188 A JP32314188 A JP 32314188A JP H02167671 A JPH02167671 A JP H02167671A
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 38
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 38
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 8
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 18
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 abstract description 13
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 abstract 2
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 abstract 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- -1 carbon black Chemical compound 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は砥粒を電着固定した電着砥石の改良に関する。
砥粒を旧等の電解液中に混入し、該液中に適宜の金属基
台を浸漬し、該基台の表面に堆積する砥粒を析出金属に
より電着固定して製造する電着砥石の製造方法は周知で
ある。 この技術によって製造された電着砥石は被加工物の切削
、研削に広く使用されている。しかし、被加工物がシリ
コン、フェライト、ガラス等の脆性材料である場合には
、砥粒が強固に旧等の析出金属により結合されている為
、被加工物に与える衝撃力が比較的大きく、前記被加工
物に割れ、欠は等を生じさせると云う問題を有していた
。 そこで、本出願人は砥粒の電着固定の力を弱めれば被加
工物への衝撃力が弱まり、被加工物に割れ、欠は等を生
じさせず良好な研削、切削が遂行されるであろうことに
着目し、砥粒間に空隙を持たせるべく、ダイヤモンド等
の砥粒に予め無電解めっき法等により金属被膜を施して
おき、かかる前処理がなされた砥粒を金属被覆されてい
ない砥粒と共に、又は単独で旧等の電解液に混入し、適
宜の金属基台を該電解液中に浸漬して、該基台表面に堆
積する金属被覆された砥粒が析出金属により固定される
ようにして電着砥石を製造した（特開昭Ｅ！０−８０５
Ｅ３２号公報）。 このようにして製造された電着砥石は内部に空隙を有し
ている故に、脆性材料を研削するにおいても、割れ、欠
は等を生じさせることなく、良好に研削を遂行するもの
であった。 又、結合力が適度に弱いため、いわゆる自生作用が良好
になされ、ドレッシングの回数が極めて少なくなり、作
業性の向上も図ることの出来るものであった。 しかしながら、この電着砥石は砥粒に予め金属被覆を施
さなければならず、製造に十数時間の作業が余分に必要
となり、必然的に砥石の価格が高くならざるを得なかっ
た。 又、砥粒が個別に金属被覆されず、まとまって被覆され
ることも多く、このような砥粒によって形成された電着
砥石は、均一性がない為自生作用の不安定を招き、砥石
の安定した研削、切削機能が得難いと云う問題も有して
いた。
台を浸漬し、該基台の表面に堆積する砥粒を析出金属に
より電着固定して製造する電着砥石の製造方法は周知で
ある。 この技術によって製造された電着砥石は被加工物の切削
、研削に広く使用されている。しかし、被加工物がシリ
コン、フェライト、ガラス等の脆性材料である場合には
、砥粒が強固に旧等の析出金属により結合されている為
、被加工物に与える衝撃力が比較的大きく、前記被加工
物に割れ、欠は等を生じさせると云う問題を有していた
。 そこで、本出願人は砥粒の電着固定の力を弱めれば被加
工物への衝撃力が弱まり、被加工物に割れ、欠は等を生
じさせず良好な研削、切削が遂行されるであろうことに
着目し、砥粒間に空隙を持たせるべく、ダイヤモンド等
の砥粒に予め無電解めっき法等により金属被膜を施して
おき、かかる前処理がなされた砥粒を金属被覆されてい
ない砥粒と共に、又は単独で旧等の電解液に混入し、適
宜の金属基台を該電解液中に浸漬して、該基台表面に堆
積する金属被覆された砥粒が析出金属により固定される
ようにして電着砥石を製造した（特開昭Ｅ！０−８０５
Ｅ３２号公報）。 このようにして製造された電着砥石は内部に空隙を有し
ている故に、脆性材料を研削するにおいても、割れ、欠
は等を生じさせることなく、良好に研削を遂行するもの
であった。 又、結合力が適度に弱いため、いわゆる自生作用が良好
になされ、ドレッシングの回数が極めて少なくなり、作
業性の向上も図ることの出来るものであった。 しかしながら、この電着砥石は砥粒に予め金属被覆を施
さなければならず、製造に十数時間の作業が余分に必要
となり、必然的に砥石の価格が高くならざるを得なかっ
た。 又、砥粒が個別に金属被覆されず、まとまって被覆され
ることも多く、このような砥粒によって形成された電着
砥石は、均一性がない為自生作用の不安定を招き、砥石
の安定した研削、切削機能が得難いと云う問題も有して
いた。
本発明はシリコン、フェライト、ガラス等の脆性材料に
割れ、欠は等を生じさせずに研削、切削が遂行されると
共に、安定した自生作用がなされ、複雑且つ長時間を要
する製造工程をなくすことで、安価に製造できる電着砥
石の提供を目的とする。
割れ、欠は等を生じさせずに研削、切削が遂行されると
共に、安定した自生作用がなされ、複雑且つ長時間を要
する製造工程をなくすことで、安価に製造できる電着砥
石の提供を目的とする。
本発明は砥粒と導電性カーボンとが電着固定されてなる
カーボン入り電着砥石であり、砥石内部に空隙が形成さ
れている導電性カーボン入り電着砥石である。
カーボン入り電着砥石であり、砥石内部に空隙が形成さ
れている導電性カーボン入り電着砥石である。
砥粒とカーボンとが混在している電着砥石である故に、
被加工物への衝撃力がカーボンによって吸収されると共
に、カーボンの潤滑作用により被加工物の研削、切削が
良好になされる。又、カーボンが導電性である為、製造
中のカーボン同士の接触により、又カーボンと金属基台
との接触により空隙が形成され、この空隙によっても衝
撃力が吸収される。 カーボンの混入により、砥粒の結合度が弱く、砥粒の脱
落が適度になされ、自生作用が良好になされる。 更に、砥粒とカーボンとが電解液中において撹拌され、
均一に混ざり合うので、砥粒と被加工物との混合状態が
均一な電着砥石が形成され、それ故に自生作用が常に安
定しており、研削、切削機能が安定している。
被加工物への衝撃力がカーボンによって吸収されると共
に、カーボンの潤滑作用により被加工物の研削、切削が
良好になされる。又、カーボンが導電性である為、製造
中のカーボン同士の接触により、又カーボンと金属基台
との接触により空隙が形成され、この空隙によっても衝
撃力が吸収される。 カーボンの混入により、砥粒の結合度が弱く、砥粒の脱
落が適度になされ、自生作用が良好になされる。 更に、砥粒とカーボンとが電解液中において撹拌され、
均一に混ざり合うので、砥粒と被加工物との混合状態が
均一な電着砥石が形成され、それ故に自生作用が常に安
定しており、研削、切削機能が安定している。
つぎに本発明を図面に基づき詳細に説明する。
第１図は本発明の電着砥石の一例を示す研削砥石である
。アルミニュウム製の金属基台１の環状端部にダイヤモ
ンド砥粒と導電性カーボンとがニッケルによって電着固
定された電着砥石２が形成されている。 本発明になる電着砥石の製法は導電性カーボンが電解液
に混入していることを除き、公知の製法と変わるとこう
はないので、第２図に基づき簡単に説明する。 電解液ＷＩａ内に硫酸ニッケル等の電解液が入っており
、該電解液内にダイヤモンド砥粒４と導電性カーボン５
とが１：１の割合で混入している。 本実施例では粒径２〜４μ閣のダイヤモンド砥粒４と粒
径１５μｍ以下のＬＯＮＺＡ社製ＫＳ１５、グラフ１．
イトパウダー（商品名）の導電性カーボン５を使用した
。 電解液中に浸漬する金属基台ｌはアルミニュウムで形成
されており、該基台１にはダイヤモンド砥粒４と導電性
カーボン５とを電着固定して、導電性カーボン入り電着
砥石２を形成するフランジ部１ａが設けられている。そ
して、電着砥石２を形成すべきフランジｌａの上面以外
は、絶縁部材（例えばシリコンゴム）６によって被覆し
、電解液中に浸漬する。しかる後、ニッケル棒７を電解
液中に浸漬して、電源（図示せず）の正極に接続すると
共に、金属基台１を陰極に接続し、所定の電圧を印加し
て、絶縁部材６の被覆されていない面に堆積するダイヤ
モンド砥粒４と導電性カーボン５とを析出するニッケル
により電着固定する。 この際、適宜電解液を攪拌することにより、ダイヤモン
ド砥粒４と導電性カーボン５とを浮遊状態にしておくこ
とが好ましい。 所望の厚さに電着層が成長した後、金属基台１を電解槽
から搬出し、絶縁部材６を剥離すると共に、フランジ部
１ａをエツチング等して除去することにより、第１図の
研削砥石を形成した。 このようにして形成された電着砥石２はダイヤモンド砥
粒４と導電性カーボン５とが均一に混じりあっており、
しかも密度の均一な内部に空隙を有した砥石である。 次に、上記した方法に°よって製造した本発明に係わる
電着砥石２と、従来の砥石との比較試験結果について詳
述する。 比較試験は被研摩部材としてシリコンウェーハを選定し
、それぞれの砥石によって７００枚づつ研削し、シリコ
ンウェーハの研削面状態と砥石の摩耗状態について調査
した。尚、研削条件としては研削砥石と被研摩部材の相
対速度を１８０ｍｍ／分、研削深さ５μｌとし、研削砥
石の周速度を４８００ｍ／分、研削液（水）供給量４１
／分の一定条件で行った。 被研摩部材であるシリコンウェーハの研削面を平坦度の
Ｒｗａｘで評価したところ、本発明に係わる研削砥石で
研摩したシリコンウェーハは最小値が０．１８μｍ、最
大値が０．３４μ重であっり、一方、ダイヤモンド砥粒
４に金属被膜を施し、空隙を持たせた従来の砥石は最小
値が０．２０μｍ１最大値が１．９μ畑であった。Ｒ＋
ｍａｘは小さい程面状態が滑らかであることを意味する
ので、この結果から本発明の電着砥石は安定した面状態
の研削が常になされることが立証された。 次に、砥石の摩耗量について１００枚のシリコンウェー
ハを研削する毎に測定したところ、本発明に係わる電着
砥石２の摩耗量は最小値で３．２４μ膳、最大値で３．
６２μｍであり、従来の砥石の摩耗量は最小値で２．６
８μ■、最大値で５．８０μ腸であった。この結果から
明らかなごとく、本発明に係わる電着砥石は極めて摩耗
が安定しており、換言すれば安定した自生作用がなされ
ていることを物語っている。 以上の比較実験はシリコンウェーハ表面を研削する砥石
について行われたものであるが、満付け、切断用の第３
図に示す形状の切削砥石８についても同様の結果が得ら
れるものである。即ち、切削砥石８の摩耗が安定してい
る故に被切削物の切削面が安定していること、衝撃を吸
収するので切削端部にチッピングが生じ難、いとと、更
に適度な自生作用があるが故に、ドレッシングの回数が
極めて少なくてすみ、切削性の向上が図れること等であ
る。 切削砥石８の製法は研削砥石２の製法と基本的に変わる
ところはない。 本発明は砥粒と導電性カーボンとを適宜に混ぜ合わせ、
電着固定したｗ１着砥石であり、被加工物に対応した、
又は目的に応じた種々の形状、大きさに形成されるもの
であり、実施例に限定されるものではない。 更に、実施例は砥粒２〜４μｍのダイヤモンド砥粒４と
、１５μｍ以下の粒径の導電性カーボン５とを１＝１の
割合で使用したが、ダイヤモンド砥粒４に限らすＣＢＮ
１７ランダム、カーボランダム等の種々の砥粒について
も使用でき、又カーボンについてもグラファイトパウダ
ーに限らず、カーボンブラック等の導電性カーボンでも
良く、粒径、割合についても適宜変更できるものである
ことは云うまでもない。
。アルミニュウム製の金属基台１の環状端部にダイヤモ
ンド砥粒と導電性カーボンとがニッケルによって電着固
定された電着砥石２が形成されている。 本発明になる電着砥石の製法は導電性カーボンが電解液
に混入していることを除き、公知の製法と変わるとこう
はないので、第２図に基づき簡単に説明する。 電解液ＷＩａ内に硫酸ニッケル等の電解液が入っており
、該電解液内にダイヤモンド砥粒４と導電性カーボン５
とが１：１の割合で混入している。 本実施例では粒径２〜４μ閣のダイヤモンド砥粒４と粒
径１５μｍ以下のＬＯＮＺＡ社製ＫＳ１５、グラフ１．
イトパウダー（商品名）の導電性カーボン５を使用した
。 電解液中に浸漬する金属基台ｌはアルミニュウムで形成
されており、該基台１にはダイヤモンド砥粒４と導電性
カーボン５とを電着固定して、導電性カーボン入り電着
砥石２を形成するフランジ部１ａが設けられている。そ
して、電着砥石２を形成すべきフランジｌａの上面以外
は、絶縁部材（例えばシリコンゴム）６によって被覆し
、電解液中に浸漬する。しかる後、ニッケル棒７を電解
液中に浸漬して、電源（図示せず）の正極に接続すると
共に、金属基台１を陰極に接続し、所定の電圧を印加し
て、絶縁部材６の被覆されていない面に堆積するダイヤ
モンド砥粒４と導電性カーボン５とを析出するニッケル
により電着固定する。 この際、適宜電解液を攪拌することにより、ダイヤモン
ド砥粒４と導電性カーボン５とを浮遊状態にしておくこ
とが好ましい。 所望の厚さに電着層が成長した後、金属基台１を電解槽
から搬出し、絶縁部材６を剥離すると共に、フランジ部
１ａをエツチング等して除去することにより、第１図の
研削砥石を形成した。 このようにして形成された電着砥石２はダイヤモンド砥
粒４と導電性カーボン５とが均一に混じりあっており、
しかも密度の均一な内部に空隙を有した砥石である。 次に、上記した方法に°よって製造した本発明に係わる
電着砥石２と、従来の砥石との比較試験結果について詳
述する。 比較試験は被研摩部材としてシリコンウェーハを選定し
、それぞれの砥石によって７００枚づつ研削し、シリコ
ンウェーハの研削面状態と砥石の摩耗状態について調査
した。尚、研削条件としては研削砥石と被研摩部材の相
対速度を１８０ｍｍ／分、研削深さ５μｌとし、研削砥
石の周速度を４８００ｍ／分、研削液（水）供給量４１
／分の一定条件で行った。 被研摩部材であるシリコンウェーハの研削面を平坦度の
Ｒｗａｘで評価したところ、本発明に係わる研削砥石で
研摩したシリコンウェーハは最小値が０．１８μｍ、最
大値が０．３４μ重であっり、一方、ダイヤモンド砥粒
４に金属被膜を施し、空隙を持たせた従来の砥石は最小
値が０．２０μｍ１最大値が１．９μ畑であった。Ｒ＋
ｍａｘは小さい程面状態が滑らかであることを意味する
ので、この結果から本発明の電着砥石は安定した面状態
の研削が常になされることが立証された。 次に、砥石の摩耗量について１００枚のシリコンウェー
ハを研削する毎に測定したところ、本発明に係わる電着
砥石２の摩耗量は最小値で３．２４μ膳、最大値で３．
６２μｍであり、従来の砥石の摩耗量は最小値で２．６
８μ■、最大値で５．８０μ腸であった。この結果から
明らかなごとく、本発明に係わる電着砥石は極めて摩耗
が安定しており、換言すれば安定した自生作用がなされ
ていることを物語っている。 以上の比較実験はシリコンウェーハ表面を研削する砥石
について行われたものであるが、満付け、切断用の第３
図に示す形状の切削砥石８についても同様の結果が得ら
れるものである。即ち、切削砥石８の摩耗が安定してい
る故に被切削物の切削面が安定していること、衝撃を吸
収するので切削端部にチッピングが生じ難、いとと、更
に適度な自生作用があるが故に、ドレッシングの回数が
極めて少なくてすみ、切削性の向上が図れること等であ
る。 切削砥石８の製法は研削砥石２の製法と基本的に変わる
ところはない。 本発明は砥粒と導電性カーボンとを適宜に混ぜ合わせ、
電着固定したｗ１着砥石であり、被加工物に対応した、
又は目的に応じた種々の形状、大きさに形成されるもの
であり、実施例に限定されるものではない。 更に、実施例は砥粒２〜４μｍのダイヤモンド砥粒４と
、１５μｍ以下の粒径の導電性カーボン５とを１＝１の
割合で使用したが、ダイヤモンド砥粒４に限らすＣＢＮ
１７ランダム、カーボランダム等の種々の砥粒について
も使用でき、又カーボンについてもグラファイトパウダ
ーに限らず、カーボンブラック等の導電性カーボンでも
良く、粒径、割合についても適宜変更できるものである
ことは云うまでもない。
本発明に係わる電着砥石は砥粒と砥粒との間に適宜導電
性カーボンが介在しているために、被加工物への衝撃力
が吸収されると共に、カーボンの潤滑作用により被加工
物に割れ、欠は等を生じさせない。又、砥粒と導電性カ
ーボンとが均一に混じり合った状態で砥石が形成されて
いる為、砥石の摩耗が安定しており、安定した自生作用
が遂行され、砥粒の急激な脱落から生じる衝撃力が被加
工物に作用せず、安定した切削、研削がなされるのであ
る。 更に本発明に係わる電着砥石は砥粒に予め金属被膜を施
す必要がないので、十数時間の複雑な工程を省略するこ
とが出来、安価に製造出来る利点がある。
性カーボンが介在しているために、被加工物への衝撃力
が吸収されると共に、カーボンの潤滑作用により被加工
物に割れ、欠は等を生じさせない。又、砥粒と導電性カ
ーボンとが均一に混じり合った状態で砥石が形成されて
いる為、砥石の摩耗が安定しており、安定した自生作用
が遂行され、砥粒の急激な脱落から生じる衝撃力が被加
工物に作用せず、安定した切削、研削がなされるのであ
る。 更に本発明に係わる電着砥石は砥粒に予め金属被膜を施
す必要がないので、十数時間の複雑な工程を省略するこ
とが出来、安価に製造出来る利点がある。
第１図は本発明の電着砥石の説明図、第２図は本発明の
電着砥石を製造する装置の説明図、第３図は他の実施例
を示す説明図である。 １・・・金属基台、 ｌａ・・・フランジ、 ２・・・電着砥石、 ３・・・電解液槽、 ４・・・ダイヤモンド砥粒、 ５・・・導電性カーボン、 ６・・・絶縁部材、 ７・・・ニッケル棒、 ８・・・切削砥石。
電着砥石を製造する装置の説明図、第３図は他の実施例
を示す説明図である。 １・・・金属基台、 ｌａ・・・フランジ、 ２・・・電着砥石、 ３・・・電解液槽、 ４・・・ダイヤモンド砥粒、 ５・・・導電性カーボン、 ６・・・絶縁部材、 ７・・・ニッケル棒、 ８・・・切削砥石。
Claims (2)
- （１）砥粒と導電性カーボンとが電着固定されてなるカ
ーボン入り電着砥石。 - （２）砥石内部に空隙が形成されている請求項１記載の
カーボン入り電着砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32314188A JPH02167671A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | カーボン入り電着砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32314188A JPH02167671A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | カーボン入り電着砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02167671A true JPH02167671A (ja) | 1990-06-28 |
Family
ID=18151542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32314188A Pending JPH02167671A (ja) | 1988-12-21 | 1988-12-21 | カーボン入り電着砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02167671A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016168655A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 株式会社ディスコ | 電着砥石の製造方法 |
| JP2017087353A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 株式会社ディスコ | 電着砥石の製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4943636A (ja) * | 1972-08-31 | 1974-04-24 | ||
| JPS5524825A (en) * | 1978-08-05 | 1980-02-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Method of producing metal bonded grinding wheel for glass grinding |
| JPS56114665A (en) * | 1980-02-01 | 1981-09-09 | Disco Abrasive Sys Ltd | Manufacture of grindstone |
| JPS6080562A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Disco Abrasive Sys Ltd | 電着砥石 |
| JPS637458B2 (ja) * | 1980-12-16 | 1988-02-17 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp |
-
1988
- 1988-12-21 JP JP32314188A patent/JPH02167671A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4943636A (ja) * | 1972-08-31 | 1974-04-24 | ||
| JPS5524825A (en) * | 1978-08-05 | 1980-02-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Method of producing metal bonded grinding wheel for glass grinding |
| JPS56114665A (en) * | 1980-02-01 | 1981-09-09 | Disco Abrasive Sys Ltd | Manufacture of grindstone |
| JPS637458B2 (ja) * | 1980-12-16 | 1988-02-17 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp | |
| JPS6080562A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Disco Abrasive Sys Ltd | 電着砥石 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016168655A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 株式会社ディスコ | 電着砥石の製造方法 |
| JP2017087353A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 株式会社ディスコ | 電着砥石の製造方法 |
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