JPH02157593A - セラミックス焼成用敷粉代替シート - Google Patents
セラミックス焼成用敷粉代替シートInfo
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- JPH02157593A JPH02157593A JP63310138A JP31013888A JPH02157593A JP H02157593 A JPH02157593 A JP H02157593A JP 63310138 A JP63310138 A JP 63310138A JP 31013888 A JP31013888 A JP 31013888A JP H02157593 A JPH02157593 A JP H02157593A
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Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、セラミックス基板又はセラミックス成型体等
を焼成する際に、合板と焼成物間及び重ね合わされた焼
成物間の反応や焼成物の変形を防止するために使用され
るセラミックス焼成用敷粉代替シートに関するものであ
る。
を焼成する際に、合板と焼成物間及び重ね合わされた焼
成物間の反応や焼成物の変形を防止するために使用され
るセラミックス焼成用敷粉代替シートに関するものであ
る。
[従来の技術]
例えば、セラミックス基板やセラミックス成型体(以下
セラミックス基板等という)を効率よく焼成するには、
合板の上に数枚のセラミックス基板等を重ね合わせて一
度に焼成する必要がある。
セラミックス基板等という)を効率よく焼成するには、
合板の上に数枚のセラミックス基板等を重ね合わせて一
度に焼成する必要がある。
この場合、合板とセラミックス基板等の間及び各セラミ
ックス基板等の間の反応やセラミックス基板等の変形を
防止するために、従来、これらの間に敷粉と称するアル
ミナ(A、Q 20 a )の如き高溶融点粒子を、機
械あるいは手作業によって散布していた。
ックス基板等の間の反応やセラミックス基板等の変形を
防止するために、従来、これらの間に敷粉と称するアル
ミナ(A、Q 20 a )の如き高溶融点粒子を、機
械あるいは手作業によって散布していた。
しかしながら、この方法では散布時の粉塵の発生、散布
の不均一やセラミックス基板等を設置する際の粒子の移
動、敷粉の偏在等により焼成後のセラミックス基板等に
うねりやキズ等が発生し易いという問題があった。
の不均一やセラミックス基板等を設置する際の粒子の移
動、敷粉の偏在等により焼成後のセラミックス基板等に
うねりやキズ等が発生し易いという問題があった。
このような問題を解決するため、例えば特公昭Go−8
991号公報にみられるごとく、可燃性の紙又はプラス
チックシート内に、AΩ203粉体、Z r O2粉体
のうち1種又は両者を分散させたもの、あるいは、特開
昭82−49188号公報に開示された発明のように可
燃性のシートの表面にAj7203の如き高溶融点のセ
ラミックス粉体とカーボン粉末とを含むコーティング層
を形成したものなどが提案され、実用化されている。さ
らにこれらに類するものとして、特開昭62−1938
25号公報、特開昭83−50369号公報、特開昭8
3−79784号公報等に開示された発明がある。
991号公報にみられるごとく、可燃性の紙又はプラス
チックシート内に、AΩ203粉体、Z r O2粉体
のうち1種又は両者を分散させたもの、あるいは、特開
昭82−49188号公報に開示された発明のように可
燃性のシートの表面にAj7203の如き高溶融点のセ
ラミックス粉体とカーボン粉末とを含むコーティング層
を形成したものなどが提案され、実用化されている。さ
らにこれらに類するものとして、特開昭62−1938
25号公報、特開昭83−50369号公報、特開昭8
3−79784号公報等に開示された発明がある。
[発明が解決しようとする課題]
上記の各発明は、いずれもセラミックス基板等の焼成時
に紙又はプラスチック成分が収縮し、このため敷粉とし
ての高溶融点粒子の分布が不均一になり、前述のような
焼成後のセラミックス基板等にうねりやキズが発生する
という問題は解決されていない。また、シートの表面に
コーティング層を形成するにあたっては、Ag2O3の
如き高溶融点粒子をバインダー中に分散したスラリー液
を使用しているため、比重の大きい高溶融点粒子が沈降
し易く、このためスラリー液中の高溶融点粒子の分布が
不均一となり、前記のようなセラミックス基板等の不良
品の発生原因となっていた。
に紙又はプラスチック成分が収縮し、このため敷粉とし
ての高溶融点粒子の分布が不均一になり、前述のような
焼成後のセラミックス基板等にうねりやキズが発生する
という問題は解決されていない。また、シートの表面に
コーティング層を形成するにあたっては、Ag2O3の
如き高溶融点粒子をバインダー中に分散したスラリー液
を使用しているため、比重の大きい高溶融点粒子が沈降
し易く、このためスラリー液中の高溶融点粒子の分布が
不均一となり、前記のようなセラミックス基板等の不良
品の発生原因となっていた。
さらに、特開昭82−49188号公報に開示された発
明は、可燃性シートとコーティング層の収縮率の差によ
るひずみが生じ易く、結果としてシートの収縮を助長す
ることになる等の問題がある。
明は、可燃性シートとコーティング層の収縮率の差によ
るひずみが生じ易く、結果としてシートの収縮を助長す
ることになる等の問題がある。
本発明は、上記の課題を解決すべ(なされたもので、セ
ラミックス基板等の焼成に際して、これらセラミックス
基板等のうねりやキズの発生を防止することができ、そ
の上製造が容易で低コストのセラミックス焼成用敷粉代
替シートを得ることを目的としたものである。
ラミックス基板等の焼成に際して、これらセラミックス
基板等のうねりやキズの発生を防止することができ、そ
の上製造が容易で低コストのセラミックス焼成用敷粉代
替シートを得ることを目的としたものである。
[課題を解決するための手段]
本発明に係るセラミックス焼成用敷粉代替シートは、可
燃性でセラミックス焼成時に収縮しない紙又はプラスチ
ックシートの表面にセラミックス焼成温度で溶融しない
高溶融点粒子の層を形成したもの、及び 前記紙又はプラスチックシートは、紙又はプラスチック
成分の燃焼温度では存在し、セラミックスの最終焼成温
度までには焼失する物質を含有したものである。
燃性でセラミックス焼成時に収縮しない紙又はプラスチ
ックシートの表面にセラミックス焼成温度で溶融しない
高溶融点粒子の層を形成したもの、及び 前記紙又はプラスチックシートは、紙又はプラスチック
成分の燃焼温度では存在し、セラミックスの最終焼成温
度までには焼失する物質を含有したものである。
[作 用]
セラミックス基板等の間に本発明に係る敷粉代替シート
を挾んで焼成すると、先ず200〜500℃程度で紙又
はプラスチックは焼失するが、これに含有されたカーボ
ン粉末の如き物質は残存してシートの収縮を防止する。
を挾んで焼成すると、先ず200〜500℃程度で紙又
はプラスチックは焼失するが、これに含有されたカーボ
ン粉末の如き物質は残存してシートの収縮を防止する。
ついで、セラミックスの最終焼成温度に達するまでに上
記物質は焼失し、A11203粒子の如き高溶融点粒子
のみがセラミックス基板等の間に敷粉として均一に残存
し、セラミックス基板等の剥離を容易にし、また、うね
りやキズの発生を防止する。
記物質は焼失し、A11203粒子の如き高溶融点粒子
のみがセラミックス基板等の間に敷粉として均一に残存
し、セラミックス基板等の剥離を容易にし、また、うね
りやキズの発生を防止する。
[発明の実施例]
本゛発明に係るセラミックス焼成用敷粉代替シートは、
セラミックス基板等の焼成時のシートの収縮をな(すた
めに、紙又はプラスチックからなり、これらの燃焼温度
では存在し、セラミックスの最終焼成温度に達するまで
には焼失する物質(例えばカーボン粉体)を含有する生
シートを表面に適当に粘着力が残るまで乾燥し、この生
シートの表面に高溶融点粒子(例えばA ROSZ r
O2等)を付着させ、乾燥して一体化したものである
。
セラミックス基板等の焼成時のシートの収縮をな(すた
めに、紙又はプラスチックからなり、これらの燃焼温度
では存在し、セラミックスの最終焼成温度に達するまで
には焼失する物質(例えばカーボン粉体)を含有する生
シートを表面に適当に粘着力が残るまで乾燥し、この生
シートの表面に高溶融点粒子(例えばA ROSZ r
O2等)を付着させ、乾燥して一体化したものである
。
生シートに用いる紙は、セラミックス基板等の焼成時に
完全に焼失するバルブを原料とするものが望ましい。ま
た、プラスチックとしては、ポリビニルアルコールや酢
酸ビニル樹脂等が望ましく、パルプとプラスチックを混
合したものを使用してもよい。何れにしても、セラミッ
クス基板等に悪影響を及ぼすことなく焼失するものであ
ればよい。
完全に焼失するバルブを原料とするものが望ましい。ま
た、プラスチックとしては、ポリビニルアルコールや酢
酸ビニル樹脂等が望ましく、パルプとプラスチックを混
合したものを使用してもよい。何れにしても、セラミッ
クス基板等に悪影響を及ぼすことなく焼失するものであ
ればよい。
バルブ紙又はプラスチックの燃焼温度は200〜500
℃であり、セラミックス基板等の焼成時には比較的低い
温度の段階で焼失するが、このときシートの収縮を伴な
い、高溶融点粒子の分布を不均一にする。発明者はこの
点に鑑みて種々試験、研究を行なった結果、セラミック
スの最終焼成温度は1000℃以上であるため、バルブ
紙やプラスチックが焼失する500℃程度までは燃焼せ
ずに存在してシートの収縮を防止し、セラミックスの最
終焼底温度までには完全に焼失する物質をシートに含有
させることが、シートの収縮防止にきわめて有効である
ことがわかった。このような物質としては、セラミック
ス基板等に悪影響を及ぼさずに完全に焼失するものであ
れば、粉末状のものでも繊維状のものでも使用すること
ができる。−例として、空気中において700〜850
℃で焼失するカーボン粉末があり、これはコスト的にも
有利である。
℃であり、セラミックス基板等の焼成時には比較的低い
温度の段階で焼失するが、このときシートの収縮を伴な
い、高溶融点粒子の分布を不均一にする。発明者はこの
点に鑑みて種々試験、研究を行なった結果、セラミック
スの最終焼成温度は1000℃以上であるため、バルブ
紙やプラスチックが焼失する500℃程度までは燃焼せ
ずに存在してシートの収縮を防止し、セラミックスの最
終焼底温度までには完全に焼失する物質をシートに含有
させることが、シートの収縮防止にきわめて有効である
ことがわかった。このような物質としては、セラミック
ス基板等に悪影響を及ぼさずに完全に焼失するものであ
れば、粉末状のものでも繊維状のものでも使用すること
ができる。−例として、空気中において700〜850
℃で焼失するカーボン粉末があり、これはコスト的にも
有利である。
一方、生シートの表面に付着させる高溶融点粒子は、生
シートの乾燥途中において粘着力が適当に残っている表
面に、落下方式又は静電塗装方式により付着させるよう
にしたものであり、均一性に優る静電塗装方式が好まし
い。この高溶融点粒子は、セラミックス基板等の焼成時
に敷粉として均一に残り、積層したセラミックス基板等
の融着を防止する。なお、セラミックス基板等は種類に
もよるが焼成時に多少なりとも収縮するので、高溶融点
粒子は球状で滑性があり、粒度分布範囲の狭いものが望
ましい。
シートの乾燥途中において粘着力が適当に残っている表
面に、落下方式又は静電塗装方式により付着させるよう
にしたものであり、均一性に優る静電塗装方式が好まし
い。この高溶融点粒子は、セラミックス基板等の焼成時
に敷粉として均一に残り、積層したセラミックス基板等
の融着を防止する。なお、セラミックス基板等は種類に
もよるが焼成時に多少なりとも収縮するので、高溶融点
粒子は球状で滑性があり、粒度分布範囲の狭いものが望
ましい。
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
先ず、プラスチック原料にカーボン粉末を均一に分散混
入した生シートを、表面に粘着力が残る程度に乾燥し、
その表面にA I 20 a粒子を静電塗装法により6
0g/rf付着させて完全乾燥し、厚さO,15a+m
のシートを製作した。この場合、Ag2O3粒子はシー
トの厚さより粒径の小さいものを用い、10〜150−
の範囲の中から選んだ任意のものを使用した。Al2O
3粒子の粒径が10−より小さいと、焼成したセラミッ
クス基板等の離型効果が不充分であり、一方、150
uを超えると焼成後のセラミックス基板等にうねりやキ
ズが発生する。
入した生シートを、表面に粘着力が残る程度に乾燥し、
その表面にA I 20 a粒子を静電塗装法により6
0g/rf付着させて完全乾燥し、厚さO,15a+m
のシートを製作した。この場合、Ag2O3粒子はシー
トの厚さより粒径の小さいものを用い、10〜150−
の範囲の中から選んだ任意のものを使用した。Al2O
3粒子の粒径が10−より小さいと、焼成したセラミッ
クス基板等の離型効果が不充分であり、一方、150
uを超えると焼成後のセラミックス基板等にうねりやキ
ズが発生する。
上記のようにして製作したシートの断面構造を第1図に
示す。図において、(1)はシートで、(2)はプラス
チック、(3)はプラスチック内に分散して混入したカ
ーボン粉末、(4)は表面に付着したAg2O3粒子で
ある。
示す。図において、(1)はシートで、(2)はプラス
チック、(3)はプラスチック内に分散して混入したカ
ーボン粉末、(4)は表面に付着したAg2O3粒子で
ある。
次に、製作したシート(1)を第2図に示すように、合
板(5)とセラミックス基板等(6)との間及びセラミ
ックス基板等(6)の間に挾み、1250℃まで加熱し
て焼成し、焼成後のセラミックス基板等の剥離状態、う
ねり、キズの発生状態等を観察した結果を表1〜表3に
示す。
板(5)とセラミックス基板等(6)との間及びセラミ
ックス基板等(6)の間に挾み、1250℃まで加熱し
て焼成し、焼成後のセラミックス基板等の剥離状態、う
ねり、キズの発生状態等を観察した結果を表1〜表3に
示す。
(1)プラスチック成分とカーボン粉末の混合割合によ
る効果(表1)。
る効果(表1)。
表1
表2
(2) シートの厚さによる効果(プラスチック成分5
Qvt%、カーボン粉末50vt%、高溶融点粒子の粒
径10〜150 F&ffi、Ag2O3粒子量Hg/
イの場合)(表2) (3)Ag203粒子の量による効果(プラスチック成
分50vt%、カーボン粉末50i%、高溶融点粒子の
粒径10〜150−、シート厚さ0,15止の場合)(
表3) 表3 上記のように、試験の結果によれば、カーボンを50〜
70wt%含む紙又はプラスチックの表面に、粒径10
〜150−の高溶融点粒子を50〜120g/rr?付
着させた厚さ0,07〜1.00mmのセラミックス焼
成用敷粉代替シートをセラミックス基板の間に挾んで焼
成したところ、きわめて好結果が得られた。
Qvt%、カーボン粉末50vt%、高溶融点粒子の粒
径10〜150 F&ffi、Ag2O3粒子量Hg/
イの場合)(表2) (3)Ag203粒子の量による効果(プラスチック成
分50vt%、カーボン粉末50i%、高溶融点粒子の
粒径10〜150−、シート厚さ0,15止の場合)(
表3) 表3 上記のように、試験の結果によれば、カーボンを50〜
70wt%含む紙又はプラスチックの表面に、粒径10
〜150−の高溶融点粒子を50〜120g/rr?付
着させた厚さ0,07〜1.00mmのセラミックス焼
成用敷粉代替シートをセラミックス基板の間に挾んで焼
成したところ、きわめて好結果が得られた。
なお、カーボンを50〜70vt%含む紙又はプラスチ
ックの表面に、粒径10〜150μsの高溶融点粒子を
50〜80g/ゴ付着させて厚さ0.07〜0.15關
の敷粉代替シートとすれば、コスト的にも最適である。
ックの表面に、粒径10〜150μsの高溶融点粒子を
50〜80g/ゴ付着させて厚さ0.07〜0.15關
の敷粉代替シートとすれば、コスト的にも最適である。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明に係るセラミッ
クス焼成用敷粉代替シートは、カーボン粉末の如き物質
を含有さ′せることによりセラミックス焼成時に収縮し
ない紙又はプラスチックシートの表面に、A I) 2
0 aの如き高溶融点粒子の層を形成したので、セラミ
ックス焼成時にシートが収縮するおそれがなく、敷粉と
なる高溶融点粒子をセラミックス基板等の間に均一に分
布させることができる。このため、焼成後のセラミック
ス基板等の剥離が容易で、うねりやキズを発生するおそ
れがなく、その上製造が容易で低コストである等、実施
による効果大である。
クス焼成用敷粉代替シートは、カーボン粉末の如き物質
を含有さ′せることによりセラミックス焼成時に収縮し
ない紙又はプラスチックシートの表面に、A I) 2
0 aの如き高溶融点粒子の層を形成したので、セラミ
ックス焼成時にシートが収縮するおそれがなく、敷粉と
なる高溶融点粒子をセラミックス基板等の間に均一に分
布させることができる。このため、焼成後のセラミック
ス基板等の剥離が容易で、うねりやキズを発生するおそ
れがなく、その上製造が容易で低コストである等、実施
による効果大である。
第1図は本発明実施例の拡大縦断面図、第2図は本発明
に係る敷粉代替シートの使用状態を示す説明図である。 1:敷粉代替シート、2:生シート、3:力−ボン粉末
、4:高溶融点粒子、6:セラミックス基板等。
に係る敷粉代替シートの使用状態を示す説明図である。 1:敷粉代替シート、2:生シート、3:力−ボン粉末
、4:高溶融点粒子、6:セラミックス基板等。
Claims (2)
- (1)可燃性でセラミックス焼成時に収縮しない紙又は
プラスチックシートの表面にセラミックス焼成温度で溶
融しない高溶融点粒子の層を形成したことを特徴とする
セラミックス焼成用敷粉代替シート。 - (2)前記紙又はプラスチックシートは、紙又はプラス
チック成分の燃焼温度では存在し、セラミックスの最終
焼成温度までには焼失する物質を含有することを特徴と
する請求項(1)記載のセラミックス焼成用敷粉代替シ
ート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63310138A JPH02157593A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | セラミックス焼成用敷粉代替シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63310138A JPH02157593A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | セラミックス焼成用敷粉代替シート |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02157593A true JPH02157593A (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=18001622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63310138A Pending JPH02157593A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | セラミックス焼成用敷粉代替シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02157593A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008110906A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Denso Corp | ハニカム構造体の製造方法 |
JP2009040668A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-02-26 | Mitsubishi Materials Corp | 焼結用セッター及び焼結体の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP63310138A patent/JPH02157593A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008110906A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Denso Corp | ハニカム構造体の製造方法 |
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