JPH0215416A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0215416A JPH0215416A JP63164999A JP16499988A JPH0215416A JP H0215416 A JPH0215416 A JP H0215416A JP 63164999 A JP63164999 A JP 63164999A JP 16499988 A JP16499988 A JP 16499988A JP H0215416 A JPH0215416 A JP H0215416A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁性媒体上に情報を記録する磁気記録媒体及
びその製造方法に係り、特に連続磁性膜を有する磁気記
録媒体及びその製造方法に関する。
びその製造方法に係り、特に連続磁性膜を有する磁気記
録媒体及びその製造方法に関する。
磁気ディスク等の情報記憶再生装置の磁気記録媒体は１
年々記録書度が向上し、従来の酸化物磁性体を有機バイ
ンダーで結合し塗布した磁性媒体（以下塗布媒体と略す
）に代わり、磁性体の連続磁性薄膜を有する媒体が検討
されている。これら薄膜媒体は、通常表面が非常に平滑
であるので、磁気ヘッドとの摺動損傷を防止するために
潤滑剤を表面に塗布している。ところが磁気ヘッドが磁
気ディスク上で相対的な移動を停止したとき、潤滑剤に
より両者が強く吸着し、相対的な移動を開始するときに
磁気ヘッドを磁気ディスク表面から引き離すのに非常に
大きな力が必要となり、磁気ヘッドを支持するバネ系を
損傷し、大きな障害を引き起こすことになる。これは潤
滑剤がない場合でも、吸着した水分等により同様な現像
を引き起こす。従ってこの吸着を防止することが必要で
ある。
年々記録書度が向上し、従来の酸化物磁性体を有機バイ
ンダーで結合し塗布した磁性媒体（以下塗布媒体と略す
）に代わり、磁性体の連続磁性薄膜を有する媒体が検討
されている。これら薄膜媒体は、通常表面が非常に平滑
であるので、磁気ヘッドとの摺動損傷を防止するために
潤滑剤を表面に塗布している。ところが磁気ヘッドが磁
気ディスク上で相対的な移動を停止したとき、潤滑剤に
より両者が強く吸着し、相対的な移動を開始するときに
磁気ヘッドを磁気ディスク表面から引き離すのに非常に
大きな力が必要となり、磁気ヘッドを支持するバネ系を
損傷し、大きな障害を引き起こすことになる。これは潤
滑剤がない場合でも、吸着した水分等により同様な現像
を引き起こす。従ってこの吸着を防止することが必要で
ある。
従来、特開昭５７−２０９２５に記載されている発明は
、上記吸着防止のために、非磁性粉末を磁性膜表面に分
散させ、突起を形成するものである。
、上記吸着防止のために、非磁性粉末を磁性膜表面に分
散させ、突起を形成するものである。
また、特開昭６０−４０５２８及び特開昭６０−１３６
９２０に記載されている発明は、アルミナの様な硬質微
粉末をあらかじめ加圧して一部を基板に埋め込み突起を
形成するものである。いずれも磁気ヘッドが磁性膜に接
触したとき、突起により直接磁性膜に密着しないので吸
着を起こさない。
９２０に記載されている発明は、アルミナの様な硬質微
粉末をあらかじめ加圧して一部を基板に埋め込み突起を
形成するものである。いずれも磁気ヘッドが磁性膜に接
触したとき、突起により直接磁性膜に密着しないので吸
着を起こさない。
上記特開昭５７−２０９２５に記載の技術は、上記突起
の安定性については配慮されていなかった。すなわち、
上記特開昭５７−２０９２５には磁性膜表面にどの様に
非磁性粉末を付着させるかについての具体的記述がなく
、バインダ等でアルミナ粉末を塗布する等の実験を試み
た限りでは、容易にアルミナ粉末が脱離してしまうとい
う問題があった。
の安定性については配慮されていなかった。すなわち、
上記特開昭５７−２０９２５には磁性膜表面にどの様に
非磁性粉末を付着させるかについての具体的記述がなく
、バインダ等でアルミナ粉末を塗布する等の実験を試み
た限りでは、容易にアルミナ粉末が脱離してしまうとい
う問題があった。
また特開昭６０−４０５２８及び特開昭６０−１３６９
２０記載の技術も上記突起の安定性については配慮され
ておらず、基板の洗浄の際に突起の一部が脱離し、凹状
欠陥を作るという問題があった。
２０記載の技術も上記突起の安定性については配慮され
ておらず、基板の洗浄の際に突起の一部が脱離し、凹状
欠陥を作るという問題があった。
本発明の目的は、容易に脱離することのない突起を有す
る薄膜磁気記録媒体及びその製造方法を提供することに
ある。
る薄膜磁気記録媒体及びその製造方法を提供することに
ある。
上記目的は、非磁性基板上に・直接又は下地膜を介して
磁性薄膜を配置した磁気記録媒体において、上記非磁性
基板又は上記下地膜と実質的に同種の材質からなる粉体
を上記磁性薄膜の下に配置し、上記磁気記録媒体表面に
突起を形成してなることを特徴とする磁気記録媒体、非
磁性基板又は該基板上に形成された下地膜を有機溶媒を
加工液として研削加工し、洗浄後、所望の切削粉が残存
している上記基板又は下地膜上に磁性薄膜を形成するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成で
きる。
磁性薄膜を配置した磁気記録媒体において、上記非磁性
基板又は上記下地膜と実質的に同種の材質からなる粉体
を上記磁性薄膜の下に配置し、上記磁気記録媒体表面に
突起を形成してなることを特徴とする磁気記録媒体、非
磁性基板又は該基板上に形成された下地膜を有機溶媒を
加工液として研削加工し、洗浄後、所望の切削粉が残存
している上記基板又は下地膜上に磁性薄膜を形成するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成で
きる。
本発明に用いる非磁性膜基板としては、金属、ガラス、
セラミックス等の素材の基板を用い、１〜３ｍｌ程度の
厚さのものを用いることが好ましい。
セラミックス等の素材の基板を用い、１〜３ｍｌ程度の
厚さのものを用いることが好ましい。
非磁性の硬質下地膜は、設けても設けなくともよい。基
板としてアルミニウム系合金を用いるときは、ニッケル
を主成分とする非磁性合金類、例えばＮ１−Ｐ合金等を
下地膜として用いることが一般的である。硬質下地膜は
複数の層から゛なることもある。
板としてアルミニウム系合金を用いるときは、ニッケル
を主成分とする非磁性合金類、例えばＮ１−Ｐ合金等を
下地膜として用いることが一般的である。硬質下地膜は
複数の層から゛なることもある。
粉体は、その下の基板又は下地膜と実質的に同種の材質
からなることが必要である。すなわち、下地膜を設けず
に基板上に粉体を配置するときは基板と実質的に同種の
材質のものであり、下地膜を設けるときは下地膜と実質
的に同種の材質のものであることが必要である。粉体と
その下の部分が実質的に同種の材質であることにより、
その上に磁性膜を形成する時に粉体のある部分と他の部
分の厚みがほとんど異なることがなく、磁性膜を全体に
均一な厚みに形成することができる。
からなることが必要である。すなわち、下地膜を設けず
に基板上に粉体を配置するときは基板と実質的に同種の
材質のものであり、下地膜を設けるときは下地膜と実質
的に同種の材質のものであることが必要である。粉体と
その下の部分が実質的に同種の材質であることにより、
その上に磁性膜を形成する時に粉体のある部分と他の部
分の厚みがほとんど異なることがなく、磁性膜を全体に
均一な厚みに形成することができる。
粉体の平均粒径は０．１０〜１．０μｍ程度であること
が好ましい。このような粉体を用いることにより。
が好ましい。このような粉体を用いることにより。
磁気記録媒体表面にほぼ０．１０〜１．０μｍ程度の突
起が形成される。突起の高さが１．０μｍ程度を越える
と、磁気ヘッドが浮動状態にあり磁気記録媒体と相対的
に移動しているときに突起と衝突して媒体を損傷する。
起が形成される。突起の高さが１．０μｍ程度を越える
と、磁気ヘッドが浮動状態にあり磁気記録媒体と相対的
に移動しているときに突起と衝突して媒体を損傷する。
また０、１０μｍ程度未満では十分な効果が得雅い。粉
体の量は、０，１〜２０個／ ｍ ｍ２の面密度となる
ように基板又は下地膜上に配置することが好ましい。こ
の量は１例えば製造した磁気記録媒体表面を約２００倍
の倍率を有する光学顕微鏡でｉｌ！測することで測定で
きる。
体の量は、０，１〜２０個／ ｍ ｍ２の面密度となる
ように基板又は下地膜上に配置することが好ましい。こ
の量は１例えば製造した磁気記録媒体表面を約２００倍
の倍率を有する光学顕微鏡でｉｌ！測することで測定で
きる。
磁性薄膜としては、コバルト合金膜等一般的に用いられ
ている磁性薄膜を用いることができる。
ている磁性薄膜を用いることができる。
また磁性薄膜上には、保護膜を設けることが好ましい。
保護膜としては、カーボン、窒化物系、酸化物系等一般
的に用いられている保護膜を用いることができる。
的に用いられている保護膜を用いることができる。
本発明に用いる基板又は下地層の少なくとも一層には溝
状構造が形成されているものを用いることが好ましい、
この溝は同心円状に形成されるのが一般的であるが、ら
旋状でもまたこれらの一部のみの形状であってもよい。
状構造が形成されているものを用いることが好ましい、
この溝は同心円状に形成されるのが一般的であるが、ら
旋状でもまたこれらの一部のみの形状であってもよい。
本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例を、上記の溝を
有する場合について説明する。第１図は磁気ディスクの
部分断面図である。アルミニウム系合金の基板１にＮ１
−Ｐ合金よりなる硬質下地膜２がメツキによって形成さ
れている。この表面を研削加工して硬質下地膜表面を平
滑にすると共に表面に溝を形成する。一般に切削された
直後の被加工面及び切削粉は表面が活性であり、相互に
強く接着する。従って加工工程では表面精度を高めるた
め切削粉の表面への再付着を防止する必要があり加工液
を使用する。この加工液の選定及び加工後の洗浄工程に
より、微細な切削粉の一部を表面に付着固定し得る。す
なわち加工液として、軽油、トリクロロトリフルオロエ
タン等の有機溶媒を用い、中性洗剤を用いて洗浄し表面
を清浄化すると共に密着性に乏しい切削粉を除去するこ
とにより、脱離し難い切削粉のみ表面に残すにの上にコ
バルト合金よりなる磁性薄膜３をスパッタリングによっ
て形成し、ついで保護膜４として炭素膜をスパッタリン
グにより形成する。この上に潤滑膜５としてスプレィ法
又は浸漬法等によりフッ素系潤滑膜を形成する。
有する場合について説明する。第１図は磁気ディスクの
部分断面図である。アルミニウム系合金の基板１にＮ１
−Ｐ合金よりなる硬質下地膜２がメツキによって形成さ
れている。この表面を研削加工して硬質下地膜表面を平
滑にすると共に表面に溝を形成する。一般に切削された
直後の被加工面及び切削粉は表面が活性であり、相互に
強く接着する。従って加工工程では表面精度を高めるた
め切削粉の表面への再付着を防止する必要があり加工液
を使用する。この加工液の選定及び加工後の洗浄工程に
より、微細な切削粉の一部を表面に付着固定し得る。す
なわち加工液として、軽油、トリクロロトリフルオロエ
タン等の有機溶媒を用い、中性洗剤を用いて洗浄し表面
を清浄化すると共に密着性に乏しい切削粉を除去するこ
とにより、脱離し難い切削粉のみ表面に残すにの上にコ
バルト合金よりなる磁性薄膜３をスパッタリングによっ
て形成し、ついで保護膜４として炭素膜をスパッタリン
グにより形成する。この上に潤滑膜５としてスプレィ法
又は浸漬法等によりフッ素系潤滑膜を形成する。
上記加工液として水をベースとした液を用いて加工した
場合は、多量の脱離し難い切削粉が発生し、どのような
洗浄法を適用しても切削粉が多量に表面に残り、磁気ヘ
ッドと組み合わせてコンタクトスタートストップ動作を
行うと短時間でヘッドクラッシュを起こす。
場合は、多量の脱離し難い切削粉が発生し、どのような
洗浄法を適用しても切削粉が多量に表面に残り、磁気ヘ
ッドと組み合わせてコンタクトスタートストップ動作を
行うと短時間でヘッドクラッシュを起こす。
第２図は、本発明になるもう一つの磁気ディスクの断面
図を示すもので、磁性薄膜３と硬質下地膜２の間に第２
の下地膜８が形成されている。この層は、クロムなど結
晶成長特異性を有する材料からなり、スパッタリングに
より形成され、磁性薄膜３の磁気特性制御の役割と強度
向上に寄与する。
図を示すもので、磁性薄膜３と硬質下地膜２の間に第２
の下地膜８が形成されている。この層は、クロムなど結
晶成長特異性を有する材料からなり、スパッタリングに
より形成され、磁性薄膜３の磁気特性制御の役割と強度
向上に寄与する。
基板又は硬質下地膜とその上に置かれた粉体とは材質が
実質的に同じであるため両者間の密看力は大きい。また
この粉体上に所望の全面に磁性薄膜が、さらに好ましく
は保護膜が連続膜として形成されているので粉体部分の
剥離が起こり難い。
実質的に同じであるため両者間の密看力は大きい。また
この粉体上に所望の全面に磁性薄膜が、さらに好ましく
は保護膜が連続膜として形成されているので粉体部分の
剥離が起こり難い。
以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
実施例１〜３．比較例１〜２
硬質下地膜としてＮＬＰメツキを施したアルミニウム基
板をダイヤモンド砥粒を分散した加工液を用いて表面加
工し、加工液及び加工残渣を洗浄除去する工程を経たの
ち、ＤＣスパッタリング装置によりＣｒよりなる第二の
下地膜、Ｃｏ−Ｎｉ磁性膜、カーボン保護膜の順に積層
成膜し、しかるのちに浸漬法によりフッ素系潤滑膜を形
成し磁気ディスクとする。これを光学顕微鏡下で倍率２
００倍で表面観察し、突起の数を計測する。同時に、ス
ライダ状に加工したＭｎＺｎフェライトヘッドを磁気デ
ィスク表面に１０ｇの荷重で押し付け、２４℃、９８％
相対湿度下で１００ｈｒ放置後の接線力を測定する。潤
滑膜の膜厚を変えてこの実験を繰り返し、接線力が１０
ｇｆ以下となる最大膜厚値を求めた。接線力が小さくな
る（１０ｇｆ以下となる）ときの潤滑剤膜厚が大きい程
潤滑剤量が多くても吸着が起こらないことを示す。結果
をまとめて第１表に示す。
板をダイヤモンド砥粒を分散した加工液を用いて表面加
工し、加工液及び加工残渣を洗浄除去する工程を経たの
ち、ＤＣスパッタリング装置によりＣｒよりなる第二の
下地膜、Ｃｏ−Ｎｉ磁性膜、カーボン保護膜の順に積層
成膜し、しかるのちに浸漬法によりフッ素系潤滑膜を形
成し磁気ディスクとする。これを光学顕微鏡下で倍率２
００倍で表面観察し、突起の数を計測する。同時に、ス
ライダ状に加工したＭｎＺｎフェライトヘッドを磁気デ
ィスク表面に１０ｇの荷重で押し付け、２４℃、９８％
相対湿度下で１００ｈｒ放置後の接線力を測定する。潤
滑膜の膜厚を変えてこの実験を繰り返し、接線力が１０
ｇｆ以下となる最大膜厚値を求めた。接線力が小さくな
る（１０ｇｆ以下となる）ときの潤滑剤膜厚が大きい程
潤滑剤量が多くても吸着が起こらないことを示す。結果
をまとめて第１表に示す。
第
表
比較例１は接線力が小さくなるときの最大膜厚は大きい
が、突起密度が大きく、実際に磁気ヘッドと組み合わせ
てコンタクトスタートストップ動作を行うとヘッドクラ
ッシュを起こす。
が、突起密度が大きく、実際に磁気ヘッドと組み合わせ
てコンタクトスタートストップ動作を行うとヘッドクラ
ッシュを起こす。
本発明の磁気記録媒体は、磁気ヘッドとの吸着力が小さ
く、磁気ヘッドを支持するバネ系を傷めることなく、し
かもヘッドの摺動による損傷を受は難いため、長期の耐
摺動性を保証し得る磁気ディスク装置が実現する。
く、磁気ヘッドを支持するバネ系を傷めることなく、し
かもヘッドの摺動による損傷を受は難いため、長期の耐
摺動性を保証し得る磁気ディスク装置が実現する。
第１図は、本発明の一実施例の磁気ディスクの断面の一
部を模式的に示す断面図、第２図は、本発明の磁気ディ
スクの他の例を示す断面図である。 １：基板 ２：硬質下地膜 ３：磁性薄膜 ４：保護膜 ５：潤滑膜 ６：粉体 ７：突起 ８：第２の下地膜代理人弁理士
中 村 純之助 第２図
部を模式的に示す断面図、第２図は、本発明の磁気ディ
スクの他の例を示す断面図である。 １：基板 ２：硬質下地膜 ３：磁性薄膜 ４：保護膜 ５：潤滑膜 ６：粉体 ７：突起 ８：第２の下地膜代理人弁理士
中 村 純之助 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性基板上に直接又は下地膜を介して磁性薄膜を
配置した磁気記録媒体において、上記非磁性基板又は上
記下地膜と実質的に同種の材質からなる粉体を上記磁性
薄膜の下に配置し、上記磁気記録媒体表面に突起を形成
してなることを特徴とする磁気記録媒体。 ２、非磁性基板又は該基板上に形成された下地膜を有機
溶媒を加工液として研削加工し、洗浄後、所望の切削粉
が残存している上記基板又は下地膜上に磁性薄膜を形成
することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164999A JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US07/374,366 US5079062A (en) | 1988-07-04 | 1989-06-30 | Magnetic recording medium having a thin film magnetic layer formed over a non-magnetic substrate which has powder grains of the substrate disposed on its surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164999A JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215416A true JPH0215416A (ja) | 1990-01-19 |
| JP2690948B2 JP2690948B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=15803922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164999A Expired - Lifetime JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5079062A (ja) |
| JP (1) | JP2690948B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461834A2 (en) * | 1990-06-11 | 1991-12-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | A magnetic recording medium and its manufacturing process |
| US5750230A (en) * | 1992-11-20 | 1998-05-12 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US5705287A (en) * | 1994-09-20 | 1998-01-06 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with metal nitride texturing layer |
| JPH08102163A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 |
| GB2295159B (en) * | 1994-11-21 | 1997-04-02 | Kao Corp | Magnetic recording medium |
| JP2937294B2 (ja) * | 1995-04-28 | 1999-08-23 | ホーヤ株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61110332A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720925A (en) * | 1980-07-09 | 1982-02-03 | Nec Corp | Magnetic disk |
| JPS5919229A (ja) * | 1982-07-22 | 1984-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4540618A (en) * | 1982-08-12 | 1985-09-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| JPS6040418A (ja) * | 1983-08-12 | 1985-03-02 | Asahi Chem Ind Co Ltd | コンクリ−トくいおよびその製造法 |
| JPS60136920A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-20 | Hitachi Ltd | 磁気デイスクの製造方法 |
| JPS6111921A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-20 | Tdk Corp | 磁気記録媒体および磁気記録方法 |
| US4698251A (en) * | 1985-01-22 | 1987-10-06 | Victor Company Of Japan, Limited | Magnetic recording medium and method of producing the same |
| US4880687A (en) * | 1986-05-09 | 1989-11-14 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP63164999A patent/JP2690948B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-06-30 US US07/374,366 patent/US5079062A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61110332A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2690948B2 (ja) | 1997-12-17 |
| US5079062A (en) | 1992-01-07 |
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