JP2690948B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁性媒体上に情報を記録する磁気記録媒体
の製造方法に係り、特に連続磁性膜を有する磁気記録媒
体の製造方法に関する。
の製造方法に係り、特に連続磁性膜を有する磁気記録媒
体の製造方法に関する。
磁気ディスク等の情報記憶再生装置の磁気記録媒体
は、年々記録密度が向上し、従来の酸化物磁性体を有機
バインダーで結合し塗布した磁性媒体（以下塗布媒体と
略す）に代わり、磁性体の連続磁性薄膜を有する媒体が
検討されている。これら薄膜媒体は、通常表面が非常に
平滑であるので、磁気ヘッドとの摺動損傷を防止するた
めに潤滑剤を表面に塗布している。ところが磁気ヘッド
が磁気ディスク上で相対的な移動を停止したとき、潤滑
剤により両者が強く吸着し、相対的な移動を開始すると
きに磁気ヘッドを磁気ディスク表面から引き離すのに非
常に大きな力が必要となり、磁気ヘッドを支持するバネ
系を損傷し、大きな障害を引き起こすことになる。これ
は潤滑剤がない場合でも、吸着した水分等により同様な
現象を引き起こす。従ってこの吸着を防止することが必
要である。
は、年々記録密度が向上し、従来の酸化物磁性体を有機
バインダーで結合し塗布した磁性媒体（以下塗布媒体と
略す）に代わり、磁性体の連続磁性薄膜を有する媒体が
検討されている。これら薄膜媒体は、通常表面が非常に
平滑であるので、磁気ヘッドとの摺動損傷を防止するた
めに潤滑剤を表面に塗布している。ところが磁気ヘッド
が磁気ディスク上で相対的な移動を停止したとき、潤滑
剤により両者が強く吸着し、相対的な移動を開始すると
きに磁気ヘッドを磁気ディスク表面から引き離すのに非
常に大きな力が必要となり、磁気ヘッドを支持するバネ
系を損傷し、大きな障害を引き起こすことになる。これ
は潤滑剤がない場合でも、吸着した水分等により同様な
現象を引き起こす。従ってこの吸着を防止することが必
要である。
従来、特開昭57−20925に記載されている発明は、上
記吸着防止のために、非磁性粉末を磁性膜表面に分散さ
せ、突起を形成するものである。
記吸着防止のために、非磁性粉末を磁性膜表面に分散さ
せ、突起を形成するものである。
また、特開昭60−40528及び特開昭60−136920に記載
されている発明は、アルミナの様な硬質微粉末をあらか
じめ加圧して一部を基板に埋め込み突起を形成するもの
である。いずれも磁気ヘッドが磁性膜に接触したとき、
突起により直接磁性膜に密着しないので吸着を起こさな
い。
されている発明は、アルミナの様な硬質微粉末をあらか
じめ加圧して一部を基板に埋め込み突起を形成するもの
である。いずれも磁気ヘッドが磁性膜に接触したとき、
突起により直接磁性膜に密着しないので吸着を起こさな
い。
上記特開昭57−20925に記載の技術は、上記突起の安
定性については配慮されていなかった。すなわち、上記
特開昭57−20925には磁性膜表面にどの様に非磁性粉末
を付着させるかについての具体的記述がなく、バインダ
等でアルミナ粉末を塗布する等の実験を試みた限りで
は、容易にアルミナ粉末が脱離してしまうという問題が
あった。
定性については配慮されていなかった。すなわち、上記
特開昭57−20925には磁性膜表面にどの様に非磁性粉末
を付着させるかについての具体的記述がなく、バインダ
等でアルミナ粉末を塗布する等の実験を試みた限りで
は、容易にアルミナ粉末が脱離してしまうという問題が
あった。
また特開昭60−40528及び特開昭60−136920記載の技
術も上記突起の安定性については配慮されておらず、基
板の洗浄の際に突起の一部が脱離し、凹状欠陥を作ると
いう問題があった。
術も上記突起の安定性については配慮されておらず、基
板の洗浄の際に突起の一部が脱離し、凹状欠陥を作ると
いう問題があった。
本発明の目的は、容易に脱離することのない突起を有
する薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。
する薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。
上記目的を達成するために、本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、非磁性基板又はその上に形成された下地膜
を、有機溶媒を加工液として研削加工して洗浄した後、
所望の切削粉が残存している基板又は下地膜上に磁性薄
膜を形成するようにしたものである。
製造方法は、非磁性基板又はその上に形成された下地膜
を、有機溶媒を加工液として研削加工して洗浄した後、
所望の切削粉が残存している基板又は下地膜上に磁性薄
膜を形成するようにしたものである。
本発明に用いる非磁性膜基板としては、金属、ガラ
ス、セラミックス等の素材の基板を用い、１〜3mm程度
の厚さのものを用いることが好ましい。
ス、セラミックス等の素材の基板を用い、１〜3mm程度
の厚さのものを用いることが好ましい。
非磁性の硬質下地膜は、設けても設けなくともよい。
基板としてアルミニウム系合金を用いるときは、ニッケ
ルを主成分とする非磁性合金類、例えばNi−Ｐ合金等を
下地膜として用いることが一般的である。硬質下地膜は
複数の層からなることもある。
基板としてアルミニウム系合金を用いるときは、ニッケ
ルを主成分とする非磁性合金類、例えばNi−Ｐ合金等を
下地膜として用いることが一般的である。硬質下地膜は
複数の層からなることもある。
粉体は、その下の基板又は下地膜と実質的に同種の材
質からなることが必要である。すなわち、下地膜を設け
ずに基板上に粉体を配置するときは基板と実質的に同種
の材質のものであり、下地膜を設けるときは下地膜と実
質的に同種の材質のものであることが必要である。粉体
とその下の部分が実質的に同種の材質であることによ
り、その上に磁性膜を形成する時に粉体のある部分と他
の部分の厚みがほとんど異なることがなく、磁性膜を全
体に均一な厚みに形成することができる。
質からなることが必要である。すなわち、下地膜を設け
ずに基板上に粉体を配置するときは基板と実質的に同種
の材質のものであり、下地膜を設けるときは下地膜と実
質的に同種の材質のものであることが必要である。粉体
とその下の部分が実質的に同種の材質であることによ
り、その上に磁性膜を形成する時に粉体のある部分と他
の部分の厚みがほとんど異なることがなく、磁性膜を全
体に均一な厚みに形成することができる。
粉体の平均粒径は0.10〜1.0μｍ程度であることが好
ましい。このような粉体を用いることにより、磁気記録
媒体表面にほぼ0.10〜1.0μｍ程度の突起が形成され
る。突起の高さが1.0μｍ程度を越えると、磁気ヘッド
が浮動状態にあり磁気記録媒体と相対的に移動している
ときに突起と衝突して媒体を損傷する。また0.10μｍ程
度未満では十分な効果が得難い。粉体の量は、0.1〜20
個/mm2の面密度となるように基板又は下地膜上に配置す
ることが好ましい。この量は、例えば製造した磁気記録
媒体表面を約200倍の倍率を有する光学顕微鏡で観測す
ることで測定できる。
ましい。このような粉体を用いることにより、磁気記録
媒体表面にほぼ0.10〜1.0μｍ程度の突起が形成され
る。突起の高さが1.0μｍ程度を越えると、磁気ヘッド
が浮動状態にあり磁気記録媒体と相対的に移動している
ときに突起と衝突して媒体を損傷する。また0.10μｍ程
度未満では十分な効果が得難い。粉体の量は、0.1〜20
個/mm2の面密度となるように基板又は下地膜上に配置す
ることが好ましい。この量は、例えば製造した磁気記録
媒体表面を約200倍の倍率を有する光学顕微鏡で観測す
ることで測定できる。
磁性薄膜としては、コバルト合金膜等一般的に用いら
れている磁性薄膜を用いることができる。また磁性薄膜
上には、保護膜を設けることが好ましい。保護膜として
は、カーボン、窒化物系、酸化物系等一般的に用いられ
ている保護膜を用いることができる。
れている磁性薄膜を用いることができる。また磁性薄膜
上には、保護膜を設けることが好ましい。保護膜として
は、カーボン、窒化物系、酸化物系等一般的に用いられ
ている保護膜を用いることができる。
本発明に用いる基板又は下地層の少なくとも一層には
溝状構造が形成されているものを用いることが好まし
い。この溝は同心円状に形成されるのが一般的である
が、ら旋状でもまたこれらの一部のみの形状であっても
よい。
溝状構造が形成されているものを用いることが好まし
い。この溝は同心円状に形成されるのが一般的である
が、ら旋状でもまたこれらの一部のみの形状であっても
よい。
本発明の磁気記録媒体の製造方法の一例を、上記の溝
を有する場合について説明する。第１図は磁気ディスク
の部分断面図である。アルミニウム系合金の基板１にNi
−Ｐ合金よりなる硬質下地膜２がメッキによって形成さ
れている。この表面を研削加工して硬質下地膜表面を平
滑にすると共に表面に溝を形成する。一般に切削された
直後の非加工面及び切削粉は表面が活性であり、相互に
強く接着する。従って加工工程では表面精度を高めるた
め切削粉の表面への再付着を防止する必要があり加工液
を使用する。この加工液の選定及び加工後の洗浄工程に
より、微細な切削粉の一部を表面に付着固定し得る。す
なわち加工液として、軽油、トリクロロトリフルオロエ
タン等の有機溶媒を用い、中性洗剤を用いて洗浄し表面
を清浄化すると共に密着性に乏しい切削粉を除去するこ
とにより、脱離し難い切削粉のみ表面に残す。
を有する場合について説明する。第１図は磁気ディスク
の部分断面図である。アルミニウム系合金の基板１にNi
−Ｐ合金よりなる硬質下地膜２がメッキによって形成さ
れている。この表面を研削加工して硬質下地膜表面を平
滑にすると共に表面に溝を形成する。一般に切削された
直後の非加工面及び切削粉は表面が活性であり、相互に
強く接着する。従って加工工程では表面精度を高めるた
め切削粉の表面への再付着を防止する必要があり加工液
を使用する。この加工液の選定及び加工後の洗浄工程に
より、微細な切削粉の一部を表面に付着固定し得る。す
なわち加工液として、軽油、トリクロロトリフルオロエ
タン等の有機溶媒を用い、中性洗剤を用いて洗浄し表面
を清浄化すると共に密着性に乏しい切削粉を除去するこ
とにより、脱離し難い切削粉のみ表面に残す。
この上にコバルト合金よりなる磁性薄膜３をスパッタ
リングによって形成し、ついで保護膜４として炭素膜を
スパッタリングにより形成する。この上に潤滑膜５とし
てスプレイ法又は浸漬法等によりフッ素系潤滑膜を形成
する。
リングによって形成し、ついで保護膜４として炭素膜を
スパッタリングにより形成する。この上に潤滑膜５とし
てスプレイ法又は浸漬法等によりフッ素系潤滑膜を形成
する。
上記加工液として水をベースとした液を用いて加工し
た場合は、多量の脱離し難い切削粉が発生し、どのよう
な洗浄法を適用しても切削粉が多量に表面に残り、磁気
ヘッドと組み合わせてコンタクト スタート ストップ
動作を行うと短時間でヘッドクラッシュを起こす。
た場合は、多量の脱離し難い切削粉が発生し、どのよう
な洗浄法を適用しても切削粉が多量に表面に残り、磁気
ヘッドと組み合わせてコンタクト スタート ストップ
動作を行うと短時間でヘッドクラッシュを起こす。
第２図は、本発明になるもう一つの磁気ディスクの断
面図を示すもので、磁性薄膜３と硬質下地膜２の間に第
２の下地膜８が形成されている。この層は、クロムなど
結晶成長特異性を有する材料からなり、スパッタリング
により形成され、磁性薄膜３の磁気特性制御の役割と強
度向上に寄与する。
面図を示すもので、磁性薄膜３と硬質下地膜２の間に第
２の下地膜８が形成されている。この層は、クロムなど
結晶成長特異性を有する材料からなり、スパッタリング
により形成され、磁性薄膜３の磁気特性制御の役割と強
度向上に寄与する。
基板又は硬質下地膜とその上に置かれた粉体とは材質
が実質的に同じであるため両者間の密着力は大きい。ま
たこの粉体上に所望の全面に磁性薄膜が、さらに好まし
くは保護膜が連続膜として形成されているので粉体部分
の剥離が起こり難い。
が実質的に同じであるため両者間の密着力は大きい。ま
たこの粉体上に所望の全面に磁性薄膜が、さらに好まし
くは保護膜が連続膜として形成されているので粉体部分
の剥離が起こり難い。
以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
実施例 １〜3,比較例 １〜２ 硬質下地膜としてNiPメッキを施したアルミニウム基
板をダイヤモンド砥粒を分散した加工液を用いて表面加
工し、加工液及び加工残渣を洗浄除去する工程を経たの
ち、DCスパッタリング装置によりCrよりなる第二の下地
膜、Co−Ni磁性膜、カーボン保護膜の順に積層成膜し、
しかるのちに浸漬法によりフッ素系潤滑膜を形成し磁気
ディスクとする。これを光学顕微鏡下で倍率200倍で表
面観察し、突起の数を計測する。同時に、スライダ状に
加工したMnZnフェライト ヘッドを磁気ディスク表面に
10gの荷重で押し付け、24℃,98％相対湿度下で100hr放
置後の接線力を測定する。潤滑膜の膜厚を変えてこの実
験を繰り返し、接線力が10gf以下となる最大膜厚値を求
めた。接線力が小さくなる（10gf以下となる）ときの潤
滑剤膜厚が大きい程潤滑剤量が多くても吸着が起こらな
いことを示す。結果をまとめて第１表に示す。
板をダイヤモンド砥粒を分散した加工液を用いて表面加
工し、加工液及び加工残渣を洗浄除去する工程を経たの
ち、DCスパッタリング装置によりCrよりなる第二の下地
膜、Co−Ni磁性膜、カーボン保護膜の順に積層成膜し、
しかるのちに浸漬法によりフッ素系潤滑膜を形成し磁気
ディスクとする。これを光学顕微鏡下で倍率200倍で表
面観察し、突起の数を計測する。同時に、スライダ状に
加工したMnZnフェライト ヘッドを磁気ディスク表面に
10gの荷重で押し付け、24℃,98％相対湿度下で100hr放
置後の接線力を測定する。潤滑膜の膜厚を変えてこの実
験を繰り返し、接線力が10gf以下となる最大膜厚値を求
めた。接線力が小さくなる（10gf以下となる）ときの潤
滑剤膜厚が大きい程潤滑剤量が多くても吸着が起こらな
いことを示す。結果をまとめて第１表に示す。
比較例１は接線力が小さくなるときの最大膜厚は大き
いが、突起密度が大きく、実際に磁気ヘッドと組み合わ
せてコンタクト スタート ストップ動作を行うとヘッ
ドクラッシュを起こす。
いが、突起密度が大きく、実際に磁気ヘッドと組み合わ
せてコンタクト スタート ストップ動作を行うとヘッ
ドクラッシュを起こす。
本発明により製造した磁気記録媒体は、磁気ヘッドと
の吸着力が小さく、磁気ヘッドを支持するバネ系を傷め
ることなく、しかもヘッドの摺動による損傷を受け難い
ため、長期の耐摺動性を保証し得る磁気ディスク装置が
実現する。
の吸着力が小さく、磁気ヘッドを支持するバネ系を傷め
ることなく、しかもヘッドの摺動による損傷を受け難い
ため、長期の耐摺動性を保証し得る磁気ディスク装置が
実現する。
第１図は、本発明の一実施例の磁気ディスクの断面の一
部を模式的に示す断面図、第２図は、本発明の磁気ディ
スクの他の例を示す断面図である。 1:基板、2:硬質下地膜 3:磁性薄膜、4:保護膜 5:潤滑膜、6:粉体 7:突起、8:第２の下地膜
部を模式的に示す断面図、第２図は、本発明の磁気ディ
スクの他の例を示す断面図である。 1:基板、2:硬質下地膜 3:磁性薄膜、4:保護膜 5:潤滑膜、6:粉体 7:突起、8:第２の下地膜
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基板又は該基板上に形成された下地
膜を有機溶媒を加工液として研削加工し、洗浄後、所望
の切削粉が残存している上記基板又は下地膜上に磁性薄
膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164999A JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US07/374,366 US5079062A (en) | 1988-07-04 | 1989-06-30 | Magnetic recording medium having a thin film magnetic layer formed over a non-magnetic substrate which has powder grains of the substrate disposed on its surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164999A JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215416A JPH0215416A (ja) | 1990-01-19 |
| JP2690948B2 true JP2690948B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=15803922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164999A Expired - Lifetime JP2690948B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5079062A (ja) |
| JP (1) | JP2690948B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461834A2 (en) * | 1990-06-11 | 1991-12-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | A magnetic recording medium and its manufacturing process |
| US5750230A (en) * | 1992-11-20 | 1998-05-12 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording system using the same |
| US5705287A (en) * | 1994-09-20 | 1998-01-06 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with metal nitride texturing layer |
| JPH08102163A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置 |
| GB2295159B (en) * | 1994-11-21 | 1997-04-02 | Kao Corp | Magnetic recording medium |
| JP2937294B2 (ja) * | 1995-04-28 | 1999-08-23 | ホーヤ株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1988
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Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS61110332A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5079062A (en) | 1992-01-07 |
| JPH0215416A (ja) | 1990-01-19 |
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