JPH02150106A - 複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法に
関し、−層詳細には、入力側および出力側を含む振動体
（以下、縦振動音片という）と前記縦振動音片間を接続
する結合部材等をフォトリングラフィ技術を用いて単一
の圧電部材から一体的に作製し、而る後、前記入力側お
よび出力側振動音片に、挟持して重合固着される電極を
真空蒸着およびエツチング等の作製方法を用いたメタラ
イズにおいて形成することにより、その作製工程が簡素
化されると共に、量産が促進され、且つ特性が均一化す
る複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法に関する
。

［発明の背景］ 近時、ＬＣフィルタ、水晶フィルタの中間的な存在とし
てメカニカル・フィルタが通信機器等に広範囲に採用さ
れている。メカニカル・フィルタはその良好なＱの値の
特性のもとに選択特性に優れ、さらに、温度変化に対す
る安定性にも優れ且つ小型化が可能であるという理由に
基づく。

この種の複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法の
説明の前に、先ず、複合縦振動メカニカル・フィルタの
構成等の一例を第１図に示す。当該複合縦振動メカニカ
ル・フィルタは、図から諒解されるように、同一面上に
配置され、且つ、金属材料等からなる入力側縦振動音片
２と出力側縦振動音片４とを備える。当該入力側縦振動
音片２および出力側縦振動音片４は恒弾性の結合部材６
および８によって一体的に接続されている。この場合、
入力側縦振動音片２と出力側縦振動音片４の外側中央部
には支持部材１０および１２が突出して設けられている
。入力側縦振動音片２には一対の入力側圧電セラミック
１４ａおよび１４ｂが半田付等を使用して重合固着され
、出力側縦振動音片４にも一対の出力側圧電セラミック
１６ａおよび１６ｂが重合固着されている。前記支持部
材１０および１２の端部、がＵ字状の保持部材２４の直
立片２４ａおよび２４ｂの上部中央にレーザ溶接等によ
り固着されている。そして、このように構成される複合
縦振動メカニカル・フィルタの入力側圧電セラミック１
４ａおよび１４ｂと直立片２４ａ間には人力信号を供給
するための供給線１８と接地線１８ｅとが接続され、方
、出力側圧電セラミック１６ａおよび１６ｂと直立片２
４ｂには出力信号を導出する導出線２０と接地線２０ｅ
とが接続されている。

以上のような構成からすれば、結合部材６および８によ
って連設された入力側縦振動音片２と出力側縦振動音片
４とが略空中に配置されて、その振動動作に支障のない
よう形成されていることが諒解されよう。当該複合縦振
動メカニカル・フィルタは図示しない框体等に収納され
た後通信機器等の中間周波増幅部等に装着されてその所
望の目的を達成する。

上記のように構成される複合縦振動メカニカル・フィル
タにおいて、供給線１８および接地線１８６間に信号源
Ｏ５Ｃから抵抗Ｒを経た高周波信号Ｓ、が入力側圧電セ
ラミック１４ａおよび１４ｂ上に取着された図示しない
電極に加えられ、電気的にアースされた入力側縦振動音
片２との間に入力側圧電セラミック１４ａおよび１４ｂ
を通して高周波信号に相応した電界が生起する。この電
界により入力側圧電セラミック１４ａおよび１４ｂは厚
さ方向と、図中の矢印Ｖ、およびＶ、、に示す方向に電
歪を生じ、入力側縦振動音片２の長さＬｌを縦波の半波
長とする周波数Ｆ１で共振する。入力側縦振動音片２に
おける縦波の平均伝播速度をＶとすると、前記周波数Ｆ
１は次式にて与えられる。

Ｆｌ　　＝２Ｌｌ　　／Ｖ　　　　　　　　　　　　　
・・・（１）この周波数Ｆ＋に↓ける縦振動は結合部材
６および８において出力側縦振動音片４に機械的に伝播
（結合）し、出力側縦振動音片４は長さＦ２により周波
数Ｆ２における縦振動で共振する。この周波数Ｆ２は（
１）式と同様に出力縦振動音片４の縦波の平均伝播速度
をＶとするならば、Ｆ２　　＝２Ｌ２　／Ｖ　　　　　
　　　　　　　・・・（２）となる。この出力側縦振動
音片４の縦振動による出力側圧電セラミック１６ａおよ
び１６ｂに生じた電界において、出力側圧電セラミック
１６ａおよび１６ｂの図示しない電極に生じる電圧が導
出線２０と接地線２Ｏｅ間に所定の周波数特性に形成さ
れた高周波信号Ｓ２として導出される。

次に、この種の複合縦振動メカニカル・フィルタの製造
方法の一例を、概略の工程順をもって説明する。

当該工程は入力側縦振動音片２あるいは出力側縦振動音
片４を金属部材から切断、研磨等の加工等において作製
する第１の工程と、入力側および出力側縦振動音片２お
よび４に結合部材６および８等をレーザ溶接等を用いて
接続する第２の工程と、支持部材１０および１２をレー
ザ溶接等を用いて接続する第３の工程と、入力側および
出力側圧電セラミック１４ａ、１４ｂおよび１６ａ、１
６ｂを切断等の加工において作成する第４の工程と、前
記入力側縦振動音片２に入力側圧電セラミック１４ａ＃
よび１４ｂを半田付等をもって重合固着する第５の工程
と、前記出力側縦振動音片４に出力側圧電セラミック１
６ａおよび１６ｂを半田付等をもって重合固着する第６
の工程と、前記入力側圧電セラミック１４ａおよび１４
ｂに供給線１８を半田付等をもって接続する第７の工程
と、前言己出カ側圧電セラミック１６ａおよび１６ｂに
導出線２０を半田付等をもって接続する第８の工程と、
接地線１８ｅおよび２０ｅを半田付等をもって保持部材
２４に接続する第９の工程と、支持部材１０を保持部材
２４に取着する第１０の工程である。

前記の第１乃至第１０の工程は比較的精密に行われるこ
とが希求され、その精度は当該複合縦振動メカニカル・
フィルタにおけるＱ値の低下あるいは挿入損失等を決定
する。殊に、Ｑ値の低下あるいは挿入損失等の増大を阻
止すべく入力側および出力側圧電セラミック１４ａ、１
４ｂおよび１６ａ、１６ｂは入力側および出力側縦振動
音片２および４の上の所定位置に正確に配置し且つ重合
固着するために比較的精密な作業工程が必要となり、近
時の省力化の要請に対応し得す、その作業工程における
簡素化等の改善が要望されていた。

［発明の目的］ 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、先ず、フォトリソグラフィ技術を用いて、結合
部材によって連接された複数の縦振動音片と当該入力側
および出力側縦振動音片が支持部材で接続されると共に
、これらを略同−面で囲繞する外枠部材等を単一の圧電
部材から一体的に作製し、而かる後、真空蒸着法等をも
って、一体的に作製された縦振動音片、結合部材、支持
部材、外枠部材の両面にメタライズを形成すると共に、
リングラフィ技術によるエツチング加工により前記入力
側および出力側縦振動音片の所定部分に入力側および出
力側電極と、且つ所要の結線路等が残留せしめられるよ
うに、前記メタライズを除去せしめる製造工程が行われ
ることにより、複合縦振動メカニカル・フィルタの各構
成部材数および作業工程が簡素化されると共に、量産時
の均一な各部材配置が可能となり、それにより量産時に
おけるＱ値の低下あるいは挿入損失等の変動が有効に低
減され、均一な特性のもとに量産が促進される複合縦振
動メカニカル・フィルタの製造方法を提供することを目
的とする。

［目的を達成するための手段］ 前記の目的を達成するために、本発明は入力側右よび出
力側を含む圧電部材からなる複数の振動体、当該振動体
を接続する結合部材、入力側および出力側の振動体に挟
持して重合固着された入力側および出力側電極、当該入
力側および出力側電極に夫々接続される導線、前記振動
体を支持する支持部材、前記支持部材が取着される保持
部材とからなり、入力側電極に供給された高周波信号を
所定の周波数帯域に形成して出力側電極に導出する複合
縦振動メカニカル・フィルタの製造方法であって、第１
工程において圧電部材の一方の面に感光層を形成し、第
２工程において複数の振動体と結合部材と支持部材と保
持部材の形状の第１のマスクパターンを介して前記感光
層に光の照射を行うと共に露光処理を施し、第３工程に
おいて前記露光処理が施された感光層に現像処理を行い
光が照射された部分あるいは光が照射された部分以外の
感光層を除去し、第４工程において前記第１のマスクパ
ターンの形状の以外の部分に浸食処理を施して除去し、
第５工程において前記第４工程で形成された圧電部材の
一方の面および／または他方の面にメタライズを形成せ
しめ、第６工程において前記第５工程で形成されたメタ
ライズの一方の面および／または他方の面に感光層を形
成し、第７工程において少なくとも前記入力側電極およ
び出力側電極と当該入力側および出力側電極に接続され
た導線の形状を含む第２のマスクパターンを介して前記
第６工程における感光層に光の照射を行うと共に露光処
理を施し、第８工程において前記露光処理が施された感
光層に現像処理を行い光が照射された部分あるいは光が
照射された部分以外の感光層を除去し、第９工程におい
て前記第７工程における第２のマスクパターンの形状以
外のメタライズドの部分に浸食処理を施して除去するこ
とを特徴とする。

［実施態様］ 次に、本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタの
製造方法について好適な一実施態様を掲げ、添付図面を
参照しながら以下詳細に説明する。なお、文中の煩瑣を
避けるため共通の要素には共通の参照符号を付し、且つ
、重複した説明は省略する。

また理解を容易にするため、本実施態様では、表記虐で
先ず本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタの製
造方法が適用された複合縦振動メカニカル・フィルタの
構成および作用を説明し、表記Ｇ２において複合縦振動
メカニカル・フィルタの製造方法を説明する。また表記
Ｇ３において本実施態様例が適用された複合縦振動メカ
ニカル・フィルタの変形例を説明する。

＜Ｇ＋＞本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタ
の製造方法が適用された複合縦振動メカニカル・フィル
タの構成および作用（第２図、第３図）。

第２図において、参照符号３０は複合縦振動メカニカル
・フィルタを示し、当該複合縦振動メカニカル・フィル
タ３０は入力側縦振動音片３２と、当該入力側縦振動音
片３２と同一形状の出力側縦振動音片３４と、前記夫々
の入力側および出力側縦振動音片３２および３４を結合
する結合部材３６および３８とを有している。さらに入
力側縦振動音片３２と出力側縦振動音片３４の中央部か
ら突出した支持部材４０および４２と、さらに前記支持
部材４０および４２端部が長方形の外枠部材５０の内端
面に接続されるように構成されている。

斯かる全部材はＭＴカットの水晶部材、＋５゜Ｘカット
水晶部材、１４０°回転Ｙ板ＬｉＮｂＯ５基板等の平板
からフォ）　ＩＪソグラフィ技術を用いたエツチング加
工により一体的に作製される。

さらに、第２図における■−■線間の断面図（第４図）
に示されるように、前記入力側縦振動音片３２には一対
のメタライズの入力側電極４４ａおよび４４ｂが重合固
着されている。同様に、出力側縦振動音片３４にも出力
側電極４６ａおよび４６ｂが重合固着されている。また
支持部材４０および４２と外枠部材５０の表裏面には入
力側電極４４ａおよび４４ｂに夫々接続される導線５４
および５６が形成され、また出力側電極４６ａおよび４
６ｂに導線５８および６０が形成されている。さらに、
導線５４および５６には夫々結線部６６および６８と、
同様に導線５８および６０に夫々結線部７２および７４
が形成されている。

斯かる前記の各部は真空蒸着法あるいはスパッタ法等を
もって、金材料あるいはアルミニウム材等が採用された
メタライズが形成された後、リソグラフィ技術等のエツ
チング加工により不要部を除去せしめて一体的に作製さ
れる。

その後、結線部６Ｇおよび６８には夫々供給線８４ａお
よび８４ｂが接続され、また、結線部７２および７４に
は夫々出力線８６ａおよび接地線８６ｅが接続されてい
る。

このように構成される複合縦振動メカニカル・フィルタ
３０の動作を説明する。先ず、一対の入力側電極４４ａ
および４４ｂとの間に、結線部６６および６Ｂを経て信
号源０．。より抵抗Ｒを介した高周波信号Ｓ４、例えば
、スーパーヘテロダイン式受信機等の周波数変換部より
生成される４５５ＫＩ（ｚの中間周波数信号が供給され
る。それにより、入力側縦振動音片３２との間に入力側
電極４４ａおよび４４ｂを通して高周波信号Ｓ４に相応
した電界を生起する。この電界により入力　側縦振動音
片３２は厚さ方向および図中の矢印ｍ、およびｍｏに示
す方向に電歪を生じ、入力側縦振動音片３２が長さＬ３
を縦波の半波長とする周波数Ｆ３において共振する。入
力側縦振動音片３２における縦波の平均伝播速度をＶと
すると、周波数Ｆ、は次式にて与えられる。

Ｆ３　　＝２Ｌ３　　／Ｖ ・・・（３） この縦振動は結合部材３６および３８において出力側縦
振動音片３４に機械的に結合して伝播され、出力側縦振
動音片３４が長さＬ４による周波数Ｆ４で縦振動の共振
を生起する。この周波数Ｆ、は（３）式と同様に出力側
縦振動音片３４の縦波の平均伝播速度をＶとするならば
、 Ｆ４−２Ｌ、／Ｖ ・・・（４） となる。この出力側縦振動音片３４の縦振動による電歪
により、出力側電極４６ａおよび４６ｂに生じる電界で
、出力側電極４６ａおよび４６ｂに電圧を生起し、これ
により縦振動の伝達等に起因して形成される所定の急峻
な周波数特性、すなわち、狭帯域の周波数特性に形成さ
れた、例えば、４５５ＫＨｚの中間周波信号が出力線８
６ａおよび接地線８６ｅから出力信号Ｓ５として導出さ
れる。

〈Ｇ２〉複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法。

次に、例示した複合縦振動メカニカル・フィルタ３０の
製造方法を以下詳細に説明する。

この複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法におい
ては、先ず、フォトリングラフィ技術を用いて、入力側
および出力側を含む複数の縦振動音片、さらに当該縦振
動音片間を連接する結合部材、また入力側および出力側
縦振動音片に形成される支持部材、前記各部材を略同−
面で囲繞する外枠部材等を単一の圧電部材から一体的に
作製し、次に、真空蒸着法、スパッタ法を用いて、前記
入力側および出力側縦振動音片、結合部材、支持部材、
外枠部材の両面にメタライズ処理を施し、さらにリソグ
ラフィ技術によるエツチング加工を用いて、前記入力側
および出力側縦振動音片の所定部分に高周波信号の入力
側および出力側電極および結線路等を形成すべく前記メ
タライズを除去する。

ここでフォトリングラフィ技術は、例えば、ＩＣ製造の
高精度自動化大量生産技術として知悉され、また、メタ
ライズについては真空蒸着法あるいはスパッタ法等の処
理が多用されている。

以下、製造方法を工程順をもって説明する。

第１の工程（第４図）として、縦振動音片３２および３
４、結合部材３６および３８、支持部材４０および４２
、外枠部材５０の全体を一面に含み、所望の縦振動特性
が得られるように設計された、例えば、前記ＭＴカット
水晶等の基板８２上に、フォトレジスト層８４を塗布す
る。

第２の工程（第５図）として、縦振動音片３２および３
４、結合部材３６および３８、支持部材４０および４２
、外枠部材５０と同一の形状を含んだ第１のマスクパタ
ーン８６を介して光照射、例えば、エックス線りを照射
して、露光の処理を施す。

第３の工程（第６図）として、溶媒に浸して現像処理を
施し、面かる後、光照射された部分のフォトレジスト層
８７ａ乃至８７Ｃの部分を除去する。

第５の工程（第７図）として、前記第４の工程において
除去された基板８２のフ１）レジスト層８７ａ乃至８７
ｃの部分を浸食処理を施して除去する。

第６の工程（第８図）として、前記第５工程で形成され
た入力側および出力側縦振動音片３２および３４、結合
部材３６および３８、支持部材４０および４２、外枠部
材５０の一方の面に真空蒸着法あるいはスパッタ法を用
いて金材料あるいはアルミニウム材料等のメタライズ９
２を形成する。

第７の工程（第９図）として、入力側および出力側縦振
動音片３２および３４、結合部材３６および３８、支持
部材４０および４２、外枠部材５０のメタライズ９２上
に、フォトレジスト層９４を形成する。

第８の工程（第１０図）として入力側および出力側電極
４４ａおよび４６ａと当該入力側および出力側電極４４
ａおよび４６ａに接続された導線５４および５８、さら
に結線部６６および７２と同一形状のマスクパターン９
６を介して光照射、例えば、エックス線りを照射した後
、露光の処理を施す。

第９の工程（第１１図）として、溶媒に浸して現像処理
を施し、光照射された部分のフォトレジスト層の９８ａ
乃至９８ａ部分を除去する。

第１０工程（第１２図）において前記入力側および出力
側電極４４ａおよび４６ａと、当該入力側および出力側
電極４４ａおよび４６ａに接続された導線５４および５
８さらに結線部６６および７２とを残留するようにメタ
ライズ９２に浸食処理を施して除去する。

なお、前記の第６乃至第１０の工程の処理状態は、一方
の面のみ、すなわち、図示される上面をもって説明した
が、同様に他方の面に同様の工程をもって第１０工程（
第１２図）に示されるように入力側および出力側電極４
４ｂおよび４６ｂと当該入力側および出力側電極に接続
された導線５６および６０さらに結線部６８および７４
を他の面（裏面）に形成することは勿論である。

なお、前記の実施態様では光が照射された部分のフォト
レジスト層が除去される、所謂、ネガ型製法として説明
しているが、ポジ型製法をもって形成することを妨げる
ものではない。

このように一体的に作製しているため、その製造工程が
簡素化され、精度が向上すると共に大量生産が可能とな
り、殊に、使用される圧電部材の定数のみにおいて、縦
振動等の特性を決定し得ることになる。それにより設計
時の特性の算定および作製後の特性解析等が容易になる
。

また、圧電部材に単結材が用いられることにより、量産
における特性の均一性が向上し、経時的劣悪化が有効に
阻止出来る。

＜Ｇ３　＞複合縦振動メカニカル・フィルタの変形例。

前記の実施態様においては、２つの縦振動音片を用いて
説明しているが、これに限定されることなく、例えば、
第１３図に示されるように、より急峻な周波数特性が得
られるように縦振動音片を３以上の複数個をもって構成
する製造方法も可能である。すなわち、この複合縦振動
メカニカル・フィルタ１００においては、入力側縦振動
音片１０２と出力側縦振動音片１０６と、さらに、縦振
動音片１１２．１１４　、および１１６が夫々結合部材
１２０乃至１３４をもって同一面に形成される。さらに
、この全体を囲繞する外枠部材１３６を含み、当該外枠
部材１３６の内端面と入力側および出力側縦振動音片１
０２および１０６とが支持部材１３７および１３８で夫
々接続されている。

斯かる全部材は前記複合縦振動メカニカル・フィルタ３
０と同様にＭ、Ｔカットの水晶部材等の平板からフォト
リソグラフィ技術を用いて一体的に作製される。

さらに、入力側縦振動音片１０２には一対のメタライズ
の入力側電極１０４ａおよび１０４ｂが重合固着され、
同様に、出力側縦振動音片１０６にも出力側電極１０８
ａおよび１０８ｂが重合固着される。また支持部材１３
７および１３８と外枠部材１３６の表裏面には入力側電
極１０４ａおよび１０４ｂに夫々接続される導線１４４
および１４６が形成され、また出力側電極１０８ａおよ
び１０８ｂに導線１５４および１５６が形成されている
。前記導線１４４および１４６には夫々結線部１６２お
よび１６４と、同様に導線１５４および１５６にも夫々
結線部１７２および１７４が形成されている。

斯かる各部は真空蒸着等をもってメタライズが形成され
、而かる後、リングラフィ技術等によるエツチング加工
により、不要部を除去せしめて一体的に作製される。

その後、結線部１６２および１６４と外枠部材１３６に
は夫々供給線１８２および１８４が接続され、また、結
線部１７２および１７４と外枠部材１３６には夫々出力
線１８６および１８８が接続されている。

このように、より急峻な周波数特性を得るために縦振動
音片を多数で構成する場合は、殊に、その製造の工程が
比較的簡素化される利点がある。

［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば、先ず、フォトリングラ
フィ技術を用いて、結合部材によって連接された複数の
縦振動音片と当該入力側および出力側縦振動音片が支持
部材で接続されると共に、これらを略同−面で囲繞する
外枠部材等を単一の圧電部材から一体的に作製し、而か
る後、真空蒸着法等をもって、一体的に作製された縦振
動音片、結合部材、支持部材、外枠部材の両面にメタラ
イズを形成すると共に、リングラフィ技術によるエツチ
ング加工により前記入力側および出力側縦振動音片の所
定部分に入力側および出力側電極と、且つ所要の結線路
等が残留せしめられるように、前記メタライズを除去せ
しめる製造工程が行われることにより、複合縦振動メカ
ニカル・フィルタの各構成部材数および作業工程を簡素
化すると共に、均一な各部材配置が形成され、量産にお
けるＱ値の低下あるいは挿入損失等の変動が有効に低減
される。殊に、より急峻な周波数特性を得るため、例え
ば、多数の縦振動音片が必要とされる場合の製造工程が
比較的簡単になる夫々の利点乃至効果を有する。

以上、本発明について好適な実施態様を挙げて説明した
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並び
に設計の変更が可能なことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術に係る複合縦振動メカニカル・フィル
タの製造方法が適用された複合縦振動メカニカル・フィ
ールタの構成を示す斜視図、第２図は本発明に係る複合
縦振動メカニカル・フィルタの製造方法が適用された複
合縦振動メカニカル・フィルタの構成を示す斜視図、第
３図は第２図に示される■−■線間の断面図、 第４図乃至第１２図は本発明に係る複合縦振動メカニカ
ル・フィルタの製造方法の第１の工程乃至第９の工程の
説明に供される斜視図、第１３図は本発明に係る複合縦
振動メカニカル・フィルタの製造方法が適用され、縦振
動音片が５個で形成された複合縦振動メカニカル・フィ
ルタの構成を示す斜視図である。 ３０・・・複合縦振動メカニカル・フィルタ３２・・・
入力側縦振動音片（圧電部材）３４・・・出力側縦振動
音片（圧電部材）３６．３８・・・結合部材　　　　　
４０．４２・・・支持部材４４ａ、４４ｂ・・・入力側
電極 ４６ａ、４６ｂ・・・出力側電極　　５０・・・外枠部
材５４．５６・・・入力側電極に接続される導線５８．
６０・・・出力側電極に接続される導線６６．６８・・
・入力側電極用の結線部７２．７４・・・出力側電極用
の結線部１００・・・複合縦振動メカニカル・フィルタ
Ａらｎ 弓８ ＦＩＧ、１０ ＦＩＧ、１１ ＦＩＧ、１２

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）入力側および出力側を含む圧電部材からなる複数
   の振動体、当該振動体を接続する結合部材、入力側およ
   び出力側の振動体に挟持して重合固着された入力側およ
   び出力側電極、当該入力側および出力側電極に夫々接続
   される導線、前記振動体を支持する支持部材、前記支持
   部材が取着される保持部材とからなり、入力側電極に供
   給された高周波信号を所定の周波数帯域に形成して出力
   側電極に導出する複合縦振動メカニカル・フィルタの製
   造方法であって、 第１工程において圧電部材の一方の面に感光層を形成し
   、 第２工程において複数の振動体と結合部材と支持部材と
   保持部材の形状の第１のマスクパターンを介して前記感
   光層に光の照射を行うと共に露光処理を施し、 第３工程において前記露光処理が施された感光層に現像
   処理を行い光が照射された部分あるいは光が照射された
   部分以外の感光層を除去し、第４工程において前記第１
   のマスクパターンの形状の以外の部分に浸食処理を施し
   て除去し、第５工程において前記第４工程で形成された
   圧電部材の一方の面および／または他方の面にメタライ
   ズを形成せしめ、 第６工程において前記第５工程で形成されたメタライズ
   の一方の面および／または他方の面に感光層を形成し、 第７工程において少なくとも前記入力側電極および出力
   側電極と当該入力側および出力側電極に接続された導線
   の形状を含む第２のマスクパターンを介して前記第６工
   程における感光層に光の照射を行うと共に露光処理を施
   し、 第８工程において前記露光処理が施された感光層に現像
   処理を行い光が照射された部分あるいは光が照射された
   部分以外の感光層を除去し、第９工程において前記第７
   工程における第２のマスクパターンの形状以外のメタラ
   イズドの部分に浸食処理を施して除去することを特徴と
   する複合縦振動メカニカル・フィルタの製造方法。