JPH02142185A - 半導体装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造工程における素子の良否判定
の技術に関し、特に素子に探針するときの探針用パッド
に関する。

〔従来の技術〕

従来の技術としては、半導体装置の製造工程の途中で素
子の動作や特性を判定する場合、トランジスタ素子を例
にあげて説明すると、内部回路で使用しているトランジ
スタ素子と同じ形状、同じ製造方法によるトランジスタ
素子を判定用としてチップ内または付近に設置し、この
判定用素子の特性を測定し、この特性から内部回路素子
の特性を推定している。第６図に示すとおり、この種の
動作特性判定用のトランジスタ素子４１は、テスト棒に
よって探針するためのパッドとして、ベース探針パッド
３８、エミッタ探針パッド３９およびコレクタ探針パッ
ド４０を有しており、それぞレヘース配線３５．エミッ
タ配線３６、コレクタ配線３７によりトランジスタ素子
のベース電極３２、エミッタ電極３３、コレクタ電極３
４に接続されている。ここで、これらの探針バッドは一
般には、−辺が５０μｍ程度の方形に形成されている。

このような構成により、それぞれの探針バッドにテスト
棒を接触させ、種々の特性の測定が行われていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の動作特性判定用のトランジスタ素子４１
の各探針バッド３８，３９および４０は、第６図に示す
ように方形をしていて、トランジスタの各電極に対応し
て並列に設置されている。二探針用テスターを使用して
ＮＰＮ型のトランジスタの電流電圧特性を測定する場合
を例にとって説明する。第７図、第８図および第９図は
、トランジスタ素子４１のそれぞれベース−コレクタ間
。

ベース−エミッタ間、エミッターコレクタ間の電流電圧
特性を測定するときの図である。

ベース−コレクタ間の順方向特性を測定するとき、テス
ト棒４２．４３は、第７図に示すようにエミ、り探針バ
ッド３９を挟んでベース探針パッド３８とコレクタ探針
バッド４０にそれぞれ第２のテスト棒４３．第１のテス
ト棒４２が接触され、１１のテスト棒４２に正電位をか
け、第２のテスト棒４３をグランドへ接続し、電流値を
測定する。

そのため、ベース−コレクタ間の特性を測定する場合の
テスト棒４２および４３の間隔は、第８図に示すベース
−エミッタ間あるいは第９図に示すエミッターコレクタ
間の特性を測定する場合に比べて広くとらなければなら
ない。

以上のとおり、トランジスタ素子４１０３種類の順方向
特性を測定するに当たっては、テスト棒４２および４３
の間隔を特性の測定の項目に応じて変更する必要がある
。テスト棒の間隔を変更するには、探針用パッドへ探針
できるようテスト棒位置を調整しなければならず、その
位置調整には、１０ミクロン程度の精度が必要であり多
くの時間を要する。したがって多数のトランジスタ素子
の電流電圧特性を測定するに当たり作業効率が非常に低
くなるという欠点がある。

〔目的〕

本発明の目的は、上述したような欠点を取り除き、テス
ト棒間の間隔を変更することなく、一定のテスト棒間隔
で、すべての電極間の特性測定が行える半導体装置を提
供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体装置は、複数の電極を有し、これらの各
電極から個別に導かれた探針用パッドを有する半導体装
置において、この複数の探針用パッドがどの２つのバッ
ドの間隔も等しくなるような形状に形成されていること
を特徴とする。そのため、任意の電極間の特性測定を行
う場合に、テスト棒の間隔を変更することなく容易に測
定が行われるものである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の平面図である。

第１図において本実施例の素子はＮＰＮ型トランジスタ
を示し、そのトランジスタ端子はベース、エミッタ、コ
レクタの順に並んでいる。これらの電極４，５および６
は、それぞれベース配線７、エミッタ配線８．コレクタ
配線９を介して、ベース探針パッド１０．エミ、ツタ探
針バッド１１、コレクタ探針パッド１２に接続されてい
る。

それぞれの探針バッド１０，１１．１２は、どの２組の
バッドも等しい間隔となるように、たとえば長方形のベ
ース探針パッド１０に対して、エミッタ探針パッド１１
とコレクタ探針バッド１２とがそれぞれ等間隔を有する
ように並列に設けられ、かつ、エミッタ探針パッド１１
とコレクタ探針パラ１１２０間隔も、ベース探針パッド
１０との間隔と等しくなるようにコレクタ探針バッド１
２はＬ字状に形成される。ベース−コレクタ間の順方向
特性を測定する場合、第２図に示すようにベース探針パ
ッドＩＯに第２のテスト棒１５を、コレクタ探針パッド
１２に第１のテスト棒１４をそれぞれ接触させ、第１の
テスト棒１４に正電位をかけ、第２のテスト棒１５をグ
ランドに接続し電流値を測定する。同様にベース−エミ
ッタ間およびエミッターコレクタ間の測定は、それぞれ
第３図、第４図に示すように探針し、電流値を測定する
。この際それぞれの探針パッドはどの２組のバッドも等
しい間隔となるような形状に設けられているのでベース
探針バッド１０．エミッタ探針バッド１１．コレクタ探
針バッド１２の３つの探針バッド間を一定のテスト棒間
隔で探針することができる。３種の順方向特性を測定す
るときは第１のテスト棒１４と第２のテスト棒１５の極
性を切り替える必要はない。また逆方向特性を測定する
ときにも極性を一度設定し直せば極性切り替えなしに測
定することができる。

第５図は本発明の第２の実施例の平面図である。

本実施例の素子はＮＰＮ型トランジスタであり、トラン
ジスタ端子は、エミッタ、ベース、コレクタの順に並ん
でいる。本実施例のトランジスタ素子ては電極の順番が
第１の実施例と異なるため、第１の実施例をそのまま適
用すると３種の順方向特性を測定する際に、第１のテス
ト棒と第２のテスト棒の極性を切り替えることが必要と
なる。本実施例は、第５図に示すように、トランジスタ
素子の向きを９０°変えて配置した上で探針風パッドを
引き出してこの欠点を解消している。本実施例も第１の
実施例と同様にベース探針バッド２５゜エミッタ探針バ
ッド２６．コレクタ探針バッド２７のどの２組の探針バ
ッドも等しい間隔となるような形状に設けられているた
め、３つの探針バッド間を一定のテスト棒間隔で探針す
ることができる。また、順方向特性測定と逆方向特性測
定ともに一度極性を設定すれば、切り替えずに測定可能
である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、探針パッドの形状を変え
ることにより、二探針用テスターの二本のテスト棒間隔
の変更をすることなく、トランジスタのベース−コレク
タ間、ベース−エミッタ間、エミッターコレクタ間の電
流電圧特性を測定することができる。これにより、多数
のトランジスタ　　　４ｏ・・・・・・コレクタ探針バ
ッド、１３，２８゜の特性を測定するにあたり容易に、
高効率で測定　　４１・・・１う〕・ンスタ素子、１４
．４２・・・・・・第１することができる効果がある。

　　　　　　　　　　　のテスト棒、１５．４３・・・
・・・第２のテスト棒。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の探針用バッドの第１の実施例を示す
平面図、第２図、第３図および第４図は、第１の実施例
を用いた場合の探針状態を示す平面図、第５図は、本発
明の第２の実施例を示す平面図、第６図は、従来例を示
す平面図、第７図、第８図および第９図は、従来例を用
いた場合の探針状態を示す平面図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）３つ以上の電極から個別に導かれた探針用パッド
   を有する半導体装置において、前記複数の探針用パッド
   が、複数の探針用パッドのうちのどの２つの探針用パッ
   ド間の距離も等しくなるように形成されていることを特
   徴とする半導体装置。
2. （２）上記複数の電極として、第１、第２および第３の
   電極を有し、夫々の電極に対応する第１、第２および第
   ３の探針用パッドを具備する半導体装置において、前記
   第１の探針用パッドが長方形に形成され、前記第２およ
   び第３の探針用パッドが前記第１の探針用パッドの長さ
   方向に対して直角方向に該第１の探針用パッドに隣接し
   て互いに並列に形成され、かつ前記第３の探針用パッド
   が前記第１の探針用パッドの前記長さ方向に延在して形
   成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の半導体装置。