JPH0955410A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
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- JPH0955410A JPH0955410A JP20889195A JP20889195A JPH0955410A JP H0955410 A JPH0955410 A JP H0955410A JP 20889195 A JP20889195 A JP 20889195A JP 20889195 A JP20889195 A JP 20889195A JP H0955410 A JPH0955410 A JP H0955410A
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- JP
- Japan
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- probe card
- probing
- chip
- chips
- probe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＩＣウェハー上のＩＣチップを並列測定する際
に、ＩＣウェハーの列方向の両端における有効ＩＣチッ
プとの遭遇確率を高め、テスト時間低減を図り、且つ針
立部の領域を小さくすることができるプローブカードを
提供する 【解決手段】プローブカード基板の上面および下面の両
面に測定探針７，８，９，１０を立てる構造を有し、且
つ、同時に測定することができるＩＣチップの位置ａ，
ｂ，ｃ，ｄを市松模様状に配置する。
に、ＩＣウェハーの列方向の両端における有効ＩＣチッ
プとの遭遇確率を高め、テスト時間低減を図り、且つ針
立部の領域を小さくすることができるプローブカードを
提供する 【解決手段】プローブカード基板の上面および下面の両
面に測定探針７，８，９，１０を立てる構造を有し、且
つ、同時に測定することができるＩＣチップの位置ａ，
ｂ，ｃ，ｄを市松模様状に配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＩＣウェハーテスト
で用いるプローブカードに関するものである。
で用いるプローブカードに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣウェハー上に形成されている多数の
ＩＣチップの電気的特性を測定する際、ＩＣチップ表面
の複数の電極パッド（ボンディングパッド）のそれぞれ
に、プローブカードに取り付けられた測定探針（プロー
ブ）を接触させ、これら複数の測定探針を通じてＩＣチ
ップに電気信号を印加し、ＩＣチップからの応答信号を
受けて電気特性を測定するＩＣテスターに接続すること
により行われる。
ＩＣチップの電気的特性を測定する際、ＩＣチップ表面
の複数の電極パッド（ボンディングパッド）のそれぞれ
に、プローブカードに取り付けられた測定探針（プロー
ブ）を接触させ、これら複数の測定探針を通じてＩＣチ
ップに電気信号を印加し、ＩＣチップからの応答信号を
受けて電気特性を測定するＩＣテスターに接続すること
により行われる。
【０００３】ここで同時に複数のＩＣチップを測定する
方が測定コストを低減させるうえで好ましい。
方が測定コストを低減させるうえで好ましい。
【０００４】しかしながら被測定のＩＣチップにおい
て、チップの４辺に沿って電極パッドが配列している場
合、辺に隣接するＩＣチップのそれぞれの電極パッドに
対して測定探針を立てることが困難となる。
て、チップの４辺に沿って電極パッドが配列している場
合、辺に隣接するＩＣチップのそれぞれの電極パッドに
対して測定探針を立てることが困難となる。
【０００５】そこで特開平４−３３０７４８号公報に
は、斜め方向に隣接するそれぞれのＩＣチップに対して
測定探針を立てる構造が開示されている。
は、斜め方向に隣接するそれぞれのＩＣチップに対して
測定探針を立てる構造が開示されている。
【０００６】図４は、斜め方向に隣接する２つのＩＣチ
ップに対しプロービングするプローブカードを示した図
である。同図において、それぞれ斜線を付して仮想チッ
プを示した四辺形ａおよび四辺形ｂの場所に被測定ＩＣ
チップがそれぞれ位置し、針立部５の上面に支持された
多数のプローブ針（図示省略）が開口部６内を下方向に
傾斜して、四角形ａ，ｂにそれぞれ位置するＩＣチップ
のそれぞれの電極パッドにその先端を当接させることが
できるよう配設されている。
ップに対しプロービングするプローブカードを示した図
である。同図において、それぞれ斜線を付して仮想チッ
プを示した四辺形ａおよび四辺形ｂの場所に被測定ＩＣ
チップがそれぞれ位置し、針立部５の上面に支持された
多数のプローブ針（図示省略）が開口部６内を下方向に
傾斜して、四角形ａ，ｂにそれぞれ位置するＩＣチップ
のそれぞれの電極パッドにその先端を当接させることが
できるよう配設されている。
【０００７】測定コストをさらに低減させる為、同時測
定個数を４つに増加させたのが図５であり、それぞれ斜
線を付して仮想チップを示した四辺形ａ，四辺形ｂ，四
辺形ｃおよび四辺形ｄが斜め直線方向に配列し、針立部
５の上面に支持された多数のプローブ針（図示省略）が
開口部６内を下方向に傾斜して、四角形ａ，ｂ，ｃ，ｄ
のそれぞれ位置するＩＣチップのそれぞれの電極パッド
にその先端を当接させることができるよう配設されてい
る。これにより４つのＩＣチップを同時にプロービング
するプローブカードが構成される。
定個数を４つに増加させたのが図５であり、それぞれ斜
線を付して仮想チップを示した四辺形ａ，四辺形ｂ，四
辺形ｃおよび四辺形ｄが斜め直線方向に配列し、針立部
５の上面に支持された多数のプローブ針（図示省略）が
開口部６内を下方向に傾斜して、四角形ａ，ｂ，ｃ，ｄ
のそれぞれ位置するＩＣチップのそれぞれの電極パッド
にその先端を当接させることができるよう配設されてい
る。これにより４つのＩＣチップを同時にプロービング
するプローブカードが構成される。
【０００８】このプローブカードを用いて実際のＩＣウ
ェハー上のＩＣチップを測定する方法を示したのが図６
である。
ェハー上のＩＣチップを測定する方法を示したのが図６
である。
【０００９】まず、図４の各四辺形ａ，ｂ，ｃおよびｄ
はそれぞれ図６のＡ，Ｂ，ＣおよびＤに相当する。また
ＩＣウェハー１２のオリエンテーションフラットと平行
の方向を列方向、それと直角方向を行方向として説明す
る。
はそれぞれ図６のＡ，Ｂ，ＣおよびＤに相当する。また
ＩＣウェハー１２のオリエンテーションフラットと平行
の方向を列方向、それと直角方向を行方向として説明す
る。
【００１０】最初にプロービング開始点１３′におい
て、四辺形ｄに相当するＩＣチップＤをプロービングす
る。この例では、四辺形ａ〜ｃに相当するＩＣチップは
存在しない。この開始点１３′における測定が終了する
と、矢印の方向に相対的に移動して列方向の図で右側に
隣接するＩＣチップを測定する。この場合も四辺形ｄに
相当するＩＣチップＤのみを測定することになる。その
次に右側に隣接するＩＣチップを測定する場合は四辺形
ｄおよび四辺形ｃに相当するＩＣチップＤおよびＣを測
定する。このようにその位置における測定が終了すると
図で右方向に１ケＩＣチップ分、矢印の方向に相対的に
移動してずらせながら測定する。
て、四辺形ｄに相当するＩＣチップＤをプロービングす
る。この例では、四辺形ａ〜ｃに相当するＩＣチップは
存在しない。この開始点１３′における測定が終了する
と、矢印の方向に相対的に移動して列方向の図で右側に
隣接するＩＣチップを測定する。この場合も四辺形ｄに
相当するＩＣチップＤのみを測定することになる。その
次に右側に隣接するＩＣチップを測定する場合は四辺形
ｄおよび四辺形ｃに相当するＩＣチップＤおよびＣを測
定する。このようにその位置における測定が終了すると
図で右方向に１ケＩＣチップ分、矢印の方向に相対的に
移動してずらせながら測定する。
【００１１】プロービング途中点１４′においては、四
辺形ａに相当するＩＣチップＡ（右上端が欠けている）
以外を測定し、図で右方向にはＩＣチップは存在しない
ので行方向に４ケＩＣチップ分、図で下方向に矢印の方
向に相対的に移動して、プロービング途中点１５′にお
いて四辺形ａに相当するＩＣチップＡを測定する。この
位置では四角形ｂ〜ｄに相当するＩＣチップは存在しな
い。
辺形ａに相当するＩＣチップＡ（右上端が欠けている）
以外を測定し、図で右方向にはＩＣチップは存在しない
ので行方向に４ケＩＣチップ分、図で下方向に矢印の方
向に相対的に移動して、プロービング途中点１５′にお
いて四辺形ａに相当するＩＣチップＡを測定する。この
位置では四角形ｂ〜ｄに相当するＩＣチップは存在しな
い。
【００１２】プロービング途中点１５′の測定終了後、
矢印の方向に相対的に移動して、図で左方向に１ケＩＣ
チップ分列をずらし測定をしていき、プロービング途中
点１６′の測定終了後、再度４ケＩＣチップ分行を、矢
印の方向に相対的に移動して図で下方向にずらし、プロ
ービング途中点１７′においての測定を行ない、その測
定終了後、図で右方向に１ケＩＣチップ分列をずらし測
定をしていき、プロービング終了点１８′の測定が終了
すると、このＩＣウェハーのプロービングが完了する。
矢印の方向に相対的に移動して、図で左方向に１ケＩＣ
チップ分列をずらし測定をしていき、プロービング途中
点１６′の測定終了後、再度４ケＩＣチップ分行を、矢
印の方向に相対的に移動して図で下方向にずらし、プロ
ービング途中点１７′においての測定を行ない、その測
定終了後、図で右方向に１ケＩＣチップ分列をずらし測
定をしていき、プロービング終了点１８′の測定が終了
すると、このＩＣウェハーのプロービングが完了する。
【００１３】このように複数個分同時測定用プローブカ
ードを使用した場合、列方向（図で横方向）に対しはＩ
Ｃチップ１ケ分ずつ、行方向（図で縦方向）に対しては
並列個分移動して測定する為、大幅にテスト時間を短縮
することが出来る。
ードを使用した場合、列方向（図で横方向）に対しはＩ
Ｃチップ１ケ分ずつ、行方向（図で縦方向）に対しては
並列個分移動して測定する為、大幅にテスト時間を短縮
することが出来る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】従来の斜め直線状に配
列したプローブカードでのテストでは、ＩＣウェハー上
の列方向に対する両端でのプロービングにおいて、実際
に測定すべきＩＣチップ（以下、有効ＩＣチップ、と称
す）を複数個同時に測定出来る可能性が低いという欠点
があった。ＩＣウェハーは円形状の上に四辺形のＩＣチ
ップを有する為、周辺部では有効ＩＣチップの位置は複
雑である。
列したプローブカードでのテストでは、ＩＣウェハー上
の列方向に対する両端でのプロービングにおいて、実際
に測定すべきＩＣチップ（以下、有効ＩＣチップ、と称
す）を複数個同時に測定出来る可能性が低いという欠点
があった。ＩＣウェハーは円形状の上に四辺形のＩＣチ
ップを有する為、周辺部では有効ＩＣチップの位置は複
雑である。
【００１５】説明を簡単にする為、いま仮に４行、１０
列の有効ＩＣチップのみを有するＩＣウェハーをか考え
てみる。この場合、プローブカードの四辺形がＩＣ有効
チップに遭遇しない機会は３回であり、この３回のテス
トが有効で無く、テスト時間の延長化を招くという欠点
があった。
列の有効ＩＣチップのみを有するＩＣウェハーをか考え
てみる。この場合、プローブカードの四辺形がＩＣ有効
チップに遭遇しない機会は３回であり、この３回のテス
トが有効で無く、テスト時間の延長化を招くという欠点
があった。
【００１６】さらに、斜め直線状に配列する方法では、
全体の針立部が大きくなる。例えば、ＩＣチップの寸法
を１０ｍｍ×１０ｍｍと仮定すると、少なくとも４０ｍ
ｍ×４０ｍｍの領域が必要となる。
全体の針立部が大きくなる。例えば、ＩＣチップの寸法
を１０ｍｍ×１０ｍｍと仮定すると、少なくとも４０ｍ
ｍ×４０ｍｍの領域が必要となる。
【００１７】したがって本発明の目的は、このＩＣウェ
ハーの列方向の両端における有効ＩＣチップとの遭遇確
率を高め、テスト時間低減を図り、且つ針立部の領域を
小さくすることができるプローブカードを提供すること
である。
ハーの列方向の両端における有効ＩＣチップとの遭遇確
率を高め、テスト時間低減を図り、且つ針立部の領域を
小さくすることができるプローブカードを提供すること
である。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によるプローブカードは、プローブカード基板
の上面および下面の両面に測定探針を立てる構造を有
し、且つ、同時に測定することができるＩＣチップが市
松模様状に配置するようにした構造を有する。
に本発明によるプローブカードは、プローブカード基板
の上面および下面の両面に測定探針を立てる構造を有
し、且つ、同時に測定することができるＩＣチップが市
松模様状に配置するようにした構造を有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を説
明する。
明する。
【００２０】図１は本発明の実施の形態のプローブカー
ドを示す平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ部の断面図
である。この実施の形態は４個のＩＣチップを同時に測
定する例である。
ドを示す平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ部の断面図
である。この実施の形態は４個のＩＣチップを同時に測
定する例である。
【００２１】図１において、それぞれ斜線を付して仮想
チップの四辺形ａ〜四辺形ｄを示している。四辺形ａと
四辺形ｂは斜め方向に隣接し、四辺形ｃと四辺形ｄも斜
め方向に隣接している。四辺形ｂと四辺形ｃも隣接する
が、図５のように４個が直線状に配列するのでは無く、
図１では市松模様状に配列する。
チップの四辺形ａ〜四辺形ｄを示している。四辺形ａと
四辺形ｂは斜め方向に隣接し、四辺形ｃと四辺形ｄも斜
め方向に隣接している。四辺形ｂと四辺形ｃも隣接する
が、図５のように４個が直線状に配列するのでは無く、
図１では市松模様状に配列する。
【００２２】プローブカード基板本体４に傾斜上面を有
する針立部５が組み込まれてプローブカード基板３を構
成し、針立部５およびプローブカード基板本体４による
開口部６内に仮想チップの四辺形ａ〜四辺形ｄが位置す
るようになっている。
する針立部５が組み込まれてプローブカード基板３を構
成し、針立部５およびプローブカード基板本体４による
開口部６内に仮想チップの四辺形ａ〜四辺形ｄが位置す
るようになっている。
【００２３】プローブ針７および８はプローブカード基
板３の上面、すなわち針立部５の傾斜上面に取り付けら
れ同面に沿って下降し、四辺形ａおよびｂの所定の箇所
にそれぞれの先端を位置する。この所定の箇所は四辺形
ａおよびｂにくる被測定ＩＣチップの電極パッドの位置
である。またプローブ針７および８はＩＣチップの電極
パッドの数に応じてそれぞれ複数本設けられるが図では
一本ずつ示す。
板３の上面、すなわち針立部５の傾斜上面に取り付けら
れ同面に沿って下降し、四辺形ａおよびｂの所定の箇所
にそれぞれの先端を位置する。この所定の箇所は四辺形
ａおよびｂにくる被測定ＩＣチップの電極パッドの位置
である。またプローブ針７および８はＩＣチップの電極
パッドの数に応じてそれぞれ複数本設けられるが図では
一本ずつ示す。
【００２４】これに対してプローブ針９および１０はプ
ローブカード基板３の下面、すなわち針立部５の下面に
取り付けられ、四辺形ｃおよびｄの所定の箇所にそれぞ
れの先端を位置する。この所定の箇所は四辺形ｃおよび
ｄにくる被測定ＩＣチップの電極パッドの位置である。
またプローブ針９および１０もＩＣチップの電極パッド
の数に応じてそれぞれ複数本設けられるが図では一本ず
つ示す。
ローブカード基板３の下面、すなわち針立部５の下面に
取り付けられ、四辺形ｃおよびｄの所定の箇所にそれぞ
れの先端を位置する。この所定の箇所は四辺形ｃおよび
ｄにくる被測定ＩＣチップの電極パッドの位置である。
またプローブ針９および１０もＩＣチップの電極パッド
の数に応じてそれぞれ複数本設けられるが図では一本ず
つ示す。
【００２５】また全てプローブ針７，８，９，１０の先
端は、図２に示すように同一の高さＬに位置している。
端は、図２に示すように同一の高さＬに位置している。
【００２６】この図１の実施の形態によるプローブカー
ドを用いたプロービング（測定）の順序を示したのが図
３である。図３のＩＣウェハーは図６と同等の有効ＩＣ
チップを有する。
ドを用いたプロービング（測定）の順序を示したのが図
３である。図３のＩＣウェハーは図６と同等の有効ＩＣ
チップを有する。
【００２７】また図３でも、図６と同様に、四辺形ａ，
ｂ，ｃおよびｄはそれぞれＡ，Ｂ，ＣおよびＤに相当
し、ＩＣウェハー１２のオリエンテーションフラットと
平行の方向を列方向、それと直角方向を行方向として説
明する。
ｂ，ｃおよびｄはそれぞれＡ，Ｂ，ＣおよびＤに相当
し、ＩＣウェハー１２のオリエンテーションフラットと
平行の方向を列方向、それと直角方向を行方向として説
明する。
【００２８】プロービングの方向は、図６と同様に、プ
ロービング開始点１３から列方向に対し矢印の方向に相
対的に移動して図で右側に隣接するＩＣチップを測定し
ていく。プロービング途中点１４つまり列方向に対し端
に達すると、行方向に対し複数個分（この例では４個
分）矢印の方向に図で下の方向に相対的に移動する。そ
の点がプロービング途中点１５である。そしてこのプロ
ービング途中点１５から列方向に対し図で左方向に相対
的に移動してプロービングを行っていき、プロービング
途中点１６つまり列方向に対し端に達すると、行方向に
対し複数個分（この例では４個分）矢印の方向に図で下
の方向に相対的に移動してプロービング途中点１７でプ
ロービンを行い、そしてこのプロービング途中点１７か
ら列方向に対し図で右方向に相対的に移動してプロービ
ングを行っていってプロービング終了点１８に至る。
ロービング開始点１３から列方向に対し矢印の方向に相
対的に移動して図で右側に隣接するＩＣチップを測定し
ていく。プロービング途中点１４つまり列方向に対し端
に達すると、行方向に対し複数個分（この例では４個
分）矢印の方向に図で下の方向に相対的に移動する。そ
の点がプロービング途中点１５である。そしてこのプロ
ービング途中点１５から列方向に対し図で左方向に相対
的に移動してプロービングを行っていき、プロービング
途中点１６つまり列方向に対し端に達すると、行方向に
対し複数個分（この例では４個分）矢印の方向に図で下
の方向に相対的に移動してプロービング途中点１７でプ
ロービンを行い、そしてこのプロービング途中点１７か
ら列方向に対し図で右方向に相対的に移動してプロービ
ングを行っていってプロービング終了点１８に至る。
【００２９】この実施の形態によれば、例えばプロービ
ング途中点１５からプロービング途中点１６間で四辺形
ａに着目すると、これに相当するＡは、図６に示すよう
に従来のプローブカードは２回のテストが無駄であった
のに対し、１回のみのテストが無駄になるだけである。
ング途中点１５からプロービング途中点１６間で四辺形
ａに着目すると、これに相当するＡは、図６に示すよう
に従来のプローブカードは２回のテストが無駄であった
のに対し、１回のみのテストが無駄になるだけである。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によるプロー
ブカードは、基板の上面、下面の両面にプローブ針を立
てて同時に測定をすることができる複数個のＩＣチップ
が市松模様状に配置した構造にすることにより、ＩＣウ
ェハーの列方向の両端における有効ＩＣチップとの遭遇
確率を高め、テスト時間低減を図り、かつ針立部の領域
を小さくすることができる。
ブカードは、基板の上面、下面の両面にプローブ針を立
てて同時に測定をすることができる複数個のＩＣチップ
が市松模様状に配置した構造にすることにより、ＩＣウ
ェハーの列方向の両端における有効ＩＣチップとの遭遇
確率を高め、テスト時間低減を図り、かつ針立部の領域
を小さくすることができる。
【図１】本発明の実施の形態のプローブカードを示す平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ部の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態のプローブカードを用いて
ＩＣウェハー上のＩＣチップのプロービング順序を示す
図である。
ＩＣウェハー上のＩＣチップのプロービング順序を示す
図である。
【図４】従来技術の２個並列のプローブカードを示す平
面図である。
面図である。
【図５】従来技術の４個並列のプローブカードを示す平
面図である。
面図である。
【図６】従来技術の図５のプローブカードを用いてＩＣ
ウェハー上のＩＣチップのプロービング順序を示す図で
ある。
ウェハー上のＩＣチップのプロービング順序を示す図で
ある。
３ プローブカード基板 ４ プローブカード基板本体 ５ 針立部 ６ 開口部 ７，８，９，１０ プローブ針 １２ ＩＣウェハー １３，１３′ プロービング開始点 １４，１４′，１５，１５′，１６，１６′，１７，１
７′ プロービング途中点 １８，１８′ プロービング終了点
７′ プロービング途中点 １８，１８′ プロービング終了点
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣウェハーテストに用いるプローブカ
ードにおいて、プローブカード基板の上面と下面の両面
から測定探針を立てる構造を有し、同時に測定をするこ
とができる複数個のＩＣチップが市松模様状に配置した
構造を有することを特徴としたプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208891A JP2817673B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | プローブカード及びｉｃチップのテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7208891A JP2817673B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | プローブカード及びｉｃチップのテスト方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0955410A true JPH0955410A (ja) | 1997-02-25 |
| JP2817673B2 JP2817673B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=16563845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7208891A Expired - Lifetime JP2817673B2 (ja) | 1995-08-16 | 1995-08-16 | プローブカード及びｉｃチップのテスト方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817673B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010041002A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Tokyo Electron Ltd | プローブ方法及びプローブ用プログラム |
| CN104090135A (zh) * | 2014-06-26 | 2014-10-08 | 中国航天科工集团第三研究院第八三五七研究所 | 一种适用于多种引脚微小间距的芯片测试探针 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01238133A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Nec Kyushu Ltd | 多層構造式プローブカード |
-
1995
- 1995-08-16 JP JP7208891A patent/JP2817673B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01238133A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Nec Kyushu Ltd | 多層構造式プローブカード |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010041002A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | Tokyo Electron Ltd | プローブ方法及びプローブ用プログラム |
| CN104090135A (zh) * | 2014-06-26 | 2014-10-08 | 中国航天科工集团第三研究院第八三五七研究所 | 一种适用于多种引脚微小间距的芯片测试探针 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2817673B2 (ja) | 1998-10-30 |
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