JPH02138340A - ポリイミド賦形体の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ポリイミド賦形体の製法に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

ポリイミドは、耐熱性に富んだ材料であり、種々の用途
に利用されている。このようなポリイミドは、各種の形
状に賦形されて使用されている。

一般に、上記ポリイミド賦形体は、テトラカルボン酸二
無水物とジアミノ化合物とを有機極性溶媒中で重合させ
ることによってポリアミド酸溶液等のポリイミド前駆体
溶液をつくり、これを所定の形状に賦形し、例えば各種
用途の基材上に塗布することによって厚膜状に賦形し、
これを加熱して乾燥、イミド化反応させ硬化させるとい
うことによって行われている。上記加熱は一般に熱風対
流式の加熱炉中で行われその条件は２００〜５００°Ｃ
で１〜１６時間という苛酷な条件で行われており、これ
によって上記ポリイミド前駆体のイミド化が生起する。

このように熱風対流式の加熱炉中において加熱乾燥する
場合には長時間を要するため連続的な操業が困難となり
、生産性１作業性等の点において問題が生じている。ま
た、上記のような苛酷な熱履歴により、例えば半導体装
置にパッシベーション膜等の形でポリイミド賦形体を設
ける場合には、その過程において半導体素子自体の劣化
を招くというような難点を生じるうえ、上記加熱炉中に
おける苛酷な加熱によって溶媒が分解して黄褐色に着色
するため、例えば太陽電池等にポリイミド賦形体を応用
する場合には、透明性の点で難点が生じている。さらに
、上記のような熱風対流式の加熱炉中における加熱では
、ポリイミド前駆体溶液を厚膜に塗布した場合、表面か
ら内部への熱の伝達が遅いため、表面−内部間における
熱勾配が大きくなり、硬化状態において表面−内部間で
差が生じ、残留応力に差がでることになって歪みを住し
たりするというような難点も生じている。また、厚膜形
成時には表面が乾燥して皮膜化するため、内部に溶媒が
残存しそれによって多数の気泡が生じ、厚膜の形成が実
質的に困難となっている。また、上記ポリアミド酸溶液
を円筒状型体の内周面に塗布し加熱して管状（輪状）の
ポリイミド製品を製造すると、得られる管状製品は弾性
率が高く、これをベルトとして使用した場合、プーリー
等とのなじみが悪くスリップしたり切れ易かったりする
うえ、小さな傷の発生により容易に切断するという問題
も住している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような熱風対流式の加熱炉を用いる加熱方法の欠
点を除去することを目的として特公昭６１−５４２４９
５号公報に、高周波を用いた誘電加熱により半導体素子
の表面に保３Ｉ膜を形成する方法が開示されている。し
かしながら、上記誘電加熱は樹脂等に対する加熱効率は
高いものの、もれ電波のシールドや金属片の露出による
スパーク等の問題があり、しかもコスト的にもやや高く
汎用性に欠けている。また、上記方法では上記誘電加熱
を減圧下で行う必要があり、作業性、生産性に問題が生
じている。

この発明は、このような事情に鑑みなされたもので、作
業性、生産性等に優れ、かつ低温で短時間の加熱により
効率的にポリイミド賦形体を製造する方法の提供を目的
とする。

〔問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、この発明のポリイミド賦形
体の製法は、ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液を準備す
る工程と、上記溶液を所定の形状に賦形し遠赤外線を照
射して硬化させる工程を備えるという構成をとる。

〔作用〕

すなわち、本発明者らは、上記の目的を達成するために
一連の研究を重ねる過程で、ポリイミド前駆体溶液を内
面から硬化させると上記のような厚膜形成時等における
問題を生じることなくポリイミド賦形体が得られること
をつきとめ、さらに研究を重ねた。その結果、誘電加熱
等の方法ではなく、遠赤外線を照射すると、誘電加熱の
有するような問題も生じず、しかも低温、短時間での硬
化が得られることとなり、作業性、生産性に優れ、効率
的にポリイミド賦形体が得られるようになることを見い
だしこの発明に到達した。

この発明は、ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液に対して
遠赤外線を照射して硬化させるものである。

上記ポリイミド前駆体は、例えばテトラカルボン酸二無
水物とジアミノ化合物を反応させて得られるものである
。

上記テトラカルボン酸二無水物としては、ピロメリット
酸二無水物、３．３“、４．４’−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物、３．３′、４．４’　−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水？１３．２，３，３”、４
′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２．３，６
．７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，
５．６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４
，５゜８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２゜
２′−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン
ニ無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スル
ホンニ無水物、３，４，９．１０−ペリレンテトラカル
ボン酸二無水物、ビス（３゜４−ジカルボキシフェニル
）エーテルニ無水物、２．２′−ビス（２，３−ジカル
ボキシフェニル）プロパンニ無水物、１，１゛−ビス（
２，３−ジカルボキシフェニル）エタンニ無水物、ベン
ゼン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物２．
３，６．７−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、
１，２，７．８−フェナントレンテトラカルボン酸二無
水物ないしはこれらの酸の酸ハロゲン化物、ジエステル
、モノエステル等の誘導体があげられる。これらは単独
で用いてもよいし２種以上を併用しても差し支えはない
。

上記テトラカルボン酸二無水物と反応させるジアミノ化
合物としては、例えばｐ−フェニレンジアミン、ｍ−フ
ェニレンジアミン等の１核体ジアミン、４，４゛−ジア
ミノジフェニルメタン、４４″−ジアミノジフェニルエ
ーテル、２，２゜−ビス（４−アミノフェニル）プロパ
ン、３，３ジアミノジフエニルスルホン、４，４”−ジ
アミノジフェニルスルホン、４．４’　−ジアミノジフ
ェニルスルフィド、ベンジジン、ベンジジン−３，３’
−ジスルホン酸、ベンジジン−３−モノスルホン酸、ベ
ンジジン−３−モノカルボン酸、３．３’−ジメトキシ
ベンジジン等の２核体ジアミン、２，２−ビス（４−（
４−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン、２，２−
ビス〔３−メチル−４−（４−アミノフェノキシ）フェ
ニル〕プロパン、２．２−ビス〔３−クロロ−４−（４
−アミノフェノキシ）フェニル〕プロパン、１１−ビス
（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エタン、１
．１−ビス〔３−メチル−４＝（４−アミノフェノキシ
）フェニルコメタン、１１−ビス〔３−クロロ−４−（
４−アミノフェノキシ）フェニル〕エタン、１，１−ビ
ス〔３゜５−ジメチル−４−（４−アミノフェノキシ）
フェニル〕エタン、ビス（４−（４−アミノフェノキシ
）フェニルコメタン、ビス〔３−メチル−４−（４−ア
ミノフェノキシ）フェニルコメタン、ビス〔３−クロロ
−４−（４−アミノフェノキシ）フェニル〕エタン、ビ
ス（３，５−ジメチル−４−（４−アミノフェノキシ）
フェニルコメタン等の４核体ジアミンがあげられる。こ
れらの化合物は単独で用いてもよいし併用しても差し支
えはない。また、生成ポリイミド賦形体に密着性を付与
する場合にはシランカップリング剤を数モル％使用して
もよい。

上記のテトラカルボン酸二無水物とジアミノ化合物を反
応させてポリイミド前駆体を得るには、これら両成分を
ほぼ等モル有機極性溶媒中で通常０〜１００°Ｃで１〜
４８時間反応させてポリアミド酸等のポリイミド前駆体
とすることにより行われる。

上記有機極性溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリド
ン、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、ＮＮ−ジメチルホ
ルムアミド、ジメチルスルホキシド、ジメチルホスホア
ミド、ｍ−クレゾール、ｐ−クロルフェノール、１．３
−ジメチル−２−イミダゾリトン、テトラメチル尿素、
ジグライムトリグライム、テトラグライム等が使用でき
る。

このようにして得られるポリイミド前駆体は、その固有
粘度（Ｎ−メチル−２−ピロリドン中０゜５ｇ／１００
ｍｆの濃度で３０°Ｃ下で測定）が通常０．３〜７．０
の範囲にあるのが好ましく、さらに０．５〜３．０にあ
るのが特に好ましい。そして、ポリイミド前駆体溶液の
濃度は用途により異なるが、５〜７０重量％（以下「％
」と略す）が好ましく１０〜６０％に設定することが効
果の点で特に好ましい。さらに上記ポリイミド前駆体の
有機溶媒溶液はそのまま賦形に供しても差し支えはない
が、絶縁粉末等の添加物を加えて複合材料化するように
しても差し支えはない。そのような添加物としては、結
晶シリカ、セラミック粉末等に代表される絶縁粉末、染
料、カーボンブラック、カーボングラファイト、銀粉、
金粉、ニッケル粉、ハラジウム粉等の金属粉末、チクソ
トロピー剤、ガラスファイバー、カーボンファイバー、
不織布。

紙等があげられる。これらの添加物は単独で使用しても
よいし２種以上を併用しても差し支えはない。このよう
な添加物とポリイミド前駆体の有機溶媒溶液との混合方
法としては、３本ロール、ミキサ−等による混合があげ
られる。

この発明のポリイミド賦形体は、上記のようなポリイミ
ド前駆体の有機溶媒溶液を所定の形状に賦形し遠赤外線
を照射する。賦形の方法は目的物の形状により異なるが
、例え１ｆポリイミドフイルムを得る場合にはステンレ
スエンドベルトの鏡面上に、流延することが行われる。

また、上記以外の賦形方法としては、ボッティング、印
刷等により目的とする被着体用に賦形すること等が行わ
れる。このように所定の形状に賦形されたポリイミド前
駆体の有機溶媒溶液を遠赤外線加熱炉中に導いて遠赤外
線を照射し加熱乾燥イミド化することが行われる。また
、ベルト、チューブ、パイプ等のポリイミド賦形体を得
る場合には、円筒状型体の内周面に上記溶液をキャステ
ィングし、遠赤外線加熱炉中に導いて遠赤外線を照射し
たのち、得られる管状品を型面から剥離することが行わ
れる。

上記遠赤外線加熱炉中における遠赤外線の照射はその加
熱炉中に備えられている遠赤外線ヒータから照射される
遠赤外線によって行われる。この遠赤外線のピーク波長
はヒータ温度により３〜８μｍの間で変化させることが
でき（波長の分布は３〜３０ｔＩｌｌ＋程度）、そのエ
ネルギー密度は０．１〜５Ｗ／ｃｆｆｌ、　　ヒータと
ポリイミド前駆体溶液の距離は１〜１００ｃ１ｎ、照射
時間は１分〜２時間、炉内の雰囲気温度は８０〜３００
°Ｃ（または３５０”Ｃ）の間で適当に選ぶことができ
る。またこれらの工程は不活性ガス雰囲気中で行っても
よい。

このようにして形成されたポリイミド賦形体のポリイミ
ドは、イミド化率 が約７０％以上好ましくは９０％以上、特に好適には９
８〜１００％とされる。このようにして得られたポリイ
ミド賦形体は、従来の熱風対流式加熱炉での加熱イミド
化時と比較して遥かに低温で短時間の加熱しか行ってい
ないのにもかかわらず、機械的強度も充分である。また
、ベルト、チューブ等のポリイミド管状品については、
表面から内部に至るまでの残留応力が極めて小さく、か
つ低い弾性率で必要な強度および伸びを有するようにな
る。特にベルトについては、適度な弾性率となるため、
プーリー等になじみやすく、ベルトとしての耐久性が大
幅に向上する。

なお、上記ポリイミド前駆体溶液を用いての賦形は、上
記のものに限るものではなく、それ以外に半導体装置の
表面保護膜、フレキシブルプリント板基材、耐熱発泡体
等広い範囲の成形体の形成にも適用できる。

遠赤外線は一般に３μ５ｘｌａａの波長をもつ電磁波で
あり、０．７５μ１１１〜３ｍｍ領域の波長をもつ近赤
外線と区別される。この遠赤外線照射による加熱は、第
１図に示すように、その波長がポリイミドの吸収波長と
よく一致するため、加熱効率が非常に高い。第１図にお
いて、曲線Ａは遠赤外線ヒータの波長、Ｂはポリイミド
の赤外吸収スペクトル、Ｃは金属等の赤外吸収スペクト
ルである。

そのため、従来法である熱風対流式加熱炉および熱風固
定式乾燥機と比較して低温で短時間に硬化を行えるとい
う利点をもっている。したがって、従来困難であったコ
ンベアを用いるというような連続生産も容易となる。一
方、半導体装置のフレームにメツキされている金、銀等
といった無機材料は遠赤外線を吸収しにくく加熱されに
くいため、高温による劣化といったことも防ぐことがで
き一挙両得となる。これを第２図に示す。第２図はポリ
イミドおよび金属を遠赤外線加熱炉中に入れたときの昇
温曲線図であり、Ｂがポリイミド、Ｃが金属のそれであ
る。なお、Ｂ’、Ｃ“はポリイミドおよび金属を熱風対
流式加熱炉の入れたときの昇温曲線である。また、遠赤
外線加熱は従来の熱風対流式加熱炉が対流熱であるのに
対して輻射熱による加熱方法であるため、途中の空気層
の温度を上げることなく被加熱物であるポリイミド前駆
体等を直接加熱する。そのため、ポリイミド前駆体の表
面と内部の温度勾配が極めて少なくなり、硬化もむらな
く、かつ歪みをつくることなく均一に進み、溶媒も内部
に残存しにくいため、溶媒の分解による無用の着色を防
止できる。また、溶媒が蒸発し易いため、厚膜を形成し
たときの発泡も防止でき、厚膜の形成が容易となる。さ
らに、遠赤外線は直接、分子の回転、振動状態を活性化
させるため、ポリアミド酸のイミド化時の脱水反応で生
成する水分子が他の体骨子やポリマーと会合することを
防げる。その結果、水分子が系外へ脱離し易くなること
により、水分子によるポリイミド層の発泡をも防ぐこと
ができるようになる。また、遠赤外線は、分子の回転振
動状態を励起し、分子鎖の運動を活性化する。したがっ
て、分子内縮合反応であるイミド化については、他の分
子間反応である熱硬化性樹脂の硬化と比較して反応の加
速効果が大となるため、硬化時間等を大幅に短縮できる
ようになる。

〔発明の効果〕

このように、この発明によれば、他の基材等に影響を与
えることなく、低温で短時間に均一なポリイミド前駆体
溶液を所定形状のポリイミド賦形体にすることができる
。さらに従来、形成が困難であったような厚膜状の賦形
体でさえも容易に得ることができるようになる。また、
ベルト、チューブ、パイプ等の管状品についても、特性
の優れたものを製造できるようになる。

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。

〔実施例１〕 ピロメリット酸二無水物と４，４゛　−ジアミノジフェ
ニルエーテルのほぼ等モルをＮ−メチル−２−ピロリド
ン中で反応させて固有粘度１．５１のポリアミド酸の２
０％溶液をつくり、これを速度が１０ｃｍ／分であるよ
うなステンレスエンドレスベルト上に塗布した。ついで
これを全長３ｍ、照射距離３０ｃｍである遠赤外線加熱
炉中に導き、厚み１５０μｍのポリイミドフィルムとし
た。このフィルムは、１ｍｍ２中に全くボイドがみられ
ず、引張強度も１７ｋｇ／ｎ＋ｍ”であった。

また、上記ポリイミド前駆体を半導体素子上に塗布し、
上記条件で遠赤外線による加熱イミド化を行ったところ
、厚みが３０μｍの全くボイドを有さないボイドレスポ
リイミド層が形成された。

〔実施例２〕 ３．３°、４．４’　−ジフェニルテトラカルボン酸二
無水物とｐ−フェニレンジアミンのほぼ等モルをＮ、Ｎ
−ジメチルホルムアミド中で反応させ、固有粘度２．１
８のポリアミド酸の１５％溶液を得た。これを速度が５
ｃｍ／分であるステンレスエンドレスベルトの鏡面に塗
布し、ついで全長３ｍ２雰囲気温度１３０°Ｃ２照射距
離２０ｃｍである遠赤外線加熱炉中に導き、厚みが２５
μｍのポリイミドフィルムを得た。このフィルムの引張
強度ハ１６ｋｇ／ｌ１ｌｌｎ２、線膨張係数ハ０．５　
Ｘ　１０−’／”Ｃであった。

また、上記ポリアミド酸溶液を、ベルト上に固定した圧
延銅箔（厚み２５μｍ）の処理面に流延塗布し、上記と
同様、遠赤外線加熱炉中で加熱イミド化を行い、フレキ
シブルプリント板基材を得た。これは基材の状態でもま
た、銅箔のエツチング後の状態でもカールは全くみられ
ず、またボイドも全くみられなかった。

〔実施例３〕 ３．３°、４．４“−ジフェニルテトラカルボン酸二無
水物と４，４°−ビス（３−アミノフェノキシ）ジフェ
ニルスルホンのほぼ等モルをＮ。

Ｎ−ジメチルアセトアミド中で反応させ、固有粘度０．
７８のポリアミド酸の２５％溶液を得た。これを実施例
２と同様の方法で加熱イミド化し、充分な可撓性を有す
るポリイミドフィルムを得た。

このフィルムは、イエローネスインデックスが６で５０
０ｎｍにおける透過率が８９％であった。

〔比較例１〕 加熱を熱風対流式加熱炉中において１００″Ｃで１時間
１．さらに２００°Ｃで１時間、３５０　’Ｃで２時間
行った。それ以外は実施例１と同様にして１４０μｍの
厚みのポリイミドフィルムを得た。しかし、このフィル
ムには１、ｌｌｌＩｎ１２　当たり１００個以上のボイ
ドがみられた。

〔比較例２〕 加熱を熱風対流式加熱炉中において１００″Ｃで１時間
、さらに２００　’Ｃで２時間行った。それ以外は実施
例２と同様に操作したが、可撓性のあるフィルムは得ら
れなかった。

（比較例３〕 熱風対流式加熱炉中において１００℃で１時間、さらに
２００″Ｃで１時間、２５０″Ｃで４時間行った。それ
以外は実施例３と同様にして可撓性のあるポリイミドフ
ィルムを得た。このフィルムは、イエローネスインデッ
クスが２２であって著しく着色しており、５００　ｎｍ
における光の透過率が８４％であった。

〔実施例４〕 実施例１と同様にしてポリイミド前駆体の有機溶媒溶液
をつくり、これにカーボンブラックであるケッチエンブ
ラックＥＣ（ライオンアクゾ社製）を不揮発固形分１０
０重量部（以下「部」と略す）に対して５０部添加し、
これを３本ロールに掛け、ロール間隔０．２　ｆｆ１１
１で３０回通しを行いカーボンペーストを得た。ついで
、このペーストをステンレス上に塗布し、これを１０ｃ
ｏ＋／分のエンドレスベルトにより全長３ｍ（放射強度
０．８　Ｗ　／　ｃ＋ｆｉ）、照射距離３０ＣＩで、雰
囲気温度１５０°Ｃである遠赤外線加熱炉中に導き、厚
みが１７０μｍのフィルム状の成形物を得た。この成形
物は超音波探傷装置により成形物内部の評価を行ったが
内部には全くボイドがみられず、シート抵抗のばらつき
も少なく５ｃｄ内でのばらつきは２００〜４７０Ω／口
であった。

〔実施例５〕 実施例１と同様にしてポリイミド前駆体の有機溶媒溶液
をつくり、これに、銀粉をポリアミド酸溶液の不揮発固
形分濃度に対して５００部添加し、３本ロールにてロー
ルギャップを０．２Ｍとし５回通しを行いペーストを得
た。このペーストを速度が１０ｃｍ／分のステンレスエ
ンドレスベルトに塗布し、ついで全長３ｍ（放射強度０
．８　Ｗ　／　ｃｉ　）照射路Ｈ３０ｃｍで、雰囲気温
度１５０℃である遠赤外線加熱炉中に導き、厚み２２μ
ｍのフィルム状の成形物を得た。この成形物は１ｍｍ”
中に全くボイドがみられず体積抵抗率のばらつきも少な
く５０−内でのばらつきは１〜５Ｘ１０−３Ω／　ｃｍ
であった。

〔実施例６〕 ３．３’、４．４″−ジフェニルテトラカルボン酸二無
水物と３．３″−ジアミノジフェニルスルホンの略等モ
ルをＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド中で反応させ、固有
粘度１．８９のポリアミド酸の１５％溶液を得た。この
ポリアミド酸溶液の不揮発固形分１００部に対し染料を
、１０部添加し３本ロールに掛はロールギャップ０．２
　ｔｒｔｍで１０回通しを行いペーストを得た。このペ
ーストを速度が５Ω／分であるステンレスエンドレスベ
ルトの鏡面に塗布し、ついで全長３ｍ、照射距離２０ｃ
ｍ、雰囲気温度・１３０℃である遠赤外線加熱炉中に導
き、厚み２６μ請のフィルム状の成形物を得た、このフ
ィルムの引張強度は１５ｋｇ／ｍｅ”であり、染料によ
り着色されたフィルムは色があせていなかった。

〔実施例７〕 ３．３’、４．４°−ジフェニルテトラカルボン酸二無
水物と３，３°−ジアミノジフェニルスルホンの略等モ
ルをＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド中で反応させ、固有
粘度１．８９のポリアミド酸溶液を得た。このポリアミ
ド酸の１５％溶液の不揮発固形分１００部に対しポリイ
ミド粉を１０部添加し、３本ロールに掛はロールギャッ
プ０．２ｎｖｎで１０回通しを行いペーストを得た。こ
のペーストを速度が５Ω／分であるステンレスエンドレ
スベルトの鏡面に塗布し、ついで全長３ｍ、照射距離２
０ｃｍ、雰囲気温度１３０　’Ｃである遠赤外線加熱炉
中に導き、厚み３２μｍのフィルム状の成形物を得た。

このフィルムの引張強度は１７ｋｇ／ｍｍ２であり、か
つ１ｍｍ”当たりで全くボイドはみられなかった。

〔比較例４〕 加熱を熱風対流式加熱炉中において１００　’Ｃで１時
間、さらに２００℃で１時間、２５０°Ｃで２時間行っ
た。それ以外は実施例４と同様にして厚み１６０μｍの
カーボンペーストのフィルム状成形物を得た。このもの
には、１ｆｆｌＩ１１２当たり１００個以上のボイドが
みられた。また、シート抵抗は、部分的ばらつきが太き
く５ｃｉ内でのばらつきは２００〜１２５０Ω／口であ
った。

〔比較例５〕 加熱を熱風対流式加熱炉中において１００°Ｃで１時間
、さらに２００°Ｃで２時間行った。それ以外は実施例
６と同様にしてフィルム状の成形物を得た。このものは
、引張強度が０．５ｋｇ／ｍｍ”であり、可撓性に欠け
ていた。

〔実施例８〕 ３．３′、４，４°−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物と４．４′−ジアミノジフェニルエーテルの等モル
をＮ−メチル−２−ピロリドン中（千ツマー濃度、２０
重量％溶液）において、温度２０°Ｃで５時間反応させ
て粘度３５０００ボイズ（５０°Ｃ，Ｂ型粘度計での測
定値）、固有粘度２．８のポリアミド酸溶液をつくった
。このポリアミド酸溶液を円筒状支持体（円筒状型体）
の内周面に塗布し遠赤外線加熱炉に入れ、遠赤外線の照
射昇温速度を０．３”Ｃ／ｍｉｎとし７０°Ｃ→３００
°Ｃまで昇温させ、３００℃で１時間保持した。これに
より溶媒の除去とイミド化を行なった。ついで、これを
室温まで冷却し、円筒状支持体の内周面から剥離した。

このようにして得られたポリイミド管状品は後記の表に
示すように、伸び１７％１強度２８ｋｇ／ｍｍ２と、伸
び１強度は熱風対流式加熱によるものと変わらないのに
対し、弾性率が６５０ｋｇ／ｍｍ”と大幅に低くなって
いる。つぎに、上記管状品を巾５ｍｍに切断し、直径５
［ｎ［１１のプーリー間に掛けて１ｋｇの張力を作用さ
せ３０００ｒｐｍで駆動させた。このとき、駆動回数が
１０７回に達してもベルトは破断せず、しかもプーリー
間とのスリップ現象も見られず、ベルトの蛇行も全く生
じなかった。

（実施例９〕 実施例１と同様のポリアミド酸溶液を用い、これを同じ
く円筒状支持体内周面に塗布し、遠赤外線を照射した。

このとき、照射昇温速度を０．５５”（：／ｍｉｎとし
７０℃→３００°Ｃで１時間保持した。それ以降は実施
例１と同様にしてポリイミド管状品を得た。得られたポ
リイミド管状品は伸び２０％１強度２８　ｋｇ／ｍｍ”
　、弾性率６２０順へｌ１Ｉ２の特性を示した。これを
実施例１で得られたベルトと同様にしてプーリーに掛け
、駆動させた。このとき、駆動回数が１０’回に達して
もベルトは破断せずプーリー間とのスリ・ンプ現象も生
じなかった。

〔実施例１０〕 遠赤外線の照射昇温速度を１．０°（／ｍｉｎとした。

それ以外は実施例９と同様にしてポリイミド管状品を得
た。得られたポリイミド管状品は、伸び１８％３強度２
８　ｋｇ／ｍｍｚ、弾性率６１０ｋｇ／＋＋＋ｍ’の特
性を示した。また、これを実施例１と同様プーリー間に
掛けて、駆動した結果、１０７回の駆動テストもパスし
た。

〔比較例６］ 実施例８と同様のアミド酸溶液を用い、これを円筒状支
持体の内周面に塗布し、熱風対流式加熱炉中に入れ、昇
温速度０．３℃／ｍｉｎで７０°Ｃ→３００″Ｃまで昇
温させ３００″Ｃで１時間保持した。

これにより溶媒の除去、イミド化転化を行った。

つぎにこれを室温まで冷却し、支持体内周面から剥離し
た。このようにして得られたポリイ状品は、伸び２０％
１強度２９　ｋｇ／ｍｍ”　。

８００　ｋｇ／ｍｍ”の特性を示した。つぎに、状品を
巾６Ｍに切断し、直径５Ｍのプーリ掛けて、１ｋｇの張
力を作用させ３０００で駆動させた。このとき、駆動回
数が１０達したころからスリップ現象を生じた。

（以下余白） ミド管 弾性率 この管 一間に 　ｐｍ ３回に 上記の表から明らかなように、実施別品は、強度低下を
生起することなく、弾性率が低下しているため、駆動ベ
ルトとして使用した場合、プーリーとのなじみがよく、
また傷が発生しにくく、そのうえスリップ現象がおこら
ず極めて耐久性に富んでいることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は赤外線吸収スペクトル曲線図、第２図は遠赤外
線加熱炉中における昇温曲線図である。 特許出願人　日東電気工業株式会社 代理人　　弁理士　西　藤　征　彦

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液を準備する工程
   と、上記溶液を所定の形状に賦形し遠赤外線を照射して
   硬化させる工程を備えていることを特徴とするポリイミ
   ド賦形体の製法。
2. （２）ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液が、添加物を含
   有しているものである請求項１記載のポリイミド賦形体
   の製法。
3. （３）添加物が、絶縁粉末、染料、カーボンブラック、
   カーボングラファイト、金属粉末、ガラスファイバー、
   カーボンファイバー、不織布および紙材からなる群から
   選択された少なくとも一つの添加物である請求項２記載
   のポリイミド賦形体の製法。
4. （４）賦形が、ポリイミド前駆体の有機溶媒溶液を円筒
   状型体の内周面にキャスティングすることにより行われ
   る請求項１ないし３のいずれかに記載のポリイミド賦形
   体の製法。