JPH0212106A - 複屈折回折格子型偏光子 - Google Patents

複屈折回折格子型偏光子

Info

Publication number
JPH0212106A
JPH0212106A JP63164049A JP16404988A JPH0212106A JP H0212106 A JPH0212106 A JP H0212106A JP 63164049 A JP63164049 A JP 63164049A JP 16404988 A JP16404988 A JP 16404988A JP H0212106 A JPH0212106 A JP H0212106A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refractive index
dielectric film
film
reflection
diffraction grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63164049A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2703930B2 (ja
Inventor
Yutaka Urino
豊 賣野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP63164049A priority Critical patent/JP2703930B2/ja
Priority to DE68918012T priority patent/DE68918012T2/de
Priority to EP89305943A priority patent/EP0349144B1/en
Priority to US07/371,899 priority patent/US4991937A/en
Publication of JPH0212106A publication Critical patent/JPH0212106A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2703930B2 publication Critical patent/JP2703930B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1833—Diffraction gratings comprising birefringent materials
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G02B5/3083—Birefringent or phase retarding elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体レーザを利用した各種光装置に使用す
る複屈折偏光板、特に偏光方向によって回折効率の異な
る格子型偏光板に関する。
（従来の技術） 偏光素子、特に偏光ビームスプリッタは、直交する偏光
間で光の伝搬方向を異ならしめることによって特定の偏
光を得る素子である。このような素子は、光フアイバ通
信用光源モジュールや光デイスク用光ヘッドなどに、光
アイソレータや光サーキュレータを構成する部品として
使われている。
従来、偏光ビームスプリッタとしては、グラントムソン
プリズムやロッションプリズムなど、複屈折の大きな結
晶の光反射面における偏光による透過ないしは全反射の
違いを利用し光路を分離するもの、またはガラスなどの
等方性光学媒質でできた全反射プリズム反射面に誘電体
多層膜を設け、この誘電体多層膜の偏光による屈折率の
違いを利用して、光を全反射ないしは透過させるものが
多く使用されている。しかしながら、これらの素子は大
型であること、生産性が低いこと、値段が高いことなど
の欠点がある。
一方、複屈折回折格子型偏光子は光学的異方性をもつ結
晶の光学軸と平行な主面に、周期的なイオン交換領域を
設け、かつイオン交換を施した領域上に誘電体膜を形成
したものであり、偏光による回折□効率の違いを利用し
て光路を分離するものである。この複屈折回折格子型偏
光子は従来の偏光素子に比べて、小型であること、生産
性が高いこと、安価であることなどの利点がある。例え
ば、ニオブ酸リチウムの主面に周期的にプロトンイオン
交換を施すと、プロトンイオン交換を施した領域では波
長１．３ｐｍの異常光線に対する屈折率が約０．０９増
加し、常光線に対する屈折率が約０．０４減少する。従
って、プロトンイオン交換を施した領域の誘電体膜厚を
、プロトンイオン交換を施していない領域の誘電体膜厚
に比べて厚くし、プロトンイオン交換を施した領域の常
光線に対する屈折率の減少を相殺することによって、常
光線の１次以上の回折効率及び異常光線の０次の回折効
率を共に零にすることができ、偏光子になる。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、複屈折回折格子型偏光子の表面は結晶基
板と誘電体膜という二つの異なった物質によって構成さ
れているため、反射防止膜を作成する際に、二種類の屈
折率の膜をそれぞれ異なった厚さで誘電体膜上及び結晶
基板上に付ける必要があり、製作行程が複雑になるとい
う問題点があった。
本発明の目的は、複屈折回折格子型偏光子において、反
射防止膜の製作行程を簡素化し、安価で低挿入損失の複
屈折回折格子型偏光子を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、光学的異方性を持つ結晶板の主面に、周期を
有するイオン交換領域の光学的回折格子を形成し、かつ
イオン交換を施した領域上に誘電体膜を設けた複屈折回
折格子型偏光子において、上記誘電体膜として屈折率が
結晶基板の屈折率に近いものを用い、さらにこの格子の
表面全体に均一な厚さの反射防止膜を形成したことを特
徴とする複屈折回折格子型偏光子である。
（作用） 本発明においては、複屈折回折格子型偏光子の誘電体膜
として上記の屈折率を持つものを用いることにより、結
晶基板と誘電体膜の間の反射をほぼ零にしている。これ
により、格子の表面は光学的には単一の物質で構成され
ているのと等価になる。従って、結晶基板と空気の間の
通常の反射防止膜を一様に付けるだけで偏光子全体の反
射防止膜とすることができ、反射防止膜の製作行程が大
幅に簡素化される。
（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。第２図は本発明の複屈折回折格子型偏光子の実施例の
斜視図である。１は光学的異方性を持つ結晶基板であり
、本実施例ではニオブ酸リチウムのＹ板を用いている。
２はプロトンイオン交換領域であり、この交換領域を周
期的に形成しである。さらに、このプロトンイオン交換
領域上には、屈折率が基板１の屈折率に近い誘電体膜３
が設けてあり、光学的回折格子を形成している。このよ
うな屈折率を持つ誘電体としては、例えばニオブ酸すチ
”　ム（ＬｉＮｂＯ３）、酸化二オフ（Ｎｂ２０５）、
酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、酸化テルル（Ｔｅ０２
）などがある。
この回折格子には第１図の断面図で示すように反射防止
膜４が基板１上及び誘電体膜３上に同じ厚さだけ付けら
れている。この反射防止膜４は、屈折率が基板１の屈折
率の平方根に近いものを用い、膜厚は光の波長を反射防
止膜４の屈折率の４倍で除した値にする。このような屈
折率を持つものとしては、石英（８１０２）、ふり化マ
グネシウム（ＭｇＦ２）などがある。
このようにすると、よく知られているように空気と基板
１の間の反射率は零になるので、誘電体膜３がない部分
からの反射はなくすことができる。また、基板１と誘電
体３の屈折率がほぼ等しいので、基板１と誘電体３の境
界での反射はほぼ零になり、さらに誘電体膜３と空気の
境界での反射も、基板１と空気の間と同じ反射防止膜４
によってほぼ零にすることができる。従って、単一の膜
厚の反射防止膜４を一様に付けるだけで、基板１と誘電
体膜３の二つの異なった物質によって構成されている偏
光子表面からの反射を同時になくすことができる。
この反射防止膜４は等価な位相変化を与える多層膜で構
成してもよい。また、格子の表面が空気以外の物質と接
している場合には反射防止膜４の屈折率をその物質の屈
折率と基板１の屈折率の積の平方根に近い値にすればよ
い。
この回折格子の０次の回折光強度は、 Ｃ０８２（ｎ［ΔｎＴｐ　＋　（ｎｄ−１）Ｔ、］／λ
）で与えられる。但し、λは光の波長、Δｎはプロトン
イオン交換領域３の屈折率変化、Ｔｐはプロトンイオン
交換領域２の深さ、ｎ、は誘電体膜３の屈折率、Ｔｄは
誘電体膜４の厚さである。光の波長を１．３ｐｍとする
と、基板１の屈折率は約２．２、プロトンイオン交換に
よる屈折率の変化は、異常光線に対しては約＋０．０９
であり、常光線に対しては約−０，０４であるから、こ
の回折格子の０次の回折光強度が、異常光線に対して０
、常光線に対して１になり偏光子として動作するために
は、プロトン交換領域２の深さを５ｐｍ、誘電体膜３の
厚さを０．１６１１ｍ程度にすればよい。
本偏光子は薄いニオブ酸リチウム結晶板にバッチプロセ
スによって大量に形成できるため、薄型で安価な偏光子
を得ることができる。
（発明の効果） 以上に述べたように、本発明によれば高消光比低挿入損
失の薄型偏光素子を得ることができ、さらにはバッチ処
理により大量安価な偏光素子とすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の複屈折回折格子型偏光子の実施例の断
面図であり、第２図は斜視図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光学的異方性を持つ結晶板の主面に、周期を有するイオ
    ン交換領域の光学的回折格子を形成し、かつイオン交換
    を施した領域上に誘電体膜を設けた複屈折回折格子型偏
    光子において、上記誘電体膜として屈折率が結晶基板の
    屈折率に近いものを用い、さらにこの格子の表面全体に
    反射防止膜を形成したことを特徴とする複屈折回折格子
    型偏光子。
JP63164049A 1988-06-29 1988-06-29 複屈折回折格子型偏光子 Expired - Lifetime JP2703930B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63164049A JP2703930B2 (ja) 1988-06-29 1988-06-29 複屈折回折格子型偏光子
DE68918012T DE68918012T2 (de) 1988-06-29 1989-06-13 Doppelbrechender Gitterpolarisator.
EP89305943A EP0349144B1 (en) 1988-06-29 1989-06-13 Birefringence diffraction grating type polarizer
US07/371,899 US4991937A (en) 1988-06-29 1989-06-27 Birefringence diffraction grating type polarizer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63164049A JP2703930B2 (ja) 1988-06-29 1988-06-29 複屈折回折格子型偏光子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0212106A true JPH0212106A (ja) 1990-01-17
JP2703930B2 JP2703930B2 (ja) 1998-01-26

Family

ID=15785825

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63164049A Expired - Lifetime JP2703930B2 (ja) 1988-06-29 1988-06-29 複屈折回折格子型偏光子

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4991937A (ja)
EP (1) EP0349144B1 (ja)
JP (1) JP2703930B2 (ja)
DE (1) DE68918012T2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06308309A (ja) * 1993-02-24 1994-11-04 Nec Corp 複屈折回折格子型偏光子及び光ヘッド装置
US5367403A (en) * 1992-04-08 1994-11-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method of fabricating the same
JPH07198907A (ja) * 1993-12-01 1995-08-01 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 光素子およびその製造方法
US5739952A (en) * 1994-04-14 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho Polarizing beam splitter and optical head assembly
JP2007328128A (ja) * 2006-06-08 2007-12-20 Ricoh Opt Ind Co Ltd 光学素子及びその製造方法

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5272685A (en) * 1989-12-22 1993-12-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical system for an information processing apparatus
JPH04174404A (ja) * 1990-11-07 1992-06-22 Pioneer Electron Corp 偏光ビームスプリッタ
GB9110277D0 (en) * 1991-05-11 1991-07-03 The Technology Partnership Ltd Surface relief optical polariser
US5245471A (en) * 1991-06-14 1993-09-14 Tdk Corporation Polarizers, polarizer-equipped optical elements, and method of manufacturing the same
EP0911822B1 (en) * 1993-02-16 2005-12-07 Nec Corporation Optical head device and birefringent diffraction grating polarizer and polarizing hologram element used therein
DE4338680C1 (de) * 1993-11-12 1995-03-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US5475772A (en) * 1994-06-02 1995-12-12 Honeywell Inc. Spatial filter for improving polarization extinction ratio in a proton exchange wave guide device
GB2293021A (en) * 1994-09-09 1996-03-13 Sharp Kk Polarisation dependent refractive device
US5914811A (en) * 1996-08-30 1999-06-22 University Of Houston Birefringent grating polarizing beam splitter
JP2850878B2 (ja) * 1996-09-06 1999-01-27 日本電気株式会社 偏光ビームスプリッタおよびその製造方法
US6072629A (en) 1997-02-26 2000-06-06 Reveo, Inc. Polarizer devices and methods for making the same
JP3445120B2 (ja) * 1997-09-30 2003-09-08 キヤノン株式会社 露光装置及びデバイスの製造方法
JPH11237503A (ja) * 1997-12-03 1999-08-31 Canon Inc 回折光学素子及びそれを有する光学系
US5920663A (en) * 1997-12-24 1999-07-06 Lucent Technologies Inc. Optical waveguide router with controlled transmission characteristics
JPH11242118A (ja) * 1998-02-25 1999-09-07 Seiko Epson Corp 偏光分離素子、偏光変換素子および投写型表示装置
US6108131A (en) * 1998-05-14 2000-08-22 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US6208463B1 (en) 1998-05-14 2001-03-27 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US6122103A (en) * 1999-06-22 2000-09-19 Moxtech Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum
US6288840B1 (en) 1999-06-22 2001-09-11 Moxtek Imbedded wire grid polarizer for the visible spectrum
US6447120B2 (en) 1999-07-28 2002-09-10 Moxtex Image projection system with a polarizing beam splitter
US7306338B2 (en) * 1999-07-28 2007-12-11 Moxtek, Inc Image projection system with a polarizing beam splitter
US6234634B1 (en) 1999-07-28 2001-05-22 Moxtek Image projection system with a polarizing beam splitter
US6666556B2 (en) 1999-07-28 2003-12-23 Moxtek, Inc Image projection system with a polarizing beam splitter
US6243199B1 (en) 1999-09-07 2001-06-05 Moxtek Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region
DE10025214C2 (de) 2000-05-22 2003-07-17 Zeiss Carl Littrow-Gitter sowie Verwendungen eines Littrow-Gitters
US7375887B2 (en) 2001-03-27 2008-05-20 Moxtek, Inc. Method and apparatus for correcting a visible light beam using a wire-grid polarizer
US6909473B2 (en) * 2002-01-07 2005-06-21 Eastman Kodak Company Display apparatus and method
US7061561B2 (en) * 2002-01-07 2006-06-13 Moxtek, Inc. System for creating a patterned polarization compensator
JP4078527B2 (ja) * 2002-03-26 2008-04-23 日本電気株式会社 １次元フォトニック結晶への反射防止膜の構造およびその形成方法
US6785050B2 (en) 2002-05-09 2004-08-31 Moxtek, Inc. Corrosion resistant wire-grid polarizer and method of fabrication
US7113335B2 (en) * 2002-12-30 2006-09-26 Sales Tasso R Grid polarizer with suppressed reflectivity
US20080055721A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Light Recycling System with an Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US20080055722A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Optical Polarization Beam Combiner/Splitter with an Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US7961393B2 (en) 2004-12-06 2011-06-14 Moxtek, Inc. Selectively absorptive wire-grid polarizer
US7570424B2 (en) * 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US7630133B2 (en) * 2004-12-06 2009-12-08 Moxtek, Inc. Inorganic, dielectric, grid polarizer and non-zero order diffraction grating
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
US20080055720A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Optical Data Storage System with an Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US20080055549A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Projection Display with an Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US20070297052A1 (en) * 2006-06-26 2007-12-27 Bin Wang Cube wire-grid polarizing beam splitter
US20070296921A1 (en) * 2006-06-26 2007-12-27 Bin Wang Projection display with a cube wire-grid polarizing beam splitter
US8755113B2 (en) 2006-08-31 2014-06-17 Moxtek, Inc. Durable, inorganic, absorptive, ultra-violet, grid polarizer
US7789515B2 (en) 2007-05-17 2010-09-07 Moxtek, Inc. Projection device with a folded optical path and wire-grid polarizer
US20080316599A1 (en) * 2007-06-22 2008-12-25 Bin Wang Reflection-Repressed Wire-Grid Polarizer
US20100103517A1 (en) * 2008-10-29 2010-04-29 Mark Alan Davis Segmented film deposition
US8467128B2 (en) 2008-11-19 2013-06-18 Shanghai Lexvu Opto Microelectronics Technology Co., Ltd. Polarizing cube and method of fabricating the same
US8248696B2 (en) 2009-06-25 2012-08-21 Moxtek, Inc. Nano fractal diffuser
US8611007B2 (en) 2010-09-21 2013-12-17 Moxtek, Inc. Fine pitch wire grid polarizer
US8913321B2 (en) 2010-09-21 2014-12-16 Moxtek, Inc. Fine pitch grid polarizer
US8873144B2 (en) 2011-05-17 2014-10-28 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with multiple functionality sections
US8913320B2 (en) 2011-05-17 2014-12-16 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with bordered sections
DE102012101555B4 (de) * 2012-02-27 2013-12-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beugungsgitter und Verfahren zu dessen Herstellung
US8922890B2 (en) 2012-03-21 2014-12-30 Moxtek, Inc. Polarizer edge rib modification
CN103149621A (zh) * 2013-03-11 2013-06-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 反射式相位延迟片
US9354374B2 (en) 2013-10-24 2016-05-31 Moxtek, Inc. Polarizer with wire pair over rib
CN107356954A (zh) * 2017-06-26 2017-11-17 同济大学 一种具有方向性发光的光子晶体闪烁体器件

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5588009A (en) * 1978-12-26 1980-07-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Double refractive polarizing prism
JPS5964802A (ja) * 1982-10-05 1984-04-12 Nitto Electric Ind Co Ltd 円偏光盤
JPS6343101A (ja) * 1986-08-08 1988-02-24 Toyo Commun Equip Co Ltd 透過型回折格子の製造方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4228449A (en) * 1978-12-26 1980-10-14 Hughes Aircraft Company Semiconductor diode array liquid crystal device
DE3066595D1 (en) * 1979-08-21 1984-03-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor stripe filter
US4333983A (en) * 1980-04-25 1982-06-08 Optical Coating Laboratory, Inc. Optical article and method
US4359260A (en) * 1980-06-25 1982-11-16 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical polarizer
US4609267A (en) * 1980-12-22 1986-09-02 Seiko Epson Corporation Synthetic resin lens and antireflection coating
JPS60188911A (ja) * 1984-03-08 1985-09-26 Canon Inc 光結合器
US4619501A (en) * 1985-01-08 1986-10-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Charge isolation in a spatial light modulator
US4655554A (en) * 1985-03-06 1987-04-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Spatial light modulator having a capacitively coupled photoconductor
US4881110A (en) * 1985-07-25 1989-11-14 Hughes Aircraft Company Double-Schottky diode liquid crystal light valve
US4842376A (en) * 1985-07-25 1989-06-27 Hughes Aircraft Company Double-schottky diode liquid crystal light valve
JPH0685002B2 (ja) * 1986-02-18 1994-10-26 ミノルタ株式会社 プラスチツク光学部品の反射防止膜
JPS6355501A (ja) * 1986-08-26 1988-03-10 Nec Corp 回折格子型光偏光板
US4826300A (en) * 1987-07-30 1989-05-02 Hughes Aircraft Company Silicon-on-sapphire liquid crystal light valve and method
JP2503538B2 (ja) * 1987-10-20 1996-06-05 日本電気株式会社 回折格子型偏光板の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5588009A (en) * 1978-12-26 1980-07-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Double refractive polarizing prism
JPS5964802A (ja) * 1982-10-05 1984-04-12 Nitto Electric Ind Co Ltd 円偏光盤
JPS6343101A (ja) * 1986-08-08 1988-02-24 Toyo Commun Equip Co Ltd 透過型回折格子の製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5367403A (en) * 1992-04-08 1994-11-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method of fabricating the same
US5455712A (en) * 1992-04-08 1995-10-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method of fabricating the same
JPH06308309A (ja) * 1993-02-24 1994-11-04 Nec Corp 複屈折回折格子型偏光子及び光ヘッド装置
JPH07198907A (ja) * 1993-12-01 1995-08-01 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 光素子およびその製造方法
US5739952A (en) * 1994-04-14 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho Polarizing beam splitter and optical head assembly
JP2007328128A (ja) * 2006-06-08 2007-12-20 Ricoh Opt Ind Co Ltd 光学素子及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2703930B2 (ja) 1998-01-26
EP0349144A3 (en) 1991-05-29
DE68918012D1 (de) 1994-10-13
EP0349144B1 (en) 1994-09-07
US4991937A (en) 1991-02-12
EP0349144A2 (en) 1990-01-03
DE68918012T2 (de) 1995-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2703930B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子
JPH0212105A (ja) 複屈折回折格子型偏光子
US7619816B2 (en) Structures for polarization and beam control
US7764354B2 (en) Multi-layer diffraction type polarizer and liquid crystal element
US4492436A (en) Polarization independent beam splitter
US5912762A (en) Thin film polarizing device
US20060127830A1 (en) Structures for polarization and beam control
JPS63314502A (ja) 複屈折回折格子型光偏光板
JP2803181B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子
JP2541548B2 (ja) 回折格子型光偏光板
KR940006340B1 (ko) 액정 선편광기
JPH0212107A (ja) 複屈折回折格子型偏光子
JP2718112B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子およびその製造方法
JPS6355501A (ja) 回折格子型光偏光板
JP3038942B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子および光アイソレータ
JP2503538B2 (ja) 回折格子型偏光板の製造方法
JP2003227931A (ja) 偏光子一体型光部品、その製造法およびそれを使用する直線偏波結合方法
JPH0830767B2 (ja) ホログラム素子
JP3089640B2 (ja) イオン交換の方法およびイオン交換領域の形成装置
JP2848137B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子
JPH0576001B2 (ja)
JPS5849843B2 (ja) コウハンイ ノ スペクトルナイデノ トウホウセイ ノ シヤハンシヤ オ ユウスル ユニツト オ ケツテイスル ホウホウオヨビコ ノ ホウホウデエラレル スウコ ノ ユニツト
JP2789941B2 (ja) 複屈折回折格子型偏光子の使用方法
Hendow 12. Optical Materials and Devices
JPH09292520A (ja) 回折格子型偏光子、これを用いた光学部品及びそれらの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071003

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003

Year of fee payment: 11