JPH021198A - めっき型熱電対 - Google Patents

めっき型熱電対

Info

Publication number
JPH021198A
JPH021198A JP63117563A JP11756388A JPH021198A JP H021198 A JPH021198 A JP H021198A JP 63117563 A JP63117563 A JP 63117563A JP 11756388 A JP11756388 A JP 11756388A JP H021198 A JPH021198 A JP H021198A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring pattern
base plate
pattern
film
plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63117563A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2642663B2 (ja
Inventor
Hiroshi Tsukagoshi
洋 塚越
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Motor Co Ltd filed Critical Yamaha Motor Co Ltd
Priority to JP63117563A priority Critical patent/JP2642663B2/ja
Priority to US07/240,093 priority patent/US5013397A/en
Publication of JPH021198A publication Critical patent/JPH021198A/ja
Priority to US07/646,811 priority patent/US5167723A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2642663B2 publication Critical patent/JP2642663B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/20Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern
    • H05K3/205Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by affixing prefabricated conductor pattern using a pattern electroplated or electroformed on a metallic carrier
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/281Applying non-metallic protective coatings by means of a preformed insulating foil
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0393Flexible materials
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/11Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K1/118Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits specially for flexible printed circuits, e.g. using folded portions
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0147Carriers and holders
    • H05K2203/0152Temporary metallic carrier, e.g. for transferring material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0703Plating
    • H05K2203/0726Electroforming, i.e. electroplating on a metallic carrier thereby forming a self-supporting structure
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/386Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はベースプレート上に金属配線をパターン形成し
たプリント配線基板及びその製造方法に関し、特に配線
パターンの微細化及び多層化が容易で、高集積度化が図
れるようにしたプリント配線基板及びその製造方法に関
する0本発明は、例えばカメラ、?!写機等の電子機器
において採用されるフレキシブルプリント配線基板に好
適であるゆ〔従来の技術〕 従来から、ベースプレート上に金属配線をパターン形成
してなるプリント配線基板には各種あり、例えば、第6
図体)に示す構造pものがある。これは、エツチング法
により以下の手順で製造されたものである。まず第6図
(δ)に示すように5011翔程度の絶縁性フィルムか
らなるベースプレート21上に第1接着剤層22を介し
て配線パターンとなるCu板23を貼設した素材板20
を準備する。
そしてこれに所定パターンのマスクをかけてエツチング
し、これによりCu板23の不要部分を除去して配線パ
ターン23aをパターン形成する。
そして上記マスクを除去した後、第2接着剤層24が付
着された保護フィルム25を配線パターン23aを覆う
ように貼着することにより構成されている。
また、プリント配線基板の他の製造方法として、従来か
らめっきによる方法がある。これは金属製のめっき基板
上にマスクをかけた状態で電気めっきあるいは無電解め
っきを行い、これにより金属配線を所定形状にパターン
形成する。そして次に上記配線パターン上にベースプレ
ートを接着し、該ベースプレートをめっき基板から剥離
することにより、上記配線パターンをベースプレート上
に転写する方法である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、上記従来のエツチングによる方法では、配線
パターン23’a部分が上方に盛り上がっており、その
ためプリント配線基板の表面が波打ち易く (第7図に
示す顕微鏡写真参照)、その結果、該基板上にさらに別
個の配線パターンを積層するのは困難であり、最近の多
層化の要請に応え難い、上記めっきによる方法の場合も
配線パターン部分がベースプレートの表面から盛り上が
っており、同様の問題がある。
さらにこの配線パターン23a部分が盛り上がっている
ことから、保護フィルム25を貼着する場合にパターン
の縁部23b付近に空気23cが溜まり易い問題もある
また、上記エツチングによる方法の場合、その製造原理
上、配線パターン23aの縁部23bが裾拡がりになる
ので、必要な配線スペースが広くなり、配線パターンの
高密度化においても限度がある。一方、上記めっきによ
る方法は、めっき基板にマスクをかけた状態でめっきす
る方法であるから、パターンの縁部が垂直になり、裾拡
がりになることはなく、この点では高密度化が可能であ
る。し′かし、パターン幅をより微細化すると、該パタ
ーンにクランクが生じ易く、やはり高密度化には限度が
ある。
そこで本発明は、上記従来の問題点を解消するためにな
されたもので、配線パターンによる盛り上がりをなくし
て多層化を容易化できるとともに、配線パターンのより
一層の高密炭化を達成でき、かつ空気溜まりの問題が生
じることもないプリント配&i!基板及びその製造方法
を提供することを目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
そこで本発明者は、上記従来方法による場合に基板全体
が凸凹になる原因について検討し、以下の点に着目した
。即ち、従来方法による場合は、第6図(blに示すよ
うに、ベースプレート21上の配線パターン23aが第
1接着剤122から上方に突出しており、保護用フィル
ム25を貼着しても該フィルム25が上記配線パターン
23aの形状に沿って変形することから上記凹凸が住し
る。
従って、この接着剤N22が配線パターン23aの周囲
を埋め、かつこれらの上面が平坦になっておれば、上記
凹凸が生じることはなくなり、上述の多層化が可能にな
る。
また、上記従来のめっきによる方法では、パタ−ン幅を
より微細化すると、配線パターンとベースプレートとの
接着剤による接着力が、めっき基板との接着力より弱く
なる場合があり、しかも配線パターン自体の強度が微細
幅にした分だけ弱くなっていることから、配線パターン
をベースプレートに転写する際に該パターンにクランク
が生じたり、破断したりする。従って上記配線パターン
が容易確実に剥離されるように、めっき基板とのめっき
による接着力を弱くしてやればこれらの問題を解消でき
、パターン幅をより微細化できる。
そこで本願の第1項の発明は、プリント配線基板におい
て、ベースプレート上に接着剤層によりめっき膜からな
る配線パターンを接着するとともに、該接着剤層が、上
記配線パターンの周囲を埋め、かつ配線パターンと略同
−平面をなすように該接着剤層を平坦に押圧成形し、さ
らにこの接着剤層及び配線パターンの上面を覆うように
保護用フィルムを貼着したことを特徴としている。
また、本願の第2項の発明は、上記構造のプリント配線
基板を製造する方法であうで、金属製めっき基板上に下
地となるパネルめっき膜を形成し、該パネルめっき膜上
に所定形状の配線パターンをめっきによりパターン形成
し、該配線パターン上に接着剤層を介してベースプレー
トをil!置し、該ベースプレートを所定温度に加熱す
るとともに所定圧力で押圧することにより、上記接着剤
層により配線パターンの周囲を埋め、かつ該接着剤層の
表面を平坦化するとともに、咳ヘースプレートを上記配
線パターン及びパネルめっき膜に接着させ、しかる後、
該ベースプレートをパネルめっき膜と共に上記めっき基
板上から剥離することにより、パネルめっき膜及び配線
パターンをベースプレートに転写させ、さらに上記パネ
ルめっき膜をエツチングにより除去する。そして最後に
上記接着剤層及び配線パターンを覆うように保護用フィ
ルムを貼着したことを特徴としている。
また、本願の第3項の発明は、第1項におけるプリント
配線基板の具体例としてのめっき膜型熱電対であり、異
なる2種の金属からなる第1.第2熱電パターンを、一
端同士が接続されるように、また他端が外部端子部分に
導出されるようにめっきによりパターン形成し、さらに
上記一端同士の接続部が雰囲気中に露出されるように、
ベースプレート及びカバーフィルムに開口(窓部)を形
成したことを特徴としている。
ここで本発明における上記ベースプレートは、配線パタ
ーンを保持する基材となるものであり、例えばポリイミ
ドフィルム、ポリエステルフィルム等の絶縁性フィルム
が採用でき、また柔軟性を有する薄膜状のものに限らず
、硬質の厚板状のものでもよい。
また、本発明の金属製めっき基板は、製造時のヘースと
なるものであり、導電性で、かつその表面に不導体皮膜
が形成され、パネルめっき膜が剥離し易い性質を有する
必要があり、この観点から5LIS、A1. Ti板等
が適している。
また本発明のパネルめっき膜は、後工程において配線パ
ターンをめっきにより形成する際のめっき作業を容易、
確実に行うための下地となるとともに、ベースプレート
を剥離する際に、配線パターンをめっき基板から確実に
分離させて該ベースプレート上の転写を確実にするため
のものである。
従ってこのパネルめっき膜用金属は、めっき基板とのめ
っき接着力は弱く、かつ配線パターンとのめっき接着力
は充分なる金属を選択する必要がある。また、ベースプ
レートを剥離した後のエツチング時にこのパネルめっき
膜が配線パターンより早くエツチングされるように、イ
オン化傾向が配線パターン用金属と同−又はこれより大
きい金属を選択する必要があり、さらにアルカリ性のエ
ツチング液で除去できるものがより望ましい。従ってこ
のパネルめっきnり用金属は、上記観点から、めっき基
板の材質、及び配線パターンの材質等との関連において
適宜選択することとなるが、例えばめっき基板をSUS
、A1.Ti とし、配線パターンをCu、Ni とし
た場合は、A11.  Zn、5nFe等が選択できる
そして本発明では、ベースプレートを所定温度に加熱す
るとともに所定圧力で押圧する訳であるが、このために
は例えば、プレス装置に取り付けられた押圧部材を所定
温度に加熱し、これにより押圧すればよい、またこの場
合の温度、圧力は採用する接着剤、ベースプレートの材
質、厚さ等によって変化するが、この接着剤が配線パタ
ーンの周囲を充分に埋めることができ、かつ該接着剤層
及び配線パターンが略同一面をなすよう平坦に成形でき
る温度、圧力を適宜選択することとなる。
〔作用〕
本発明に係るプリント配線基板によれば、ベースプレー
ト上に形成された配線パターンの周囲は接着剤で埋めら
れており、かつこの接着剤層は配線パターンと略同−平
面をなしているので、従来のような凹凸が生じることは
なく、従って該基板上に別の基板を積層することができ
、基板の多層化を容易に実現できる。
また本発明方法では、ベースプレートを接着剤層で配線
パターン上に接着する際に、例えば所定温度に加熱され
た押圧部材により所定圧力で押圧することにより、接着
剤層を押圧成形したので、接着剤により配線パターンの
周囲を埋めることができるとともに、該接着剤層の表面
を配線パターンと略同一面にすることができ、上述の平
坦な基板構造を容易、確実に実現できる。またこのとき
、平坦に成形された配線パターン、接着剤層上に保護用
フィルムを貼設するのであるから、上記従来の盛り上が
っている配線パターンを覆う場合のような、空気の巻き
込みの問題が生じることもない。
また、本発明方法では、配線パターンのめっき形成に先
立って、先ずめっき基板上にパネルめっき膜を形成し、
このパネルめっき膜上に配線パターンを形成し、しかる
後ベースプレートを接着し、これを剥離することにより
配線パターンを転写するようにしたので、配線パターン
はパネルめっき膜とベースプレートとで挟まれた状態で
めっき基板からff1l+離されることとなる。従って
、この配線パターンを、例えば50〜150μmの微細
幅に形成しても該パターンにクラック等が生じることは
ない。その結果配線パターンを、例えば1flの領域内
に5〜15本という高密度に形成でき、上述の高密度化
の要請に応えることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図について説明する。
第1図は本発明の第1実施例による製造方法を説明する
ための工程図である。なお、本実施例では、理解を容易
にするために、各寸法、形状、装置等は模式化して表し
ており、また実際には多数のパターンを近接させて形成
するのであるが、図示を簡略化するために1つのパター
ンのみを示している。
■ SUS製のめっき基板1の上面にM厚5μmのA1
めっき膜からなるパネルめっき膜2を電気めっきによっ
て形成する(第1図(al)。
■ 上記パネルめっき膜2上に感光性樹脂フィルムから
なるめっきレジスト膜3を熱圧着によってラミネートし
、該レジスト膜3を所定形状にマスキングした状態で露
光、現像することにより、後述の配線パターンに応した
形状のパターン開口3aを形成する。そしてこの状態で
配線パターン用金属としてのCuを30〜50μ−の膜
厚に電気めっきすることにより配線パターン4を形成し
、しかる後アルカリ溶液中に浸漬することにより上記め
っきレジスト膜3を除去する(同図(bl、 (C1)
ここで、上記配線パターン4の電気めっきにおいては、
めっき浴槽内にてめっき液を流動させながら電気めっき
を行う高速めっき法(本件出願人の出願に係る特公昭6
0−1958号公報参照)を採用した。その結果、上記
配線パターン4の表面は、第1 (g)に示すように、
粗面になっている。
■ 上記パネルめっき膜2及び配線パターン4上にこれ
らを覆うように、エポキシ系接着剤N8が塗布形成され
たポリイミドフィルムからなるベースプレート7をi1
置しく同図fd1. +81) 、これをプレス装置に
取り付けられた押圧部材としてのSUS製押圧押圧板1
2圧する。このとき、この押圧板12は約160℃に加
熱されており、また上記押圧力は2Qkg/ c+1”
に、押圧時間は1時間にそれぞれ設定されている。する
と、上記接着剤層8の配線パターン4上に位置する部分
は、上記加熱、押圧によって配線パターン4の周囲の空
間を埋めるように変形移動し、かつ該接着剤層8はその
上下面とも配線パターン4と略同一面をなすように平坦
に成形される(同図(fl、 fに)。
■ 上記接着剤N8が固化した後、上記ベースプレート
7をめっき基板1から剥離する。すると配線パターン4
及びパネルめっき膜2が該ベースプレート7とともにめ
っき基板1から分離して該プレート7上に転写される(
同図(hl、 (ll) 。
■ そして上記パネルめっき膜2及び配線パターン4が
転写されたベースプレート7をカセイソーダ液等のアル
カリ性エツチング液中に浸漬することによりパネルめっ
き膜2を除去する。するとベースプレート7上の配線パ
ターン4は、その周囲が接着剤層8で埋められ、かつ該
接着剤N8の上面は配線パターン4と略同一面をなすこ
ととなる(同図+41)。
■ 最後に、上記接着剤N8及び配線パターン4を覆う
ように、接着剤層10が塗布されたカバーフィルム11
を貼着する。するとこれにより、ベースプレート7上に
配線パターン4が形成され、これの周囲は接着剤層8で
埋められ、かつこれらがカバーフィルム11で覆われた
全体として平坦状のプリント配線基板15が製造される
。(同図(k)) 第2図は上記実施例方法により製造されたプリント配線
基板を使用した電子部品の一例を示す。
この例では、プリント配線基板15は、絶縁性でかつ柔
軟性を有するポリイミドフィルム製ベースプレート7の
上面に金属配線としての配線パターン4を形成して構成
されている。このプリント配線基板15の各端部8aは
各天袋基板9に設けられた各電子部品素子に接続されて
いる。なお、9aは外部入力端子部であり、またカバー
フィルムは図示を省略している。このようにして各実装
基板9同士が本実施例のプリント配線基板15で接続さ
れている。
このように本実施例のプリント配線基板15によれば、
転写に際して、配線パターン4上に接着剤付きベースプ
レート7を搭載するとともに、加熱された押圧機12に
よって所定圧力で押圧したが、この場合に接着剤層8の
配線パターン4部分の圧力が高くなり、該部分の接着剤
層8が配線パターン4の周囲部分に流れるように容易に
移動し、これにより接着剤N8が平坦状に成形され、プ
リント配線基板15全体が盛り上がり部分のない平坦状
になる。その結果この基板15上に別個の基板を積み重
ねることができ、多層化が容易に実現できる。
また、カバーフィルム11の貼着に当たっては、配線パ
ターン4の周囲が接着剤N8で埋められており、従来の
配線パターンが突出している場合ような空気が巻き込ま
れるということはなく、上記空気溜まりの問題も解消で
きる。
さらにまた、本実施例では、先ず、パネルめっき膜2を
形成し、これの上面に配線パターン4を形成し、この配
線パターン4をパネルめっき膜2ごとベースプレート7
上に転写するようにしたので、この配線パターン4はベ
ースプレート7とパネルめっき膜2とで挾まれた状態で
めっき基板1から剥離されることとなる。従って、この
配線パターン4を微小幅に形成しても転写時にタラツク
が住じることはほとんどなく、その結果めっきレジスト
膜3のパターン開口3aを適宜設計することにより、配
線パターン4を容易、確実に高密度化することができる
また、本実施例ではめつぎにより形成した配線パターン
4を絶縁性フィルムからなるベースプレート7に転写す
るようにしたので、このベースプレート7に必要に応じ
て100 μm以下の薄膜フィルムを採用することがで
き、それだけ電子部品の薄型化を達成できる。
ところで上記実施例では、配線パターン用金属が1種類
である場合を説明したが、本発明方法は該金属が2種類
以上の場合にも勿論適用でき、例えば2つの異種金属を
採用した場合は、めっき脱型熱電対を製造することがで
きる。
第3図は本発明の第2実施例によるめっき脱型熱電対の
製造方法を示す工程図であり、第1図と同一符号は同−
又は相当部分を示す。
■ 上記第1実施例と同様にして、めっき基板l上にパ
ネルめっき膜2を形成し、これの上面に、接合部開口3
a、導出部開口3bを存する第1めっきレジスト膜3を
形成し、この状態でCuめっきを施すことにより、接合
部4aを有する第1熱電パターン4を形成する(第3図
fa)〜(C))。
■ 次に接合部間口5a、i山部開口5bを有する第2
めっきレジスト膜5を配置してNiめっきを施すことに
より、接合部6aが上記第1熱電パターン4の接合部4
aに接続された第2熱電パターン6を形成する(同図f
dl、 +81) 。
■ そして接着剤層8が塗布形成されたベースプレート
7を載置するとともに、これを160℃に加熱された押
圧板により2Qkg/ cs”で押圧し、−これにより
このベースプレート7をパネルめっき膜2及び第1.第
2熱電パターン4.6に接着させる。このとき上記第1
実施例と同様に、配線パターン4.6の周囲は接着剤層
8で埋められ、該接着剤層8の上、下面は略平坦状に成
形されることとなる。このベースプレート7を剥離して
パネルめっき膜2.第1.第2熱電パターン4.6を該
プレート7上に転写し、このパネルめっき膜2をエツチ
ングによって除去する(同図(f)〜(h+)。
■ 最後に、図示していないが、上記接着剤層8及び第
1.第2熱電パターン4.6上をカバーフィルムで覆う
ことにより、めっき脱型熱電対19が製造される。
第4図は、上記製造方法によって製造されためっき脱型
熱電対であり、これは3龍幅部分に測定点aを5点設け
た例である。
この例では、ベースプレート7用絶縁性フイルムは厚さ
150μmのポリイミドシートであり、第1、第2熱電
パターン4.6はそれぞれCu、NiWであり、測定点
aを形成する接合部4a、63部分のパターンII、7
1さはそれぞれ250 Ilm 、30μmである。ま
た、上記ベースプレート7及びカバーフィルム11の、
上記測定点a部分には開口?a、llaが形成されてお
り、従って各熱電パターン4.6の接合部4a、6a部
分は外方に露出している。これは該熱電対の応答性を向
上させるために設けたものであるが、該部分の製造方法
については、上記工程■において、上記開ロアaを有す
るベースプレート7を用いるとともに、工程■において
、上記開ロアa相当部分に開口11aを有するカバーフ
ィルム11−を用いればよい。
なお、このような開ロアaを有するベースプレート7を
用いると、該プレート7への転写時に該開ロア3部分の
剥離が確実に行われない懸念があるが、本実施例におい
て、上記開ロアaが測定接点a部分のみを露出させる程
度の大きさの場合はこの部分も確実に剥離されることが
確認された。
ここで、上記各組の熱電対の温度検出特性を揃えるには
、上記第1.第2熱電パターン4.6の接合部4a、6
a同士の接合面積をそれぞれの組の熱電対において同一
にする必要がある。そこで本実施例では第4図(′b)
に示すように、第1熱電パターン4の接合部4aの幅W
lを第2熱電パターン6の接合部6aの幅W2より若干
広くしている。
これにより第2めっきレジスト膜5のパターン開口形成
時の、上記幅W方向のマスク位置合わせに余裕ができ、
これと直角方向(図示し方向)のみの位置合わせに注意
を集中すれば良い、その結果、位置合わせ精度を向上で
き、ひいては各接合面積を同一にできる。なお、この場
合、上記と逆に接合部6aを43より幅広に形成しても
同様の効果が得られる。
第4図(clは、上記熱電対19に、外部機器に接続す
るための補償導線13を接続した状態を示す。
この補償4線13は、上述の製造方法によって製造され
たものであり、絶縁性フィルムからなるベースプレート
17上にCu、Ni製の第1.第2補償パターン14.
16を形成し、これをカバーフィルム18で覆って構成
されている。この第1゜第2補償パターン14.16の
一端14a、16aは開口部13aにおいて上記第1.
第2熱電パターン4.6の接続部4b、6bに半田付け
されている。またこの補償パターン14.16の他端1
4b、16bは外部機器との接続が容易なように幅広に
形成されている。
このように本実施例に係るめっき脱型熱電対によれば、
上記第1実施例と同様に、微小幅のパターンが得られ、
小面積に多数組の熱電対を形成することができ、高密度
化が実現できる。また上記第1実施例と同様に、パター
ンの周囲が接着剤で埋められているので、全体が平坦に
なっている。
第5図は、Cuからなる第1熱電パターン部分の断面を
示す顕微鏡写真である。この写真において、白色部分が
パターンであり、その下側がベースプレート、その周囲
がベースプレートに形成された接着剤層、その上側がカ
バーフィルムに形成された接着剤層である。この写真か
らも明らかなように、全体として平坦状になっており、
必要に応じて容易に多層化が可能であることが判る。
また、本実施例では、熱電対の接続接点aが外方に露出
するようにしたので、測定感度を大幅に向上できる。そ
してこの外方露出構造は、開口を有するフィルム7、及
びカバーフィルム11を用いるだけで実現でき、製造が
非常に容易である。
また第1熱電パターン4の接合部4aの幅W1を第2熱
電パターン6の接合部6aの幅W2より広くしたので、
該第2熱電パターン用第2めっきレジスト膜をパターン
形成する際の、マスク位置合わせが容易確実となり、そ
のため各熱電対の測定接点aの接合面積を同一にするこ
とができる。
その結果、各熱電対の検出精度が同一になり、高精度の
温度計測が実現できる。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明に係るプリント配線基板及びその
製造方法によれば、配線パターン上に接着剤層を介して
ベースプレートを配置し、これを加熱しながら所定圧力
で押圧するようにしたので、配線パターンと接着剤層と
が略同一面に成形でき、基板全体として平板状になり、
容易に多層化できる効果があり、またカバーフィルム接
着時の空気溜まりを防止できるとともに、パターンをよ
り一層高密度化できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本発明の第1実施例を説明するため
の図であり、第1図(alないし第1図(ト))はその
製造工程図、第2図は該実施例による電子部品の斜視図
、第3図ないし第5図は本発明の第2実施例を説明する
ための図であり、第3図(alないし第3図(h)はそ
の製造工程図、第4図fa)は該実施例によるめっき膜
型熱電対を示す平面図、第4図中)はその要部拡大図、
第4図(C1は上記熱電対に補償導線を接続した状態を
示す平面図、第5図はその金属U織を示す顕微鏡写真、
第6図fat及び第6図fblは従来のプリント配線基
板を説明するための斜視図、要部拡大断面図、第7図は
その金属&l1w1を示す顕微鏡写真である。 図において、1は金属製めっき基板、2はパネルめっき
膜、4は配線パターン(第1熱電パターン)、6は第2
熱電パターン、4a、5aは熱電パターンの一端、4b
、6bは熱電対パターンの他端、7はベースプレート、
7aは開口、8は接着剤層、11は保護用カバーフィル
ム、である。 第1図(1) 特許出願人  ヤマハ発動機株式会社 代理人    弁理士 下 市  努 第1 図(2) ム 第2 図 第1 図(3) 第3図(]) 第3図(2) 第4図(2) 4b 6b 第4図(1) 第5 図 第6 図 第7図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)絶縁性のベースプレート上に接着剤層によりめっ
    き膜からなる配線パターンを接着し、該接着剤層を、上
    記配線パターンの周囲を埋めるとともに該配線パターン
    と略同一面をなすよう平坦に押圧成形し、該接着剤層及
    び配線パターンの上面を覆うように保護用フィルムを貼
    着したことを特徴とするプリント配線基板。
  2. (2)絶縁性のベースプレート上にめっき膜からなる配
    線パターンを接着し、該配線パターン上を保護用フィル
    ムで覆ってなるプリント配線基板の製造方法において、
    金属製めっき基板上に下地となるパネルめっき膜を形成
    し、該パネルめっき膜上に配線パターンをめっきにより
    パターン形成し、該配線パターン上に接着剤層を介して
    ベースプレートを配置し、該ベースプレートを加熱する
    とともに所定圧力で押圧することにより、上記接着剤層
    が上記配線パターンの周囲を埋め、かつ該配線パターン
    と略同一面をなした状態で該配線パターン及びパネルめ
    っき膜に上記ベースプレートを接着させ、該ベースプレ
    ートを配線パターン及びパネルめっき膜と共に上記めっ
    き基板から剥離することにより、パネルめっき膜及び配
    線パターンをベースプレートに転写させ、上記パネルめ
    っき膜をエッチングにより除去し、しかる後上記接着剤
    層及び配線パターンを覆うように保護用フィルムを貼着
    したことを特徴とするプリント配線基板の製造方法。
  3. (3)上記プリント配線基板が、ベースプレート上に第
    1,第2金属の帯状めっき膜からなる第1,第2熱電パ
    ターンを、一端同士が接続され、各つ他端が外部接続端
    子部分に導出されるように形成してなるめっき膜型熱電
    対であり、上記一端同士の接続部が外方に露出されるよ
    うに、上記ベースプレート及び保護用フィルムに開口が
    形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載のプリント配線基板。
JP63117563A 1988-03-10 1988-05-13 めっき型熱電対 Expired - Lifetime JP2642663B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63117563A JP2642663B2 (ja) 1988-03-10 1988-05-13 めっき型熱電対
US07/240,093 US5013397A (en) 1988-03-10 1988-09-02 Printed circuit board and method of preparing same
US07/646,811 US5167723A (en) 1988-03-10 1991-01-28 Thermocouple with overlapped dissimilar conductors

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5772988 1988-03-10
JP63-57729 1988-03-10
JP63117563A JP2642663B2 (ja) 1988-03-10 1988-05-13 めっき型熱電対

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH021198A true JPH021198A (ja) 1990-01-05
JP2642663B2 JP2642663B2 (ja) 1997-08-20

Family

ID=26398795

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63117563A Expired - Lifetime JP2642663B2 (ja) 1988-03-10 1988-05-13 めっき型熱電対

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5013397A (ja)
JP (1) JP2642663B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07273429A (ja) * 1994-03-29 1995-10-20 Furukawa Electric Co Ltd:The 配線導体の製造方法及び前記方法により製造された配線導体
JP2008091478A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Nippon Steel Chem Co Ltd フレキシブル基板の製造方法
JP2011191215A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Instruments Inc サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
JP2011191214A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Instruments Inc サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
JP2015026833A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 易鼎股▲ふん▼有限公司 平坦化カバー層構造体を有するフレキシブル回路板

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4003344C1 (ja) * 1990-02-05 1991-06-13 Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim, De
DE4003345C1 (ja) * 1990-02-05 1991-08-08 Fa. Carl Freudenberg, 6940 Weinheim, De
US5209815A (en) * 1991-06-06 1993-05-11 International Business Machines Corporation Method for forming patterned films on a substrate
US5421082A (en) * 1993-09-22 1995-06-06 Motorola, Inc. Method of forming a decal having conductive paths thereon
JP3353987B2 (ja) * 1994-01-10 2002-12-09 株式会社半導体エネルギー研究所 素子作製方法
US5826329A (en) * 1995-12-19 1998-10-27 Ncr Corporation Method of making printed circuit board using thermal transfer techniques
US6027958A (en) * 1996-07-11 2000-02-22 Kopin Corporation Transferred flexible integrated circuit
US6926057B2 (en) * 2001-09-25 2005-08-09 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Thin film forming apparatus and thin film forming method
JP4904656B2 (ja) * 2001-09-27 2012-03-28 パナソニック株式会社 薄膜圧電体素子およびその製造方法
WO2006090417A1 (en) * 2005-02-28 2006-08-31 Stmicroelectronics S.R.L. Method for realising a nanometric circuit architecture between standard electronic components and semiconductor device obtained with said method
CN101146407A (zh) * 2006-09-15 2008-03-19 李东明 印刷电路板载板电路图形转移成型工艺
US20110036617A1 (en) * 2007-08-03 2011-02-17 Leonid Kokurin Compensating Conductive Circuit
JP5528259B2 (ja) * 2010-05-17 2014-06-25 日東電工株式会社 配線回路基板の製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5816592A (ja) * 1981-04-03 1983-01-31 ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ 印刷回路板、金属張り積層板中間製品及びそれらの製造方法
JPS60147192A (ja) * 1984-01-11 1985-08-03 株式会社日立製作所 プリント配線板の製造方法
JPS61193315A (ja) * 1985-02-21 1986-08-27 アルプス電気株式会社 平滑スイツチ基板の製造方法
JPS61224492A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 信越化学工業株式会社 フレキシブルプリント回路基板
JPS6388895A (ja) * 1987-01-20 1988-04-19 名幸電子工業株式会社 導体回路板の製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4159222A (en) * 1977-01-11 1979-06-26 Pactel Corporation Method of manufacturing high density fine line printed circuitry
US4789423A (en) * 1982-03-04 1988-12-06 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for manufacturing multi-layer printed circuit boards
DE3322382A1 (de) * 1983-06-22 1985-01-10 Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt Verfahren zur herstellung von gedruckten schaltungen
US4584039A (en) * 1984-12-26 1986-04-22 Hughes Aircraft Co. Fine line flexible cable fabrication process
JPS62276894A (ja) * 1986-02-21 1987-12-01 株式会社メイコー スル−ホ−ル付導体回路板の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5816592A (ja) * 1981-04-03 1983-01-31 ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ 印刷回路板、金属張り積層板中間製品及びそれらの製造方法
JPS60147192A (ja) * 1984-01-11 1985-08-03 株式会社日立製作所 プリント配線板の製造方法
JPS61193315A (ja) * 1985-02-21 1986-08-27 アルプス電気株式会社 平滑スイツチ基板の製造方法
JPS61224492A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 信越化学工業株式会社 フレキシブルプリント回路基板
JPS6388895A (ja) * 1987-01-20 1988-04-19 名幸電子工業株式会社 導体回路板の製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07273429A (ja) * 1994-03-29 1995-10-20 Furukawa Electric Co Ltd:The 配線導体の製造方法及び前記方法により製造された配線導体
JP2008091478A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Nippon Steel Chem Co Ltd フレキシブル基板の製造方法
JP2011191215A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Instruments Inc サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
JP2011191214A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Instruments Inc サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
JP2015026833A (ja) * 2013-07-26 2015-02-05 易鼎股▲ふん▼有限公司 平坦化カバー層構造体を有するフレキシブル回路板

Also Published As

Publication number Publication date
JP2642663B2 (ja) 1997-08-20
US5013397A (en) 1991-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH021198A (ja) めっき型熱電対
EP0620701B1 (en) Circuit devices and fabrication method of the same
JP3889700B2 (ja) Cofフィルムキャリアテープの製造方法
JP4835124B2 (ja) 半導体ic内蔵基板及びその製造方法
KR100836653B1 (ko) 회로기판 및 그 제조방법
US20070049060A1 (en) Printed circuit board and manufacturing method thereof
CN113163622B (zh) 一种超薄软硬结合板的热塑聚酰亚胺减法工艺
KR20080044174A (ko) 반도체 패키지 및 그 제조방법
JP4038517B2 (ja) Cof用フレキシブルプリント配線板およびその製造方法
KR20070068268A (ko) 배선 기판의 제조 방법
US10356909B1 (en) Embedded circuit board and method of making same
TWI656819B (zh) 柔性電路板製作方法
JP4574311B2 (ja) リジッド−フレキシブル基板の製造方法
JP4133756B2 (ja) プリント配線基板の接続方法
KR20020085999A (ko) 인쇄회로기판의 제조방법
KR101924458B1 (ko) 전자 칩이 내장된 회로기판의 제조 방법
JPH10116861A (ja) キャリアテープ、及びキャリアテープ製造方法
JP3435157B1 (ja) 保持搬送用治具及び保持搬送方法
JP3813766B2 (ja) プリント配線基板の接続構造
JP3740869B2 (ja) 微細パターンの製造方法およびそれを用いたプリント配線板
JP2006100703A (ja) リジッド−フレキシブル基板及びその製造方法
US20230063719A1 (en) Method for manufacturing wiring substrate
JPS6372193A (ja) 回路板
JPS6372192A (ja) 回路板の製造方法
JP2700257B2 (ja) 配線基板付きリードフレームとその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502

Year of fee payment: 12