JPH02108987A - 磁気センサー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気センサーに関するものである。

従来の技術 磁気式ロータリーエンコーダーは、信号磁界を発生する
磁気ドラムと、信号磁界を検出するための磁気センサー
とから構成されている。そして、磁気センサーは磁気ド
ラムの磁性部に数１０μｍ〜数１００μｍの距離で近接
配置されている。

ところで、磁気センサーの取り付は位置を調整する際、
回転する磁気ドラムに磁気センサーを接触させ、その磁
気センサーの磁気感知部を破損させてしまうという事故
が多い。そのため、磁気センサーの磁気感知部を保護す
るための保護層を形成する必要があり、この技術が重要
視されてきている。

以下、このような保護層を備えた従来の磁気センサーに
ついて説明する。

第２図は従来の磁気センサーの断面図である。

第２図において、１はカラス基板、２はガラス基板１の
上に強磁性薄膜（Ｎｉ−Ｆｅ）によって形成された磁気
感知部、３は磁気感知部２と電気的に接続された配線端
子部、４は磁気感知部２を保護するための保護層である
。

以下、保護層４について詳細に説明する。保護層４は例
えば特開昭５９−１１３６７５号公報に記載されている
ように、ＳｉＯまたは５ｉ０２等の無機酸化物を蒸着ま
たはスパッタリングなどの方法によって形成していた。

そして、十分な耐磨耗性を持つように、また磁気ドラム
に接触した（らいではがれてしまわないように、保護層
４の厚さは少なくとも３０μｍ〜４０μｍにしなければ
ならなかった。

発明が解決しようとする課題 しかしながら以上のような構成では、保護層を形成する
ために非常に長い時間を要するという問題があった。す
なわち、スパッタリングまたは蒸着等の方法によってＳ
ｉＯまたは５ｉ０２等の層が３０μｍ〜４０μｍの厚さ
にするためには、スパッタリングの成膜速度が数μｍ／
時であるので、保Ｎ層の形成が完了するまで１０時間以
上を要する事となっていた。

本発明は以上の課題に鑑みて成されたものであり、単時
間で強度の高い保護層を形成できる磁気センサーを提供
する事を目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は以上の課題を解決するため、磁気感知部上に薄
い無機酸化物層を形成し、その上に接着剤によってセラ
ミックス薄板を接着した。

作　　用 以上のように構成したことにより、無機酸化物層は非常
に薄く、その成膜に要する時間は非常に短くて済むとと
もに、セラミックス薄板を接着剤によって接着する為に
要する時間も非常に短くて済む。

実施例 以下、本発明の詳細な説明する。第１図は本実施例にお
ける磁気センサーの断面図である。第１図において、５
は第２図の従来例と同様に構成されたガラス基板である
。６はガラス基板５の上に強磁性薄膜（Ｎｉ−Ｃｏ）に
よって形成された磁気感知部、７は磁気感知部２と電気
的に接続された配線端子部である。

磁気感知部６および配線端子部７は次のように形成され
る。すなわち、ガラス基板５上に蒸着によって一様にＮ
ｉ−Ｃｏの薄膜を数１００Ａ〜数１０００Ａの膜厚で形
成し、フォトリソグラフ技術を用いて上記薄膜の不必要
な部分を取り去る。これによってガラス基板５上に磁気
感知部６および配線端子部７を備えた配線パターンが形
成される事となる。

８は磁気感知部６を保護するための無機酸化物膜であり
、無機酸化物膜８は５ｉ０２等の無機酸化物の層をスパ
ッタリングによって１μｍ〜５μｍの厚さに形成するこ
とによって作られている。また無機酸化物ＩＩＩ　８は
磁気感知部６の全域上配線端子部７の一部を覆っている
。

９は厚さ１０μｍ−１００μｍのセラミックス（Δ１２
Ｑｔ）薄板、１０はエポキシ系の接着剤であ。セラミッ
クス薄板９は接着剤１０によって無機酸化物膜８の上に
接合されている。

以とのように保護層の大部分をセラミックス薄板９によ
って構成すれば、接着剤１０によってセラミックス薄板
９を接着するのに要する時間を考慮しても、従来の保護
層形成の時間に比べる（！：１０分の１程度に短縮出来
る。

またセラミックス薄板９を固定するためにエポキシ系の
接着剤１０を用いているが、磁気感知部６と接着剤１０
との間に無機酸化物膜８を介在させているので、たとえ
接着剤ＩＱと磁気感知部６との間に、線膨脹係数に大き
な差が有っても、温度変化によって磁気感知部６に歪み
が生じる事はなく、磁界検出特性が劣化することは無（
なる。

また、セラミックス薄板９は非常に磨耗しにくいので、
磁気エンコーダにおいて磁気センサーが常時磁気ドラム
に摺動するように構成する事も可能となる。しかもセラ
ミックス薄板９は非常に熱伝導性が高く放熱性が良いの
で、摩擦熱が磁気感知部まで伝わりに＜＜、熱によって
信号磁界検出特性が劣化してしまう事は無い。

また、焼結成形されたセラミックス薄板９は非常にち密
な膜質であるので、ピンホールの多い従来の無機酸化′
＃Ｊ膜に比べて耐候性に優れており、例えば高温多湿の
環境下においても長期間安定した特性を維持することが
出来る。

なお、セラミックス薄板９の材料としては以上に示した
Ａｌ２Ｏ３以外に、ＺｒＯ２，Ｓｉ３Ｎ４．ＳｉＣ，Ｍ
ｇＯ・５ｉ０２等の材料を用いてもよく、これらの材料
においても優れた強度を有する保護層を形成する事が出
来る。また、無機酸化物膜８の材料として以上に示した
５ｉ０２の他にＳｉｎ、Ａｌ２Ｏ３を使用しても良い。

また、磁気感知部２を形成する強磁性薄膜として以上に
示したようにＮｉ−Ｃｏを使用した場合の他に、例えば
Ｎｉ−Ｆｅを使用した場合であっても良い。

発明の効果 以上のように本発明は、磁気感知部上に無機酸化物層を
形成し、その上に接着剤によってセラミックス薄板を接
着したことにより、セラミックス薄板が十分な対磨耗性
を持っているので、無機酸化物層は非常に薄くて済み、
その成膜に要する時間は非常に短（て済むとともに、セ
ラミックス薄板を接着剤によって接着する為に要する時
間も非常に短（て済むので、保護層を形成するために要
する時間は非常に短くて済む。また、外気に接する部分
がセラミックスであるため、耐磨耗性および耐候性に非
常に優れている。また無機酸化物層が介在する事によっ
て接着剤か直接磁気感知部に触れる事は無く、たとえ温
度変化が生じた場合でも磁気感知部に歪が生じて磁界検
出特性が劣化するという問題がない。しかも、上記接着
材の硬化に時に生じる応力も上記無機酸化物層が吸収す
る事となるので、その応力によって磁気感知部に歪みが
生じることもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における磁気センサーの断面図
、第２図は従来の磁気センサーの断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に磁気感知部を形成し、上記磁気感知部上に無機
   酸化物層を形成し、上記無機酸化物層の上に接着剤によ
   ってセラミックス薄板を接着した事を特徴とする磁気セ
   ンサー。