JPH04319620A - 磁気式ロータリエンコーダ - Google Patents
磁気式ロータリエンコーダInfo
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- JPH04319620A JPH04319620A JP8697891A JP8697891A JPH04319620A JP H04319620 A JPH04319620 A JP H04319620A JP 8697891 A JP8697891 A JP 8697891A JP 8697891 A JP8697891 A JP 8697891A JP H04319620 A JPH04319620 A JP H04319620A
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- Pending
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Landscapes
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気検出に磁界検出素
子を使用した磁気式ロータリエンコーダに関する。
子を使用した磁気式ロータリエンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、信号磁界を検出するための磁界検
出素子は磁気式ロータリエンコーダ等に広く用いられて
いる。磁気式ロータリエンコーダは回転軸に取付けられ
た信号磁界を発生させる磁気ロータと、信号磁界を検出
するための磁界検出素子とから構成されており、磁界検
出素子と磁気ロータとは狭い間隙をへだてて近接設置さ
れている。間隙の距離は通常およそ数１０μｍ〜数１０
０μｍと狭いので、ロータリエンコーダ組立の際の磁界
検出素子取付けや間隙調整時に、高速回転する磁気ロー
タに接触させて、磁界検出素子の磁界感知部を破損させ
てしまうという事故が多い。そのために、磁界検出素子
の機械的強度を向上させる保護層形成技術は重要となっ
てきている。
出素子は磁気式ロータリエンコーダ等に広く用いられて
いる。磁気式ロータリエンコーダは回転軸に取付けられ
た信号磁界を発生させる磁気ロータと、信号磁界を検出
するための磁界検出素子とから構成されており、磁界検
出素子と磁気ロータとは狭い間隙をへだてて近接設置さ
れている。間隙の距離は通常およそ数１０μｍ〜数１０
０μｍと狭いので、ロータリエンコーダ組立の際の磁界
検出素子取付けや間隙調整時に、高速回転する磁気ロー
タに接触させて、磁界検出素子の磁界感知部を破損させ
てしまうという事故が多い。そのために、磁界検出素子
の機械的強度を向上させる保護層形成技術は重要となっ
てきている。
【０００３】以下に従来の磁界検出素子について説明す
る。図２は磁界検出素子を用いた従来の磁気式ロータリ
エンコーダの要部断面図である。図において、１はガラ
ス等からなる基板、２はその基板１上にＮｉ−Ｆｅ，Ｎ
ｉ−Ｃｏ等の強磁性薄膜により形成された磁界感知部、
３は磁界感知部２と電気的に接続された配線端子部、４
は磁界感知部２を保護するための保護層である。保護層
４は、例えば特開昭５９−１１３６７５号公報に記載さ
れているように、ＳｉＯまたはＳｉＯ２等の無機酸化膜
を蒸着やスパッタリングの方法により形成している。磁
界検出素子は保護層４を磁気ロータ側に向けるようにユ
ーザととりきめされているのが普通で、そのため磁気ロ
ータと接触した場合の磁界検出素子の耐磨耗性を考慮し
た機械的強度を得るために保護層４の厚さを少なくとも
３０μｍ〜４０μｍ以上形成しなければならない。６は
磁気ロータで、外周に沿って等間隔で信号磁界７が発生
するように着磁されている。磁界感知部２は磁気ロータ
６と所定間隙ｇをへだてて配置構成される。
る。図２は磁界検出素子を用いた従来の磁気式ロータリ
エンコーダの要部断面図である。図において、１はガラ
ス等からなる基板、２はその基板１上にＮｉ−Ｆｅ，Ｎ
ｉ−Ｃｏ等の強磁性薄膜により形成された磁界感知部、
３は磁界感知部２と電気的に接続された配線端子部、４
は磁界感知部２を保護するための保護層である。保護層
４は、例えば特開昭５９−１１３６７５号公報に記載さ
れているように、ＳｉＯまたはＳｉＯ２等の無機酸化膜
を蒸着やスパッタリングの方法により形成している。磁
界検出素子は保護層４を磁気ロータ側に向けるようにユ
ーザととりきめされているのが普通で、そのため磁気ロ
ータと接触した場合の磁界検出素子の耐磨耗性を考慮し
た機械的強度を得るために保護層４の厚さを少なくとも
３０μｍ〜４０μｍ以上形成しなければならない。６は
磁気ロータで、外周に沿って等間隔で信号磁界７が発生
するように着磁されている。磁界感知部２は磁気ロータ
６と所定間隙ｇをへだてて配置構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】磁界検出素子の前記し
たＳｉＯ，ＳｉＯ２等の無機酸化膜保護層をスパッタリ
ング等で形成すると、成膜速度が１時間当り数μｍであ
るために、保護層を数１０μｍ得ようとすると数１０時
間を要し、磁界検出素子およびそれを使用する磁気式ロ
ータリエンコーダの高価格化につながるという問題があ
った。
たＳｉＯ，ＳｉＯ２等の無機酸化膜保護層をスパッタリ
ング等で形成すると、成膜速度が１時間当り数μｍであ
るために、保護層を数１０μｍ得ようとすると数１０時
間を要し、磁界検出素子およびそれを使用する磁気式ロ
ータリエンコーダの高価格化につながるという問題があ
った。
【０００５】本発明は上記従来の課題を解決するもので
、簡単かつ低コストの磁気式ロータリエンコーダを提供
することを目的とする。
、簡単かつ低コストの磁気式ロータリエンコーダを提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の磁気式ロータリエンコーダは、磁気媒体と
磁界検出素子の間の間隙よりも薄い板厚の基板上に強磁
性薄膜の磁界感知部を設けた磁界検出素子を基板側を磁
気媒体に向けて配置している。
に、本発明の磁気式ロータリエンコーダは、磁気媒体と
磁界検出素子の間の間隙よりも薄い板厚の基板上に強磁
性薄膜の磁界感知部を設けた磁界検出素子を基板側を磁
気媒体に向けて配置している。
【０００７】
【作用】本発明は前記した配置構成により、磁界検出素
子の基板自体が保護層をかねるので、極めて強靱な保護
層を簡単に得ることが可能となる。
子の基板自体が保護層をかねるので、極めて強靱な保護
層を簡単に得ることが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、その実施例を図面を参照して説明する
。
。
【０００９】図１は本発明の一実施例における磁気式ロ
ータリエンコーダの要部断面図である。ガラス，セラミ
ックス等の比較的薄い基板１１の上に蒸着，スパッタリ
ング等によりＮｉ−Ｆｅ，Ｎｉ−Ｃｏ等の強磁性薄膜を
数１００Å〜数１０００Åの膜厚で形成し、フォトリソ
グラフ技術を用いて磁界感知部２および配線端子部３が
形成されている。磁界感知部２と配線端子部３の一部に
スパッタリング等でＳｉＯ，ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３等の
無機酸化膜による保護層４を厚さ４〜５μｍ形成する。 配線端子部３には半田バンプ５処理が施してあり、プリ
ント配線板等との接続に使用する。
ータリエンコーダの要部断面図である。ガラス，セラミ
ックス等の比較的薄い基板１１の上に蒸着，スパッタリ
ング等によりＮｉ−Ｆｅ，Ｎｉ−Ｃｏ等の強磁性薄膜を
数１００Å〜数１０００Åの膜厚で形成し、フォトリソ
グラフ技術を用いて磁界感知部２および配線端子部３が
形成されている。磁界感知部２と配線端子部３の一部に
スパッタリング等でＳｉＯ，ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３等の
無機酸化膜による保護層４を厚さ４〜５μｍ形成する。 配線端子部３には半田バンプ５処理が施してあり、プリ
ント配線板等との接続に使用する。
【００１０】本発明の第１の特徴は基板１１が薄いこと
である。基板１１の厚みｔは磁気ロータ６と磁気感知部
２の間に設定される間隙寸法ｇ（図２）より薄くしてい
る。第２の特徴は基板１１が磁気ロータ６と対面する向
きに磁界検出素子を配置していることである。このこと
によって基板１１が素子の機械的な保護となり、強靱な
材質を使用して保護効果を高めるのが簡単にできる。一
方無機酸化膜による保護層４はごみや湿気等から素子を
守る機能さえあればよいので従来の１０分の１ほどの厚
さで充分であり、製造に要する時間は大幅に短縮される
。
である。基板１１の厚みｔは磁気ロータ６と磁気感知部
２の間に設定される間隙寸法ｇ（図２）より薄くしてい
る。第２の特徴は基板１１が磁気ロータ６と対面する向
きに磁界検出素子を配置していることである。このこと
によって基板１１が素子の機械的な保護となり、強靱な
材質を使用して保護効果を高めるのが簡単にできる。一
方無機酸化膜による保護層４はごみや湿気等から素子を
守る機能さえあればよいので従来の１０分の１ほどの厚
さで充分であり、製造に要する時間は大幅に短縮される
。
【００１１】また、信号を外部に取出す配線端子部３は
、基板１１を挟んで磁気ロータ６と反対側に位置するの
で、従来は近接設置される磁気ロータとの接触破損を避
けるために磁界感知部より距離をへだてて配置していた
が、その必要がなくなったので磁界感知部２の近傍に配
線端子部３を配置することが可能となり、磁界検出素子
全体をコンパクトにまとめることができる。さらに、図
１の上部にある回路（図示せず）に半田バンプ５を介し
て接続することも可能で、合理的な構成の磁気式ロータ
リエンコーダを得るものである。
、基板１１を挟んで磁気ロータ６と反対側に位置するの
で、従来は近接設置される磁気ロータとの接触破損を避
けるために磁界感知部より距離をへだてて配置していた
が、その必要がなくなったので磁界感知部２の近傍に配
線端子部３を配置することが可能となり、磁界検出素子
全体をコンパクトにまとめることができる。さらに、図
１の上部にある回路（図示せず）に半田バンプ５を介し
て接続することも可能で、合理的な構成の磁気式ロータ
リエンコーダを得るものである。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明の磁
気式ロータリエンコーダは、磁界検出素子の基板側を磁
気ドラムと対面させることによって、磁界検出素子の基
板自体が磁気媒体に対する機械的保護層を兼ねることか
ら強靱な保護が可能であり、また磁界感知部の保護層形
成が時間的に大幅短縮することができる。また、磁気セ
ンサの配線端子部が基板を介して磁気ロータとは背面側
に構成できるために、磁気ロータを避けるための配線パ
ターンを考慮する必要がなく、そのため平面サイズを小
さくすることが可能である。さらに、半田バンプを利用
してプリント配線基板上に表面実装して構成することが
できるため、従来のリード線引き回しによる接続に比し
て、実装密度を向上することができ、コンパクトな磁気
式ロータリエンコーダを得ることができる。
気式ロータリエンコーダは、磁界検出素子の基板側を磁
気ドラムと対面させることによって、磁界検出素子の基
板自体が磁気媒体に対する機械的保護層を兼ねることか
ら強靱な保護が可能であり、また磁界感知部の保護層形
成が時間的に大幅短縮することができる。また、磁気セ
ンサの配線端子部が基板を介して磁気ロータとは背面側
に構成できるために、磁気ロータを避けるための配線パ
ターンを考慮する必要がなく、そのため平面サイズを小
さくすることが可能である。さらに、半田バンプを利用
してプリント配線基板上に表面実装して構成することが
できるため、従来のリード線引き回しによる接続に比し
て、実装密度を向上することができ、コンパクトな磁気
式ロータリエンコーダを得ることができる。
【図１】本発明の磁気式ロータリエンコーダの一実施例
における要部断面図
における要部断面図
【図２】従来の磁気式ロータリエンコーダの要部断面図
２ 磁界感知部
６ 磁気ロータ
１１ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】薄い基板上に強磁性薄膜を固着形成するこ
とにより得られる磁界感知部を有する磁界検出素子と、
上記基板の裏面に上記磁界感知部と所定の間隙をへだて
て配置されている磁気ロータとを備えた磁気式ロータリ
エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8697891A JPH04319620A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 磁気式ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8697891A JPH04319620A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 磁気式ロータリエンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04319620A true JPH04319620A (ja) | 1992-11-10 |
Family
ID=13901965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8697891A Pending JPH04319620A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 磁気式ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04319620A (ja) |
-
1991
- 1991-04-18 JP JP8697891A patent/JPH04319620A/ja active Pending
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