JPS60211988A - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
- Publication number
- JPS60211988A JPS60211988A JP59067619A JP6761984A JPS60211988A JP S60211988 A JPS60211988 A JP S60211988A JP 59067619 A JP59067619 A JP 59067619A JP 6761984 A JP6761984 A JP 6761984A JP S60211988 A JPS60211988 A JP S60211988A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic resistance
- magnetoresistive element
- thermal expansion
- resistance elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は機械的保護のために表面を被覆した金属薄板が
、使用中の発熱によりふくれたりしないようにした磁気
抵抗素子に関する。
、使用中の発熱によりふくれたりしないようにした磁気
抵抗素子に関する。
回転体の回転軸に、ドラムまたはディスクを取り付け、
その円筒面または円盤面を、永久磁石材料の膜で被覆し
、この膜を着磁して形成した所謂磁気パターンによる磁
界を、このような磁気ドラムまたは磁気ディスクの面に
近接した固定個所に＼、配置した磁気抵抗素子により検
出して、回転体の回転状Ｙ３＜回転速度やその停止位置
、角度など）を知るようにした磁気回転センサが使用さ
れている。この場合、検出すべき磁界が必ずしも強くな
く、磁気抵抗素子の抵抗変化率も余り大きくはなく、さ
らには回転軸のふれなどもあって、磁気ドラムや磁気デ
ィスクなどの回転側と固定側の磁気抵抗素子との間隙は
、十分大きくすることが出来ず、精々数土ないし数百μ
ｍ程度である。そのため、磁気回転センサの取り付け、
調整の際などに、誤って、回転側の磁気ドラムや磁気デ
ィスクの面と、固定側の磁気抵抗素子の面とを接触させ
てしまうことがある。このような偶発事故による損傷を
防止するために磁気抵抗素子の表面を金属薄板で被覆す
ることが行われている。
その円筒面または円盤面を、永久磁石材料の膜で被覆し
、この膜を着磁して形成した所謂磁気パターンによる磁
界を、このような磁気ドラムまたは磁気ディスクの面に
近接した固定個所に＼、配置した磁気抵抗素子により検
出して、回転体の回転状Ｙ３＜回転速度やその停止位置
、角度など）を知るようにした磁気回転センサが使用さ
れている。この場合、検出すべき磁界が必ずしも強くな
く、磁気抵抗素子の抵抗変化率も余り大きくはなく、さ
らには回転軸のふれなどもあって、磁気ドラムや磁気デ
ィスクなどの回転側と固定側の磁気抵抗素子との間隙は
、十分大きくすることが出来ず、精々数土ないし数百μ
ｍ程度である。そのため、磁気回転センサの取り付け、
調整の際などに、誤って、回転側の磁気ドラムや磁気デ
ィスクの面と、固定側の磁気抵抗素子の面とを接触させ
てしまうことがある。このような偶発事故による損傷を
防止するために磁気抵抗素子の表面を金属薄板で被覆す
ることが行われている。
従来は、このための金属薄板として、非磁性、高電気抵
抗、取扱容易、かつ、価格的にも問題の無い材料として
ステンレス（たとえば５ＵＳ３０４）の薄板を、シリコ
ーン系樹脂によって貼り付けて用いていた。
抗、取扱容易、かつ、価格的にも問題の無い材料として
ステンレス（たとえば５ＵＳ３０４）の薄板を、シリコ
ーン系樹脂によって貼り付けて用いていた。
しかし、上記磁気抵抗素子の保護方法は、実際の使用中
に、保護用の金属薄板がふくれて来ると云う問題があっ
た。
に、保護用の金属薄板がふくれて来ると云う問題があっ
た。
本発明の目的は、機械的保護のために表面に貼った金属
薄板が、使用中にふくらまないようにした磁気抵抗素子
を提供することにある。
薄板が、使用中にふくらまないようにした磁気抵抗素子
を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、金属薄板
の熱膨張係数を磁気抵抗素子の熱膨張係数に合わせるこ
ととした。
の熱膨張係数を磁気抵抗素子の熱膨張係数に合わせるこ
ととした。
これは上記問題が生ずる原因が、磁気抵抗素子の抵抗体
たとえばパーマロイ薄膜を被着した基板ガラスの熱膨張
係数と、その表面の保護用ステンレス薄板の熱膨張係数
との相違が大きいためであることが判明したからである
。
たとえばパーマロイ薄膜を被着した基板ガラスの熱膨張
係数と、その表面の保護用ステンレス薄板の熱膨張係数
との相違が大きいためであることが判明したからである
。
以下、本発明を図面を用いてさらに詳細に説明する。
第１図は磁気ドラムと磁気抵抗素子を用いた磁気回転セ
ンサを示し、■は磁気ドラム、２は磁気抵抗素子、３は
磁気抵抗素子２全体を載せ、位置決めなどを行う取り付
は基板（磁気抵抗素子自体の基板とは別のもの）で、回
転する磁気ドラムの表面と固定された磁気抵抗素子の表
面との間隙は７０±３０μｍ程度しかない。このため、
磁気回転ドラムと磁気抵抗素子との相対位置決めを行う
時（調整時）や、回転中に生じた回転軸の僅かな曲がり
で、両者が接触してしまう場合が生ずるので、磁気抵抗
素子の表面に保護用の金属薄板を貼ることにしたのであ
る。また、このように、狭い間隙にしないと、磁気抵抗
素子のところに作用する磁界の強さが弱くなってしまう
ので、間隙を上記程度以上に広くすることはできないか
ら、従来のステンレス（ＳＵＳ３０４）以外の材料を用
いるにしても板厚は精々１０μ工程度のものしか用いら
れない。これに更に従来同様、その接着用に７μｍ程度
のシリコーン樹脂の層が必要となる。従来は板厚１０μ
ｍのステンレス薄板と厚さ７μｍのシリコーン樹脂層を
用い、磁気抵抗素子に５Ｖを印加して動作させた際、１
００℃に温度上昇し、保護用ステンレス薄板のふくれが
生した。次頁の第第１表 各種材料の熱膨張係数 １表に各種材料の熱膨張係数を示す。磁気抵抗素子の基
板材料として比較的高価な硼珪酸ガラスを用いているの
は、窓ガラスなどに広く用いられている軟質ガラス等は
ナトリウム（Ｎａ）を含み、水分を含む通常の雰囲気で
は次第にナトリウムが析出して来て磁気抵抗素子の寿命
に悪影響を及ぼす恐れがあったからである。第１表に示
すように、ステンレスの熱膨張係数は基板ガラスの熱膨
張係数の約３倍である。これに対し、タングステンやモ
リブデンの熱膨張係数は硼珪酸ガラスの熱膨張係数に近
い。本発明者は、熱膨張係数が近いこと、この種の薄板
が比較的安価に入手できることなどからモリブデンを磁
気抵抗素子の保護用金属薄板として使用することとした
。
ンサを示し、■は磁気ドラム、２は磁気抵抗素子、３は
磁気抵抗素子２全体を載せ、位置決めなどを行う取り付
は基板（磁気抵抗素子自体の基板とは別のもの）で、回
転する磁気ドラムの表面と固定された磁気抵抗素子の表
面との間隙は７０±３０μｍ程度しかない。このため、
磁気回転ドラムと磁気抵抗素子との相対位置決めを行う
時（調整時）や、回転中に生じた回転軸の僅かな曲がり
で、両者が接触してしまう場合が生ずるので、磁気抵抗
素子の表面に保護用の金属薄板を貼ることにしたのであ
る。また、このように、狭い間隙にしないと、磁気抵抗
素子のところに作用する磁界の強さが弱くなってしまう
ので、間隙を上記程度以上に広くすることはできないか
ら、従来のステンレス（ＳＵＳ３０４）以外の材料を用
いるにしても板厚は精々１０μ工程度のものしか用いら
れない。これに更に従来同様、その接着用に７μｍ程度
のシリコーン樹脂の層が必要となる。従来は板厚１０μ
ｍのステンレス薄板と厚さ７μｍのシリコーン樹脂層を
用い、磁気抵抗素子に５Ｖを印加して動作させた際、１
００℃に温度上昇し、保護用ステンレス薄板のふくれが
生した。次頁の第第１表 各種材料の熱膨張係数 １表に各種材料の熱膨張係数を示す。磁気抵抗素子の基
板材料として比較的高価な硼珪酸ガラスを用いているの
は、窓ガラスなどに広く用いられている軟質ガラス等は
ナトリウム（Ｎａ）を含み、水分を含む通常の雰囲気で
は次第にナトリウムが析出して来て磁気抵抗素子の寿命
に悪影響を及ぼす恐れがあったからである。第１表に示
すように、ステンレスの熱膨張係数は基板ガラスの熱膨
張係数の約３倍である。これに対し、タングステンやモ
リブデンの熱膨張係数は硼珪酸ガラスの熱膨張係数に近
い。本発明者は、熱膨張係数が近いこと、この種の薄板
が比較的安価に入手できることなどからモリブデンを磁
気抵抗素子の保護用金属薄板として使用することとした
。
第２図は本発明一実施例の平面図、第３図は其の側面図
である。図中、２は磁気抵抗素子、２ａは磁気抵抗素子
の硼珪酸ガラスよりなる基板、２ｂはガラス基板の上に
蒸着等により形成されたパーマロイ薄膜よりなり、磁界
の有無によって電気抵抗が変化する抵抗体（磁界検出に
用いる部分は細長くして電気抵抗を大きくし、それ以外
の導電部すなわち端子から磁界検出に用いる部分に至る
中間部等はなるべく広幅にして電気抵抗を小さくしであ
る）、３は磁気抵抗素子２全体を載せる素子取り付は基
板（通常アルミナセラミックスなどで作られている）、
４は本発明に係るモリブデンの板厚１０μｍ程度の薄板
よりなる保護板、５は磁気抵抗素子２を電源や抵抗測定
装置（一般に、通電しておいて、抵抗変化を電圧降下の
変化として捕捉する）に接続するフレキシブルケーブル
である。
である。図中、２は磁気抵抗素子、２ａは磁気抵抗素子
の硼珪酸ガラスよりなる基板、２ｂはガラス基板の上に
蒸着等により形成されたパーマロイ薄膜よりなり、磁界
の有無によって電気抵抗が変化する抵抗体（磁界検出に
用いる部分は細長くして電気抵抗を大きくし、それ以外
の導電部すなわち端子から磁界検出に用いる部分に至る
中間部等はなるべく広幅にして電気抵抗を小さくしであ
る）、３は磁気抵抗素子２全体を載せる素子取り付は基
板（通常アルミナセラミックスなどで作られている）、
４は本発明に係るモリブデンの板厚１０μｍ程度の薄板
よりなる保護板、５は磁気抵抗素子２を電源や抵抗測定
装置（一般に、通電しておいて、抵抗変化を電圧降下の
変化として捕捉する）に接続するフレキシブルケーブル
である。
このような磁気抵抗素子を実際に使用してみたが、長期
間にわたり保護用の金属薄板のふくれは生じなかった。
間にわたり保護用の金属薄板のふくれは生じなかった。
以上説明したように本発明によれば、機械的保護のため
の金属薄板の実使用中のふくれが生じな（なり、磁気抵
抗素子を長期間安定して使用できるようになった。
の金属薄板の実使用中のふくれが生じな（なり、磁気抵
抗素子を長期間安定して使用できるようになった。
第１図は磁気回転センサの概略側面図、第２図および第
３図は本発明の一実施例をを示す平面図および側面図で
ある。 １−磁気ドラム、 ２−磁気抵抗素子、 ２ａ−磁気抵
抗素子のガラス基板、 ２ｂ・−磁気抵抗素子のパーマ
ロイ薄膜よりなる抵抗体、 ３−取り付は基板、 ４一
本発明に係る保護板、 ５−第 １ 図
３図は本発明の一実施例をを示す平面図および側面図で
ある。 １−磁気ドラム、 ２−磁気抵抗素子、 ２ａ−磁気抵
抗素子のガラス基板、 ２ｂ・−磁気抵抗素子のパーマ
ロイ薄膜よりなる抵抗体、 ３−取り付は基板、 ４一
本発明に係る保護板、 ５−第 １ 図
Claims (1)
- 表面を機械的保護のために金属薄板で被覆した磁気抵抗
素子において、金属薄板の熱膨張係数を磁気抵抗素子の
熱膨張係数に合わせたことを特徴とする磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067619A JPS60211988A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59067619A JPS60211988A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | 磁気抵抗素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211988A true JPS60211988A (ja) | 1985-10-24 |
Family
ID=13350164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59067619A Pending JPS60211988A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211988A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734671B2 (en) | 2001-03-07 | 2004-05-11 | Denso Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59067619A patent/JPS60211988A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6734671B2 (en) | 2001-03-07 | 2004-05-11 | Denso Corporation | Magnetic sensor and manufacturing method therefor |
| US7078238B2 (en) | 2001-03-07 | 2006-07-18 | Denso Corporation | Method for manufacturing magnetic sensor |
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