JPH02103933A - エアによるワークの乾燥方法及び装置 - Google Patents
エアによるワークの乾燥方法及び装置Info
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- JPH02103933A JPH02103933A JP25761688A JP25761688A JPH02103933A JP H02103933 A JPH02103933 A JP H02103933A JP 25761688 A JP25761688 A JP 25761688A JP 25761688 A JP25761688 A JP 25761688A JP H02103933 A JPH02103933 A JP H02103933A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、IC、コンデンサ等のチップモールド部品や
その他の小形電子部品などを、水により洗浄したあとエ
アを用いて乾燥させる方法及びallに関するものであ
る。
その他の小形電子部品などを、水により洗浄したあとエ
アを用いて乾燥させる方法及びallに関するものであ
る。
[従来の技術]
従来、小形チップ部品などの各種機械部品や電気部品等
の精密洗浄の分野においては、一般に。
の精密洗浄の分野においては、一般に。
これらの部品を有機溶剤を使用して洗浄したあと、フロ
ン等の速乾性を持った有機溶剤中に浸漬し、その気化熱
によって乾燥させる方法が採られていた。
ン等の速乾性を持った有機溶剤中に浸漬し、その気化熱
によって乾燥させる方法が採られていた。
しかしながら、このような有機溶剤は液管理が非常に難
しく、環境汚染や乾燥後にワーク表面に有機溶剤の成分
が残留することなどが指摘されており、最近では、この
ような有機溶剤による乾燥法から、純水先用いた乾燥法
へと次第に移行して来ている。
しく、環境汚染や乾燥後にワーク表面に有機溶剤の成分
が残留することなどが指摘されており、最近では、この
ような有機溶剤による乾燥法から、純水先用いた乾燥法
へと次第に移行して来ている。
而して、純水を用いた乾燥においては、ワークを純水中
へ浸漬したあと1通常、赤外線ヒータ又は温風ヒータを
用いて乾燥されるが、いずれもワーク間あるいはワーク
と受皿などのワーク保持具との間に残った水滴に熱量が
及びにくいため、乾燥が不十分になり易く、それがじみ
の発生原因となっていた。更に、温風ヒータの場合は、
小形、軽量のワークが風により吹き飛ばされたり。
へ浸漬したあと1通常、赤外線ヒータ又は温風ヒータを
用いて乾燥されるが、いずれもワーク間あるいはワーク
と受皿などのワーク保持具との間に残った水滴に熱量が
及びにくいため、乾燥が不十分になり易く、それがじみ
の発生原因となっていた。更に、温風ヒータの場合は、
小形、軽量のワークが風により吹き飛ばされたり。
受皿上で転勤して互いに衝突し、傷を生じるなどの不都
合を生じ易いという欠点があった。
合を生じ易いという欠点があった。
[発明が解決しようとする課題]
本発明の課題は、エアによりワークを乾燥させる場合に
、どんなに小形、軽量のワークであっても、それを安定
的に保持した状態で確実に乾燥させることができる乾燥
方法及び装置を提供することにある。
、どんなに小形、軽量のワークであっても、それを安定
的に保持した状態で確実に乾燥させることができる乾燥
方法及び装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記課題を解決するため1本発明の乾燥方法は、水によ
り洗浄したワークをネー、ト状をなす保持具内に収容し
、該保持具を吸引ダクトの吸込口側に配置すると共に、
該吸込口を通じて吸引ダクト内にエアを吸引することに
より、該エアの吸引力によりワークを保持具内に保持さ
せながら乾燥させることを特徴とするものである。
り洗浄したワークをネー、ト状をなす保持具内に収容し
、該保持具を吸引ダクトの吸込口側に配置すると共に、
該吸込口を通じて吸引ダクト内にエアを吸引することに
より、該エアの吸引力によりワークを保持具内に保持さ
せながら乾燥させることを特徴とするものである。
また、本発明の乾燥装置は、水により洗浄したワークを
収容するためのネット状をなす保持具と、排気ポンプの
駆動により吸込口からエアを吸い込む吸引ダクトとを備
え、該吸引ダクトには、その吸込口に上記保持具を支持
させるための支持手段を設けると共に、吸い込んだエア
から水分を分離する気水分離ユニットと設けたことを特
徴とするものである。
収容するためのネット状をなす保持具と、排気ポンプの
駆動により吸込口からエアを吸い込む吸引ダクトとを備
え、該吸引ダクトには、その吸込口に上記保持具を支持
させるための支持手段を設けると共に、吸い込んだエア
から水分を分離する気水分離ユニットと設けたことを特
徴とするものである。
[実施例〕
以下、未発明を図面を参照しながら更に詳細に説明する
。
。
第1図は本発明に係る乾燥装置の第1実施例を示すもの
で、lは乾燥すべきワーク、2は該ワーク1を保持させ
るための保持具であるネット状の受皿、3は乾燥用の空
気流を発生させる吸引ダクトを示している。
で、lは乾燥すべきワーク、2は該ワーク1を保持させ
るための保持具であるネット状の受皿、3は乾燥用の空
気流を発生させる吸引ダクトを示している。
上記受皿2は、金属細線等の線材によって所定大きさの
網目を持つネット状に形成されたもので、ワーク1と線
材との接触面積をできるだけ小さくして接触部分への水
滴の残留や接触によるワークの汚染等を防止するために
、上記線材の太さは受皿として必要な強度を保ち得る範
囲内で可及的に小さくし、逆に網目の大きさは、ワーク
1が落下しない範囲内でできるだけ大きくしておくこと
が望ましい。
網目を持つネット状に形成されたもので、ワーク1と線
材との接触面積をできるだけ小さくして接触部分への水
滴の残留や接触によるワークの汚染等を防止するために
、上記線材の太さは受皿として必要な強度を保ち得る範
囲内で可及的に小さくし、逆に網目の大きさは、ワーク
1が落下しない範囲内でできるだけ大きくしておくこと
が望ましい。
また、上記吸引ダクト3は、鉛直部3aの先端に乾燥室
10に開口するやや先広がり状の吸込口4を有すると共
に、水平部3bの後方部分に該吸込口4を通じてエアを
吸引する排気ポンプ5を備え、且つ、該排気ポンプ5の
上流側に吸い込んだエアから水分を分離する気水分離ユ
ニット6を設けたもので、上記吸込口4には、受皿2を
水平に支持させるための支持手段7が設けられている。
10に開口するやや先広がり状の吸込口4を有すると共
に、水平部3bの後方部分に該吸込口4を通じてエアを
吸引する排気ポンプ5を備え、且つ、該排気ポンプ5の
上流側に吸い込んだエアから水分を分離する気水分離ユ
ニット6を設けたもので、上記吸込口4には、受皿2を
水平に支持させるための支持手段7が設けられている。
上記気水分離ユニット6は、吸引ダクト3を横断するよ
うに取り付けられたフィルタ8を備え、該フィルタ8に
よってエア中の水分を捕集するもので、捕集した水分を
バルブ8を通じて排出できるようになっている。
うに取り付けられたフィルタ8を備え、該フィルタ8に
よってエア中の水分を捕集するもので、捕集した水分を
バルブ8を通じて排出できるようになっている。
上記構成を有する乾燥装置において、純水により洗浄さ
れたワーク1が受皿2上に載置され、該受皿2が吸引ダ
クト3の吸込口4の支持手段7上に配置されると、排気
ポンプ5によりエアが吸込口4から吸引ダクト3内に吸
引され、このエアによって受皿2上のワークlに付着し
た水分が除去されるため、該ワークlは乾燥する。
れたワーク1が受皿2上に載置され、該受皿2が吸引ダ
クト3の吸込口4の支持手段7上に配置されると、排気
ポンプ5によりエアが吸込口4から吸引ダクト3内に吸
引され、このエアによって受皿2上のワークlに付着し
た水分が除去されるため、該ワークlは乾燥する。
このとき、ワークlは、受皿2の網目を通じて吸引ダク
ト3に吸い込まれるエアの吸引力によって該受皿2上に
押し付けられ、不動状態に保持されるため、該ワークl
がどのように小形、軽量であっても、それがエフによっ
て吹き飛ばされたり受皿上を転勤して互いに衝突し、傷
を生じるようなことはない、しかも、乾燥速度を高める
ためにエアの風速及び風量を大きくしても、それに伴っ
て吸引力即ちワークIを受皿2へ押し付ける力が増大す
るため、該ワークlは一層安定的に保持されることにな
る。
ト3に吸い込まれるエアの吸引力によって該受皿2上に
押し付けられ、不動状態に保持されるため、該ワークl
がどのように小形、軽量であっても、それがエフによっ
て吹き飛ばされたり受皿上を転勤して互いに衝突し、傷
を生じるようなことはない、しかも、乾燥速度を高める
ためにエアの風速及び風量を大きくしても、それに伴っ
て吸引力即ちワークIを受皿2へ押し付ける力が増大す
るため、該ワークlは一層安定的に保持されることにな
る。
また、エアと共に吸引ダクト3内に吸い込まれた水分は
、該エアがフィルタ8を通過する時に分離され、バルブ
8を通じて排出される。
、該エアがフィルタ8を通過する時に分離され、バルブ
8を通じて排出される。
なお、上記吸引ダクト3の吸込口4は適宜の温風発生機
に接続することができ、これにより、ワークlを温風乾
燥させることができる。
に接続することができ、これにより、ワークlを温風乾
燥させることができる。
第2rI!Jは本発明の第2実施例を示すもので、この
実施例においては、ワークの保持具であるネット状の籠
12内に多数の棒状のワーク11を立設状態に収容し、
この1112を吸引ダク)13の吸込口14のやや内方
に嵌装した状態で排気ポンプ15を駆動することにより
エアを吸引し、上記ワーク11を乾燥するように構成さ
れている。
実施例においては、ワークの保持具であるネット状の籠
12内に多数の棒状のワーク11を立設状態に収容し、
この1112を吸引ダク)13の吸込口14のやや内方
に嵌装した状態で排気ポンプ15を駆動することにより
エアを吸引し、上記ワーク11を乾燥するように構成さ
れている。
なお5本発明は、純水だけでなく、市水や工業用水等で
洗浄したワークの乾燥にも適用できることはいうまでも
ない。
洗浄したワークの乾燥にも適用できることはいうまでも
ない。
[発明の効果]
このように、本発明によれば、ワークをネット状をなす
保持具内に収容し、該保持具を通じてエアを吸引するこ
とによりその乾燥を行うようにしたので、該ワークは、
エアの吸引力によって保持具内に不動状態に保持され、
その状態で乾燥されることになり、そのため、どのよう
に小形、軽量のワークであっても、或はどのように風速
や風量を大きくしても、該エアによってワークが吹き飛
ばされたり保持具内で転勤して互いに衝突し、傷を生じ
るようなことがなく、該ワークを確実且つ安全に乾燥さ
せることができる。
保持具内に収容し、該保持具を通じてエアを吸引するこ
とによりその乾燥を行うようにしたので、該ワークは、
エアの吸引力によって保持具内に不動状態に保持され、
その状態で乾燥されることになり、そのため、どのよう
に小形、軽量のワークであっても、或はどのように風速
や風量を大きくしても、該エアによってワークが吹き飛
ばされたり保持具内で転勤して互いに衝突し、傷を生じ
るようなことがなく、該ワークを確実且つ安全に乾燥さ
せることができる。
また、エアの吸引力をワークの保持に利用しているので
、該ワークを不動状態に保持するための手段を保持具に
設ける必要がなく、しかも、乾燥速度を速めるためにエ
アの風速や風量等を大きくしても、それに伴って吸引力
が増大するため。
、該ワークを不動状態に保持するための手段を保持具に
設ける必要がなく、しかも、乾燥速度を速めるためにエ
アの風速や風量等を大きくしても、それに伴って吸引力
が増大するため。
ワークはより一層安定的に保持されることになり、従っ
て、風速や風量゛のコントロールが非常に容易である。
て、風速や風量゛のコントロールが非常に容易である。
第1図は本発明に係る乾燥装置の第1実施例を示す断面
図、第2図は同第2実施例を示す断面図である。 1.11◆−ワーク、 2.12◆番受皿、
3.13・・吸引ダク)、 4.14・ψ吸込口
。 5.15・・排気ポンプ、 G・・気水分離ユニット、 支持手段。 第 図 A 第 図
図、第2図は同第2実施例を示す断面図である。 1.11◆−ワーク、 2.12◆番受皿、
3.13・・吸引ダク)、 4.14・ψ吸込口
。 5.15・・排気ポンプ、 G・・気水分離ユニット、 支持手段。 第 図 A 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、水により洗浄したワークをネット状をなす保持具内
に収容し、該保持具を吸引ダクトの吸込口側に配置する
と共に、該吸込口を通じて吸引ダクト内にエアを吸引す
ることにより、該エアの吸引力によりワークを保持具内
に保持させながら乾燥させることを特徴とするエアによ
るワークの乾燥方法。 2、水により洗浄したワークを収容するためのネット状
をなす保持具と、排気ポンプの駆動により吸込口からエ
アを吸い込む吸引ダクトとを備え、該吸引ダクトには、
その吸込口に上記保持具を支持させるための支持手段を
設けると共に、吸い込んだエアから水分を分離する気水
分離ユニットと設けたことを特徴とするエアによるワー
クの乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63257616A JP2781851B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | エアによるワークの乾燥方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63257616A JP2781851B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | エアによるワークの乾燥方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02103933A true JPH02103933A (ja) | 1990-04-17 |
JP2781851B2 JP2781851B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=17308736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63257616A Expired - Fee Related JP2781851B2 (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | エアによるワークの乾燥方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2781851B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4332857A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterreinigungsvorrichtung |
CN102072614A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-05-25 | 苏州普锐晶科技有限公司 | 吸引干燥在频率片清洗干燥工程的应用 |
JP2013169474A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 異物除去方法、異物除去装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50148570A (ja) * | 1974-05-25 | 1975-11-28 | ||
JPS59104534U (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-13 | 黒谷 巌 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
JPS6199682U (ja) * | 1984-12-05 | 1986-06-25 | ||
JPS61176974U (ja) * | 1985-04-22 | 1986-11-05 | ||
JPS62149137A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-07-03 | Tomuko:Kk | 乾燥装置 |
JPS63119240A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Toshiba Corp | 半導体基板処理装置 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP63257616A patent/JP2781851B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|---|
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DE4332857C2 (de) * | 1992-09-25 | 1999-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterreinigungsvorrichtung |
CN102072614A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-05-25 | 苏州普锐晶科技有限公司 | 吸引干燥在频率片清洗干燥工程的应用 |
JP2013169474A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | 異物除去方法、異物除去装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2781851B2 (ja) | 1998-07-30 |
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