JPS59104534U - シリコンウエハ等の水切乾燥装置 - Google Patents
シリコンウエハ等の水切乾燥装置Info
- Publication number
- JPS59104534U JPS59104534U JP20142082U JP20142082U JPS59104534U JP S59104534 U JPS59104534 U JP S59104534U JP 20142082 U JP20142082 U JP 20142082U JP 20142082 U JP20142082 U JP 20142082U JP S59104534 U JPS59104534 U JP S59104534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- utility
- silicon wafers
- exhaust port
- model registration
- draining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一例による水切乾燥装置の斜視図、第
２図はその一部の斜視図、第３図はその部分の縦断面図
、そして第４図は他の実施例を示す第３図に類似の断面
図である。 図中、１・・・・・・ロータ、２・・・・・・ケーシン
グ、６・・・・・・排気口、７・・・・・・ダンパー、
１０・・・・・・縮流部材。
２図はその一部の斜視図、第３図はその部分の縦断面図
、そして第４図は他の実施例を示す第３図に類似の断面
図である。 図中、１・・・・・・ロータ、２・・・・・・ケーシン
グ、６・・・・・・排気口、７・・・・・・ダンパー、
１０・・・・・・縮流部材。
Claims (4)
- （１）水切乾燥すべきシリコンウェハ等を支持するロー
タを包囲するケーシングの周壁の適宜位置に排気口が在
る水切乾燥装置において、前記排気口を含む排気通路の
適宜位置には前記通路の断面の少なくとも上半分の面積
を塞ぐ縮流部材が設けられていることを特徴とするシリ
コンウェハ等の水切乾燥装置。 - （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装置にお
いて、前記縮流部材は前記通路の断面におい上からほぼ
３分の２の面積を塞ぐシリコンウェハ等の水切乾燥装置
。 - （３） 実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装置
において、前記縮流部材は前記排気口に設けられている
シリコンウェハ等の水切乾燥装置。 - （４）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の装置にお
いて、前記縮流部材は前記排気口に取付けられたダンパ
ーに設けられているシリコンウェハ等の水切乾燥装置。 、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20142082U JPS59104534U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20142082U JPS59104534U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104534U true JPS59104534U (ja) | 1984-07-13 |
Family
ID=30426919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20142082U Pending JPS59104534U (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104534U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103933A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-17 | Supiide Fuamu Clean Syst Kk | エアによるワークの乾燥方法及び装置 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP20142082U patent/JPS59104534U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103933A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-17 | Supiide Fuamu Clean Syst Kk | エアによるワークの乾燥方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59104534U (ja) | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 | |
| JPS594633U (ja) | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 | |
| JPS60181026U (ja) | 半導体材料の水切乾燥装置 | |
| JPS59101190U (ja) | 水切乾燥装置の上蓋 | |
| JPS58150354U (ja) | スタ−タの排水装置 | |
| JPS5887098U (ja) | 大豆の循環式乾燥装置 | |
| JPS6090833U (ja) | 半導体材料の水切乾燥装置 | |
| JPS6073231U (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPS59185591U (ja) | 水切乾燥装置 | |
| JPS59133182U (ja) | 洗濯機の排水装置 | |
| JPS6013218U (ja) | エア−フイルタ−装置 | |
| JPS58160985U (ja) | 排水ます | |
| JPS59185592U (ja) | 水切乾燥装置 | |
| JPS58102121U (ja) | 空気調和機 | |
| JPS6067126U (ja) | 除湿装置 | |
| JPS6027239U (ja) | 排気筒のドレン処理装置 | |
| JPS58129885U (ja) | 温風暖房機付洗面台 | |
| JPS5969232U (ja) | 水田排水用サイフオン装置 | |
| JPS617028U (ja) | 半導体材料の水切乾燥装置 | |
| JPS5998643U (ja) | 回転形乾燥機 | |
| JPS5922923U (ja) | 排気管装置 | |
| JPS58123970U (ja) | 水抜弁 | |
| JPS5967189U (ja) | 洗濯機 | |
| JPS58181750U (ja) | 階上床開口部の構造 | |
| JPS6035722U (ja) | 油中不純物除去装置 |