JPH0178167U - - Google Patents
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- JPH0178167U JPH0178167U JP1987172285U JP17228587U JPH0178167U JP H0178167 U JPH0178167 U JP H0178167U JP 1987172285 U JP1987172285 U JP 1987172285U JP 17228587 U JP17228587 U JP 17228587U JP H0178167 U JPH0178167 U JP H0178167U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid
- ion beam
- ion source
- ion
- section
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案イオン源のグリツドの一実施例
を示す断面図、第２図は本考案に係るイオンビー
ムエツチング装置の一例を示す説明図、３図ａ，
ｂはそれぞれ従来のイオン源のグリツド部の一例
を示す正面図及びその断面図、第４図ａ，ｂは第
３図ｂにおけるＡ部及びＢ部の詳細断面図である
。 １…孔、２…絶縁板、２３…グリツド、２５…
サプレツサグリツド、１３…エツチング室、１４
…試料、１５…試料保持部、１６…イオンビーム
、１７…中和フイラメント、１９…陽極部、２０
…陰極部、２１…ガス入口、２２…イオンビーム
発生室。
を示す断面図、第２図は本考案に係るイオンビー
ムエツチング装置の一例を示す説明図、３図ａ，
ｂはそれぞれ従来のイオン源のグリツド部の一例
を示す正面図及びその断面図、第４図ａ，ｂは第
３図ｂにおけるＡ部及びＢ部の詳細断面図である
。 １…孔、２…絶縁板、２３…グリツド、２５…
サプレツサグリツド、１３…エツチング室、１４
…試料、１５…試料保持部、１６…イオンビーム
、１７…中和フイラメント、１９…陽極部、２０
…陰極部、２１…ガス入口、２２…イオンビーム
発生室。
Claims (1)
- ガス入口２１を有するイオンビーム発生室２２
内に、陽極部１９と、陰極部２０と、この陰極部
２０の前方に加速グリツド２６とサプレツサグリ
ツド２５により形成されたグリツド２３とを配置
してイオン源を構成し、ガス入口２１よりガスを
導入し、陽極部１９と陰極部２０間に電圧を加え
て放電を行い、この放電により生じたガスプラズ
マから上記グリツド２３及びエツチング室１３内
の中和フイラメント１７を通してイオンビームを
取出し、試料１４に当てて物理的にエツチングを
行うイオンビームエツチング装置において、イオ
ン源の一構成部品であるグリツド２３は無数の孔
１を有する絶縁板２の両面にエツチングされにく
い導電材よりなる加速グリツド２６とサプレツサ
グリツド２５を添設してなるものとしたイオンビ
ームエツチング装置のイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172285U JPH0178167U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987172285U JPH0178167U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0178167U true JPH0178167U (ja) | 1989-05-25 |
Family
ID=31464262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987172285U Pending JPH0178167U (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0178167U (ja) |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP1987172285U patent/JPH0178167U/ja active Pending
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