JPS642070U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS642070U JPS642070U JP9509687U JP9509687U JPS642070U JP S642070 U JPS642070 U JP S642070U JP 9509687 U JP9509687 U JP 9509687U JP 9509687 U JP9509687 U JP 9509687U JP S642070 U JPS642070 U JP S642070U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma generation
- generation chamber
- sample
- grid electrode
- chamber side
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案に係るエツチング装置の模式的
断面図、第２図は同じくグリツド電極の部分拡大
断面図、第３図は本考案の他のグリツド電極の部
分拡大断面図、第４図は従来装置の模式的断面図
である。 １……プラズマ生成室、２……導波管、３……
試料室、４……励磁コイル、５……グリツド電極
、５ａ……金属板、５ｂ……孔、６……真空ポン
プ、７……載置台。
断面図、第２図は同じくグリツド電極の部分拡大
断面図、第３図は本考案の他のグリツド電極の部
分拡大断面図、第４図は従来装置の模式的断面図
である。 １……プラズマ生成室、２……導波管、３……
試料室、４……励磁コイル、５……グリツド電極
、５ａ……金属板、５ｂ……孔、６……真空ポン
プ、７……載置台。
Claims (1)
- 電子サイクロトロン共鳴励起を利用してプラズ
マを発生させる共振空洞をなすプラズマ生成室と
、試料を配置する試料室と、前記両室の間にあつ
て前記プラズマ生成室中のエツチングイオンを試
料室側に導くべく多孔板状のグリツド電極を有す
るイオン引出窓とを備えたエツチング装置におい
て、前記グリツド電極を構成する多孔板の各孔は
その軸長方向の中間部又は前記試料室側からプラ
ズマ生成室側に向けて拡開形成されていることを
特徴とするエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9509687U JPS642070U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9509687U JPS642070U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS642070U true JPS642070U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=30959238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9509687U Pending JPS642070U (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS642070U (ja) |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP9509687U patent/JPS642070U/ja active Pending