JPH0324249U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0324249U JPH0324249U JP8431289U JP8431289U JPH0324249U JP H0324249 U JPH0324249 U JP H0324249U JP 8431289 U JP8431289 U JP 8431289U JP 8431289 U JP8431289 U JP 8431289U JP H0324249 U JPH0324249 U JP H0324249U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- sample stage
- container
- plasma generation
- electrically conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン注入装置
の基本的な構成を示す概念図、第２図はその一部
の構成を拡大して示す断面図、第３図はこの考案
の他の実施例の一部の構成を拡大して示す断面図
、第４図は本件考案者らの実験結果を示す図、第
５図は従来技術を示す概念図、第６図はその一部
の構成を拡大して示す断面図である。 １……プラズマ生成容器、７……絶縁碍子、８
……真空チヤンバ（導電性容器）、１１……試料
台、１２……試料。
の基本的な構成を示す概念図、第２図はその一部
の構成を拡大して示す断面図、第３図はこの考案
の他の実施例の一部の構成を拡大して示す断面図
、第４図は本件考案者らの実験結果を示す図、第
５図は従来技術を示す概念図、第６図はその一部
の構成を拡大して示す断面図である。 １……プラズマ生成容器、７……絶縁碍子、８
……真空チヤンバ（導電性容器）、１１……試料
台、１２……試料。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 プラズマが生成されるプラズマ生成容器と、 このプラズマ生成容器との間に印加した電位差
によつて前記プラズマ中のイオンが加速されて導
かれる試料台と、 前記プラズマ生成容器の開口部の周囲から前記
試料台方向に向かつて延びた筒状の絶縁碍子と、 この絶縁碍子に関して前記プラズマ生成容器と
は反対側に配置され、前記絶縁碍子とともに前記
試料台が配設された空間を囲み、前記試料台と等
しい電位を与えた導電性容器とを備え、 前記試料台を、そのプラズマ生成容器側の表面
が、前記導電性容器の絶縁碍子側の端部に位置す
るかまたは絶縁碍子側端部よりも前記プラズマ生
成容器側に位置するように配置したイオン注入装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8431289U JPH0324249U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8431289U JPH0324249U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324249U true JPH0324249U (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=31632696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8431289U Pending JPH0324249U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0324249U (ja) |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP8431289U patent/JPH0324249U/ja active Pending
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