JPH0281038U - - Google Patents
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- JPH0281038U JPH0281038U JP15950388U JP15950388U JPH0281038U JP H0281038 U JPH0281038 U JP H0281038U JP 15950388 U JP15950388 U JP 15950388U JP 15950388 U JP15950388 U JP 15950388U JP H0281038 U JPH0281038 U JP H0281038U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing apparatus
- heating element
- transparent
- cover body
- base material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 3
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例のプラズマ処理装置
の装置構成図、第2図は第1図のカバーの断面図
、第3図は第1図のカバーの上部からの外観図、
第4図は第3図におけるAよりのカバーの外観図
、第5図は第3図におけるBよりのカバーの外観
図である。 1……処理室、2,3……電極、4……高周波
電源、5……ウエハ、6……カバー、7……電流
導入端子、8……母材、9……透明導電体、10
……電極、11……透明絶縁体、12……窓、1
3……モノクロメータ。
の装置構成図、第2図は第1図のカバーの断面図
、第3図は第1図のカバーの上部からの外観図、
第4図は第3図におけるAよりのカバーの外観図
、第5図は第3図におけるBよりのカバーの外観
図である。 1……処理室、2,3……電極、4……高周波
電源、5……ウエハ、6……カバー、7……電流
導入端子、8……母材、9……透明導電体、10
……電極、11……透明絶縁体、12……窓、1
3……モノクロメータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 真空下でプラズマを利用して試料を処理する
プラズマ処理装置において、真空室内の内壁面を
プラズマ雰囲気から隔離するカバー体を設け、該
カバー体はその母材が透明材料から成り、その母
材の表面に透明導電膜から成る発熱体を設けたこ
とを特徴とするプラズマ処理装置。 2 前記カバー体は、透明材料からなる母材に透
明導電膜から成る発熱体を設け、該発熱体に透明
絶縁膜を設けた第1請求項に記載のプラズマ処理
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15950388U JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15950388U JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0281038U true JPH0281038U (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=31440774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15950388U Pending JPH0281038U (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0281038U (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP15950388U patent/JPH0281038U/ja active Pending
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