JPH04750U - - Google Patents
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- JPH04750U JPH04750U JP4010990U JP4010990U JPH04750U JP H04750 U JPH04750 U JP H04750U JP 4010990 U JP4010990 U JP 4010990U JP 4010990 U JP4010990 U JP 4010990U JP H04750 U JPH04750 U JP H04750U
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- JP
- Japan
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- susceptor
- conductive
- pass filter
- insulating film
- low
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
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- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図
は本考案の実施例の装置の電気回路構成図である
。 符合の説明、１……加工対象物、２……薄い絶
縁膜、３……導電性物質、４……ヒータ、６……
反射板。
は本考案の実施例の装置の電気回路構成図である
。 符合の説明、１……加工対象物、２……薄い絶
縁膜、３……導電性物質、４……ヒータ、６……
反射板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空装置で用いるサセプタにおいて、薄い
絶縁膜、導電性物体、絶縁物で被われたヒータが
順次積み重なつた構造とし、中間の導電性物体は
キヤパシタンスを介してＲＦ電源に継がつており
、かつ、ローパスフイルターを介して加工、対象
物の裏面との間にＤと電位を印加できる構造を有
するサセプタ。 (2) 上記の薄い絶縁膜がＡｌ２Ｏ３，ＡｌＮ，
ＳｉＯ２，Ｓｉ３Ｎ４であり、導電性物体が高融
点金属、導電性セラミツクであることを特徴とす
る請求項(1)記載のサセプタ。 (3) 上記ヒータを被つている絶縁物が熱線を透
過しやすい万英等であることを特徴とする請求項
(1)記載のサセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010990U JPH04750U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010990U JPH04750U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04750U true JPH04750U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31549612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4010990U Pending JPH04750U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04750U (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP4010990U patent/JPH04750U/ja active Pending
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