JPS63140719U - - Google Patents
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- JPS63140719U JPS63140719U JP3283387U JP3283387U JPS63140719U JP S63140719 U JPS63140719 U JP S63140719U JP 3283387 U JP3283387 U JP 3283387U JP 3283387 U JP3283387 U JP 3283387U JP S63140719 U JPS63140719 U JP S63140719U
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- JP
- Japan
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- view
- sectional
- crystal
- electrodes
- crystal piece
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- Granted
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
第1図乃至第3図は本考案の一実施例を説明す
る図で、第1図aは水晶片の平面図、同図bは基
礎電極形成後のa―a′断面図、同図cは周波数
調整後の同断面図、同図dは同図cの点線枠イで
示す拡大図、第2図は保持組立て後の水晶振動子
の正断面図、第3図aはイオンエツチングの一部
構成図、同図bは同図aの作用を説明する側面図
である。第4図、第5図は本考案の他の実施例を
説明する図で、第4図は水晶片の周波数調整後の
断面図、第5図はイオンエツチングの一部構成図
である。第6図、第7図は従来例を説明する水晶
振動子の図で、第6図aは水晶片の図、同図bは
b―こ′断面図、第7図は蒸着による周波数調整
後の水晶片の平面図である。 1……水晶片、2a,2b……引き出し電極、
3a,3b……基礎電極、4……調整膜、5……
ベース、6……サポータ、7……陰極板、8……
陽極板、9……搬送台、10……端子孔、11…
…端子、12……イオンガン。
る図で、第1図aは水晶片の平面図、同図bは基
礎電極形成後のa―a′断面図、同図cは周波数
調整後の同断面図、同図dは同図cの点線枠イで
示す拡大図、第2図は保持組立て後の水晶振動子
の正断面図、第3図aはイオンエツチングの一部
構成図、同図bは同図aの作用を説明する側面図
である。第4図、第5図は本考案の他の実施例を
説明する図で、第4図は水晶片の周波数調整後の
断面図、第5図はイオンエツチングの一部構成図
である。第6図、第7図は従来例を説明する水晶
振動子の図で、第6図aは水晶片の図、同図bは
b―こ′断面図、第7図は蒸着による周波数調整
後の水晶片の平面図である。 1……水晶片、2a,2b……引き出し電極、
3a,3b……基礎電極、4……調整膜、5……
ベース、6……サポータ、7……陰極板、8……
陽極板、9……搬送台、10……端子孔、11…
…端子、12……イオンガン。
Claims (1)
- 圧電片の両主面に電極を形成した圧電振動子に
おいて、前記電極の少なくとも一方の電極表面に
ガスイオンを照射して質量を減じ、周波数調整を
したことを特徴する圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987032833U JP2533633Y2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Atカット水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987032833U JP2533633Y2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Atカット水晶振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63140719U true JPS63140719U (ja) | 1988-09-16 |
JP2533633Y2 JP2533633Y2 (ja) | 1997-04-23 |
Family
ID=30839882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987032833U Expired - Lifetime JP2533633Y2 (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Atカット水晶振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2533633Y2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1987
- 1987-03-06 JP JP1987032833U patent/JP2533633Y2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2533633Y2 (ja) | 1997-04-23 |