JPH0151071B2 - - Google Patents
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- JPH0151071B2 JPH0151071B2 JP19246281A JP19246281A JPH0151071B2 JP H0151071 B2 JPH0151071 B2 JP H0151071B2 JP 19246281 A JP19246281 A JP 19246281A JP 19246281 A JP19246281 A JP 19246281A JP H0151071 B2 JPH0151071 B2 JP H0151071B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/12—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof structurally associated with, e.g. formed in or on a common substrate with, one or more electric light sources, e.g. electroluminescent light sources, and electrically or optically coupled thereto
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は反射型光結合半導体装置の製造方法に
係り、特に製造工程が簡易で原価の低減可能な反
射型光結合半導体装置の製造方法に関する。
係り、特に製造工程が簡易で原価の低減可能な反
射型光結合半導体装置の製造方法に関する。
反射型光結合半導体装置は、発光素子部と受光
素子部とをその主発光面および主受光面が同一方
向を向くように配置し、発光素子から発した光が
その前面にあるカードなどの被検出物により反射
した光を受光素子で検出することにより、被検出
物の識別を行うのに便利なものである。
素子部とをその主発光面および主受光面が同一方
向を向くように配置し、発光素子から発した光が
その前面にあるカードなどの被検出物により反射
した光を受光素子で検出することにより、被検出
物の識別を行うのに便利なものである。
従来における反射型光結合半導体装置の製造方
法としては、大別して次の三種類のものがある。
即ち第一の方法は、発光素子部および受光素子部
を発光ペレツトおよび受光ペレツトがヘツダの底
部に位置するようにそれぞれ別個に形成して外囲
器内に挿入固着して形成するものであり、第二の
方法は、例えば4ピンのTO−72ヘツダに発光ペ
レツト、受光ペレツトを積載してボンデイングし
た後遮へい板を有する外囲器をTO−72ヘツダに
挿入固着して、内部に透明樹脂を充填して形成す
るものであり、第三の方法は第1図にその断面図
で示すように発光ペレツトの発光波長に対し不透
明なセラミツクなどでヘツダ部11、遮光壁部1
2、外囲器部13を一体に形成してリード線14
を固着したステム1に発光ペレツト21、受光ペ
レツト31を積載し、ボンデイングした後に凹部
15に透明樹脂4を充填固着して形成するもので
ある。
法としては、大別して次の三種類のものがある。
即ち第一の方法は、発光素子部および受光素子部
を発光ペレツトおよび受光ペレツトがヘツダの底
部に位置するようにそれぞれ別個に形成して外囲
器内に挿入固着して形成するものであり、第二の
方法は、例えば4ピンのTO−72ヘツダに発光ペ
レツト、受光ペレツトを積載してボンデイングし
た後遮へい板を有する外囲器をTO−72ヘツダに
挿入固着して、内部に透明樹脂を充填して形成す
るものであり、第三の方法は第1図にその断面図
で示すように発光ペレツトの発光波長に対し不透
明なセラミツクなどでヘツダ部11、遮光壁部1
2、外囲器部13を一体に形成してリード線14
を固着したステム1に発光ペレツト21、受光ペ
レツト31を積載し、ボンデイングした後に凹部
15に透明樹脂4を充填固着して形成するもので
ある。
しかしながら前述した第一の方法では発光素子
部、受光素子部を別々に形成した後、ケースに挿
入固着しなければならないため製造工程数が多
く、原価が高くなると共に小型のものを製造する
ことは難かしく、特殊な用途のものにしか利用で
きないという欠点がある。また、第二の方法では
発光ペレツトからの光が受光ペレツトに直達しな
いようにする遮光壁と外囲器とを後からヘツダに
固着しなければならないため遮光が完全でなく品
質が一定しないことおよび遮光壁や外囲器部での
樹脂の剥離ひいては内部配線の断線など信頼性が
悪く、また大きさもTO−72ヘツダなどにより限
定され小型のものを作ることが難しいという欠点
がある。また、第三の方法ではヘツダ部分11と
遮光壁12、外囲器13を一体に形成しているた
めに遮光特性は非常に良好で、しかもステム1は
金型などにより形成できるため非常に小型化で
き、改善はされているが、材料にセラミツクなど
を使用しているためステムが高価であること、更
には小さなステム1の凹部15にペレツトを積載
してボンデイングしなければならないため作業性
が悪く、自動化が困難で比較的高価なものとなる
欠点があつた。
部、受光素子部を別々に形成した後、ケースに挿
入固着しなければならないため製造工程数が多
く、原価が高くなると共に小型のものを製造する
ことは難かしく、特殊な用途のものにしか利用で
きないという欠点がある。また、第二の方法では
発光ペレツトからの光が受光ペレツトに直達しな
いようにする遮光壁と外囲器とを後からヘツダに
固着しなければならないため遮光が完全でなく品
質が一定しないことおよび遮光壁や外囲器部での
樹脂の剥離ひいては内部配線の断線など信頼性が
悪く、また大きさもTO−72ヘツダなどにより限
定され小型のものを作ることが難しいという欠点
がある。また、第三の方法ではヘツダ部分11と
遮光壁12、外囲器13を一体に形成しているた
めに遮光特性は非常に良好で、しかもステム1は
金型などにより形成できるため非常に小型化で
き、改善はされているが、材料にセラミツクなど
を使用しているためステムが高価であること、更
には小さなステム1の凹部15にペレツトを積載
してボンデイングしなければならないため作業性
が悪く、自動化が困難で比較的高価なものとなる
欠点があつた。
一方、近年この種の反射型光結合半導体装置
は、テープレコーダのモータ回転の検知など種々
の民生機器に利用されるようになり、一層の原価
低減および小型化が要求されるに至り、リードフ
レームを利用したトランスフアモールドなどによ
り製造する方法が検討されている。しかし通常の
半導体装置のモールドの場合と異なり、外部に光
を発し、さらに反射光を受光するための発光面お
よび受光面には不透明樹脂が付着しないようにモ
ールドしなければならないため、通常のモールド
方法では金型の隙間から浸み込み、発光面および
受光面に不透明な薄い被膜ができて特性が劣化し
てしまう難点があり、実用的ではなかつた。
は、テープレコーダのモータ回転の検知など種々
の民生機器に利用されるようになり、一層の原価
低減および小型化が要求されるに至り、リードフ
レームを利用したトランスフアモールドなどによ
り製造する方法が検討されている。しかし通常の
半導体装置のモールドの場合と異なり、外部に光
を発し、さらに反射光を受光するための発光面お
よび受光面には不透明樹脂が付着しないようにモ
ールドしなければならないため、通常のモールド
方法では金型の隙間から浸み込み、発光面および
受光面に不透明な薄い被膜ができて特性が劣化し
てしまう難点があり、実用的ではなかつた。
本発明はこのような従来技術の欠点に鑑み、金
属細条を利用して透明樹脂および不透明樹脂で二
重モールドするだけで特性の劣化しない反射型光
結合半導体装置の製造方法を提供するもので、具
体的には金属細条に発光ペレツトおよび受光ペレ
ツトを積載し、ボンデイングした後、発光波長に
対して透明な樹脂で発光素子部および受光素子部
を別々にモールドし、その透明樹脂の具備する弾
性を利用して金型の上型と下型とにより発光面と
受光面をシールし、その他の周囲に不透明樹脂を
充填固着してモールドすることにより形成するも
のである。
属細条を利用して透明樹脂および不透明樹脂で二
重モールドするだけで特性の劣化しない反射型光
結合半導体装置の製造方法を提供するもので、具
体的には金属細条に発光ペレツトおよび受光ペレ
ツトを積載し、ボンデイングした後、発光波長に
対して透明な樹脂で発光素子部および受光素子部
を別々にモールドし、その透明樹脂の具備する弾
性を利用して金型の上型と下型とにより発光面と
受光面をシールし、その他の周囲に不透明樹脂を
充填固着してモールドすることにより形成するも
のである。
以下図面に示す本発明の実施例につき詳説す
る。
る。
第2図は本発明の一実施例である反射型光結合
半導体装置の製造方法を示すもので、第2図aに
示すように金属細条51,52,53,54を具
備したリードフレーム5に発光ペレツト21、受
光ペレツト31を金属細条51,52に積載して
ダイボンデイングし、金線22,32をそれぞれ
ワイヤボンデイングして発光素子部2、受光素子
部3を形成する。次に第2図bに示すように発光
ペレツト21の発光波長に対し透明である例えば
エポキシなどの樹脂6で発光素子部2および受光
素子部3をそれぞれ別個にモールド成型する。こ
の際第2図cでその断面を示すように、リードフ
レーム5のペレツト載置側である発光面71およ
び受光面72に球状部61を設けることにより光
を効率よく利用することができ、発光効率および
受光効率を向上せしめることができる。また、こ
の透明樹脂6でモールド成型する際発光面71、
受光面72と反対側に突起部62を設ける。この
球状部61および突起部62はモールド成型する
際の金型により任意に形成することが可能であ
る。次に、第2図cに示すように、発光波長に対
し不透明な樹脂でモールドするための金型(上型
81と下型82とで一対の金型)を装着する。こ
の際発光面71、受光面72に不透明樹脂が付着
しないために、発光面71の周囲73、受光面7
2の周囲74に対して上型81が密着するように
構成するものである。この密着性を確実にするた
め、前工程での透明樹脂によるモールドの際発光
面および受光面の周囲73および74から突起部
62の先端75までの寸法を、上型81と下型8
2とを装着した際の寸法lより若干大きく形成し
ておくことが望ましい。例えばlが10mmの場合透
明樹脂6の成型体の寸法を10.1から10.2mm程度と
しておけば、透明樹脂6は多少弾力性があるため
例えば80Kg/m2の強圧で上型81と下型82とを
接着すれば、発光面71および受光面72の周囲
73および74は上型81により完全にシールさ
れ得る。この突起部62を設ける理由としては、
発光面71、受光面72の裏側といえども光が内
部反射により廻り込む可能性があるため、できる
だけ全面を不透明樹脂で覆くことが望ましいこと
と、広い面積で圧力をかけるより、狭い面積で圧
力をかけた方が、シール効果を高めることができ
るからである。次に第2図dに示すように発光ペ
レツト21の発光波長に対して不透明である例え
ばエポキシなどの樹脂9を充填固着した後で、金
型81,82を取り除き、リードフレーム5の枠
部分を切断除去し、金属細条を必要に応じて折り
曲げれば第2図eに示すようにモールドタイプの
反射型光結合半導体装置を得ることができる。こ
の際、突起部62の先端75は不透明樹脂9で覆
われないが面積が小さく、深さがあるため特性に
は影響しないが、より完全を期すためにこの先端
75の面に不透明マークをマーキングすることも
可能である。
半導体装置の製造方法を示すもので、第2図aに
示すように金属細条51,52,53,54を具
備したリードフレーム5に発光ペレツト21、受
光ペレツト31を金属細条51,52に積載して
ダイボンデイングし、金線22,32をそれぞれ
ワイヤボンデイングして発光素子部2、受光素子
部3を形成する。次に第2図bに示すように発光
ペレツト21の発光波長に対し透明である例えば
エポキシなどの樹脂6で発光素子部2および受光
素子部3をそれぞれ別個にモールド成型する。こ
の際第2図cでその断面を示すように、リードフ
レーム5のペレツト載置側である発光面71およ
び受光面72に球状部61を設けることにより光
を効率よく利用することができ、発光効率および
受光効率を向上せしめることができる。また、こ
の透明樹脂6でモールド成型する際発光面71、
受光面72と反対側に突起部62を設ける。この
球状部61および突起部62はモールド成型する
際の金型により任意に形成することが可能であ
る。次に、第2図cに示すように、発光波長に対
し不透明な樹脂でモールドするための金型(上型
81と下型82とで一対の金型)を装着する。こ
の際発光面71、受光面72に不透明樹脂が付着
しないために、発光面71の周囲73、受光面7
2の周囲74に対して上型81が密着するように
構成するものである。この密着性を確実にするた
め、前工程での透明樹脂によるモールドの際発光
面および受光面の周囲73および74から突起部
62の先端75までの寸法を、上型81と下型8
2とを装着した際の寸法lより若干大きく形成し
ておくことが望ましい。例えばlが10mmの場合透
明樹脂6の成型体の寸法を10.1から10.2mm程度と
しておけば、透明樹脂6は多少弾力性があるため
例えば80Kg/m2の強圧で上型81と下型82とを
接着すれば、発光面71および受光面72の周囲
73および74は上型81により完全にシールさ
れ得る。この突起部62を設ける理由としては、
発光面71、受光面72の裏側といえども光が内
部反射により廻り込む可能性があるため、できる
だけ全面を不透明樹脂で覆くことが望ましいこと
と、広い面積で圧力をかけるより、狭い面積で圧
力をかけた方が、シール効果を高めることができ
るからである。次に第2図dに示すように発光ペ
レツト21の発光波長に対して不透明である例え
ばエポキシなどの樹脂9を充填固着した後で、金
型81,82を取り除き、リードフレーム5の枠
部分を切断除去し、金属細条を必要に応じて折り
曲げれば第2図eに示すようにモールドタイプの
反射型光結合半導体装置を得ることができる。こ
の際、突起部62の先端75は不透明樹脂9で覆
われないが面積が小さく、深さがあるため特性に
は影響しないが、より完全を期すためにこの先端
75の面に不透明マークをマーキングすることも
可能である。
第3図は本発明の要部である発光面71、受光
面72をシールする方法の他の実施例を示すもの
で、この実施例では透明樹脂6の底面63に第2
図cで述べたような突起部62を形成しないで、
その代り下型82の内面に突起部83を設けるこ
とにより、この突起部83が底面63と当接する
部分と発光面、受光面の周囲73,74とに圧力
をかけることにより発光面71、受光面72をシ
ールするものである。前記実施例の場合と同様
に、透明樹脂6の弾力性を有効に利用しているた
め、発光面、受光面への不透明樹脂の付着を防止
することができる。
面72をシールする方法の他の実施例を示すもの
で、この実施例では透明樹脂6の底面63に第2
図cで述べたような突起部62を形成しないで、
その代り下型82の内面に突起部83を設けるこ
とにより、この突起部83が底面63と当接する
部分と発光面、受光面の周囲73,74とに圧力
をかけることにより発光面71、受光面72をシ
ールするものである。前記実施例の場合と同様
に、透明樹脂6の弾力性を有効に利用しているた
め、発光面、受光面への不透明樹脂の付着を防止
することができる。
第4図は本発明の要部である発光面71、受光
面72をシールする方法の他の実施例を示す金型
部の断面図であつて、発光面、受光面の周囲7
3,74部に当る上型81部に鋭い突起部84を
設けておき、前述実施例と同様の方法により金型
を装着すれば、鋭い突起部84は透明樹脂6で作
られた発光面、受光面の周囲73,74にめり込
みすなわち喰い込み、不透明樹脂の浸入を完全に
防止することができる。またこの例と同様の考え
方で、金型には突起部84を設けず発光面、受光
面の周囲73,74側に透明樹脂6でモールド成
型する際、第5図に断面図で示すように突起部6
4を設けることも可能である。
面72をシールする方法の他の実施例を示す金型
部の断面図であつて、発光面、受光面の周囲7
3,74部に当る上型81部に鋭い突起部84を
設けておき、前述実施例と同様の方法により金型
を装着すれば、鋭い突起部84は透明樹脂6で作
られた発光面、受光面の周囲73,74にめり込
みすなわち喰い込み、不透明樹脂の浸入を完全に
防止することができる。またこの例と同様の考え
方で、金型には突起部84を設けず発光面、受光
面の周囲73,74側に透明樹脂6でモールド成
型する際、第5図に断面図で示すように突起部6
4を設けることも可能である。
また、第6図に部分拡大断面図を示すように発
光面、受光面に設けた球状部61の周囲に上型8
1を喰い込ませて金型を圧接装着することによつ
ても、発光面、受光面をシールすることができ
る。
光面、受光面に設けた球状部61の周囲に上型8
1を喰い込ませて金型を圧接装着することによつ
ても、発光面、受光面をシールすることができ
る。
いままで述べた実施例においては、発光面7
1、受光面72に透明樹脂の球状部61を設ける
場合につき説明したが、本発明によれば、後で発
光面71および受光面72の不透明樹脂を除去す
る必要がないため、このような形状にすることも
非常に容易なのであるが、もちろん平面状など他
の形状の発光面および受光面とすることも可能で
ある。
1、受光面72に透明樹脂の球状部61を設ける
場合につき説明したが、本発明によれば、後で発
光面71および受光面72の不透明樹脂を除去す
る必要がないため、このような形状にすることも
非常に容易なのであるが、もちろん平面状など他
の形状の発光面および受光面とすることも可能で
ある。
以上説明したように、本発明によればリードフ
レームを使用してボンデイングし、2回のモール
ドを行うだけで形成できるため殆んど自動化によ
つてこの半導体装置を製造でき、工程数を大幅に
削減しまた原価を低減できるとともに一層の小型
化も可能となり、しかも発光面、受光面に集光機
能を備えることも同時にできるので、特性の向上
を図ることができ民生機器への普及に有効であ
る。
レームを使用してボンデイングし、2回のモール
ドを行うだけで形成できるため殆んど自動化によ
つてこの半導体装置を製造でき、工程数を大幅に
削減しまた原価を低減できるとともに一層の小型
化も可能となり、しかも発光面、受光面に集光機
能を備えることも同時にできるので、特性の向上
を図ることができ民生機器への普及に有効であ
る。
第1図は従来の反射型光結合半導体装置を示す
断面図、第2図は本発明の一実施例としての製造
工程を示すものでa,b,eは斜視図、c,dは
断面図、第3図から第6図までは本発明の一工程
である発光面、受光面のシール方法のそれぞれ別
実施例を示す断面図である。 1……ステム、2……発光素子部、3……受光
素子部、5……リードフレーム、6……透明樹
脂、9……不透明樹脂、21……発光ペレツト、
31……受光ペレツト、61……球状部、62…
…突起部、71……発光面、72……受光面、7
3……発光面の周囲、74……受光面の周囲、7
5……突起部62の先端、81……金型の上型、
82……金型の下型。
断面図、第2図は本発明の一実施例としての製造
工程を示すものでa,b,eは斜視図、c,dは
断面図、第3図から第6図までは本発明の一工程
である発光面、受光面のシール方法のそれぞれ別
実施例を示す断面図である。 1……ステム、2……発光素子部、3……受光
素子部、5……リードフレーム、6……透明樹
脂、9……不透明樹脂、21……発光ペレツト、
31……受光ペレツト、61……球状部、62…
…突起部、71……発光面、72……受光面、7
3……発光面の周囲、74……受光面の周囲、7
5……突起部62の先端、81……金型の上型、
82……金型の下型。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 金属細条に発光ペレツトおよび受光ペレツト
を積載しボンデイングする工程と、前記発光ペレ
ツトの発光波長に対して透明な樹脂で前記発光ペ
レツト部および前記受光ペレツト部をそれぞれ隔
絶してモールドする工程と、前記発光ペレツトお
よび受光ペレツトの前面である発光面および受光
面を前記モールドした透光性樹脂の有する弾性を
利用して金型でシールする工程と、前記金型で囲
まれ前記シールされた発光面および受光面以外の
間隙に前記発光ペレツトの発光波長に対して不透
明な樹脂を充填固着してモールドする工程と、前
記金属細条の枠部を除去する工程とからなること
を特徴とする反射型光結合半導体装置の製造方
法。 2 前記透明樹脂でモールドする際、前記発光面
および受光面と反対側に前記透明樹脂の突起部を
設けて、該突起部と前記発光面の周囲および前記
受光面の周囲とで、前記金型により前記発光面お
よび受光面をシールすることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の反射型光結合半導体装置の
製造方法。 3 前記モールドされた透明樹脂の前記発光面の
周囲および前記受光面の周囲に接触させた前記金
型と、前記発光面および受光面の反対側の一部に
前記金型の内部に設けた突起部により接触させた
金型とで、前記発光面および受光面をシールする
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
反射型光結合半導体装置の製造方法。 4 前記発光面の周囲および前記受光面の周囲に
接触させる前記金型部分に鋭い突起部を設けて前
記透明樹脂の内部にめり込ませることにより前記
発光面および受光面をシールすることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項または第3項記載の反射
型光結合半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56192462A JPS5893388A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 反射型光結合半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56192462A JPS5893388A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 反射型光結合半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5893388A JPS5893388A (ja) | 1983-06-03 |
JPH0151071B2 true JPH0151071B2 (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=16291694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56192462A Granted JPS5893388A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 反射型光結合半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5893388A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59168682A (ja) * | 1983-03-15 | 1984-09-22 | Sharp Corp | 反射型ホトセンサ |
JPH0620159B2 (ja) * | 1984-02-16 | 1994-03-16 | 株式会社東芝 | 光半導体装置の製造方法 |
JPS6461071A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-08 | Sharp Kk | Optical semiconductor device |
TW418422B (en) | 1998-05-20 | 2001-01-11 | Rohm Co Ltd | Reflection-type sensor |
DE102008025159A1 (de) * | 2008-05-26 | 2009-12-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterbauelement, Reflexlichtschranke und Verfahren zur Herstellung eines Gehäuses |
DE102010053809A1 (de) | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Halbleiterbauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56192462A patent/JPS5893388A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5893388A (ja) | 1983-06-03 |
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