JPH0135500B2 - - Google Patents
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- JPH0135500B2 JPH0135500B2 JP57014231A JP1423182A JPH0135500B2 JP H0135500 B2 JPH0135500 B2 JP H0135500B2 JP 57014231 A JP57014231 A JP 57014231A JP 1423182 A JP1423182 A JP 1423182A JP H0135500 B2 JPH0135500 B2 JP H0135500B2
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- capillary
- clamper
- cutting
- holding
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/78301—Capillary
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体部品のペレツトとリードとの間
にワイヤをキヤピラリで接続するワイヤボンダに
おけるキヤピラリへのワイヤ通し方法に関する。
にワイヤをキヤピラリで接続するワイヤボンダに
おけるキヤピラリへのワイヤ通し方法に関する。
従来、ワイヤボンダの作動中にワイヤが切れる
と、切れたワイヤの先端を真つ直ぐに切り直して
から手でキヤピラリの穴へ通してキヤピラリの下
端に突出させていた。しかしながら、この作業は
熟練を要し、生産性が悪いという欠点があつた。
と、切れたワイヤの先端を真つ直ぐに切り直して
から手でキヤピラリの穴へ通してキヤピラリの下
端に突出させていた。しかしながら、この作業は
熟練を要し、生産性が悪いという欠点があつた。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、ワイヤをキヤピラリに自動的に通すことが
できるワイヤボンダにおけるキヤピラリへのワイ
ヤ通し方法を提供することを目的とする。
ので、ワイヤをキヤピラリに自動的に通すことが
できるワイヤボンダにおけるキヤピラリへのワイ
ヤ通し方法を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の方法に用いるワイヤボンデイ
ング装置の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−A′線断面図である。XY駆動装置１によ
つてXY方向に移動させられるボンデイングヘツ
ド２にはアームホルダー３に固定された支軸４が
回転自在に支承されている。アームホルダー３に
は一端にキヤピラリ５を保持したボンデイングア
ーム６及びワイヤクランプ部７ａを開閉させるソ
レノイド８を有するワイヤ切断用クランパー７が
固定されている。またボンデイングヘツド２の上
部にはスプールホルダー９が固定されており、ス
プールホルダー９にはワイヤ１０が巻回されたス
プール１１が取付けられている。またワイヤ切断
用クランパー７とスプール１１との間には、後記
するループコントロール機構１２のレバー１３の
一端に固定されたＶ字状の滑らかな溝が形成され
たガイド部材１４と、レバー１３の下面に固定さ
れワイヤクランプ部１５ａを開閉させるソレノイ
ド１６を有するワイヤ保持用クランパー１５とが
配設されている。そして、スプール１１から繰り
出されたワイヤ１０は、ガイド部材１４、ワイヤ
保持用クランパー１５、ワイヤ切断用クランパー
７を経てキヤピラリ５の下端より突出している。
ング装置の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−A′線断面図である。XY駆動装置１によ
つてXY方向に移動させられるボンデイングヘツ
ド２にはアームホルダー３に固定された支軸４が
回転自在に支承されている。アームホルダー３に
は一端にキヤピラリ５を保持したボンデイングア
ーム６及びワイヤクランプ部７ａを開閉させるソ
レノイド８を有するワイヤ切断用クランパー７が
固定されている。またボンデイングヘツド２の上
部にはスプールホルダー９が固定されており、ス
プールホルダー９にはワイヤ１０が巻回されたス
プール１１が取付けられている。またワイヤ切断
用クランパー７とスプール１１との間には、後記
するループコントロール機構１２のレバー１３の
一端に固定されたＶ字状の滑らかな溝が形成され
たガイド部材１４と、レバー１３の下面に固定さ
れワイヤクランプ部１５ａを開閉させるソレノイ
ド１６を有するワイヤ保持用クランパー１５とが
配設されている。そして、スプール１１から繰り
出されたワイヤ１０は、ガイド部材１４、ワイヤ
保持用クランパー１５、ワイヤ切断用クランパー
７を経てキヤピラリ５の下端より突出している。
次に前記ループコントロール機構１２の構成に
ついて説明する。レバー１３の他端はボンデイン
グヘツド２の上面に固定された軸受２０に支軸２
１を介して回転自在に取付けられている。レバー
１３の中央部には横長穴１３ａが設けられてお
り、この横長穴１３ａに移動軸２２が摺動可能に
装着されている。移動軸２２はリンク２３の一端
に回動自在に取付けられており、リンク２３の他
端にはピン２４が固定されている。ピン２４はア
ームホルダー３に固定されたスタンド２５に回動
自在に支承されている。また移動軸２２には雌ね
じ部２２ａが設けられており、この雌ねじ部２２
ａに調整ボルト２６が螺合している。調整ボルト
２６のレバー１３のフツク部１３ｂに遊合し、フ
ツク部１３ｂと移動軸２２との間にスプリング２
７が配設されている。また調整ボルト２６の頭部
には廻し孔２６ａが設けられている。
ついて説明する。レバー１３の他端はボンデイン
グヘツド２の上面に固定された軸受２０に支軸２
１を介して回転自在に取付けられている。レバー
１３の中央部には横長穴１３ａが設けられてお
り、この横長穴１３ａに移動軸２２が摺動可能に
装着されている。移動軸２２はリンク２３の一端
に回動自在に取付けられており、リンク２３の他
端にはピン２４が固定されている。ピン２４はア
ームホルダー３に固定されたスタンド２５に回動
自在に支承されている。また移動軸２２には雌ね
じ部２２ａが設けられており、この雌ねじ部２２
ａに調整ボルト２６が螺合している。調整ボルト
２６のレバー１３のフツク部１３ｂに遊合し、フ
ツク部１３ｂと移動軸２２との間にスプリング２
７が配設されている。また調整ボルト２６の頭部
には廻し孔２６ａが設けられている。
従つて、アームホルダー３が支軸４を中心とし
て回動すると、キヤピラリ５及びワイヤ切断用ク
ランパー７が回動すると共に、スタンド２５、ピ
ン２４、リンク２３、移動軸２２を介してレバー
１３が支軸２１を中心として回動し、ワイヤ保持
用クランパー１５も回動する。
て回動すると、キヤピラリ５及びワイヤ切断用ク
ランパー７が回動すると共に、スタンド２５、ピ
ン２４、リンク２３、移動軸２２を介してレバー
１３が支軸２１を中心として回動し、ワイヤ保持
用クランパー１５も回動する。
第３図はキヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパ
ー７及びワイヤ保持用クランパー１５の動きを示
す線図である。今、アームホルダー３がθ1回転す
ると、キヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパー７
は一体に連結されているのでそれぞれθ1回転し、
キヤピラリ５は５′に、ワイヤ切断用クランパー
７のワイヤクランプ部７ａは７a′に、ピン２４は
２４′にそれぞれ位置する。ここで、ワイヤクラ
ンプ部７ａはキヤピラリ５の近傍にあるので、キ
ヤピラリ５の垂直移動量P1とワイヤクランプ部
７ａの垂直移動量P2はほぼ等しい。またピン２
４はワイヤクランプ７ａより上方にあり、かつ支
軸４からワイヤクランプ部７ａまでの長さより支
軸４からピン２４までの長さが短いので、ピン２
４の垂直移動量P3は前記P1、P2よりはるかに小
さい。またリンク２３はピン２４を介してスタン
ド２５に回転自在に、かつリンク２３は移動軸２
２を介してレバー１３に一体的に取付けられてい
るので、移動軸２２の垂直移動量P4は前記P3よ
り更に小さくなり、前記P1、P2より一層小さく
なる。従つてレバー１３は支軸２１を中心として
前記θ1より非常に小さいθ2の角度回転する。この
ため、ワイヤ保持用クランパー１５のワイヤクラ
ンプ部１５ａは前記キヤピラリ５、ワイヤ切断用
クランパー７のワイヤクランプ部７ａの垂直移動
量P1、P2よりはるかに小さな垂直移動量P5移動
し、１５a′に位置する。
ー７及びワイヤ保持用クランパー１５の動きを示
す線図である。今、アームホルダー３がθ1回転す
ると、キヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパー７
は一体に連結されているのでそれぞれθ1回転し、
キヤピラリ５は５′に、ワイヤ切断用クランパー
７のワイヤクランプ部７ａは７a′に、ピン２４は
２４′にそれぞれ位置する。ここで、ワイヤクラ
ンプ部７ａはキヤピラリ５の近傍にあるので、キ
ヤピラリ５の垂直移動量P1とワイヤクランプ部
７ａの垂直移動量P2はほぼ等しい。またピン２
４はワイヤクランプ７ａより上方にあり、かつ支
軸４からワイヤクランプ部７ａまでの長さより支
軸４からピン２４までの長さが短いので、ピン２
４の垂直移動量P3は前記P1、P2よりはるかに小
さい。またリンク２３はピン２４を介してスタン
ド２５に回転自在に、かつリンク２３は移動軸２
２を介してレバー１３に一体的に取付けられてい
るので、移動軸２２の垂直移動量P4は前記P3よ
り更に小さくなり、前記P1、P2より一層小さく
なる。従つてレバー１３は支軸２１を中心として
前記θ1より非常に小さいθ2の角度回転する。この
ため、ワイヤ保持用クランパー１５のワイヤクラ
ンプ部１５ａは前記キヤピラリ５、ワイヤ切断用
クランパー７のワイヤクランプ部７ａの垂直移動
量P1、P2よりはるかに小さな垂直移動量P5移動
し、１５a′に位置する。
このように、アームホルダー３が回動すると、
ワイヤ保持用クランパー１５はキヤピラリ５及び
ワイヤ切断用クランパー７の上下移動量より小さ
い移動量で上下する。
ワイヤ保持用クランパー１５はキヤピラリ５及び
ワイヤ切断用クランパー７の上下移動量より小さ
い移動量で上下する。
次にかかる装置を用いた本発明のキヤピラリへ
のワイヤ通し方法を第４図を参照しながら説明す
る。今、第４図ａはワイヤ切断用クランパー７が
ON（閉）状態、ワイヤ保持用クランパー１５が
OFF（開）状態にあり、ワイヤ１０が切れてワイ
ヤ１０の先端がキヤピラリ５の下面より突出して
いない状態を示す。このような場合、同図ｂに示
すようにワイヤ保持用クランパー１５をON、ワ
イヤ切断用クランパー７をOFFにし、第１図に
おいてアームホルダー３を時計方向に一定量θ1
（第３図参照）だけ回転させる。これにより、第
３図において説明したように、キヤピラリ５、ワ
イヤ切断用クランパー７、ワイヤ保持用クランパ
ー１５はそれぞれP1、P2、P5上昇する。P5はP1
より小さいので、第４図ｂのようにキヤピラリ５
内にl1の長さ入つていたワイヤ１０は、同図ｃの
状態においてはl2＝l1＋（P1−P5）の長さ入るこ
とになる。次に同図ｄに示すようにワイヤ切断用
クランパー７をON、ワイヤ保持用クランパー１
５をOFFにし、第１図においてアームホルダー
３を前記と逆に反時計方向にキヤピラリ５が第４
図ａの状態より第４図ｅに示すようにl3下方に位
置するように回転させる。この場合、ワイヤ保持
用クランパー１５はOFF状態にあるので、ワイ
ヤ１０に何んら作用しない。またキヤピラリ５と
ワイヤ切断用クランパー７との移動量はほぼ等し
いので、キヤピラリ５内のワイヤ長さl2はそのま
まである。
のワイヤ通し方法を第４図を参照しながら説明す
る。今、第４図ａはワイヤ切断用クランパー７が
ON（閉）状態、ワイヤ保持用クランパー１５が
OFF（開）状態にあり、ワイヤ１０が切れてワイ
ヤ１０の先端がキヤピラリ５の下面より突出して
いない状態を示す。このような場合、同図ｂに示
すようにワイヤ保持用クランパー１５をON、ワ
イヤ切断用クランパー７をOFFにし、第１図に
おいてアームホルダー３を時計方向に一定量θ1
（第３図参照）だけ回転させる。これにより、第
３図において説明したように、キヤピラリ５、ワ
イヤ切断用クランパー７、ワイヤ保持用クランパ
ー１５はそれぞれP1、P2、P5上昇する。P5はP1
より小さいので、第４図ｂのようにキヤピラリ５
内にl1の長さ入つていたワイヤ１０は、同図ｃの
状態においてはl2＝l1＋（P1−P5）の長さ入るこ
とになる。次に同図ｄに示すようにワイヤ切断用
クランパー７をON、ワイヤ保持用クランパー１
５をOFFにし、第１図においてアームホルダー
３を前記と逆に反時計方向にキヤピラリ５が第４
図ａの状態より第４図ｅに示すようにl3下方に位
置するように回転させる。この場合、ワイヤ保持
用クランパー１５はOFF状態にあるので、ワイ
ヤ１０に何んら作用しない。またキヤピラリ５と
ワイヤ切断用クランパー７との移動量はほぼ等し
いので、キヤピラリ５内のワイヤ長さl2はそのま
まである。
次に、同図ｆに示すようにワイヤ保持用クラン
パー１５をON、ワイヤ切断用クランパー７を
OFFにする。この動作は同図ｂと同じ動作であ
る。続いてアームホルダー３を回転させて同図ｇ
に示すようにキヤピラリ５をP1′＝P1＋l3上昇さ
せると、前記したようにワイヤ保持用クランパー
１５はP5′上昇する。P5′＜P1′であるので、前記
動作によりキヤピラリ５に入るワイヤ長さl4は次
のようになる。
パー１５をON、ワイヤ切断用クランパー７を
OFFにする。この動作は同図ｂと同じ動作であ
る。続いてアームホルダー３を回転させて同図ｇ
に示すようにキヤピラリ５をP1′＝P1＋l3上昇さ
せると、前記したようにワイヤ保持用クランパー
１５はP5′上昇する。P5′＜P1′であるので、前記
動作によりキヤピラリ５に入るワイヤ長さl4は次
のようになる。
l4＝l2＋（P1′−P5′）
＝l1＋（P1−P5）＋（P1′−P5′）
この動作は同図ｃと同じ動作である。これによ
りキヤピラリ５の下端にワイヤ１０がボールを形
成するに必要な長さ突出する。次に同図ｈに示す
ように同図ｄと同じ動作を行つてワイヤ切断用ク
ランパー７をON、ワイヤ保持用クランパー１５
をOFFにする。その後、同図ｉに示すようにキ
ヤピラリ５をP1下降させ、キヤピラリ５を同図
ａと同じ元の位置に位置させる。この動作の場
合、同図ｅの動作で説明したように、キヤピラリ
５より突出しているワイヤ１０の長さは変化しな
い。
りキヤピラリ５の下端にワイヤ１０がボールを形
成するに必要な長さ突出する。次に同図ｈに示す
ように同図ｄと同じ動作を行つてワイヤ切断用ク
ランパー７をON、ワイヤ保持用クランパー１５
をOFFにする。その後、同図ｉに示すようにキ
ヤピラリ５をP1下降させ、キヤピラリ５を同図
ａと同じ元の位置に位置させる。この動作の場
合、同図ｅの動作で説明したように、キヤピラリ
５より突出しているワイヤ１０の長さは変化しな
い。
前記動作におけるアームホルダー３の回動及び
クランパー７、１５のON、OFFはそれぞれの駆
動スイツチを手動でON、OFFさせて行い、ワイ
ヤ１０を自動的にキヤピラリ５に自動的に挿通し
てもよく、またはワイヤボンデイング装置の制御
部に予めプログラムしておき、ワイヤ切れが生じ
た時に全自動的に挿通するようにしてもよい。
クランパー７、１５のON、OFFはそれぞれの駆
動スイツチを手動でON、OFFさせて行い、ワイ
ヤ１０を自動的にキヤピラリ５に自動的に挿通し
てもよく、またはワイヤボンデイング装置の制御
部に予めプログラムしておき、ワイヤ切れが生じ
た時に全自動的に挿通するようにしてもよい。
一般に、超音波ワイヤボンデイング装置におい
てはボンデイングアーム６に超音波ホーンを内蔵
するので、前記のようにワイヤ１０をキヤピラリ
５に通す時、即ち第４図ｃ及びｇのようにキヤピ
ラリ５、２個のクランパー７，１５が上昇する時
に、キヤピラリ５に超音波振動を与えると、ワイ
ヤ１０はよりスムースにキヤピラリ５に挿通され
る。
てはボンデイングアーム６に超音波ホーンを内蔵
するので、前記のようにワイヤ１０をキヤピラリ
５に通す時、即ち第４図ｃ及びｇのようにキヤピ
ラリ５、２個のクランパー７，１５が上昇する時
に、キヤピラリ５に超音波振動を与えると、ワイ
ヤ１０はよりスムースにキヤピラリ５に挿通され
る。
また前記のようにしてキヤピラリ５に挿通され
てキヤピラリ５の下端より突出したワイヤ１０
は、一般にくせを有するので、リードの所定の空
所へすてボンドした後、次に通常の工程によつて
キヤピラリ５の先端に突出したワイヤにボールを
形成し、即ちきれいなボールにしてから通常のボ
ンデイング作業を行うようにする。
てキヤピラリ５の下端より突出したワイヤ１０
は、一般にくせを有するので、リードの所定の空
所へすてボンドした後、次に通常の工程によつて
キヤピラリ５の先端に突出したワイヤにボールを
形成し、即ちきれいなボールにしてから通常のボ
ンデイング作業を行うようにする。
また前記のようにしてキヤピラリ５に挿通され
てキヤピラリ５の下端より突出したワイヤ１０
は、例えば持開昭52−106677号公報に示す方法に
よつて検出し、ワイヤ先端に正規のボールが形成
された後、またはワイヤ先端を光電検出器等で検
出し、正規の長さワイヤがキヤピラリ５より突出
していない時は前記動作を行い正規の長さ突出し
た検出信号によつてワイヤ先端にボールを形成し
た後、前記のように一旦すてボンドをしてから通
常のボンデイングを行うか、又は直接通常のボン
デイングを行うようにする。また前記検出を数回
繰返しても正規の長さのワイヤが検出されない時
は、異常として装置を停止させる。
てキヤピラリ５の下端より突出したワイヤ１０
は、例えば持開昭52−106677号公報に示す方法に
よつて検出し、ワイヤ先端に正規のボールが形成
された後、またはワイヤ先端を光電検出器等で検
出し、正規の長さワイヤがキヤピラリ５より突出
していない時は前記動作を行い正規の長さ突出し
た検出信号によつてワイヤ先端にボールを形成し
た後、前記のように一旦すてボンドをしてから通
常のボンデイングを行うか、又は直接通常のボン
デイングを行うようにする。また前記検出を数回
繰返しても正規の長さのワイヤが検出されない時
は、異常として装置を停止させる。
以上の説明から明らかな如く、本発明の方法に
よれば、ワイヤ切れが生じた時に自動的にワイヤ
をキヤピラリの下端に突出させることができるの
で、作業者の熟練を必要とせず、また生産性を向
上させることができる。
よれば、ワイヤ切れが生じた時に自動的にワイヤ
をキヤピラリの下端に突出させることができるの
で、作業者の熟練を必要とせず、また生産性を向
上させることができる。
第１図は本発明の方法に用いるワイヤボンデイ
ング装置の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−A′線断面図、第３図はキヤピラリ、ワ
イヤ切断用クランパー及びワイヤ保持用クランパ
ーの動きを示す線図、第４図ａ〜ｉは本発明の方
法の一実施例を示す動作説明図である。 ５……キヤピラリ、７……ワイヤ切断用クラン
パー、１０……ワイヤ、１１……スプール、１５
……ワイヤ保持用クランパー。
ング装置の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図のＡ−A′線断面図、第３図はキヤピラリ、ワ
イヤ切断用クランパー及びワイヤ保持用クランパ
ーの動きを示す線図、第４図ａ〜ｉは本発明の方
法の一実施例を示す動作説明図である。 ５……キヤピラリ、７……ワイヤ切断用クラン
パー、１０……ワイヤ、１１……スプール、１５
……ワイヤ保持用クランパー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ スプールに巻回されたワイヤをワイヤ保持用
クランパー及びワイヤ切断用クランパーに通し、
更にワイヤ切断用クランパーと共に上下動するキ
ヤピラリに挿通し、半導体部品のペレツトとリー
ドとの間にワイヤをキヤピラリで接続するワイヤ
ボンダにおいて、前記ワイヤ保持用クランパーを
ON、前記ワイヤ切断用クランパーをOFF状態で
前記ワイヤ切断用クランパーを前記ワイヤ保持用
クランパーより大きく上昇させて前記ワイヤを前
記キヤピラリに通すことを持徴とするワイヤボン
ダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法。 ２ 前記ワイヤ切断用クランパーを上昇させる時
に前記キヤピラリに超音波振動を与えることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のワイヤボン
ダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法。 ３ スプールに巻回されたワイヤをワイヤ保持用
クランパー及びワイヤ切断用クランパーに通し、
更にワイヤ切断用クランパーと共に上下動するキ
ヤピラリに挿通し、半導体部品のペレツトとリー
ドとの間にワイヤをキヤピラリで接続するワイヤ
ボンダにおいて、前記ワイヤ保持用クランパーを
ON、前記ワイヤ切断用クランパーをOFF状態で
前記ワイヤ切断用クランパーを前記ワイヤ保持用
クランパーより大きく上昇させる動作を行つて前
記ワイヤが前記キヤピラリの下面に突出するよう
に通し、次に前記キヤピラリで前記キヤピラリの
下面に突出したワイヤを前記リードの空地にすて
ボンドさせ、その後所定のワイヤボンデイングを
行わせることを持徴とするワイヤボンダにおける
キヤピラリへのワイヤ通し方法。 ４ スプールに巻回されたワイヤをワイヤ保持用
クランパー及びワイヤ切断用クランパーに通し、
更にワイヤ切断用クランパーと共に上下動するキ
ヤピラリに挿通し、半導体部品のペレツトとリー
ドとの間にワイヤをキヤピラリで接続するワイヤ
ボンダにおいて、前記ワイヤ保持用クランパーを
ON、前記ワイヤ切断用クランパーをOFF状態で
前記ワイヤ切断用クランパーを前記ワイヤ保持用
クランパーより大きく上昇させて前記ワイヤを前
記キヤピラリに通し、その後キヤピラリ下端から
突出したワイヤ長さを検出し、正規の長さ突出し
た時にボールを形成し、その後所定のワイヤボン
デイングを行わせることを持徴とするワイヤボン
ダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014231A JPS58131744A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ワイヤボンダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014231A JPS58131744A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ワイヤボンダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58131744A JPS58131744A (ja) | 1983-08-05 |
| JPH0135500B2 true JPH0135500B2 (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11855293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57014231A Granted JPS58131744A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ワイヤボンダにおけるキヤピラリへのワイヤ通し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58131744A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104043918A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-09-17 | 江门市壹科光电设备有限公司 | 一种焊线用的线夹装置及使用其焊线的方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02273952A (ja) * | 1989-04-17 | 1990-11-08 | Shinkawa Ltd | キヤピラリへのワイヤ通し方法 |
| JP4467631B1 (ja) | 2009-01-07 | 2010-05-26 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング方法 |
| US11420287B2 (en) * | 2019-09-29 | 2022-08-23 | Ningbo Shangjin Automation Technology Co., Ltd. | Wire clamping system for fully automatic wire bonding machine |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57014231A patent/JPS58131744A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104043918A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-09-17 | 江门市壹科光电设备有限公司 | 一种焊线用的线夹装置及使用其焊线的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58131744A (ja) | 1983-08-05 |
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