JPH01303617A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH01303617A
JPH01303617A JP13325688A JP13325688A JPH01303617A JP H01303617 A JPH01303617 A JP H01303617A JP 13325688 A JP13325688 A JP 13325688A JP 13325688 A JP13325688 A JP 13325688A JP H01303617 A JPH01303617 A JP H01303617A
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JP
Japan
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head
magnetic
thin film
thin
recording
Prior art date
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Application number
JP13325688A
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English (en)
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Kumiko Wada
久美子 和田
Yoshihiro Tozaki
善博 戸崎
Toshio Fukazawa
利雄 深澤
Yuji Nagata
裕二 永田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • G11B5/3967Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/488Disposition of heads
    • G11B5/4893Disposition of heads relative to moving tape

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  • Magnetic Heads (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気記録再生装置に使用する薄膜磁気ヘッドに
関するものである。
従来の技術 近年、情報産業等、磁気記録媒体江おいて記録密度の向
上に伴い、トラック幅の短縮化及びマルチトラック化に
対応する薄膜磁気ヘッドが多く用いられている。上記の
薄膜磁気ヘッドは薄膜形成技術及びフォトリングラフィ
技術を駆使して製造するものである。
一般的な薄膜磁気ヘッドでは、記録ヘッド及び再生ヘッ
ドが各々独自の構造を持っている場合が多い。
第2図に2ターンコイルを有する薄膜記録ヘッドの1ト
ラック分の構造を示す。第2図(a)は、外観図であり
、Xo−xlでの断面図を第2図(b)に示す。高透磁
率強磁性体基板21上に絶縁層28を介して薄膜コイル
22をイオンミリング法等で微細エツチング加工を行い
パターン形成する。次に上記薄膜コイ/L/ 22上に
上部磁性層23が絶壕層29を介して形成される。記録
は電極24 、26から薄膜コイル22に信号電流が流
され誘起された信号磁束が磁気記録媒体との摺動面26
に設けられたフロントギャップ部27から外へもれた信
号磁界によって磁気記録媒体上に行われる。
第3図にヨーク型磁気抵抗型再生ヘッドの1トラック分
の構造を示す。第3図(a)は外観図でありxlo−x
2゜での断面図を第3図(b)に示す。磁気抵抗型再生
ヘッドは、再生出力が記録媒体システムの走行速度に依
存しないため多く用いられてきている。高透磁率強性体
基板31上に絶縁層35を介してバイアス電流を流すだ
めの第1の導体32をイオンミリング法等で微細エツチ
ング加工を行いパターン形成する。次に上記第1の導体
薄膜32上に絶縁層39を介し磁気抵抗効果素子38が
、上記磁気抵抗効果素子38にセンス電流を流すための
電極33が、第1の導体32と同様の方法で形成される
。更に絶縁層4oを介し磁気記録媒体からの信号磁束を
磁気抵抗効果素子38に導くためのフロントヨーク41
とバックヨーク34が、端部を磁気抵抗効果素子38に
重ねて形成され、信号磁束が磁気抵抗効果素子38に導
びかれ易く構成されている。信号磁束は磁気記録媒体と
薄膜磁気ヘッドとの摺動面36から入り、フロントヨー
ク41から磁気抵抗効果素子38へと導びかれ、上記磁
気抵抗効果素子33の電気抵抗が変化する。
また、上記磁気抵抗素子38にはセンス電流が電極33
を通して流されており、電気抵抗の変化は電圧変化とし
て読み出される。
一般に磁気記録再生装置は、記録ヘッドと再生ヘッドが
必要である。薄膜磁気ヘッドにおけるマルチトラック型
では、第2図及び第3図に示した記録再生各々のヘッド
を各々の基板上に作製し、チップ化を行い2つの磁気ヘ
ッドを組み合わせて用いていた。
第4図(a)に組み合わせ後の薄膜磁気ヘッドの外観図
を示す。図中46は薄膜記録ヘッド、4(縁は、磁気抵
抗型再生ヘッドであり、50.51はギャップ面、4B
 、49は保護基板、47はシールド板である。なお4
5が磁気抵抗型再生ヘッドで、46が薄膜記録ヘッドで
も良い。
なお、磁気抵抗効果ヘッドとしてヨーク型について述べ
だが、上記ヨーク型の他にシールド型の磁気効果ヘッド
も多く使用されている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような薄膜磁気ヘッドでは、磁気記
録媒体の走行方向が限定され、情報の信頼性向上のため
のリードアフタライト機能に困難を生じる場合がある。
リードアフタライトは、情報を記録後すぐに再生を行い
情報の中に誤シがあるかどうか常に確認を行いながら記
録する方法であるため、情報の信頼性が向上するもので
ある。
従来の磁気ヘッドで、記録媒体の走行方向を限定せずか
つデータの高速転送を低下させない方法として、第4図
(勢に示すヘッド構造があげられる。
すなわち、再生ヘッド64を中心として、両側に記録ヘ
ッド53.55を設ける。或は記録−・ラド54を中心
にして両側に再生ヘッド53.55を設ける3ヘッド構
成である。3ヘッドのため磁気記録媒体の走行が順或は
逆方向となってもリードアフタライトが可能となりデー
タ転送速度も低下しないが、ヘッドの組立てが複雑にな
り整合法及び接着樹脂の選択の問題、ヘッドタッチの悪
化の問題が生じ、良好な記録再生特性が得ることが困難
であった。
本発明は上記問題点に鑑み、磁気記録再生装置における
リードアフタライト機能を、磁気記録媒体の走行方向に
かかわらず双方向で実現し、記録データの信頼性を向上
し、かつデータの高速転送を容易に実現するとともに良
好な記録再生特性を得る薄膜磁気ヘッドを提供するもの
である。
課題を解決するための手段 上記の目的を達成するために本発明の薄膜磁気ヘッドは
、1枚の基板上に薄膜記録ヘッド、磁気抵抗型再生ヘッ
ド、薄膜記録ヘッドを、或は磁気抵抗型再生ヘッド、薄
膜記録ヘッド、磁気抵抗型再生ヘッドを積層して一括形
成し、磁気記録媒体上の同一トラック内にヘッドが3対
ある構成となっている。
作  用 上記の構成により、磁気記録媒体はその走行方向を限定
されることなく常に薄膜記録ヘッドに接した後、磁気抵
抗型再生ヘッドが接しておシ、双方向でのリードアフタ
機能の実現ができる。また、同一基板上での3ヘッド積
層形成のため、テープ摺動面における研磨も一括して行
うことから、磁気記録媒体へのへラドタッチも良く、良
好な記録再生特性を得ることを実現できる。
実施例 以下に本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例について図面
を参照しながら説明を行う。第1図(、)に本発明の薄
膜磁気ヘッドの一実施例の薄膜磁気ヘッドにおける1ト
ラック分の外観図を示す。第1図(b)は、第1図(、
)におけるx3゜−X4゜における断面図である。第1
図(−)は、高透磁率強磁性体基板4上に第1のヘッド
である2ターンコイルを有する薄膜記録ヘッド1を薄膜
を積層し形成し、その上部に数十μmの絶縁層を形成2
機械或はイオンミリング法等のドライエツチングを用い
て平坦研磨後、第2のヘッドにおける下部磁性層を形成
、上記磁性層上に磁気抵抗型再生ヘッド2を形成する。
更に上記磁気抵抗型再生ヘッド2の上に再度絶縁層を形
成し、機械あるいはイオンミリング法等のドライエツチ
ングを用いて平坦研磨を行った後、第3のヘッドにおけ
る下部磁性層を形成、上部に薄膜記録ヘッド3を形成し
ており、3対のヘッド構成となっている。次に第1図0
))を参照しながら上記薄膜磁気ヘッドの製造工程を示
す。
高透磁率強磁性体基板4上にS iO2等からなる絶縁
層12を介し2ターンの薄膜コイル14を、フォトリン
グラフィ技術を用い、イオンミリング法等で微細加工を
行いパターン形成する。上記薄膜コイル14上に5lo
2等からなる絶縁層13を形成後、エッチパック法等で
上記絶縁層13の平坦加工を行い、ギャップ部の絶縁層
13を除去し上部に5io2等からなるギャップ層70
を形成、上部磁性層15と下部磁性層11である基板4
との接合面の絶縁層を除去後、上部磁性層16を形成し
、第1のヘッドである薄膜記録ヘッド1を形成する。
上記薄膜記録ヘッド1上にA2203.SiO2等から
なる絶縁層6oを上記薄膜記録ヘッド1の磁気的な影響
を受けない膜厚を確保するために、数十μmスパッタ形
成する。第1図(d) 、 (e)にヘッド間磁性層の
平坦加工工程を示す。第1図(d)は、薄膜記録ヘッド
1における上部磁性層16上にA1.2o3゜S io
 2等からなる絶縁層60を形成した工程を示しており
、上記絶縁層8oを機械研磨、或はイオンミリング法等
のドライエツチングを用い、段差を数百人にまで表面を
平坦加工を行う。第1図(、)に上記絶縁層6Qの上面
の平坦加工を行った工程を示す。
上記絶縁層60上に第1図(b)の第2ヘッドにおける
パーマロイ等からなる下部磁性層11を蒸着或はスパッ
タ形成を行う。上記下部磁性層11上にSio2等から
なる絶縁層16を介しバイアス導体17をイオンミリン
グ法等を用いて微細加工を行いパターン形成し、絶縁層
17を形成し上記バイアス導体17と同様の方法でパー
マロイ等の磁気抵抗効果素子19をパターン形成した後
絶縁層20を形成する。次にギャップ部の絶縁層を除去
、S iO2等のギャップ層71を形成し、上下部磁性
層の接合面の絶縁層を除去、上記磁気抵抗効果素子17
に端部が重なるようにフロントヨーク5及びバックヨー
ク6を形成し第2のヘッドである磁気抵抗型再生ヘッド
2が形成される。更に、上記磁気抵抗型再生ヘッド2上
にAQ203等からなる絶縁層61を数十μmスパッタ
形成を行い、上部の平坦加工を行う。次に上記磁気抵抗
型再生ヘッド2の下部磁性層11の形成と同様の手法で
第3のヘッドにおけるパーマロイ等からなる下部磁性層
1イを上記絶縁層61の上部に形成する。次いで、薄膜
記録ヘッド1と同様の工程で下部磁性層11′上に第3
のヘッドである薄膜記録ヘッド3を形成する。第1図0
))中x5゜−x6゜は磁気記録媒体との摺動面である
。このような、磁気記録媒体中の1トラツク内に磁気抵
抗型再生ヘッド2を中心として両側に薄膜記録ヘッド1
,3を設けることで、磁気記録媒体の走行方向に係わら
ず、双方向におけるリードアフタライト機能の実現が可
能となり情報の信頼性が向上し、かつデータ転送の高速
化をも実現が可能である。更に同一基板上におけるヘッ
ド構成のため、−括研磨が実現し、磁気記録媒体とヘッ
ド摺動面における接触度合、すなわちヘッドタッチが良
くそして、フォトリングラフィ技術を用いて精度良く、
ヘッド間トラック位置を決定できることから、磁気記録
媒体走行時におけるオフトラックもなく、安定して良好
な記録再生特性を得られる。
また、本実施例では単体の高透磁率基板を用いているが
、基板として非磁性基板上に高透磁率材料薄膜を形成し
たものを用いても良い。
なお、本実施例では3ヘッドの構成として、磁気抵抗再
生ヘッド2を中心にして両側に薄膜記録ヘッド1,3を
設けたが、同様の製造工程にて第1図(C)に示したよ
うに、薄膜記録ヘッド81を中心にして両側に磁気抵抗
型再生ヘッド81.83を設けた3ヘッド構成でも同様
の効果が得られるものである。
発明の効果 本発明の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録媒体中の1トラン
ク内に磁気抵抗再生ヘッドを中心として両側に薄膜記録
ヘッドを設ける、或は薄膜記録ヘッドを中心として両側
に磁気抵抗型再生ヘッドを設ける3ヘッド構成であり、
かつ同一基板上に上記3ヘッドを積層して形成すること
で、磁気記録媒体の走行方向に係わらず双方向でのり−
ドアフタ、ライト機能の実現が可能となり、情報の信頼
性が向上すると同時にデータ転送の高速化の実現も可能
となった。更に、同一基板上での構成であるため、磁気
記録媒体とヘッドとの摺動面における一括研磨が可能で
あり、ヘッドタッチが良く良好な記録再生特性を実現す
る。また、3つのヘッドはホトリソグラフィ技術を用い
精度良く積層して形成されるため、各ヘッドのトラック
位置のずれを数μm以下におさえることが可能であり、
磁気テープ走行時に発生するオフトラックに起因する再
生信号レベルのバラツキをおさえ、薄膜記録ヘッドのト
ラックにおけるガートバンドが小さくできる。従ってト
ラック密度の向上をも実現できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例にお
ける外観図、第1図(b)は本発明の薄膜磁気ヘッドの
一実施例における断面図、第1図(c)は本発膜記録ヘ
ッドの1トラック分の外観図であり、第2図(b)は薄
膜記録ヘッドの1トラック分の断面図、第3図(a)は
磁気抵抗再生ヘッドの1トラック分の外観図であり、第
3図(b)は磁気抵抗効果ヘッドの1トラック分の断面
図、第4図(−)は従来の2ヘッド構成図、第4図(b
)は従来の3ヘッド構成の外観図である。 1.3.81・・・・・・薄膜記録ヘッド、2 、80
 。 82・・・・・・磁気抵抗型N主ヘッド、4・・・・・
・基板、6・・・・・・フロントヨーク、6・・・・・
・パックヨーク、12゜13.16,17.20・・・
・・・絶縁層、14・・・・・・薄膜コイル、17・・
・・・・バイアス導体、18・・・・・・磁気抵抗効果
型素子、16・・・・・・上部磁性層、60.61・・
・・・・絶縁層、70.To・・・・・・ギャップ層、
80゜82・・・・・・磁気抵抗型再生ヘッド。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名G 〜        −f−C) Cts         QOclo す は −フ                       
鳴第2図 第3図 (aJ) 73b

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)薄膜磁気コアに鎖交して形成した薄膜コイルに信
    号電流を印加することで、磁気記録媒体に情報を書き込
    む薄膜記録ヘッドと、前記磁気記録媒体に書き込まれた
    情報を、強磁性体薄膜の抵抗変化から読み出す磁気抵抗
    型再生ヘッドとで構成された両薄膜磁気ヘッドで、前記
    磁気記録媒体上の同一トラック上に一方の薄膜磁気ヘッ
    ドを中心として両側に他方の薄膜磁気ヘッドを設け、3
    ヘッド構成とし、前記の3ヘッドを同一基板上に互いに
    磁気的影響を及ぼさない膜厚の絶縁層を介して積層して
    組み合わせて形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
  2. (2)磁気抵抗型再生ヘッドのトラック幅が、薄膜記録
    ヘッドのトラック幅より小さく形成したことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の薄膜磁気ヘッド。
JP13325688A 1988-05-31 1988-05-31 薄膜磁気ヘッド Pending JPH01303617A (ja)

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