JPH01294578A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPH01294578A JPH01294578A JP63121927A JP12192788A JPH01294578A JP H01294578 A JPH01294578 A JP H01294578A JP 63121927 A JP63121927 A JP 63121927A JP 12192788 A JP12192788 A JP 12192788A JP H01294578 A JPH01294578 A JP H01294578A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高い熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
窒化アルミニウムは、その理論熱伝導率が620w/m
、にと高いうえ、焼結助剤を添加することで常圧におけ
る緻密化が充分達成され、電気的性質もアルミナ基板と
同等であるので、絶縁放熱用途としてきわめて有望な材
料である。
、にと高いうえ、焼結助剤を添加することで常圧におけ
る緻密化が充分達成され、電気的性質もアルミナ基板と
同等であるので、絶縁放熱用途としてきわめて有望な材
料である。
通常、焼結助剤として、希土類化合物やアルカリ土類金
属化合物が使用されるが、これらは、窒化アルミニウム
表面に不可避的に存在する酸素と反応し、液相を生成さ
せ、成形体の緻密化を促進させるとともに、酸素が窒化
アルミニウム粒子内に拡散固溶するのを阻止する役割を
も果九し、結果的には窒化アルミニウムの熱伝導率を向
上させるものである。最近、窒化アルミニウム原料粉の
高純度化の進歩とともに、より効果的な焼結助剤、例え
ばy、o3. YF3等の使用により、それから得られ
る窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率は向上の一途をた
どっており、従来は3Qw/m−に程度であつ九ものが
、150 w / m−に以上の熱伝導率全方する焼結
体も開発されつつある。しかしながら、窒化アルミニウ
ムの理論熱伝導率を考えると、これらの改良され次焼結
体でも、その半分をわずかに超えているにしか過ぎない
。
属化合物が使用されるが、これらは、窒化アルミニウム
表面に不可避的に存在する酸素と反応し、液相を生成さ
せ、成形体の緻密化を促進させるとともに、酸素が窒化
アルミニウム粒子内に拡散固溶するのを阻止する役割を
も果九し、結果的には窒化アルミニウムの熱伝導率を向
上させるものである。最近、窒化アルミニウム原料粉の
高純度化の進歩とともに、より効果的な焼結助剤、例え
ばy、o3. YF3等の使用により、それから得られ
る窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率は向上の一途をた
どっており、従来は3Qw/m−に程度であつ九ものが
、150 w / m−に以上の熱伝導率全方する焼結
体も開発されつつある。しかしながら、窒化アルミニウ
ムの理論熱伝導率を考えると、これらの改良され次焼結
体でも、その半分をわずかに超えているにしか過ぎない
。
本発明者らは、上記問題点を解決する几め鋭意検討を重
ねた結果、焼結助剤を添加し、常圧焼結させ九焼結体か
ら、加圧処理により粒界相全除去することで、熱伝導性
の優れた窒化アルミニウム焼結体が得られることを見い
出し本発明を完成し九〇 口課題金解決するための手段〕 すなわち、本発明は、窒化アルミニウムと焼結助剤を含
む温合粉末を成形後、非酸化性雰囲気中焼成して常圧焼
結体を作製した後、この焼結体を非酸化性雰囲気中、1
600℃以上の温度にて加圧処理することを特徴とする
もので、とくに好ましくは、加圧処理方法として一軸加
圧法で行ない、その際の圧力k 20 kg/cm2以
上とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
ねた結果、焼結助剤を添加し、常圧焼結させ九焼結体か
ら、加圧処理により粒界相全除去することで、熱伝導性
の優れた窒化アルミニウム焼結体が得られることを見い
出し本発明を完成し九〇 口課題金解決するための手段〕 すなわち、本発明は、窒化アルミニウムと焼結助剤を含
む温合粉末を成形後、非酸化性雰囲気中焼成して常圧焼
結体を作製した後、この焼結体を非酸化性雰囲気中、1
600℃以上の温度にて加圧処理することを特徴とする
もので、とくに好ましくは、加圧処理方法として一軸加
圧法で行ない、その際の圧力k 20 kg/cm2以
上とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
窒化アルミニウム焼結体を作製するに際し、焼結助剤t
−添加する効果としては、液相を生成し緻密化を促進さ
せるばかりでなく、とくに重要な効果として、窒化アル
ミニウム表面に存在する酸素と反応して、粒子内にこれ
らの酸素が拡散固溶するのを防ぐ点にある◎ 例えば、焼結助剤を添加せず、ホットプレス法にて緻密
化させ九焼結体の熱伝導率はせいぜい6Q w / m
−にであるのに対し、不純物となる焼結助剤を添加する
と15DW/m−に’!に超える焼結体が得られている
。焼結助剤として、例えば酸化イツトリウムを添加した
場合を例にとると、窒化アルミニウムと酸化イツトリウ
ムの混合系においてイツトリウムアルミネート相を形成
せしめることにより、酸化イツトリウムが窒化アルミニ
ウム含有酸素の捕獲剤として働き熱伝導率を高めている
。
−添加する効果としては、液相を生成し緻密化を促進さ
せるばかりでなく、とくに重要な効果として、窒化アル
ミニウム表面に存在する酸素と反応して、粒子内にこれ
らの酸素が拡散固溶するのを防ぐ点にある◎ 例えば、焼結助剤を添加せず、ホットプレス法にて緻密
化させ九焼結体の熱伝導率はせいぜい6Q w / m
−にであるのに対し、不純物となる焼結助剤を添加する
と15DW/m−に’!に超える焼結体が得られている
。焼結助剤として、例えば酸化イツトリウムを添加した
場合を例にとると、窒化アルミニウムと酸化イツトリウ
ムの混合系においてイツトリウムアルミネート相を形成
せしめることにより、酸化イツトリウムが窒化アルミニ
ウム含有酸素の捕獲剤として働き熱伝導率を高めている
。
さらにイツトリウムアルミネート相(3Y203・5A
t203 、 Y2O3・Atz03 * 2Y203
・At203 )のうちでも、酸化イツトリウムを多く
添加し、”103・At203や2Y203・At、0
3 すどY2O3全多く含す相’を形成せしめることが
、よシ高い熱伝導率をもたらす条件であるとされている
。
t203 、 Y2O3・Atz03 * 2Y203
・At203 )のうちでも、酸化イツトリウムを多く
添加し、”103・At203や2Y203・At、0
3 すどY2O3全多く含す相’を形成せしめることが
、よシ高い熱伝導率をもたらす条件であるとされている
。
しかしながら、これらの方法を用いても、その熱伝導率
は200 W/m−に程度のものしか得られず、その理
論熱伝導率320W/m−kには遠く及ばない。
は200 W/m−に程度のものしか得られず、その理
論熱伝導率320W/m−kには遠く及ばない。
本発明者らは、この原因について検討したところ、本来
、熱伝導率を向上させている焼結助剤が、熱伝導率の大
きな向上にはかえって不純物として働くこと、即ち、焼
結助剤と窒化アルミニウムの含有酸素とが反応して生成
する粒界相成分の存在が熱伝導率の大きな向上を阻害し
ていることを見い出したものである。
、熱伝導率を向上させている焼結助剤が、熱伝導率の大
きな向上にはかえって不純物として働くこと、即ち、焼
結助剤と窒化アルミニウムの含有酸素とが反応して生成
する粒界相成分の存在が熱伝導率の大きな向上を阻害し
ていることを見い出したものである。
すなわち、本発明者らは、焼結助剤を添加して作製し之
焼結体の熱伝導率及びその焼結体から粒界相を除去する
方法、さらには粒界相のなくなった焼結体の熱伝導率に
ついて詳しく比較検討を行ったところ、粒界相を除去す
る方法としては、常圧焼結体の加熱加圧処理が有効であ
シ、とくに加圧手段としては一軸加圧法が好ましく、ま
た、この処理全行なうに際し、圧力・温度条件は、粒界
相を構成している成分で異なってくるが、温度1600
℃以上とくに好ましくは1800〜20000Cにて加
熱すること、一方、圧力としては、20kg / cm
2以上好ましくは100〜400に9/cIIL”がよ
いことを確めたものである。
焼結体の熱伝導率及びその焼結体から粒界相を除去する
方法、さらには粒界相のなくなった焼結体の熱伝導率に
ついて詳しく比較検討を行ったところ、粒界相を除去す
る方法としては、常圧焼結体の加熱加圧処理が有効であ
シ、とくに加圧手段としては一軸加圧法が好ましく、ま
た、この処理全行なうに際し、圧力・温度条件は、粒界
相を構成している成分で異なってくるが、温度1600
℃以上とくに好ましくは1800〜20000Cにて加
熱すること、一方、圧力としては、20kg / cm
2以上好ましくは100〜400に9/cIIL”がよ
いことを確めたものである。
このような条件にて、粒界相が何故除去できるかは未だ
明らかではないが、本発明者らの推測するところでは、
高温において粒界相が再び液相化もしくは粘性をもつこ
とによって、外部に移動しやすい状態になつ次ためと考
えている。
明らかではないが、本発明者らの推測するところでは、
高温において粒界相が再び液相化もしくは粘性をもつこ
とによって、外部に移動しやすい状態になつ次ためと考
えている。
これらの方法によって作製された焼結体の加圧処理前後
の熱伝導率の向上度合は、加圧処理前の焼結体の粒界柏
葉に大きく依存しており、例えば、醸化イツトリウムの
場合、2重量%添加した焼結体の加圧処理で20W/m
−に以上、4重量係の添加では3Qw/m−に以上の熱
伝導率の向上がある。
の熱伝導率の向上度合は、加圧処理前の焼結体の粒界柏
葉に大きく依存しており、例えば、醸化イツトリウムの
場合、2重量%添加した焼結体の加圧処理で20W/m
−に以上、4重量係の添加では3Qw/m−に以上の熱
伝導率の向上がある。
さらKは、加圧処理前にY2O3・At203相が存在
する焼結体の加圧処理では、粒界相が除去された後に2
30w/m−kt超える焼結体にもなる。
する焼結体の加圧処理では、粒界相が除去された後に2
30w/m−kt超える焼結体にもなる。
また、本発明のように常圧焼結体を加圧加熱処理して粒
界相を除去する方法と、はじめから焼結助剤を添加し加
圧加熱処理する方法とを比較したところ、焼結体はいず
れもAtN単相でありながら、後者は熱伝導率が著しく
低いものしか得られなかったものであり、これは、本発
明においては、加圧処理をする前に常圧成形体の緻密化
が重要な役割を果していること金示すものである。
界相を除去する方法と、はじめから焼結助剤を添加し加
圧加熱処理する方法とを比較したところ、焼結体はいず
れもAtN単相でありながら、後者は熱伝導率が著しく
低いものしか得られなかったものであり、これは、本発
明においては、加圧処理をする前に常圧成形体の緻密化
が重要な役割を果していること金示すものである。
本発明においては、加圧処理される常圧焼結体の緻密化
度合は、相対密度で85幅以上であることが好ましい。
度合は、相対密度で85幅以上であることが好ましい。
このような焼結体を得るに際しての焼成温度としては、
通常、1600〜2100℃好ましくは1700〜20
00℃が適用される。
通常、1600〜2100℃好ましくは1700〜20
00℃が適用される。
焼成温度が1600℃未満では密度が極めて低くなって
し捷い、一方、2100℃金超えては、窒化アルミニウ
ムの分解が著しいためである。
し捷い、一方、2100℃金超えては、窒化アルミニウ
ムの分解が著しいためである。
中
本発明で使用され焼結助剤は、希土類及び/又はアルカ
リ土類金属の化合物が望ましく、ここで希土類化合物と
は、Y 、 La 、 Ce、 Gd 、 Dy等の元
素を含む、酸化物、窒化物、炭化物、ノ・ロゲン化物、
水素化物又は加熱によってそれらになるものをさす。ま
た、アルカリ土類金属の化合物とは、Ca 、 Sr
、 Ba を含む、酸化物窒化物、炭化物、ハロゲン化
物、水素化物又は加熱によってそれらになるものをさす
。これらの焼結助剤の添加量としては、通常、1〜10
重鎗チ好ましくは2〜6重量%である。1重量%未満で
は常圧焼結体の熱伝導率は低くなシ粒界相を除去した焼
結体の熱伝導率の向上が小さくなる。一方、10重tl
−超えると加圧処理による粒界相の除去が困難となる。
リ土類金属の化合物が望ましく、ここで希土類化合物と
は、Y 、 La 、 Ce、 Gd 、 Dy等の元
素を含む、酸化物、窒化物、炭化物、ノ・ロゲン化物、
水素化物又は加熱によってそれらになるものをさす。ま
た、アルカリ土類金属の化合物とは、Ca 、 Sr
、 Ba を含む、酸化物窒化物、炭化物、ハロゲン化
物、水素化物又は加熱によってそれらになるものをさす
。これらの焼結助剤の添加量としては、通常、1〜10
重鎗チ好ましくは2〜6重量%である。1重量%未満で
は常圧焼結体の熱伝導率は低くなシ粒界相を除去した焼
結体の熱伝導率の向上が小さくなる。一方、10重tl
−超えると加圧処理による粒界相の除去が困難となる。
以下、実施例と比較例をあげてさらに具体的に本発明を
説明する。
説明する。
実施例1
酸素含有量が1.0重量%である窒化アルミニウム粉1
00重量部に酸化イツトリウムを各々4゜6#8重量部
添加後、さらにポリメチルメタアクリレートのトルエン
醇液を添加し、混合粉末を得た。この混合粉末をアルミ
ナ裂ボットに入れ、ボールミルで充分混合したのち、乾
燥後、圧力400ゆ/ cm”で−軸加工成形し、30
mφ×5騙tの成形体を得次。これらの成形体t”N2
中、700℃で加熱し、脱脂処理を行なった後、N21
気圧中、1900℃で2時間焼成して常圧焼結体を得九
。
00重量部に酸化イツトリウムを各々4゜6#8重量部
添加後、さらにポリメチルメタアクリレートのトルエン
醇液を添加し、混合粉末を得た。この混合粉末をアルミ
ナ裂ボットに入れ、ボールミルで充分混合したのち、乾
燥後、圧力400ゆ/ cm”で−軸加工成形し、30
mφ×5騙tの成形体を得次。これらの成形体t”N2
中、700℃で加熱し、脱脂処理を行なった後、N21
気圧中、1900℃で2時間焼成して常圧焼結体を得九
。
この常圧焼結体につき、密度、構成相、熱伝導率全確認
したのち、さらに、N2中(1気圧)、1900°0.
3時間、圧力350kg/礪2でホットプレスを行ない
焼結体を得た。これらの焼結体につき、密度、構成相、
さらに熱伝導率を測定した。
したのち、さらに、N2中(1気圧)、1900°0.
3時間、圧力350kg/礪2でホットプレスを行ない
焼結体を得た。これらの焼結体につき、密度、構成相、
さらに熱伝導率を測定した。
その結果を表1に示す。
実施例2
酸素含有量1.5重量%である窒化アルミニウム粉10
0重景部に酸化イツトリウムを6重量部添加後、以下、
実施例1と同様の工程金へて、成形体全作製し友。
0重景部に酸化イツトリウムを6重量部添加後、以下、
実施例1と同様の工程金へて、成形体全作製し友。
得らi之成形体を、Nt中(1気圧)で1850℃、4
時間焼成した。得られた焼結体について、密度、構成相
及び熱伝導率を測定後、以下の(11〜(3)の条件で
ホットプレス処理tmし九。
時間焼成した。得られた焼結体について、密度、構成相
及び熱伝導率を測定後、以下の(11〜(3)の条件で
ホットプレス処理tmし九。
(11Nz1気圧中で1600℃、12時間ホットプレ
ス(圧力400kli’/α2) (21N21気圧中で1700℃、10時間ホットプレ
ス(圧力300 kg/crn” )(31Na1気圧
中で1900℃、8時間ホットプレス(圧力200ゆ/
傭2) 得られた焼結体の密度、構成相及び熱伝導率の測定結果
全表2に示す。
ス(圧力400kli’/α2) (21N21気圧中で1700℃、10時間ホットプレ
ス(圧力300 kg/crn” )(31Na1気圧
中で1900℃、8時間ホットプレス(圧力200ゆ/
傭2) 得られた焼結体の密度、構成相及び熱伝導率の測定結果
全表2に示す。
実施例6
酸素含有量が0.9重量%である窒化アルミニウム10
0重量部にフッ化イツトリウムを各に3及び5重量部添
加後、実施例1と同様の方法にて成形体を作製した。こ
れらの成形体t2000℃、1時間、N2中で常圧焼結
し焼結体を得た。この焼結体音、フッ化イツトリウム3
重量部添加については、N8中、1950℃、15時間
、20kgZ12下の圧力下、5重量部については、N
2中、1900℃、4時間、350ゆ/停2の圧力下で
ホットプレスし焼結体を得た。これらの焼結体につき、
加圧処理前後における焼結体の密度、構成相及び熱伝導
重金測定した。その結果を表3に示す。
0重量部にフッ化イツトリウムを各に3及び5重量部添
加後、実施例1と同様の方法にて成形体を作製した。こ
れらの成形体t2000℃、1時間、N2中で常圧焼結
し焼結体を得た。この焼結体音、フッ化イツトリウム3
重量部添加については、N8中、1950℃、15時間
、20kgZ12下の圧力下、5重量部については、N
2中、1900℃、4時間、350ゆ/停2の圧力下で
ホットプレスし焼結体を得た。これらの焼結体につき、
加圧処理前後における焼結体の密度、構成相及び熱伝導
重金測定した。その結果を表3に示す。
実施例4
酸素含有量が2.0重iチである窒化アルミニウム10
0重量部に酸化イツトリウム全5重量部添加し、以下実
施例1と同様な方法にて成形体を作!8i後、この成形
体をN2中、1700℃、10時間焼成し常圧焼結体を
得念。この焼結体を、N21気圧中、1800℃にて1
時間、圧力200kg/crn2下でホットプレスし、
さらに昇温し19500Cにて、圧力300 kg/
cm”で3時間ホットプレスした。加熱加圧処理前後の
密度、構成相及び熱伝導率の測定結果を表4に示す。
0重量部に酸化イツトリウム全5重量部添加し、以下実
施例1と同様な方法にて成形体を作!8i後、この成形
体をN2中、1700℃、10時間焼成し常圧焼結体を
得念。この焼結体を、N21気圧中、1800℃にて1
時間、圧力200kg/crn2下でホットプレスし、
さらに昇温し19500Cにて、圧力300 kg/
cm”で3時間ホットプレスした。加熱加圧処理前後の
密度、構成相及び熱伝導率の測定結果を表4に示す。
表 4
実施例5
酸素含有量が1.2重量%である窒化アルミニウム粉1
00重量部に酸化カルシウム全容々1.0゜1.5重量
部添加し、以下実施例1と同様な方法にて成形体を得た
。
00重量部に酸化カルシウム全容々1.0゜1.5重量
部添加し、以下実施例1と同様な方法にて成形体を得た
。
この成形体kN2中、1900℃、4時間常圧焼結した
のち、さらに、N2中1950℃、5時間、400kl
?/α2の圧力下ホットプレスを行なった。加熱加圧処
理前後にお叶る焼結体の密度及び熱伝導$1−測定した
結果を表5に示す。
のち、さらに、N2中1950℃、5時間、400kl
?/α2の圧力下ホットプレスを行なった。加熱加圧処
理前後にお叶る焼結体の密度及び熱伝導$1−測定した
結果を表5に示す。
実施例6
酸素含有量が1.0重ltチである窒化アルミニウム粉
100重量部に、フッ化カルシウムヲ各々1.0 、2
.0重量部添加し、以下実施例1と同様な方法にて成形
体を炸裂した。この成形体を、N2中、1850°0.
6時間焼成して常圧焼結体全作製後、さらに1900℃
にて12時間、圧力250kl / an2のもとてホ
ットプレス全し九。
100重量部に、フッ化カルシウムヲ各々1.0 、2
.0重量部添加し、以下実施例1と同様な方法にて成形
体を炸裂した。この成形体を、N2中、1850°0.
6時間焼成して常圧焼結体全作製後、さらに1900℃
にて12時間、圧力250kl / an2のもとてホ
ットプレス全し九。
加熱加圧処理前後における焼結体の密度及び熱伝導率の
測定結果を表5に示す。
測定結果を表5に示す。
なお、加熱加圧処理前後における焼結体の構成相を調べ
たところ、処理前において多量に存在していたカルシウ
ムアルミネート相が処理後除去され之ことを確認した。
たところ、処理前において多量に存在していたカルシウ
ムアルミネート相が処理後除去され之ことを確認した。
工法にて粒界相を除去することにより、高い熱伝導性を
有する窒化アルミニウム焼結体を得ることができる。
有する窒化アルミニウム焼結体を得ることができる。
特許出願人 電気化学工業株式会社
手続補正書
昭和63年6月15日
特許庁長官 吉 1)文 毅 殿
1、事件の表示
昭和63年特許願第121927号
2、発明の名称
窒化アルミニウム焼結体の製造方法
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
住所 ■100 東京都f代田区有楽町1丁目4番1号
明細書の発明の詳細な説明の憫 5、補正の内容 明細書第6頁第11行の「Y2O3・A2□03」をr
2YzOz・A 1 z OsとYzo2uに訂正する
。
明細書の発明の詳細な説明の憫 5、補正の内容 明細書第6頁第11行の「Y2O3・A2□03」をr
2YzOz・A 1 z OsとYzo2uに訂正する
。
Claims (1)
- (1)窒化アルミニウムと焼結助剤を含む混合粉末を成
形後、非酸化性雰囲気中焼成して常圧焼結体を作製した
後、この焼結体を非酸化性雰囲気中、1600℃以上の
温度にて加圧処理することを特徴とする窒化アルミニウ
ム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63121927A JPH01294578A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63121927A JPH01294578A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01294578A true JPH01294578A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14823367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63121927A Pending JPH01294578A (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01294578A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6241768A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-23 | 富士通株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPS643075A (en) * | 1985-10-31 | 1989-01-06 | Kyocera Corp | Sintered material of aluminum nitride and production thereof |
JPH01115875A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH01224269A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-07 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製法 |
JPH01239067A (ja) * | 1988-03-19 | 1989-09-25 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP63121927A patent/JPH01294578A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6241768A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-23 | 富士通株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPS643075A (en) * | 1985-10-31 | 1989-01-06 | Kyocera Corp | Sintered material of aluminum nitride and production thereof |
JPH01115875A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH01224269A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-07 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム焼結体の製法 |
JPH01239067A (ja) * | 1988-03-19 | 1989-09-25 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
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