JPH01289735A - 無人搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ＜ｍ梁上の利用分野） 本発明は、自動的に物品の搬送を行なう無人搬送車に配
置される分割型突出量可変バンパに関するものである。

（従来の技術） 一般に物品の搬送を行なう無人車では、走行制御系に万
一障害が生じた場合、或は搬送路上に障害物、作業員等
が位置していた場合に、衝突時の衝撃を回避して無人走
行車自体、搬送路上の障害物ないし作業員等の安全性を
確保するため、無人搬送車本体の前後に突出させて、衝
突した場合の衝撃を緩和すると共に、この衝突を探知し
て無人搬送車を自動的に停止させる衝突センサを備えた
バンバが配置される場合が多い、このような無人搬送車
のバンパに関して、本願出願人は先に特願昭６１−１３
５６３１号において、安全性の要求と、例えば半導体製
造のためのクリーンルーム等のごとき狭い複雑な室内で
の無人搬送車の走行及び積み下ろし作業の困難性という
二律背反する課題を解決調和せしめたバンバ、すなわち
車速に応じてバンバ突出量を可変調節し、衝突センサで
障害物等とバンパとの接触が検知された場合に、該バン
パ長の範囲内で無人搬送車を停止させることの可能な突
出量可変型バンパを提案した。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このようにパンバ突出量を車速に応じて
可変調節し、衝突センサを設けて衝撃を吸収回避するの
みでは、無人搬送車が左曲り、右曲り等のためカーブ走
行する場合に高速状態のままで走行すると、該速度に対
応してバンバの長さが長く設定されるため、バンパ長が
長すぎて無人搬送車の旋回半径が広がり、内輪差又は外
輪差によって、本来は接触せずに走行可能な位置にある
設置機器類等に無人搬送車本体又は該バンパが接触して
、不要な停止を余儀無くされる。しかも、たとえバンバ
に接触したとしても、カーブ走行中であるが故に衝突の
衝撃を十分に吸収出来ず、無人搬送車の積荷及び該設置
機器類を破壊する危険性があった。

また、カーブ走行する場合には、車の進・行方向左右位
置で速度（加速度）が異なるため、バンパの突出長さを
速度に対応して適切に調節できず、バンパ長が不要に長
いか又は不十分に短かいという問題もあった。このため
、バンバ長が長ずざると前記した弊害・危険性が更に助
長され、逆に短すぎると接触を衝突センサが検知した時
には既に遅く、搬送車自体、作業員、障害物等に衝突の
衝撃を与えてしまう危険性があった。

更に、直進等する場合でも、無人搬送車本体の左側又は
右側車体端部の前方に位置する障害物等に対しては、バ
ンパに備えた衝突センサが適切に対応せず、衝突の衝撃
を回避出来ない危険性があった。

本発明は、かかる従来の事情に鑑みなされたもので、無
人搬送車がカーブ走行する場合等においても、走行路槽
に位置する設置機器類等との衝突のＷＩ＠を回避し安全
性の向上を図ることのできると共に、無人搬送車の車幅
端部前方に障害物等が位置する場合でも衝突の衝撃を回
避できる分割型突出量可変バンパを提供しようとするも
のである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、上述の問題点を解決するため、無人搬送車本
体の進行方向前部又は後部に配置されるバンバを、車幅
方向において少なくとも２つに分割配置し、該分割配置
したバンバの各々に無人搬送車本体からの突出長さ調節
装置及び障害物との接触を探知する衝突センサとを備え
る構成を採用した。

（作用） 本発明のバンパでは、無人搬送車本体の車幅方向におい
て少なくとも２つに分割配置した各々のバンバに備えた
速度対応の突出長さ調整装置により、無人搬送車の速度
が低く移動距離が短い低速走行時には各々のバンパの突
出長さが自動的に短く調節され、又、移動距離の長くな
る高速走行時には自動的に長く調節される。このような
自動調節は、分割配置される前記各々のバンパ毎に独立
して行なわれるため、無人搬送車の走行状態に応じて各
バンパ毎に適切な突出長さを調節でき、衝突センサも各
バンバ毎に働く。

例えば、高速状態での左曲りのカーブ走行時、進行方向
左側のバンバの突出長さをカーブ前半において短めに設
定して、カーブ走行路左横に存在する半導体製造装置等
の設置機器類に衝突しないように走行することができる
。このとき進行方向右側のバンバは１通常通り走行速度
及びカーブ角度に応じて定まる速度（加速度）に対応し
て、適切な長さに可変調節することが可能である。また
、外輪差による右側バンパと走行路右斜め前の設置機器
類との接触を避けるために、左曲りカーブの後半におい
て、右側バンパの突出長さを外輪差の範囲内まで短くす
ることも可能である。このように、各々分割配置された
バンパの突出長さをカーブの状態にも対応させることが
できる。

なお、上記のようにカーブ走行時等においてバンバ長を
短めに設定しても、衝突センサからの信号により無人搬
送車を停止させる制御装置は働いているので、走行路上
の障害物に対しては無人搬送車を停止でき、衝突の衝撃
を回避することができる。

また、無人搬送車が直進又は直進する場合に、無人搬送
車の左側又は右側の車幅端前方に障害物等が位置する場
合でも、各バンパ毎に突出長さが調節され、各バンパ毎
に衝突センサを具備しているため、より完全な対応をと
ることが出来、当該障害物にも十分に対応することが可
能となる。

（実施例） 以下、本発明の無人搬送車用分割型突出量可変バンパの
実施例を図面に従って説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る無人搬送車用分割型
可変バンバを配置し、無塵室内で半導体ウェハの搬送を
行なう無人搬送車を示す全体概略図であり、第２図（ａ
）乃至（ｃ）は第１図で使用した本発明の一実施例に係
る無人搬送車用分割可変型バンパの作動状態を示す説明
図である。

第１図に示す例では、無人搬送車本体１は、伸縮する搬
送物積み下ろし作業用アーム２により半導体ウェハ収納
キャリヤ３を、天井部に設けられたファン４とＨＥＰＡ
フィルタ５により清浄化された空気を満たされた搬送物
収容部６に収容し、制御装置７によって制御された走行
用駆動装置！８により、図中矢印方向に走行するよう構
成されている。なお、上記無人搬送車本体１の下部には
。

ＨＥＰＡフィルタ９を介して外部へ排気する排気ファン
１０が設けられており、無人搬送車本体１内で発生した
塵が外部へ排出されないよう構成されている。

そして、係る無人搬送車本体１の進行方向には、制御装
置７に接続された衝突センサ１１、突出長さ調節装置１
２を夫々備え、車幅方向において左右２つに分割された
一対のバンパ１３，１３ａが配設されている。かかるバ
ンパ１３，１３ａは、衝撃を吸収するため、ウレタンゴ
ム等の弾性部材により形成される。

上記した一対のバンパ１３，１３ａの突出長さは、無人
搬送車の速度に応じて、各々具備する衝突センサ１１に
よっていずれかのバンバ１３，１３ａと障害物等の接触
を検知してから無人搬送車本体１が停止するまでに要す
る実測された距離よりもやや長い長さに、前記突出長さ
調整装置１２により調節される。また、該突出長さ調整
装置１２は、速度制御だけでなく、カーブ等の走行状態
にも対応して、各バンパ１３，１３ａの突出長さを各バ
ンバ毎に自在に調節できる。

第２図（ａ）乃至（ｃ）は、突出長さ調節装置１２によ
り可変調節される前記バンパ１３，１３ａの作動状態を
示したもので、第２図（ａ）は無人搬送車が直進状態で
低速走行している場合、第２図（ｂ）は無人搬送車が直
進状態で高速走行している場合、第２図（ｃ）は無人搬
送車が左曲りのカーブ走行中（カーブ前半の段階）にお
いて左側バンバ１３の突出長さを短くした場合の作動状
態を夫々示すものである。第２図（ｃ）において、カー
ブ後半の段階では、右側のバンバ１３の突出長さを短く
すれば外輪差による衝突も回避できる。

図中１４は半導体製造装置等の設置機器類である。

なお、上記実施例において、本発明に係るバンパは、無
人搬送車本体１の進行方向前方位置に、左右一対の２つ
のバンバ１３，１３ａとして配置されているが、更に３
個以上に分割配置されても良いし、前方位置だけでなく
、後方位置、側方位置にも配置しても良い、又、バンバ
形状は特に図示した形状に限らず円弧状等他の形状であ
っても良く、更に緩衝材としてバネ等を補助的に加える
ようにしても良い。

第３図及び第４図は、突出長さ調節装置１２により調節
される本実施例に係るバンパの突出長さと無人搬送車の
速度との関係を示したグラフで、第３図は速度に対応し
てアナログ制御される突出長さの変化量を曲線Ｃで表し
、点曲線Ｅはカーブ走行中の変化を表す、また、第４図
は同様にデジタル制御される場合の変化量を折れ線Ｄ、
点曲線Ｆで表したものである０両図は、−のバンパのみ
の突出量の一例を示すグラフであるが、上記したように
、突出量は走行状態に応じて各バンパ毎に設定すること
が可能である。

第５図は、本発明の他の実施例の要部を示したもので、
この実施例の無人搬送車では、無人搬送車本体１の進行
方向側の左右両側に一対の棒状のバンバ１３ｂ、１３ｃ
と、この一対のバンパ１３ｂ、１３ｃを回転させること
によってその突出長さを変化させる各突出長さ調節装置
１２　ａ、および該バンバ１３ｂ、１３ｃに対して前方
位置から加わる圧力を検知する各衝突センサｌｌａが各
々配設されている。なお、無人搬送車本体１の前部への
上記バンバ１３ｂ、１３ｃの取付位置は、上下方向に段
差を設けるようにしても良い。

上記構成のこの実施例では、突出長さ調節装置１２ａは
、バンパ１３ｂ、１３ｃに前方から加わる圧力により生
じる一定値以上の回転力に対しては、すべりを生じ回転
するよう構成されており、接触の衡撃を吸収する。

また、一対のバンバ１３ｂ、１３ｃの突出長さは、前述
の実施例と同様に、無人搬送車の速度に対応して、衝突
センサｌｌａによっていずれかのパンパ１３ｂ、１３ｃ
と障害物等の接触を検知してから無人搬送車本体１が停
止するまでに要する実測された距離よりもやや長い長さ
に調節され、前記実施例同様、カーブ等の走行状態に応
じて各別に調節される。

次に、上記実施例の作用について説明する。

本実施例のバンパ１３，１３ａ、１３ｂ、１３Ｃでは、
無人搬送車本体１の車幅方向において少なくとも２個分
割配置した各々のバンパ１３，１３ａ、１３ｂ、１３ｃ
に備えた速度対応の突出長さ調整装置１２，１２ａによ
り、各々のバンパ１３．１３ａ、１３ｂ、１３ｃの突出
長さが、無人搬送車１の速度が低く停止距離が短い低速
走行時には自動的に短く調節され、又、停止距離の長く
なる高速走行時には自動的に長く調節される。このよう
な自動調節は１分割配置される前記各々のバンパ１３，
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ毎に独立して行なわれるため、
無人搬送車の走行状態に応じて各バンパ毎の適切な突出
長さを各々バンバに具備する突出長さ調節装置１１２．
１２ａで調節でき、衝突センサ１１．ｌｌａも各バンバ
毎に働く６例えば、高速状態での左曲りのカーブ走行時
、進行方向左側のバンパの突出長さをカーブ前半におい
て短めに設定して、カーブ走行路左横に存在する半導体
製造装置等の設置機器類に衝突しないように走行するこ
とができる。このとき進行方向右側のバンバ１３ａ（又
は１３ｃ、１３ｃ）は、通常通り走行速度及びカーブ角
度に応じて定まる速度（加速度）に対応して、適切な長
さに可変調節することが可能である。また、外輪差によ
る右側バンパと走行路右斜め前の設置機器類との接触を
避けるために、左曲りカーブの後半において、右側バン
バの突出長さを外輪差の範囲内まで短くすることも可能
である。このように、各々分割配置されたバンパの突出
長さをカーブの状態にも対応させることができる。

なお、上記のようにカーブ走行時等においてバンパ１３
ａ、１３ｃのバンバ長を短めに設定する等、各バンパ毎
に突出長さを変化させても、各々のバンパに具備された
衝突センサ１１．ｌｌａの作用により、該衝突センサ１
１．ｌｌａからの信号で無人搬送車を停止させる制御装
置７が働くので、パンパ１３’＋　ｌ　３　ａ　＋　１
３　ｂ　ｔ　１３　ｃの突出長さぎりぎりで無人搬送車
を停止でき、衝突の衝撃を吸収・回避することができる
。

また、無人搬送車本体１の車幅端部前方位置に障害物等
が位置する場合でも、各バンパ１３，１３ａ、１３ｂ、
１３ｃ毎に突出長さが調節され、該各バンバ毎に具備す
る衝突センサ１１．ｌｌａが働くため、より完全な対応
をとることが出来、当該障害物にも十分に対応して、衝
突の衝撃を回避することが可能となる。

（発明の効果） 以上説明したところから明らかなように、本発明によれ
ば、無人搬送車本体の進行方向前部又は後部に配置され
るバンパを車幅方向において少なくとも２つに分割配置
し、該少なくとも２つに分割配置したバンパの各々に無
人搬送車本体からの突出長さ調節装置及び障害物との接
触を探知する衝突センサとを備えるよう構成したので、
無人搬送車がカーブ走行する場合や回転走行する場合に
おいても、カーブ走行路上に位置する障害物等との衝突
に際してバンバ突出長さの範囲内で無人搬送車を停止で
き、衝突の衝撃を回避し、無人搬送車自体、障害物１作
業員等の安全性の向上を図ることのできる。また、無人
搬送車が直進又はカーブ走行する場合において、該無人
搬送車の車幅端部前方に障害物等が位置する場合でも、
少なくとも２つに分割配置されたバンパの各々のバンパ
突出長さ調節装置及び衝突センサが有効に働くため、衝
突の衝撃を回避できるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る無人搬送車用分割型突
出量可変バンパを無人搬送車本体の前方に配置し、無塵
室内で半導体ウェハの搬送を行なう無人搬送車を示す全
体概略図、第２図（ａ）乃至（ｃ）は各々第１図で使用
した本発明の一実施例に係る無人搬送車用分割型突出量
可変バンパの作動状態を示す説明図、第３図乃至第５図
は各々突出長さ調節装置により調節されるバンパの突出
長さと無人搬送車の速度との関係を示したグラフ、第６
図は本発明の他の実施例の要部を示した概略図である。 １・・・・無人搬送車本体 ７・・・・制御装置 １１、ｌｌａ・・・・衝突センサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 無人搬送車本体の進行方向前端又は後端に配置されるバ
   ンパを、車幅方向において少なくとも２つに分割配置し
   、該分割配置したバンパの各々に無人搬送車本体からの
   突出長さ調節装置及び障害物との接触を探知する衝突セ
   ンサとを備えたことを特徴とする無人搬送車用分割型突
   出量可変バンパ。