JPH01276191A - 液晶表示体検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、液晶表示体検査装置に関する。

（従来の技術） 一般に半導体素子の電気的特性を検査する検査装置とし
て半導体ウエハプローバが知られている。

上記半導体素子に替えて液晶テレビ画面等の液晶基板（
以降、ＬＣＤと略記する）の電気的特性を検査する装置
として液晶表示体検査装置が知られている。

上記液晶表示体検査装置は検査されるＬＣＤの電極列に
対応したフィルム電極の端子列を圧接する。

そして、テスタ側からのテストパターン信号が通電され
てＬＣＤ表示する。このＬＣＤ表示状態を検査するもの
である。このような装置を用いてＬＣＤを検査する場合
に、上記フィルム電極の端子列には、ゴミ、チリが付着
してしまう。またサビが発生してくる。

上記フィルム電極に付着したゴミ、チリ及びサビを取り
省くものとして研磨機構がＬＣＤをａ置するステージに
設けられている。

上記事情を考慮した技術として、例えば特開昭６１−９
４３４７号公報、特開昭６１−２３３８号公報等に開示
されている。前者公報は半導体ウェハチップの電極パッ
ドに接触する触針を研磨する機構を設けたもので、研磨
体を上下動方向に昇降して研磨するものである。後者公
報は被検査体の電極に圧接して通電させるフィルム電極
を説明するものである。即ち、電極端子列である平面的
な帯状に形成された配線部品でフラットケーブルと称さ
れている。例えば軟質プラスチック等の弾力性の絶縁フ
ィルムの表面にアルミニューム、銅等の導電性の金属線
、金属膜を複数本並列配置して、絶縁フィルムで絶縁し
てパターンニング配線したものである。ここで上記説明
したフィルム電極の端子の片面、例えばＬＣＤ電極と接
触する部分の片面には絶縁フィルムが施されていない。

上記フィルム電極はＬＣＤ周縁に形成されている電極面
と略平行に配置されている。このような帯状に形成され
たフィルム電極を端子として用いてこのフィルム電極の
端子列を研磨する機構を配置した液晶表示体検査装置は
見当らない。

（発明が解決しようとする課題） 上述したように従来の半導体ウェハに接触して検査する
触針に代えてフィルム電極を用いてＬＣＤを検査する場
合は、上記フィルム電極の端子列が従来の点接触と異っ
て、面積を有して一括接触するので、この面積領域に付
着したゴミ、チリ及びサビを取り省く必要がある。しか
しながら、上記フィルム電極の端子列は、ＬＣＤの電極
列面と略平行に設けられており、この端子列を従来のよ
うに研磨体を上下動させて研磨することが困難であった
。

そこで５本発明の目的とするところは、上述した問題点
を鑑みてなされたもので、ステージに設けられた研磨体
を電極端子列方向と同方向に正逆移動させて研磨する液
晶表示体検査装置を毘供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は被検査体を載置するステージ、このステージに
対向して配置された電極端子列、この電極端子列を研磨
する研磨機構を備えた装置において、上記研磨機構はス
テージに設けられた研磨体を上記電極端子列方向と同方
向に正逆に移動して研磨する構成にしたことを特徴とし
ている。

（作　用） 電極端子列を研磨体で研磨する過程で上記研磨体が上記
電極端子列に圧接して、この研磨体を上記電極端子列と
同方向に正逆移動するので、（上記電極端子列が上記研
磨体の正逆移動で研磨される。）上記電極端子列に付着
した不絶縁物を取り省くことができる。

（実施例） 以下本発明装置をＬＣＤの製造工程中に断線、ショート
その他の検査を行う液晶表示体プローバ（以下、　ＬＣ
Ｄプローパと略記する）に適用した一実施例について図
面を参照して説明する６本実施例ＬＣＤプローバの外観
構成について第６図を参照して説明する。

上記ＬＣＩＩプローバは周知のように、ＬＣＤの周縁に
形成された電極列に略平行に配置したフィルム電極の端
子列を一括圧接して電気検査させるものである。　この
−括圧接に際して、　ＬＣＤを所定枚数検査した後、手
動的又自動的に上記フィルム電極の端子列面を研磨して
、圧接時に付着したゴミ、チリ及び発生したサビ等を取
り省きながら検査している。

上記ＬＣＤプローバのは大別してＬＣＤの検査を行う検
査部■と、この検査部■に検査されるＬＣＤを搬送させ
るローダ部■と、上記検査部■の検査中心（イ）に設け
られている仮固定されたフィルム電極を研磨する研磨機
構とから構成されている。

上記検査部■は第５図を参照して具体的に説明する。上
記検査部■は被検査体のＬＣＤ（ハ）を載置するステー
ジ（Ｑと、このステージ０の上空部にステージ０面と平
行に配置されたヘッドプレート■と、このヘッドプレー
ト■の中心に穿設した略四角形状の角孔■の周縁にフィ
ルム電極（９Ａ、　９Ｂ、　９Ｃ）をＬＣＤ■の電極に
圧接させる圧接ブロック機構（］、ＯＡ。

１０Ｂ、　ｌ０Ｃ）とから構成されている。

上述したステージ０は本実施例ＬＣＤプローバ（υの基
台上に平面方向移動可能に配置されている。

例えば上記基台上に敷設された二本のレールに上記ステ
ージ０が平面方向移動可能に設けられ、このレール上を
上記ステージ０が移動駆動される。

このステージ０はｘ′＠・Ｙ軸・Ｚ軸方向に移動可能で
、０方向に回転可能に構成されている。

上述したヘッドプレート■は、上記ステージ０の上空部
に平行して配置して基台上に固定されている。

上述した圧接プロ７り機ｉ　（ＩＯＡ、　ＩＯＢ、　ｌ
０Ｃ）は検査中心（イ）に搬送されたＬＣＤ■の夫々電
極列に夫々フィルム電極（９Ａ、　９Ｂ、　９Ｃ）の端
子列を一括圧接して通電させるものである。

上記圧接ブ０ツク機構（ＩＯＡ、　ＩＯＢ、　１Ｏｃ）
は第４図を参照して説明する。上記圧接ブロック機構（
ＩＯＡ、　ＩＯＢ、　ｌ０Ｃ）は圧接ブロック（１１）
とこの圧接ブロック（１１）に仮固定するフィルム電極
■とから構成されている。上記圧接ブロック（１１）は
上記フィルム電極（９）の端子列を在して、ＬＣＤ（５
）電極列に圧接するものである。上記圧接ブロック機構
（ＩＯＡ。

１０Ｂ、　ｌ０Ｃ）の先端には第３図（ａ）で示すよう
に、フィルム電極０）の裏面（１２）の裸被された端子
列（１３）をＬＣＤ（５）電極と接触可能に突出部（１
４）が設けられている。また、この先端の突出部（１４
）にはフィルム電極■）の端子を吸着固定する吸着孔（
図示せず）が複数個穿設されて仮固定可能に構成されて
いる。

一方、上記圧接ブロック（１１）の反対端（１５）には
、第４図で示すようにこの突出部（１４）がＬＣＤ■電
極と押圧する方向に回動する回転ヒンジ（１６）が設け
られている。

上記圧接ブロック機構（１０）でＬＣＤ■の電極にフィ
ルム電極（９）を圧接する圧接力はエアーシリンダ（１
７）で加圧している。このエアーシリンダ（１７）の加
圧調整は、電空レギュレータ（１８）と称する電流址に
よって、空気圧を変化させる機構が設けられている。上
記エアーシリンダ（１７）は、Ｄ／Ａコンバータ（１９
）を介してＣＰＵ（２０）の指令に基づいて制御されて
いる。

次に上記ローダ部■について説明する。このローダ部■
は複数のＬＣＤ■を収納したカセットからＬＣＤ（５）
を取出し１例えば５センチ角のＬＣＤを２５枚収納した
カセットより枚葉式にＬＣＤを取出し、このＬＣＤ■の
電極列を一方向に揃えるようにプリアライメントした後
に、上記検査部側に受は渡すように構成されている。

次に上記研磨機構（２１）について説明する。この研磨
１構（２１）は検査中心に搬送されたＬＣＤ■と圧接す
るフィルム電極■）の端子列に付着したゴミ。

チリ及び発生したサビを取り省くために研磨するもので
ある。

上記研磨機構（２１）は第３図に示すように、フィルム
電極０の裸被した端子列（１３）面の対向面に配置され
た研磨体（２２）とこの研磨体（２２）を研磨する如く
駆動する機ａ　（２３）とから構成されている。

上記研磨機構（２１）の研磨体（２２）は第２図を参照
して説明する。上記研磨体（２２）はステージ０上に載
置されるＬＣＤ（５１の外側面に、夫々のフィルム電極
（９）と対向して設けられている。例えば左フィルム電
極（９Ａ）に対向して左研磨体（２２Ａ）が設けられて
いる。同様にして例えば上フイルム電極（９Ｂ）に対向
して上研磨体（２２Ｂ）が設けられている。同様に右フ
ィルム電極（９Ｃ）に対向して右研磨体（２２Ｃ）が夫
々設けられている。上記フィルム電極（９）を研磨する
場合、例えば左フィルム電極（９Ａ）の端子列面を研磨
する場合について説明する。ステージ０の中心（２４）
よりＬＣＤ■の電極位置までの距離をＱｌ、またステー
ジ■の中心（２４）より左研磨体（９Ａ）の中心までの
距離をＱ２とすれば、Ｑ、−Ｑ□；Ｑ３の距離を矢印（
２５）の方向に移動させて左フィルム電極（９Ａ）の端
子列の下側に左研磨体（２２Ａ）を配置するように構成
されている。ここで上記ステージ０、例えば１００ｎｎ
角ＸｔｌＯｍアルミ部材のステージ面に平行に研磨体、
例えばＷ５ｍｍＸＨ２ｍａＸＱ６０ａａ、表面荒１６０
０〜５６００のセラミック材の研磨体をエボキシュ系接
着材で固着されている。

尚、上記圧接ブロック（１１）に仮固定したフィルム電
極（９）を研磨する研磨体（２２）は、第３図（ａ）に
示すように、傾斜された圧接ブロック（１１）の最下端
に仮固定、例えば真空圧で吸着固定して裸被された端子
列（１３）が研磨体（２２）に対応する如く配置されて
いる。

本実施例の特徴的構成は第１図を参照して具体的に説明
する。上述した研磨体（２２）がフィルム電極（９）の
端子列（１３）面方向と、同方向に反復移鉤して研磨す
ることにある。即ち、上記研磨体（２２）が固着したス
テージ０をＸ軸・Ｙ軸方向に反復移動させるＸ軸移動駆
動部（２６）、Ｙ軸移動駆動部（２７）と、上記研磨体
（２２）をフィルム電極■）に圧接する２軸上下動駆動
部（２８）とから構成されている。ここで上記、Ｘ軸移
動駆動部（２６）、Ｙ軸移動駆動部（２７）及びＺ軸上
下動駆動部（２８）はＣＰＵ　（２９）によって駆動制
御されている。

次に作用について説明する。本実施例ＬＣＤプローバ（
１）は、先ずローダ部（３）から検査部（２）のステー
ジ０に検査されるしＣＤを搬送する。このステージ０に
搬送されたＬＣＤ（５）はアライメントが行われて。

検査中心Ｇ）に搬送する。上記搬送されたＬＣＤ■の電
極にフィルム電極（９）の端子列（１３）を圧接して、
テスタからの信号で検査する。検査されたＬＣＤ（ハ）
はローダ部（３）によってカセットに戻される。

上記フィルム電極（９）の端子列（１３）にＬＣＤ■の
電極列を圧接して検査する工程が設定枚数を行った後に
、予め決められた枚数枚に研磨工程を行う。

この研磨工程はステージ（０上のＬＣＤ■を載置させな
い状態で実行する。

上述した状態において、本実施例の特徴的な作用につい
て説明する。予め記憶されたプログラムに従って制御手
段１例えばＣＰｕ　（２９）よりフィルム電極■）を研
磨する信号がステージ０側に発せられる。この信号に基
づいて、フィルム電極（９）例えば左フィルム電極（９
Ａ）の端子列の下側に左研磨体が配置するようにＸ軸移
動駆動部（２６）の駆動モータによって移動する。

次に左フィルム電極（９Ａ）の端子列（１３）が左研磨
体（２２Ａ）と圧接するように、Ｚ軸移動ｌψ動部（２
８）の駆動モータによって相対的に昇降する。次に左フ
ィルム電極（９Ａ）の端子列（１３）を研磨するように
端子列方向、図中では矢印（３０）方向に正逆移動する
。同様にして、上フイルム電極（９）の端子列（１３）
の下側に上研磨体（２２）が対応する如く配置するよう
にＹ軸移動駆動部（２７）の駆動モータによって移動す
る。同様にして、上フイルム電極（９Ｂ）の端子列（１
３）が上研磨体（２２Ｂ）と圧接して端子列方向に正逆
移動する。同様にして、右フィルム電極（９Ｃ）の研磨
は右研磨体（２２Ｃ）で行われている。

上述した実施例において、フィルム電極（９）の端子列
（１３）を研磨する研磨体はセラミックの荒面に擦り付
けて研磨するものである。この研磨材はゲ　４ル状、ソ
リッド状の研磨液を塗布して研磨するように構成しても
よい。

上記フィルム電極■）の端子列（１３）に金メツキが施
されたフィルム電極では、サビが発生しないのでこの金
メツキに付着したゴミ、チリを取り省けばよい。尚、金
メツキ部分はアルコール及びフレオン等を、上記研磨体
面に、しみこませた布等を設けてもよい。上記フィルム
電極０の端子列（１３）を研磨するに際し、端子列面方
向と同方向に反復する構成にした実施例を挙げたが、端
子列面方向と同方向に移動して研磨する場合に、一方向
のみに移動する時に研磨して戻る時は研磨しない構成に
しても良い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、研磨機構はステージに設けられた研磨
体を電極端子列方向と同方向に正逆移動して研磨する構
成にしたので、被検査体の電極列と電極端子列と正確に
導通して正確な検査を可能にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の液晶表示体検査装置の特徴的構成を説
明するブロック説明図、第２図は第１図におけるステー
ジ面に研磨体を配置し、この研磨体に左フィルム電極の
端子が圧接したことを説明する説明図、第３図は第１図
における圧接ブロックに固定されたフィルム電極の端子
を説明する説明図、第４図は本発明をＬＣＤプローバに
用いた一実施例における圧接ブロック機構を説明する説
明図、第５図は第４図に示す検査部を説明する説明図、
第６図は第１図の装置をＬＣＤブローバに用いた一実施
例の外観構成を説明する説明図である。 ９・・・フィルム電極　　■０・・・圧接ブロック機構
２１・・・研磨機構　　　　２２・・・研磨体２２ａ・
・・左研磨体　　　２２ｂ・・・上研磨体２２ｃ・・・
右研磨体　　　２４・・中心特許出願人　東京エレクト
ロン株式会社第１図 ７’ｓ、、＋ト９．Ｌ−ト　　　　　　　、１０ｉおロ
ノタ駈第２図 第３図 （ａ） （ｂ） 第４図 フィルム券　　　　　　　５ 第５図 ７・！ ２、横喪部 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査体を載置するステージ、このステージに対向して
   配置固定された電極端子列、この電極端子列を研磨する
   研磨機構を備えた装置において、上記研磨機構はステー
   ジに設けられた研磨体を上記電極端子列方向と同方向に
   正逆移動して研磨する構成にしたことを特徴とする液晶
   表示体検査装置。