JPH01242408A - 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法 - Google Patents
炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法Info
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- JPH01242408A JPH01242408A JP63070766A JP7076688A JPH01242408A JP H01242408 A JPH01242408 A JP H01242408A JP 63070766 A JP63070766 A JP 63070766A JP 7076688 A JP7076688 A JP 7076688A JP H01242408 A JPH01242408 A JP H01242408A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/52—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は炭化珪素−黒鉛複合材料並びにその製造法に関
し、電子部品用熱処理用治具、ガラス封着用治具、機械
摺動材料等に極めて好適な炭化珪素−黒鉛複合材料を提
供することをその目的とする。
し、電子部品用熱処理用治具、ガラス封着用治具、機械
摺動材料等に極めて好適な炭化珪素−黒鉛複合材料を提
供することをその目的とする。
（従来の技術〕
従来、炭化珪素−黒鉛複合材料の製造方法としてはすで
に多くの技術が提案されている。例えば特開昭５９−３
０８４号においては、結晶面間隔Ｃｏ （ＯＯ２）が６
．７４Å以上の炭素材を利用してＳｉＯガスを用い通常
のコンバージョン法で炭化珪素−黒鉛複合材料を製造す
る方法が記載されている。また、特公昭６１−１１９１
１号においては、特定の径をもつ微細気孔の占める容積
が０．０２ｃｎ！／ｇ以上の炭素基材を使用し、ＳｉＯ
ガスを用いてコンバージョン法で炭化珪素−黒鉛複合材
料を製造する方法が、また、特開昭６２−１３２７８７
号においては、開気孔率が５〜５５容量％、平均気孔径
が１〜１００μｍの多孔質炭化珪素焼結体を作成し、そ
の開気孔中に炭素を充填して炭化珪素−黒鉛複合材料を
製造する方法が記載されている。
に多くの技術が提案されている。例えば特開昭５９−３
０８４号においては、結晶面間隔Ｃｏ （ＯＯ２）が６
．７４Å以上の炭素材を利用してＳｉＯガスを用い通常
のコンバージョン法で炭化珪素−黒鉛複合材料を製造す
る方法が記載されている。また、特公昭６１−１１９１
１号においては、特定の径をもつ微細気孔の占める容積
が０．０２ｃｎ！／ｇ以上の炭素基材を使用し、ＳｉＯ
ガスを用いてコンバージョン法で炭化珪素−黒鉛複合材
料を製造する方法が、また、特開昭６２−１３２７８７
号においては、開気孔率が５〜５５容量％、平均気孔径
が１〜１００μｍの多孔質炭化珪素焼結体を作成し、そ
の開気孔中に炭素を充填して炭化珪素−黒鉛複合材料を
製造する方法が記載されている。
〔発明が解決しようとする課Ｂ）
しかし乍ら、前記各従来技術の場合、解決を必要とする
次のような問題点を抱えていた。まず、特開昭５９−３
０８４号では、コンバージョン法であるため、種々の形
状の複合材料を作成できるという利点を持っているが、
反面黒鉛基材のもつ空孔が炭化珪素層に残留し、酸化雰
囲気では使用できず、またこれを気密化しようとしても
装置の大型化、コスト面、寸法精度面の制限があり、実
質的に気密化するのは極めて困難である。特公昭６１−
１１９１１号においても多孔質炭素材料を用いているた
め上記と同様の難点が生じる。また、特開昭６２−１３
２７８７号においては、炭化珪素焼結体を作る際に焼結
助剤を必要とするため不純物が混入する難点があり、特
に不純物をきらう半導体分野等には使用できず、加えて
炭化珪素製造の工程、炭素を含浸する工程と操作が繁雑
となり、工業的に決して望ましい方法とは言い難い。
次のような問題点を抱えていた。まず、特開昭５９−３
０８４号では、コンバージョン法であるため、種々の形
状の複合材料を作成できるという利点を持っているが、
反面黒鉛基材のもつ空孔が炭化珪素層に残留し、酸化雰
囲気では使用できず、またこれを気密化しようとしても
装置の大型化、コスト面、寸法精度面の制限があり、実
質的に気密化するのは極めて困難である。特公昭６１−
１１９１１号においても多孔質炭素材料を用いているた
め上記と同様の難点が生じる。また、特開昭６２−１３
２７８７号においては、炭化珪素焼結体を作る際に焼結
助剤を必要とするため不純物が混入する難点があり、特
に不純物をきらう半導体分野等には使用できず、加えて
炭化珪素製造の工程、炭素を含浸する工程と操作が繁雑
となり、工業的に決して望ましい方法とは言い難い。
本発明者らは、上記従来技術が抱える問題点を種々研究
したところ、多孔質黒鉛基材と溶融珪素とを反応せしめ
ると、黒鉛基材細孔部より溶融珪素が浸透し、バインダ
一部と骨材黒鉛の一部が珪化されることが判明した。さ
らに黒鉛基材の嵩密度、気孔率、全細孔容積及び平均ポ
アー半径が珪化に関係があることが認められ、特にこれ
等をある特定範囲とすることにより、クランクが発生す
るという危険が全くなく珪化がスムースに行えることも
判明した。またこの黒鉛基材としてその曲げ強度並びに
ショアー硬度が特定範囲のものを使用することにより、
該基材の崩壊を有効に防止しうるちのであることも判明
した。更にはまたこの際高純度の黒鉛基材及び珪素を使
用することにより半導体分野にも充分使用できる複合材
料が得られることも判明した。即ち緻密でかつ耐酸化性
に優れた高純度炭化珪素−黒鉛複合材料が得られ、従来
の問題を解決できることが判明した。即ち本発明はほぼ
全体が炭化珪素と黒鉛とから成る複合材料であって、Ｈ
ｇポロシメーターで測定した気孔率がＯ以下であって緻
密な組織を有する炭化珪素−黒鉛複合材料、及び多孔質
黒鉛基材に溶融珪素を浸透し、反応せしめることを特徴
とする炭化珪素−黒鉛複合材料の製造法に係るものであ
る。
したところ、多孔質黒鉛基材と溶融珪素とを反応せしめ
ると、黒鉛基材細孔部より溶融珪素が浸透し、バインダ
一部と骨材黒鉛の一部が珪化されることが判明した。さ
らに黒鉛基材の嵩密度、気孔率、全細孔容積及び平均ポ
アー半径が珪化に関係があることが認められ、特にこれ
等をある特定範囲とすることにより、クランクが発生す
るという危険が全くなく珪化がスムースに行えることも
判明した。またこの黒鉛基材としてその曲げ強度並びに
ショアー硬度が特定範囲のものを使用することにより、
該基材の崩壊を有効に防止しうるちのであることも判明
した。更にはまたこの際高純度の黒鉛基材及び珪素を使
用することにより半導体分野にも充分使用できる複合材
料が得られることも判明した。即ち緻密でかつ耐酸化性
に優れた高純度炭化珪素−黒鉛複合材料が得られ、従来
の問題を解決できることが判明した。即ち本発明はほぼ
全体が炭化珪素と黒鉛とから成る複合材料であって、Ｈ
ｇポロシメーターで測定した気孔率がＯ以下であって緻
密な組織を有する炭化珪素−黒鉛複合材料、及び多孔質
黒鉛基材に溶融珪素を浸透し、反応せしめることを特徴
とする炭化珪素−黒鉛複合材料の製造法に係るものであ
る。
本発明に於いては、多孔質黒鉛基材に金属珪素を溶融状
態で含浸、反応せしめることにより、黒鉛基材内部まで
溶融珪素が浸透し反応するので、表面から内部までほぼ
均一な組織を有する黒鉛と炭化珪素との複合材料が得ら
れる。特に嵩密度、気孔率、全細孔容積及び平均ポアー
半径が特定範囲の多孔質黒鉛基材を用いると溶融珪素が
極めて円滑に侵入し基材内部まで充分に反応が進行し、
しかもこの際クラック発生の危険もなく黒鉛と炭化珪素
とから成る均一な複合材料が得られる。また特定範囲の
曲げ強度及びショアー硬度の基材を使用するので崩壊を
防止しうる。更に黒鉛基材の空隙に溶融珪素が充分に侵
入して反応するため、得られる複合材料は極めて緻密な
殆ど気孔のない材料となる。
態で含浸、反応せしめることにより、黒鉛基材内部まで
溶融珪素が浸透し反応するので、表面から内部までほぼ
均一な組織を有する黒鉛と炭化珪素との複合材料が得ら
れる。特に嵩密度、気孔率、全細孔容積及び平均ポアー
半径が特定範囲の多孔質黒鉛基材を用いると溶融珪素が
極めて円滑に侵入し基材内部まで充分に反応が進行し、
しかもこの際クラック発生の危険もなく黒鉛と炭化珪素
とから成る均一な複合材料が得られる。また特定範囲の
曲げ強度及びショアー硬度の基材を使用するので崩壊を
防止しうる。更に黒鉛基材の空隙に溶融珪素が充分に侵
入して反応するため、得られる複合材料は極めて緻密な
殆ど気孔のない材料となる。
以下に本発明をその製法に従って説明する。
本発明に於いては多孔質黒鉛基材に溶融珪素を浸透せし
めて、反応を行うことをその基本としている。この際使
用する黒鉛基材としては、多孔質のものが使用されるが
、特に嵩密度が１．６ｇ／ｃｆｆｌ以下、気孔率が２０
％以上、全細孔容積が０ 、２ ｃ＋ｆｌ／ｇ以上、平
均ポアー半径が２．０μｍ以上、曲げ強度７ ＭＰａ以
下及びショアー硬度３０以下の多孔質黒鉛基材が好まし
い。このような特定範囲の物性を有する黒鉛基材を使用
すると何等のクラックも生ずることなく、内部まで充分
に反応が進行し、緻密な複合材料が得られる。このよう
な特定範囲外の黒鉛基材では時としてクラックが発生し
たリ、或いは内部まで充分に反応が進行せず、不均質な
複合材料となることがある。但し、上記特性は夫々次の
ことを示す。
めて、反応を行うことをその基本としている。この際使
用する黒鉛基材としては、多孔質のものが使用されるが
、特に嵩密度が１．６ｇ／ｃｆｆｌ以下、気孔率が２０
％以上、全細孔容積が０ 、２ ｃ＋ｆｌ／ｇ以上、平
均ポアー半径が２．０μｍ以上、曲げ強度７ ＭＰａ以
下及びショアー硬度３０以下の多孔質黒鉛基材が好まし
い。このような特定範囲の物性を有する黒鉛基材を使用
すると何等のクラックも生ずることなく、内部まで充分
に反応が進行し、緻密な複合材料が得られる。このよう
な特定範囲外の黒鉛基材では時としてクラックが発生し
たリ、或いは内部まで充分に反応が進行せず、不均質な
複合材料となることがある。但し、上記特性は夫々次の
ことを示す。
嵩密度：黒鉛基材の全体積当たりの質量（ｇ／ｃｎり気
孔率：黒鉛基材の体積中の全気孔の割合全細孔容積：Ｈ
ｇポロシメーター（Ｈｇ圧入法）により求めた開気孔の
全容積（ｃ＋ｆｌ／ｇ）平均ポアー半径：Ｈｇポロシメ
ーターから求めた細孔容積の平均ポアー半径（μｍ） 更に本発明に於いては黒鉛基材として高純度のものを使
用することにより、更に高純度のものが収得出来る。高
純度黒鉛基材としてはその純度としては不純物（灰分）
が１０ρρｍ以下、特に好ましくは２ ｐｐＩ１１以下
程度のものが好ましい。高純度化の方法としては特に制
限されず、各種の方法が任意に適用される。好ましい方
法としては特願昭６１−２２４１３１号に記載の方法を
例示することが出来る。
孔率：黒鉛基材の体積中の全気孔の割合全細孔容積：Ｈ
ｇポロシメーター（Ｈｇ圧入法）により求めた開気孔の
全容積（ｃ＋ｆｌ／ｇ）平均ポアー半径：Ｈｇポロシメ
ーターから求めた細孔容積の平均ポアー半径（μｍ） 更に本発明に於いては黒鉛基材として高純度のものを使
用することにより、更に高純度のものが収得出来る。高
純度黒鉛基材としてはその純度としては不純物（灰分）
が１０ρρｍ以下、特に好ましくは２ ｐｐＩ１１以下
程度のものが好ましい。高純度化の方法としては特に制
限されず、各種の方法が任意に適用される。好ましい方
法としては特願昭６１−２２４１３１号に記載の方法を
例示することが出来る。
珪素としては金属珪素ばかりでなく、たとえばＳ ｉＣ
Ｅ ４や５ｉＨＣ１２３の如きハロゲン化珪素やＳｉＨ
４の如き水素化珪素を用いて、水素ガスキャリヤー中で
加熱して珪素を黒鉛基材上に形成せしめる手段も採用出
来る。しかし乍ら、ハロゲン化珪素や水素化珪素は、黒
鉛基材上に化学蒸着法（以下ＣＶＤという）により適用
するためコスト高となるので、金属珪素の方がこの面か
らは望ましい。金属珪素は塊状、粉末状等特にその形状
は制限されないが、純度の点から好ましい。
Ｅ ４や５ｉＨＣ１２３の如きハロゲン化珪素やＳｉＨ
４の如き水素化珪素を用いて、水素ガスキャリヤー中で
加熱して珪素を黒鉛基材上に形成せしめる手段も採用出
来る。しかし乍ら、ハロゲン化珪素や水素化珪素は、黒
鉛基材上に化学蒸着法（以下ＣＶＤという）により適用
するためコスト高となるので、金属珪素の方がこの面か
らは望ましい。金属珪素は塊状、粉末状等特にその形状
は制限されないが、純度の点から好ましい。
金属□珪素と黒鉛基材とを反応せしめるに際しては、通
常黒鉛基材と金属珪素とを前者１００重量部に対して後
者１００〜５００好ましくは２００〜３００重量部の割
合で黒鉛るつぼ中に収納し、真空乃至減圧下に加熱する
。
常黒鉛基材と金属珪素とを前者１００重量部に対して後
者１００〜５００好ましくは２００〜３００重量部の割
合で黒鉛るつぼ中に収納し、真空乃至減圧下に加熱する
。
この際の減圧乃至真空度は通常０．０１〜１３ＫＰａ、
温度は１７５０〜２５００に程度が好ましい。減圧度が
０．０１ＫＰａよりも、低くなりすぎたり或いは温度が
２５００によりも高くなりすぎると、珪素の蒸発量が大
きくなりすぎて好ましくない。また減圧度が１３ＫＰａ
より高くなりすぎると、珪素が黒鉛基材中に充分に浸透
せず、また１７５０により温度が低くなりすぎると、黒
鉛と珪素との反応速度が遅くなり、目的物複合材料内に
未反応珪素が残存する場合がある。
温度は１７５０〜２５００に程度が好ましい。減圧度が
０．０１ＫＰａよりも、低くなりすぎたり或いは温度が
２５００によりも高くなりすぎると、珪素の蒸発量が大
きくなりすぎて好ましくない。また減圧度が１３ＫＰａ
より高くなりすぎると、珪素が黒鉛基材中に充分に浸透
せず、また１７５０により温度が低くなりすぎると、黒
鉛と珪素との反応速度が遅くなり、目的物複合材料内に
未反応珪素が残存する場合がある。
かくして得られる本発明の炭化珪素−黒鉛複合材料は第
１図でも示す通り、その内部までほぼ均一な状態で黒鉛
と炭化珪素とから成っている。但し第１図は実施例１の
本発明複合材料の断面の走査型電子顕微鏡写真（１５０
倍）であり、白く見える部分は炭化珪素、また黒く見え
る部分は黒鉛である。そしてこの第１図からも明らかな
通り掻めで緻密な組織構造を有し、気孔は殆ど存在しな
い。
１図でも示す通り、その内部までほぼ均一な状態で黒鉛
と炭化珪素とから成っている。但し第１図は実施例１の
本発明複合材料の断面の走査型電子顕微鏡写真（１５０
倍）であり、白く見える部分は炭化珪素、また黒く見え
る部分は黒鉛である。そしてこの第１図からも明らかな
通り掻めで緻密な組織構造を有し、気孔は殆ど存在しな
い。
本発明複合材料はこのような特性を有するためたとえば
電子部材用熱処理治具、ガラス封着用冶具、摺動部材に
極めて好適である。
電子部材用熱処理治具、ガラス封着用冶具、摺動部材に
極めて好適である。
以下に実施例を示して本発明を更に具体的に説明する。
実施例１〜３
第１表に示す所定の物性を有する３種類の高純度黒鉛（
不純物１ｐｐｍ）を夫々金属珪素塊１５ｇとともに黒鉛
るつぼに入れた。このるつぼを真空加熱炉に装填し、温
度２０００Ｋ、圧力Ｑ、１ＫＰａで５時間反応を行った
。冷却後、炭化珪素−黒鉛複合材料をとり出し、種々の
物理特性を測定した。
不純物１ｐｐｍ）を夫々金属珪素塊１５ｇとともに黒鉛
るつぼに入れた。このるつぼを真空加熱炉に装填し、温
度２０００Ｋ、圧力Ｑ、１ＫＰａで５時間反応を行った
。冷却後、炭化珪素−黒鉛複合材料をとり出し、種々の
物理特性を測定した。
その結果を第１表に示す。
また実施例１の複合材料の走査型電子顕微鏡写真（１５
０度）を第１図に示す。
０度）を第１図に示す。
比較例１〜３
上記実施例１に於いて使用する黒鉛基材として第１表に
示すものを使用し、その他はすべて同様に処理した。こ
の結果を第１表に示す。
示すものを使用し、その他はすべて同様に処理した。こ
の結果を第１表に示す。
上記第１表から明らかな通り嵩密度が１．６０ｇ／ｃｙ
ｆ１以上、全細孔容積が０．２ ｃｎ（／ｇ以下、且つ
平均ポアー半径が２．０μｍ以下の比較例１や上記いず
れの特性にも合致しない比較例２ではクランクが生じ、
不均一な珪化状態となっている。比較例３では崩壊し原
形をとどめていなかった。
ｆ１以上、全細孔容積が０．２ ｃｎ（／ｇ以下、且つ
平均ポアー半径が２．０μｍ以下の比較例１や上記いず
れの特性にも合致しない比較例２ではクランクが生じ、
不均一な珪化状態となっている。比較例３では崩壊し原
形をとどめていなかった。
比較例４〜８
黒鉛るつぼ下部にＳｉＯ□粉末（粒度２００メツシユパ
ス）を５００ｇ入れ、その上部に実施例１〜３及び比較
例１〜３で使用した６種の黒鉛基材を夫々入れた。この
るつぼを反応炉に装填し、２２００にで５時間反応を行
った。冷却後、炭化珪素−黒鉛複合体をとり出し、種々
の物理特性を測定した。その結果を第２表に示す。
ス）を５００ｇ入れ、その上部に実施例１〜３及び比較
例１〜３で使用した６種の黒鉛基材を夫々入れた。この
るつぼを反応炉に装填し、２２００にで５時間反応を行
った。冷却後、炭化珪素−黒鉛複合体をとり出し、種々
の物理特性を測定した。その結果を第２表に示す。
第２表
上記実施例１．２並びに３、及び比較例４．５並びに７
について夫々物性を比較すると、各実施例（本発明法）
のものでは気孔がなくなり曲げ強度も強くなっている。
について夫々物性を比較すると、各実施例（本発明法）
のものでは気孔がなくなり曲げ強度も強くなっている。
また、耐酸化性を調べるために、９００°Ｃの電気炉に
３５時間空気雰囲気で加熱した結果を第３表に示す。
３５時間空気雰囲気で加熱した結果を第３表に示す。
第３表
各実施例の〔本発明法で製造された］炭化珪素−黒鉛複
合材料は、耐酸化性に優れていることが明らかである。
合材料は、耐酸化性に優れていることが明らかである。
これは実施例のものはいずれも炭化珪素の回りに島状の
黒鉛が点在しているため、表面の黒鉛部分は若干酸化さ
れるが、炭化珪素中の黒鉛は酸化されないことに基づく
ものと推考される。
黒鉛が点在しているため、表面の黒鉛部分は若干酸化さ
れるが、炭化珪素中の黒鉛は酸化されないことに基づく
ものと推考される。
（発明の効果〕
以上詳述した通り、本発明の炭化珪素−黒鉛複合材料は
、緻密でかつ耐酸化性に優れ、さらに高強度で加工性に
優れている。従って電子部材用熱処理治具、ガラス封着
用治具及び機械摺動材料の各種の高特性を要求される高
温材料として極めて存用である。
、緻密でかつ耐酸化性に優れ、さらに高強度で加工性に
優れている。従って電子部材用熱処理治具、ガラス封着
用治具及び機械摺動材料の各種の高特性を要求される高
温材料として極めて存用である。
第１図は実施例１の炭化珪素−黒鉛複合材料の走査型電
子顕微鏡写真（１５０倍）を示す図面である。 （以上） 牢 １ 図 手続補正書働側 １ １、事件の表示 昭和６３年 特 許 願 第７０７６６号 。 ２、発明の名称 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法３、補正をする
者 事件との関係 特許出願人住所
大阪市西淀用区竹島五丁目七番十二号氏名 東洋炭
素株式会社 代表者 近 藤 照 久 ４、代理人 〒５３０ 大阪市北区南森町１の１の２５．７．〈て
°）・ ｌ ・、む べ Ｂ、補正の対象 昭和６３年７月２６日付提出の手続補正書の補正の内容
欄 ７、補正の内容 別紙の通り ３、 添付書類の目録 （１） 補正の内容 １通補
正の内容 ■、 明細書中筒１５頁第４〜７行「４、図面の簡単な
説明・・・・・・図面である。」とあるを削除する。 ２、 添付した第１図を削除する。 （以上）
子顕微鏡写真（１５０倍）を示す図面である。 （以上） 牢 １ 図 手続補正書働側 １ １、事件の表示 昭和６３年 特 許 願 第７０７６６号 。 ２、発明の名称 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法３、補正をする
者 事件との関係 特許出願人住所
大阪市西淀用区竹島五丁目七番十二号氏名 東洋炭
素株式会社 代表者 近 藤 照 久 ４、代理人 〒５３０ 大阪市北区南森町１の１の２５．７．〈て
°）・ ｌ ・、む べ Ｂ、補正の対象 昭和６３年７月２６日付提出の手続補正書の補正の内容
欄 ７、補正の内容 別紙の通り ３、 添付書類の目録 （１） 補正の内容 １通補
正の内容 ■、 明細書中筒１５頁第４〜７行「４、図面の簡単な
説明・・・・・・図面である。」とあるを削除する。 ２、 添付した第１図を削除する。 （以上）
Claims (5)
- （１）ほぼ全体が炭化珪素と黒鉛とから成る複合材料で
あって、Ｈｇポロシメーターで測定した気孔率が０以下
であって緻密な組織を有する炭化珪素−黒鉛複合材料。 - （２）炭化珪素と黒鉛との割合が、前者１５〜６５重量
％、後者３５〜８５重量％である請求項１記載の炭化珪
素−黒鉛複合材料。 - （３）多孔質黒鉛基材に溶融珪素を浸透し、反応せしめ
ることを特徴とする炭化珪素−黒鉛複合材料の製造法。 - （４）多孔質黒鉛基材が、その嵩密度が１．６０ｇ／ｃ
ｍ＾３以下、気孔率が２０％以上、全細孔容積が０．２
ｃｍ＾３／ｇ以上及び平均ポアー半径が２．０μｍ以上
曲げ強度７ＭＰａ以上、ショアー硬度３０以上である請
求項３に記載の炭化珪素−黒鉛複合材料の製造法。 - （５）上記黒鉛基材と珪素とを０．１〜１３ＫＰａ、１
７５０〜２５００Ｋの条件下に、真空加熱炉で処理する
ことを特徴とする請求項３または４に記載の炭化珪素−
黒鉛複合材料の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070766A JP2620294B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63070766A JP2620294B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01242408A true JPH01242408A (ja) | 1989-09-27 |
| JP2620294B2 JP2620294B2 (ja) | 1997-06-11 |
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ID=13440966
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63070766A Expired - Fee Related JP2620294B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 炭化珪素−黒鉛複合材料及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2620294B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998043928A1 (en) * | 1997-03-31 | 1998-10-08 | Toyo Tanso Co., Ltd. | Carbon/silicon carbide composite material |
| JP2012501945A (ja) * | 2008-09-05 | 2012-01-26 | コミッサリア タ レネルジー アトミク エ オ エネルジー オルタネイティヴ | 多層構造を持ちかつ液状シリコンと接触させるための材料 |
| CN116102354A (zh) * | 2022-11-07 | 2023-05-12 | 江苏核电有限公司 | 一种用于主泵轴瓦的组合物及其制备方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2239971A1 (de) * | 1972-08-14 | 1974-02-28 | Alexandr Stepanowits Tarabanow | Antifriktionsstoff und verfahren zu seiner herstellung |
| US4265843A (en) * | 1978-12-04 | 1981-05-05 | Kernforschungsanlage Julich Gesellschaft Mit Berschrankter Haftung | Method of producing shaped silicon-carbide bodies |
| JPS60251175A (ja) * | 1984-05-24 | 1985-12-11 | 大阪セメント株式会社 | 炭化ケイ素および炭素よりなる成形体の製造方法 |
| JPS63242969A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-07 | 株式会社 利根ボ−リング | 炭化珪素系セラミツクス |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63070766A patent/JP2620294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN116102354A (zh) * | 2022-11-07 | 2023-05-12 | 江苏核电有限公司 | 一种用于主泵轴瓦的组合物及其制备方法 |
| CN116102354B (zh) * | 2022-11-07 | 2024-04-09 | 江苏核电有限公司 | 一种用于主泵轴瓦的组合物及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2620294B2 (ja) | 1997-06-11 |
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