JPH01232253A - 酸素センサ素子 - Google Patents

酸素センサ素子

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JPH01232253A
JPH01232253A JP63056340A JP5634088A JPH01232253A JP H01232253 A JPH01232253 A JP H01232253A JP 63056340 A JP63056340 A JP 63056340A JP 5634088 A JP5634088 A JP 5634088A JP H01232253 A JPH01232253 A JP H01232253A
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塩見 治久
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Toshiaki Kondo
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は各種燃焼機器の酸素濃度を検知するた′めの酸
素センサ素子、特に内燃機関からの排ガスを浄化するた
めに三元触媒と併用される空燃比制御用の酸素センサ素
子及びその製法に関する。
[従来技術及び課題] 空燃比制御用酸素センサ素子は、酸素イオン伝導性の固
体電解質体とその内外面に備えられる一対の電極(基準
電極、測定電極)とからなり、排ガスと接触する測定電
極を排ガスから保護するため多孔質保護層で被覆するの
が一般的、である。しかし、この種のセンサ素子にあっ
ては、排ガス中に含まれる未燃成分により、空気過剰率
(λ)がずれる、いわゆるλポイントズレをきたし、検
出精度が低下する。そのため、排ガス浄化システムにお
いて、排ガスを還流させて浄化することが一般に行なわ
れているが、そのための排ガス還流装置(EGR)が別
途必要となってシステム全体が複雑化する他、還流状態
を適切に制御することに困難を伴ない、しかもその装置
自体の故障による新たな問題を生ずる。従って種々の研
究、提案がなされている。
例えば、測定電極自体の表面にロジウム又はパラジウム
の一方又は双方からなる層を形成せしめてなる酸素セン
サ素子が提案されている(特開昭f31− 30780
)。しかし、この種の酸素センサ素子にあっては、使用
時における耐久性に問題がある。即ち、測定電極とロジ
ウム等からなる層とが合金生成反応を生じ、その層によ
る作用を安定に維持できない。
又、白金及びロジウムで構成した測定電極を設け、白金
及びロジウムの比率を変化させて分布してなる酸素セン
サ素子も提案されている(特開昭82−198749)
。しかし、この種の酸素センサ素子にあっても1合金生
成反応を生じ易いことは上記技術と同様であり、やはり
耐久様の劣化が懸念される。又、多量のロジウムが高密
度に存在することによって応答性が低下するおそれもあ
る。
本発明はかかる課題を解決すること、即ち耐久性に優れ
2正確な空燃比制御を長期間安定に維持できる酸素セン
サ素子を開発することを目的とする。
[課題解決の手段] 本発明者はこうした見地に鑑み鋭意研究を重ねた結果1
本発明を完成するに至ったものである。
排ガス中の酸素濃度を正確に検知するためには、理想的
には完全燃焼における酸素濃度、即ち平衡酸素’tQ度
を測定するのがよい。しかし、一般に排ガス系は未燃成
分Co、HC,No  を含有する不完全燃焼系である
ため、その未燃成分の存在分だけ平衡酸素濃度からズレ
を生じ、実際の酸素濃度を正確に検知できず、結果とし
てλポイントズレをきたす。そこで1本発明者は被測定
ガスを平衡酸素濃度状態として、基準ガスとの酸素濃度
差を検出し、かつ、それを耐久性良く維持するために種
々検討を重ねたところ本発明を完成するに至ったもので
あり1本発明は上述の課題を下記手段によって解決する
(1)固体電解質体の一面側に基!$電極、他面側に測
定電極を備え、測定電極が被測定ガスに接触される酸素
センサ素子において。
測定電極が、熱的に安定な金属酸化物を主成分とする複
数の多孔質保護層で被覆され、複数の保護層が第1.2
.3保護層からなり。
第1保護層が第2,3保護層よりも測定電極に近接して
位置し。
第2保護層がRh又はPdの1以上を担持したチタニア
からなり。
第3保護層がPtを担持したアルミナ、スピネル又はマ
グネシアの1以上からなる。
酸素センサ素子。
(2)固体電解質体の一面側に基準電極、他面側にAJ
l定電極電極え、測定電極が被測定ガスに接触される酸
素センサ素子において。
測定電極が、熱的に安定な金属酸化物を主成分とする複
数の多孔質保護層で被覆され、複数の保護層が第1.2
.3保護層からなり。
第1保護層が第2.3保護層よりも測定電極に近接して
位置し。
第2保護層がRh又はPdの1以上を担持したチタニア
からなり。
第3保護層がPtを担持したアルミナ、スピネル又はマ
グネシアの1以上からなり。
第2.3保護層を夫々二層以上備えてなる。
酸素センサ素子。
[実施態様及び作用〕 素子形状ないしは固体電解質形状は、先端が閉塞され後
端が開口している限り2袋状、板状又は管状等種々の形
状でよく、あるいは絶縁物基材に固体電解質体等の素子
の各要素を結合させて前記と同様の形状になるものでも
よい。固体電解質材料としては例えばZ r 02に安
定化剤としてYO,CaO等を添加したものを用いると
よい。基準電極及び測定電極(層状)はともに多孔質と
され、Pt又は2%程度以下のRhを含有するPt等の
貴金属を用いるとよい。
測定電極は、既述の通り被測定ガスに対して熱的に安定
な金属酸化物を主成分とする複数の保護層で肢覆されて
いなければならない。排ガスから測定電極を保護すると
共に、測定電極に到達する排ガスを平衡酸素濃度として
λポイントズレを防+L L 、かつ未燃成分(Co等
)が測定電極に吸着等してその体積膨張により固体電解
質体がら剥離するのを防止するためである。複数の多孔
質層は相互に異なる機能を有する第1.2.3保護層か
らなる。
第1保護層は保護層のうち測定電極に最も近接して位置
し、直接的に排ガスから測定電極を保護するためのもの
である。第1保護層はセラミックス例えばアルミナ、ス
ピネル、ベリリア、ジルコニア等又はこれらの混合物で
構成するとよく、特にスピネルを主体とするものが好ま
しい。その気孔率は5〜20%、好ましくは7〜20%
、その厚みは30〜200μI、好ましくは50〜13
0μmにするとよい。排ガス通過性に支障を生ずること
なく、@極を確実に保護するためである。
第2保護層はRh及びPdの少なくとも一種を担持した
チタニアから構成されていなければならない。排ガス中
の未燃成分のうちNo  の還元反応を促進し、 NO
の存在に基づく平衡酸素濃度からのズレを補正するため
である。還元反応の例として、No  +H2−N2+
H20が挙げられる。チタニアはTiO(x=1.8以
上2未満。
好ましくは1.95以上2未満)で表わされる非化学量
論的チタニアを使用するとよい。触媒としてのRh、P
dを高分散状態で担持し、その触媒作用を効率良く発揮
でき、しかも耐熱性に優れているからである。特に、資
源的に乏しいRhを高分散担持できることは有効である
。そのチタニアを第2保護層全量に対して50wtX以
上、好ましくは7゜wt%以上にするとよい。Rh、P
dの外に、他の貴金属触媒を担持してもよいが、Rh、
Pdの合計量が少なくとも50%以上であるものが好ま
しい。No  の還元反応を充分に促進させるためであ
る。Rh、Pdを同時に混合する場合の割合は0.05
≦Rh/Pd≦1.好ましくは0.2≦Rh/Pd≦1
にするとよい。触媒担持量は、第2保護層の構成材料に
対して0,1〜3νt%の範囲にするとよい。下限未満
では効果がなく、上限を越えると目詰りを生ずるおそれ
があるからである。
第3保護層はPtを担持したアルミナから構成されてい
なければならない。排ガス中の未燃成分のうちCo、H
Cの酸化反応を促進し、CO。
HCに基づく平衡酸素濃度からのズレを補正するためで
ある。酸化反応の例として、co+o2→CO、HC+
02−CO2+H2oが挙げられる。アルミナにPtを
担持させたのは、PtがRh等に比して未燃成分の影響
によって消耗が激しいので、アルミナによって低分散担
持させ、その消耗劣化をできる限りjJl制するためで
ある。アルミナを第3保護層全量に対して50wt%以
上、好ましくは70シt%以上にするとよい。分散性を
制御するために、チタニア(好ましくは非化学量論的チ
タニア)を50wt%以下配合してなる材料を用いると
よい。sowt%を越えると高分散状態で担持すること
となってPtの消耗劣化が激しくなる。
Ptと共に、他の貴金属触媒を担持してもよいが、Pt
Qが少なくとも70%以上であるものが好ましい。Co
、HCの酸化反応を充分に促進するためである。触媒担
持量は、第3保護層の構成材料に対して0.5〜5wt
%の範囲にするとよい。下限未満では効果がなく、上限
を越えると目詰りを生ずるおそれがあるからである。
第2.3保護層は、その残部構成材料として遷移金属酸
化物を用いるとよい。担持状態を安定に維持するためで
ある。第2,3保護層の気孔率は第1保護層のそれより
も大にするとよい。NOxの還元反応及びCo、HCの
酸化反応を有効に促進しつつ、排ガスの通過性及びセン
サ応答性の劣化を防止するためである。例えば、第2,
3保護層ともに8〜15%にするとよく、開気孔(通気
孔)として存在させてもよい。又、同様な見地で、第2
.3保護層の厚みは第1保護層のそれよりも薄くすると
よい。例えば、10〜50μmにするとよい。
排ガスの通過量の多い素子先方部において各保護層の厚
みを大としたり、触媒含有率を大としてもよい。又、各
保護層界面において突起部を存在させ、各層間の接合性
を高めてもよい。
次に1本発明の製造方法、特に固体電解質基材の他面側
(測定電極が形成されるべき側)の処理工程について、
好適な態様及び作用を述べる。
固体電解質基材は原料粉末を混合、仮焼した後、粉砕(
2,5μm以下)シ、その後スプレードライによって二
次粒子(20〜150μm)を形成し、所定形状に成形
するとよい。
電極の形成は、電気メツキ、化学メツキ等の通常メツキ
処理の他2通常の気相析着法例えばスパッタリング、蒸
着或いはスクリーン印刷によって行なってもよい。
第1保護層の形成としては、その材料の溶液又は粉末を
刷毛塗布、浸漬、噴霧等の後焼成する等種々の方法が挙
げられるが、特にプラズマ溶射が好ましい。溶射粉末同
志の固着強度が強く、その条件を適宜変更することによ
り、任意の気孔率。
気孔径とすることができるからである。
第2,3保護層の形成は、夫々、保護層材料及び貴金属
成分を配合してなるペースト状物で第1保護層を順次被
覆し、その後焼成することによって°行なうとよい。保
護層の形成と触媒の担持とを同時に行なうことによって
、より強固に触媒を担持させ、使用時における飛散を防
止して長期安定に触媒作用を発揮させるためである。又
、ペースト状物とすることによって、焼成時に結合剤等
が飛散し、所望の気孔率及び気孔径を容易に得ることが
できるからである。ペースト状物は通常の如く結合剤、
溶剤等を配合して得られる。被覆方法としては、刷毛塗
布、浸漬、噴霧等いずれであってもよい。但し、プラズ
マ溶射は不適である。その溶射時に保護層材料の焼結が
進行してしまい。
気孔を所望の状態で(特に高気孔率として)得ることが
できないからである。又、保護層材料と担持触媒との配
合は、保護層材料粉末に貴金属塩溶液を含浸させること
により行なうとよい。均質に配合させるためである。保
護層材料としては、金属酸化物の他、熱分解によって金
属酸化物を形成し得る化合物例えば水酸化物又は塩など
であってもよい。その籾米粒径は2μm以下にするとよ
い。
焼結性が向上し固着強度が高められ、従って使用時にお
いて第2.3保護層が剥離し難くなるからである。好ま
しくは0.3〜1.5μmである。熱処理温度は非酸化
雰囲気中で700〜900℃で行なうとよい。尚、第2
.3保護層についても第1保護層と同様に被着形成した
後、触媒を担持させてもよい。例えば、貴金属塩溶液中
に保護層材料を浸漬処理し、その後乾燥、焼成するとよ
い。
又、酸素センサ索子の製造は、各構成要素を段階的に被
着形成する方法の他、いわゆる積層印刷法によって行な
ってもよい。積層印刷技術とは。
酸素センサ素子の各構成要素を所定のグリーンシートに
積層して印刷し、この印刷グリーンシートを基材に被着
して焼成一体化する技術をいう(例えば特開昭82−2
22159参照)。
[実施例] 以下1本発明の実施例について説明する。
第1.2図は一実施例を示したものであり、各図におい
て、1が酸素センサ素子であり、大略。
この素子1は基準ガスと被測定ガス(排ガス)とによっ
て酸素濃度差を生じ得る固体電解質体2゜固体電解質体
2の内外面に形成された一対の多孔質電極(内側電極)
3.(外側電極)4.外側電極4を被覆する複数の多孔
質保護層5.6,7゜第2.3保護層6,7に均一分散
して担持された貴金属触媒6a・・・、7a・・・から
構成されている。
ここでは、固体電解質体2はZ r 02にY2O3を
添加したものからなり、電極3,4はともにPt電極で
あり、貴金属触媒6a・・・、7a・・・はPt粒子か
らなっている。
又、複数の多孔質保護層はより内側に位置して外側電極
4を直接被覆する第1保護層5.中間に位置する第2保
護層6及びより外側に位置して排ガスに晒される第3保
護層7とからなる。第1保護層5はスピネル、第2保護
層6はRh、Pt触媒6a・・・を担持したチタニア、
第3保護層7はPt触媒7a・・・を担持したアルミナ
からなる。
尚、第1図において、Aは酸素センサ、8はハウジング
、9は加締用リング、10は充填剤、そして11は保護
管を夫々示す。
次に1本発明の酸素センサ素子の製造例について説明す
る。以下の各工程を順次行なう。
工程1:純度99%以上のZ r O2に純度99 、
996のY2O3を5 tno1%添加し、混合した後
1300℃で2時間仮焼する。
工程2:水を加えボールミル中にて湿式にて粒子の80
%が2.5μm以下の粒径になるまで粉砕する。
工程3;水溶性バインダを添加し、スプレードライにて
平均粒径70μmの球状の造粒粒子を得る。
工程4ニラバープレスし所望の管状(試験管状)に成形
し乾燥後、砥石にて所定の形状に研削する。
工程5:乾燥後、 1500℃X 2 Hrsにて焼成
する。
検出部に対応する部分について、軸方向長さは25mm
、外径的5 mmφ、内径約3 mmφとした。
工程6:化学メツキにより、内外面にPt層を厚さ 0
,9μmに折着させ、その後1000℃で焼付する。
工程7:Mg0−AI!203 (スピネル)の粉末に
てプラズマ溶射して厚さ約150μmの第1保護層を形
成する。
工程8:乾燥後、貴金属含有チタニアペーストを第1保
護層の表面に塗布し、800℃の還元性雰囲気で焼付け
ることにより、約2μmの細孔を有する厚さ約25μm
の第2保護層を形成する。尚、上記ペーストは、チタニ
アの粉末をHPtC,e6液又はPtブラッりに浸し、
撹拌しながら乾燥・含浸させ。
その後有機バインダ及び溶剤(ブチルカルピトール)を
添加して得る。
工程9:貴金属含有γアルミナペーストを第2保護層の
表面に塗布し、600℃の酸化雰囲気で焼付けることに
より、厚み約25μmの第3保護層を形成する。上記ペ
ーストは、γアルミナの粉末をHPTC16液に浸し。
撹拌しながら乾燥・含浸させ、その後有機バインダ及び
及び溶剤(ブチルカルドール)を添加して得る。
更に、こうして製造された酸素センサ素子1を用いて、
以下の工程により、酸素センサAを得た。
工程10:索子1をハウジングs内に挿入した後。
加締用リング9及び滑石等の充填剤lOを挿填して、索
子1をハウジング8内に固定する。
工程11:素子1先端部を覆って保護層11を配置し、
ハウジング8先端と保護管11後端とを溶接する。
工程I2:端子及びリード(図示せず)を電極に接続し
、外筒(図示せず)を被せて酸素センサを得る。
[試験例] 前記実施例に係る本発明の酸素センサ素子に基づいて以
下の試験を行ない各評価項目について調べた。又、比較
例即ちPt担持したスピネルからなる単一保護層のみか
らなるもの(工程8,9がないもの)についても同様に
調べた。
酸素センサ素子をブンゼンバーナで耐久試験に供した。
即ち、空気を殆んど導入しない不完全燃焼状態で各酸素
センサ素子のTip部(先端部)を700〜850℃に
加熱して50011rs耐久させる。
評価項目A: 上記加熱後の酸素センサ素子を備えてなる酸素センサを
燃焼管(内径幅43)に取付け、1図離れた部位からバ
ーナ炎を吹付け、センサ応答性を評価する。
評価項目B; 同様に加熱後に係る酸素センサをエンジン実車にて所定
の位置に取付け、センサ制御し、より下流に位置するλ
スキャン値(制御A/F平均値)を調べ、λ特性を評価
する。
評価項目C: 目視によって素子表面部の状態を評価する。
これらの結果を表及び第3.4図に示す。尚。
第3.4図は夫々試料Nα1,2,3.試料No、iに
係るものである。
* 比較例 ※1 但し、保護層の一部にキレが発生するとリーンシ
フトする(第4図)。
表及び第3,4図から明らかな通り、実施例に係る酸素
センサ素子(及び酸素センサ)は比較例のものに比して
、各評価項目A、B、Cについて優れた結果を示してい
る。
[効果] 以上の如く本発明によれば、第1〜3保護層によって通
気性を劣化させることなく、測定電極を確実に保護でき
、センサ応答性及びλ特性においでも優れ、高精度の空
燃比制御を維持できる。
しかも、第2保護層に高分散担持されたRh。
Pd触媒によって未燃成分のうちNo  の還元反応を
促進すると共に、第3保護層に低分散担持されたPt触
媒によって未燃成分のうちCo、HCの酸化反応を促進
できるので、被測定ガスについて完全燃焼状態における
平衡酸素濃度として検出でき、理想的な検知特性を発揮
できる。
従って1本発明は高精度即ちλポイントズレの極力少な
いセンサ制御を長期間安定に維持でき。
三元触媒と組合せることにより、浄化特性が格段優れた
システムを提供することができることに成功したもので
あり、かくて酸素センサ分野において極めて有用なもの
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明の酸素センサ素子(酸素センサ)の一
実施例を示す断面図。 第2図は、第1図の■部位の拡大断面図。 第3,4図は、空気過剰率(λ)と出力との関係を示し
たグラフであり、第3図は耐久前に係るもの、第4図は
耐久後に係るもの、を夫々表わす。 1・・・酸素センサ索子 2・・・固体電解質体3・・
・基準電極    4・・・測定電極5・・・第1保護
層   6・・・第2保護層7・・・第3保護層   
6a、7a・・・触媒出願人  日本特殊陶業株式会社 代理人   弁理士  加 藤 朝 道(外1名) 第1図 第2図 第3図 空民通ツ11羊(X) 第4図 空゛五過中1奉(入)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)固体電解質体の一面側に基準電極、他面側に測定
    電極を備え、測定電極が被測定ガスに接触される酸素セ
    ンサ素子において、 測定電極が、熱的に安定な金属酸化物を主成分とする複
    数の多孔質保護層で被覆され、複数の保護層が第1、2
    、3保護層からなり、 第1保護層が第2、3保護層よりも測定電極に近接して
    位置し、 第2保護層がRh又はPdの1以上を担持したチタニア
    からなり、 第3保護層がPtを担持したアルミナ、スピネル又はマ
    グネシアの1以上からなる、 酸素センサ素子。
  2. (2)各保護層について、主成分以外の金属酸化物が酸
    化ニッケル、酸化クロム、酸化セリウム、酸化バナジウ
    ム及び酸化モリブデンの少なくとも一種である請求項1
    記載の酸素センサ素子。
  3. (3)第2保護層が第3保護層よりも測定電極側に位置
    する請求項1又は2記載の酸素センサ素子。
  4. (4)固体電解質体の一面側に基準電極、他面側に測定
    電極を備え、測定電極が被測定ガスに接触される酸素セ
    ンサ素子において、 測定電極が、熱的に安定な金属酸化物を主成分とする複
    数の多孔質保護層で被覆され、複数の保護層が第1、2
    、3保護層からなり、 第1保護層が第2、3保護層よりも測定電極に近接して
    位置し、 第2保護層がRh又はPdの1以上を担持したチタニア
    からなり、 第3保護層がPtを担持したアルミナ、スピネル又はマ
    グネシアの1以上からなり、 第2、3保護層を夫々二層以上備えてなる、酸素センサ
    素子。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0919807A1 (en) * 1997-11-25 1999-06-02 NGK Spark Plug Co. Ltd. Oxygen Sensor
JPH11237361A (ja) * 1997-12-15 1999-08-31 Nippon Soken Inc ガスセンサ
JP2006058282A (ja) * 2004-07-22 2006-03-02 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びその製造方法
JP2009186458A (ja) * 2008-01-08 2009-08-20 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP2013178228A (ja) * 2012-02-01 2013-09-09 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ
JP2015072259A (ja) * 2013-09-05 2015-04-16 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP2015102401A (ja) * 2013-11-25 2015-06-04 株式会社日本自動車部品総合研究所 ガスセンサ素子、及びガスセンサ
WO2020136962A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子およびガスセンサ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62125752A (ja) * 1985-11-26 1987-06-08 Nec Corp 遠隔局スタンドアロン呼処理試験方式
JPS63290956A (ja) * 1987-05-25 1988-11-28 Japan Electronic Control Syst Co Ltd 内燃機関用酸素センサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62125752A (ja) * 1985-11-26 1987-06-08 Nec Corp 遠隔局スタンドアロン呼処理試験方式
JPS63290956A (ja) * 1987-05-25 1988-11-28 Japan Electronic Control Syst Co Ltd 内燃機関用酸素センサ

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0919807A1 (en) * 1997-11-25 1999-06-02 NGK Spark Plug Co. Ltd. Oxygen Sensor
US6210552B1 (en) 1997-11-25 2001-04-03 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Oxygen sensor
JPH11237361A (ja) * 1997-12-15 1999-08-31 Nippon Soken Inc ガスセンサ
JP2006058282A (ja) * 2004-07-22 2006-03-02 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びその製造方法
JP4587473B2 (ja) * 2004-07-22 2010-11-24 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
JP2009186458A (ja) * 2008-01-08 2009-08-20 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP2013178228A (ja) * 2012-02-01 2013-09-09 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ
JP2015072259A (ja) * 2013-09-05 2015-04-16 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子及びガスセンサ
US10161900B2 (en) 2013-09-05 2018-12-25 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor element and gas sensor
JP2015102401A (ja) * 2013-11-25 2015-06-04 株式会社日本自動車部品総合研究所 ガスセンサ素子、及びガスセンサ
WO2020136962A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子およびガスセンサ
CN113227774A (zh) * 2018-12-28 2021-08-06 日本特殊陶业株式会社 气体传感器元件和气体传感器
JPWO2020136962A1 (ja) * 2018-12-28 2021-11-18 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子およびガスセンサ
CN113227774B (zh) * 2018-12-28 2023-08-11 日本特殊陶业株式会社 气体传感器元件和气体传感器

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