JPH01228775A - 研削加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気ヘッド材料等の硬脆性材料の加工工程で
使用する研削加工装置に関するものである。

従来の技術 近年、研削加工装置は、その被加工物の高精度化に伴い
、加工精度の高精度化が望まれている。

以下、図面を参照しながら上述した従来の研削加工装置
の一例について説明する。第６図は、従来の研削加工装
置の主要構成図を示すものである。

第６図において、１０１は研削加工する砥石車、１０２
は砥石車１０１を保持し回転駆動するスピンドル（以降
ツールスピンドルと称する）、１ｏ５は被加工物（以降
ワークと称する）、１０４は被加工物１０５を貼り付は
保持する円形又は角形のプレート（以降ワーク貼付プレ
ートと称する）、１０３はワーク貼シ付はプレートを保
持回転駆動するスピンドル（以降ワークスピンドルと称
する）、１０６は研削水供給用ノズルである。

以上のように構成された研削加工装置について以下第６
図を用いて、その動作について説明する。

まず、第６図において、ワークスピンドル１０３は、矢
印Ｘ方向に摺動可能であシかつ、矢印入方向に回転可能
となっている。研削水供給ノズル１０６は、ワークスピ
ンドル１０３の動きに合わせて矢印Ｘ方向に摺動する。

ツールスピンドル１０１は、矢印Ｂ方向に回転する。ワ
ーク１０６はワーク貼り付は治具１０４に貼り付けられ
ており、さらにワークスピンドル１０３に載置されてい
る。ワーク１０５と対向して、ツールスピンドル１０１
上に、砥石車１０２が載置されている。

加工に際しては、ツールスピンドル１ｏ１及びワークス
ピンドル１０３を回転させ、ワークスピンドル１０３を
矢印Ｘ方向に摺動させ、砥石１０２にワーク１０６を押
しあてて、研削加工を行う。

その際、研削水を加工部に噴射して供給する。やがて、
その送り量が、加工目標に達したら、加工工程を終了す
る。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、加工時に発生する
発熱や周囲の温度の変動によって砥石や治具が熱変位す
るので、その結果、高精度研削加工において精度が悪化
するという問題点を有していた。

本発明は、上記問題点に臨み、加工中に発生する温度変
動によって、生じる加工誤差をとり除き、高精度研削加
工が可能な、研削加工装置を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の研削加工装置は、
砥石部や貼り付は治具に、温調水の供給を行うだめのノ
ズルを設け、ここより一定温度の温調水を噴射するとい
う構成を備えたものである。

作　　用 本発明は、上記した構成によって、砥石部分や貼付は治
具部分を温調水によって一定温度に保つことが可能とな
るので、熱変位を低く抑制出来るので、熱変位による加
工精度の悪化を防ぐことが可能となる。

実施例 以下本発明の一実施例の研削加工装置について、図面を
参照しながら説明する。第１図は本発明の第１の実施例
における研削加工装置の主要構成図を示すものである。

第１図において、１はツールスピンドル、２はツールス
ピンドルに載置された砥石車、３はワークスピンドル、
４はワーク貼り付はプレートで、ワークスピンドル３に
載置されている。６は被加工物すなわちワーク、６は研
削水供給用ノズル、７は砥石車への温調水供給ノズルで
ある。

以上のように構成された研削加工装置について、以下、
第１図を用いて、その動作を説明する。

第１図において、ワークスピンドル３は、矢印Ｘ方向に
、摺動可能であり、かつ、矢印入方向に回転可能となっ
ている。研削水供給用ノズル６は、ワークスピンドル３
と同時に矢印Ｘ方向に摺動する。ツールスピンドル１は
、矢印Ｂ方向に回転する。ワーク６は、ワーク貼付は治
具４に貼り付けられており、さらに、ワークスピンドル
３に載置されている。ワーク６と対向して、ツールスピ
ンドル１上に砥石車２が載置されている。加工に際して
は、ツールスピンドル１及びワークスピンドル３を回転
させ、ワークスピンドル３を矢印Ｘ方向に摺動させ、砥
石車２にワーク６を押しあてて、研削加工を行う。その
際、研削水を加工部に噴射して供給する。

以上のように本実施例によれば、温調水供給ノズルを設
けることにより一定温度に保たれた温調水を噴射させ、
砥石台金部分に供給し、砥石部分の温度を一定に保つこ
とができる。このことにより、砥石部分での熱変位を低
く抑えることが可能となる。

以下、本発明の第２の実施例について、図面を参照しな
がら説明する。第２図は、本発明の第２の実施例を示す
研削加工装置の主要構成図である。

同図において、１はツールスピンドル、２は砥石車、３
はワークスピンドル、４はワーク貼付はプレート、６は
ワーク、６は研削水供給ノズルで、以上は第１図の構成
と同様なものである。第１図の構成と異る点は、温調水
供給ノズル８を、ワーク貼り付は治具４に対して温調水
を噴射できるように設けた点である。

上記のように構成された研削加工装置について、その動
作は、第１の実施例とほぼ同じである。異る点は温調水
供給ノズル８より一定温度に保たれた温調水を噴射させ
、ワーク貼付は治具部分４に供給し、ワーク貼り付は治
具部分４の温度を一定に保つことができる。このことに
より、ワーク貼り付は治具部分での熱変位を低く抑える
ことが可能となる。

以下、本発明の第３の実施例について、図面を参照しな
がら説明する。第３図は、本発明の第３の実施例を示す
研削加工装置の主要構成図である。

同図において、１はツールスピンドル、２は砥石車、３
はワークスピンドル、４はワーク貼付はプレート、５は
ワーク、６は研削水供給ノズルで、以上は、第１図及び
第２図の構成と同様なものである。それらと異る点は、
砥石治具間基準距離検出部、すなわち、セットアツプユ
ニット９を設けた点と、温調水供給ノズ）ｖｌｏをセッ
トアツプユニットに対して温調水を噴射できるように設
けた点である。上記のように構成された研削加工装置に
ついて、その動作は、第１及び第２の実施例とほぼ同じ
である。異る点は、加工に先だちまず、セットアツプユ
ニット９を砥石２とワーク貼υ付は治具４間にはさみ込
み、その間の距離の基準を得る。もう−点は、温調水供
給ノズ／ｌ／１０より一定温度に保たれた温調水を噴射
させ、セントアップユニット９に供給し、セットアツプ
ユニット９の温度を一定に保つことができる。

このことにより、セットアツプユニット９での熱変位を
低く抑えることが可能となる。

以下、本発明の第４の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。第４図は、本発明の第４の実施例を示す研
削加工装置の主要構成図である。

同図において、１１はツールスピンドル、１２は砥石車
、１３はＸ軸テーブル、１４はワーク貼り付は治具、１
６はワーク、１６は研削水供給ノズル、１７は温調水供
給ノズルである。上記のように構成された研削加工装置
について、以下その動作を説明する。

ツールスピンド）ｖｌｌは、矢印Ｙ方向に摺動可能であ
りかつ砥石車１２が載置されており、砥石車１２は、矢
印入方向に、回転可能である。ワーク貼り付は治具１４
には、ワーク１６が貼り付けられており、さらに、テー
プ／Ｌ／１３上に載置されている。テープ）ｖ１３は、
矢印Ｚ方向及び■■で示すＸ方向に、摺動可能である。

加工に際しては、砥石車１２を高速に回転させ、Ｙ軸及
びＸ軸の位置決めを行い、研削水供給ノズル１６より研
削水を加工部に噴射しつつ、Ｘ軸を摺動させて、砥石１
２とワーク１６を接しさせ研削加工を行う。

以上のように本実施例によれば、温調水供給ノズ／ｖ１
７を設け、ここより一定温度に保たれた温調水を砥石台
金１２の部分に噴射させて、砥石１２部分の温度を一定
に保ち、熱変位を低く抑えることが可能となる。

なお第２の実施例において、砥石部分１２への温調水噴
射ノズル１７を設けても良い。

また第３の実施例において、砥石部分１２及びワーク貼
り付は治具部分１４への温調水噴射ノズ）Ｌ７１６を設
けても良い。

また第４の実施例において、ワーク貼り付は治具部分へ
の温調水噴射ノズルを設けても良い。

発明の効果 以上のように本発明は、温調水供給ノズルを設け、各部
分の温度を一定に保つことにより、熱変位を低く抑える
ことが出来るので、加工精度を高くすることが出来る。

その効果は、従来の実施例では、７μｍ程度の幅でばら
ついていた加工精度が、本発明により、１μｍ以内のば
らつきまで抑制する。ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例における研削加工装置の
要部正面図、第２図は第２の実施例における研削加工装
置の要部正面図、第３図は第３の実施例における研削加
工装置の要部正面図、第４図は第４の実施例における研
削加工装置の要部圧　　□面図、第５図は従来の研削加
工装置の要部正面図である。 １・・・・・・ツールスピンドル、２・・・・・・砥石
車、３・・・・・・ワークスピンドル、４・・・・・・
ワーク貼り付は治具、６・・・・・・ワーク、６・・・
・・・研削水ノズル、７，８，１０・・・・・・温調水
ノズル、９・・・・・・セットアツプユニット。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名１−
−−１１ノールスげソにル チー’−！５ｉｉｆｆｌ（）ｉごル 第２図 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）被加工物を取付ける取付治具部を有し、かつこの
   被加工物を一定量だけ強制して送る送り装置と、この送
   り装置を相対向して設けられ、かつ前記被加工物を研削
   加工する砥石とからなる装置であって、前記砥石の台金
   部分に、一定温度に温調された温調水を供給するための
   ノズルを備えたことを特徴とする研削加工装置。
2. （２）被加工物を取付ける取付治具部分へ、一定温度に
   温調された温調水を供給するためのノズルを備えたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の研削加工装置
   。
3. （３）被加工物を取付ける取付治具と砥石間に設けられ
   た基準距離を検出する検出部へ一定温度に温調された温
   調水を供給するためのノズルを備えた事を特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の研削加工装置。