JPH01171747A - 研削加工装置 - Google Patents
研削加工装置Info
- Publication number
- JPH01171747A JPH01171747A JP33072587A JP33072587A JPH01171747A JP H01171747 A JPH01171747 A JP H01171747A JP 33072587 A JP33072587 A JP 33072587A JP 33072587 A JP33072587 A JP 33072587A JP H01171747 A JPH01171747 A JP H01171747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air cylinder
- grinding
- workpiece
- pressure
- machining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気ヘッド等の材料であるフェライトやセラ
ミック等の硬脆性材料を平面鏡面加工する工程に使用す
る精密研削加工装置に関するものである。
ミック等の硬脆性材料を平面鏡面加工する工程に使用す
る精密研削加工装置に関するものである。
従来の技術
近年、研削加工装置は、その加工物である磁気ヘッド等
の高精度化のために、加工精度を向上させ加工変質層を
低く抑えることが重要視されておシ、それに伴って高性
能化が望まれている。
の高精度化のために、加工精度を向上させ加工変質層を
低く抑えることが重要視されておシ、それに伴って高性
能化が望まれている。
以下図面を参照しながら、上述した研削加工装置の一例
について説明する。第３図は、従来の研削加工装置の主
要構成図で、２ｏはツールスピンドル、２１は加工用砥
石、２２は本体ペース、２３はワークスピンドル、２４
はワーク貼ｐ付は治具、２６はワーク、２６はＸ軸テー
ブル、２７はリニアモータ、２８はエアーシリンダー、
２９はボールネジ、３０はリニアモーター用ドライバー
である。
について説明する。第３図は、従来の研削加工装置の主
要構成図で、２ｏはツールスピンドル、２１は加工用砥
石、２２は本体ペース、２３はワークスピンドル、２４
はワーク貼ｐ付は治具、２６はワーク、２６はＸ軸テー
ブル、２７はリニアモータ、２８はエアーシリンダー、
２９はボールネジ、３０はリニアモーター用ドライバー
である。
以上のように構成された研削加工装置について以下その
動作を説明する０ まず最初に、ツールスピンドルとワークスピンドルを運
転し、ボールネジによってＸ軸テーブルを所定の位置ま
で送る。次にリニアモーター用ドライバーからの信号に
よってリニアモータ２了が作動し、Ｘ軸テーブル２６を
砥石２１側に送り、やがて、ワーク２６と砥石２１が接
触し、加工工程になる。この時、リニアモータ２７の出
力が一定の力となるようにドライバーでコントロールさ
れ、定圧送り加工を実現する。加工をさらに進めてゆき
、所定の寸法に達したら、エアーシリンダーに給気し、
Ｘ軸を押し戻すと同時にボールネジ２９によってテーブ
ル２６を元の位置に復帰させる。
動作を説明する０ まず最初に、ツールスピンドルとワークスピンドルを運
転し、ボールネジによってＸ軸テーブルを所定の位置ま
で送る。次にリニアモーター用ドライバーからの信号に
よってリニアモータ２了が作動し、Ｘ軸テーブル２６を
砥石２１側に送り、やがて、ワーク２６と砥石２１が接
触し、加工工程になる。この時、リニアモータ２７の出
力が一定の力となるようにドライバーでコントロールさ
れ、定圧送り加工を実現する。加工をさらに進めてゆき
、所定の寸法に達したら、エアーシリンダーに給気し、
Ｘ軸を押し戻すと同時にボールネジ２９によってテーブ
ル２６を元の位置に復帰させる。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、定圧送υ装置とし
て、リニアモーターを使用しているために、コスト的に
も高く、専用の制御装置が必要であり、さらに安定した
加工圧力を得ることが難しいため、被加工物にクラック
やチッピングを発生させてしまうことが多くあるという
問題点を有していた。
て、リニアモーターを使用しているために、コスト的に
も高く、専用の制御装置が必要であり、さらに安定した
加工圧力を得ることが難しいため、被加工物にクラック
やチッピングを発生させてしまうことが多くあるという
問題点を有していた。
本発明は上記問題点に臨み、被加工物がセラミック等の
硬脆性材料の場合は、エアーシリンダー給気圧を上げる
ことにより、砥石と被加工物間の加工圧力を高くした状
態での定圧加工を行い、またフェライト等の加工容易な
材料の場合は、エアーシリンダー給気圧を下げることに
よυ砥石と被加工物間の加工圧力を低くした状態での定
圧加工を行うことにより、チッピングやクラック等のほ
とんど無い、鏡面研削加工を実現できる研削加工装置を
提供するものである。
硬脆性材料の場合は、エアーシリンダー給気圧を上げる
ことにより、砥石と被加工物間の加工圧力を高くした状
態での定圧加工を行い、またフェライト等の加工容易な
材料の場合は、エアーシリンダー給気圧を下げることに
よυ砥石と被加工物間の加工圧力を低くした状態での定
圧加工を行うことにより、チッピングやクラック等のほ
とんど無い、鏡面研削加工を実現できる研削加工装置を
提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の研削加工装置は、
ボールネジにより一定送シを行う駆動方式に加え、精密
減圧弁によシ圧力制御された圧搾空気をエアーシリンダ
ーに供給し、エアーシリンダーから発生する力によって
、被加工物を砥石車に押圧する構成としたものである。
ボールネジにより一定送シを行う駆動方式に加え、精密
減圧弁によシ圧力制御された圧搾空気をエアーシリンダ
ーに供給し、エアーシリンダーから発生する力によって
、被加工物を砥石車に押圧する構成としたものである。
作用
本発明は上記した構成によって、研削加工時に、被加工
物に加わる加工圧力を最適化することが容易であるので
、最適条件で定圧研削加工ができ、被加工物の仕上りは
チッピング、クラック等の非常に少ない平面となる。
物に加わる加工圧力を最適化することが容易であるので
、最適条件で定圧研削加工ができ、被加工物の仕上りは
チッピング、クラック等の非常に少ない平面となる。
実施例
以下本発明の一実施例の研削加工装置について、図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第１図は、本発明の実施例における研削加工装置の主要
構成を示すものである。第１図において、１はツールス
ピンドル、２はツールスピンドル１に内蔵された１駆動
用ビルトインモータ、３は加工用砥石で、ツールスピン
ドル１に取り付けられている。これら砥石軸部は取付台
４によって本体ベース５上に配設されている。６はワー
クスピンドル、７はワークスピンドル、駆動用モータ、
８はワーク、９はワークを接着保持するワーク貼り付は
治具である。これらワークスピンドル部は、Ｘ軸テーブ
ル１０上に配設され、矢印Ｘ方向へ摺動可能である。１
１はエアーシリンダー、１２はエアーシリンダーのロッ
ドで、Ｘ軸テーブル１０を砥石側方向へ押圧する。１３
はストッパー、１４はサブテーブル、１５はＸ軸６駆動
用サーボモータ、１６はボールネジである。ボールネジ
１６からの送りは、プラケット１７を介してサブテーブ
ル１４に伝達される。１８はモーターブラケットで、本
体ベース６上に配設されている。また１９は精密減圧弁
である。
構成を示すものである。第１図において、１はツールス
ピンドル、２はツールスピンドル１に内蔵された１駆動
用ビルトインモータ、３は加工用砥石で、ツールスピン
ドル１に取り付けられている。これら砥石軸部は取付台
４によって本体ベース５上に配設されている。６はワー
クスピンドル、７はワークスピンドル、駆動用モータ、
８はワーク、９はワークを接着保持するワーク貼り付は
治具である。これらワークスピンドル部は、Ｘ軸テーブ
ル１０上に配設され、矢印Ｘ方向へ摺動可能である。１
１はエアーシリンダー、１２はエアーシリンダーのロッ
ドで、Ｘ軸テーブル１０を砥石側方向へ押圧する。１３
はストッパー、１４はサブテーブル、１５はＸ軸６駆動
用サーボモータ、１６はボールネジである。ボールネジ
１６からの送りは、プラケット１７を介してサブテーブ
ル１４に伝達される。１８はモーターブラケットで、本
体ベース６上に配設されている。また１９は精密減圧弁
である。
以上のように構成された研削加工装置について、以下第
１図、第２図を用いてその動作を説明する。
１図、第２図を用いてその動作を説明する。
まず第２図は各加工状態におけるエアーシリンダーの移
動状態を示すものである０加工工程において、最初、ツ
ールスピンドル１及びワークスピンドル６を運転し、Ｘ
軸テーブル１０をボールネジ１６によって砥石軸方向へ
摺動させる。この時点では、ワーク８と砥石３は、まだ
接触していないので、加工負荷は発生しないため、エア
ーシリンダーの状態は第２図４のようになる。さらにＸ
軸テーブル１０を送ってゆくと、ワーク８と砥石３が接
触し加工負荷を生ずる。その時、Ｘ軸テーブル１ｏの送
り速度が加工速度より速くかつエアーシリンダー１１が
Ｘ軸テーブル１０を押圧する力に比べ、加工負荷が小さ
いという条件において、定圧送り加工を実現するＱ 従って、定圧送り加工を実現するにあたって、あらかじ
め加工負荷によって生じる力に比べ、エアーシリンダー
がテーブルを押圧する力が強くなるようにエアーシリン
ダーへ供給する空気圧を精密減圧弁にて調整すると同時
に、加工速度に比べテーブルの送り速度が速くなるよう
に送シ速度を設定する。
動状態を示すものである０加工工程において、最初、ツ
ールスピンドル１及びワークスピンドル６を運転し、Ｘ
軸テーブル１０をボールネジ１６によって砥石軸方向へ
摺動させる。この時点では、ワーク８と砥石３は、まだ
接触していないので、加工負荷は発生しないため、エア
ーシリンダーの状態は第２図４のようになる。さらにＸ
軸テーブル１０を送ってゆくと、ワーク８と砥石３が接
触し加工負荷を生ずる。その時、Ｘ軸テーブル１ｏの送
り速度が加工速度より速くかつエアーシリンダー１１が
Ｘ軸テーブル１０を押圧する力に比べ、加工負荷が小さ
いという条件において、定圧送り加工を実現するＱ 従って、定圧送り加工を実現するにあたって、あらかじ
め加工負荷によって生じる力に比べ、エアーシリンダー
がテーブルを押圧する力が強くなるようにエアーシリン
ダーへ供給する空気圧を精密減圧弁にて調整すると同時
に、加工速度に比べテーブルの送り速度が速くなるよう
に送シ速度を設定する。
さらに加工を続けると、第２図すの状態で存在する、テ
ーブル１０とストッパー１３の間のすきまがテーブル１
ｏの送９に伴って消えてゆき、第２図ａのような状態へ
移行する。その時点で、テーブル１ｏとストッパー１３
は接し、もはやこれ以上加工が進まなくなり、スパーク
アウトを行い加工工程を終了する。
ーブル１０とストッパー１３の間のすきまがテーブル１
ｏの送９に伴って消えてゆき、第２図ａのような状態へ
移行する。その時点で、テーブル１ｏとストッパー１３
は接し、もはやこれ以上加工が進まなくなり、スパーク
アウトを行い加工工程を終了する。
以上のように、本実施例によれば、精密減圧弁で、一定
圧力に設定した圧搾空気をエアーシリンダーに供給し、
エアーシリンダーから発生する力でテーブルを押圧する
機構を設けることにより、定圧送り加工を実現すること
ができるので、研削加工条件を加工開始時点よシ終了時
点まで、最適条件に設定することができる。
圧力に設定した圧搾空気をエアーシリンダーに供給し、
エアーシリンダーから発生する力でテーブルを押圧する
機構を設けることにより、定圧送り加工を実現すること
ができるので、研削加工条件を加工開始時点よシ終了時
点まで、最適条件に設定することができる。
発明の効果
以上のように本発明は、エアーシリンダーにより、テー
ブルを一定の力で押圧する機構を設けることにより定圧
送り加工を実現出来、最適条件で研削加工を行うことが
可能となり、チッピング等の少ない高精度な、平面研削
加工を実現することができる。
ブルを一定の力で押圧する機構を設けることにより定圧
送り加工を実現出来、最適条件で研削加工を行うことが
可能となり、チッピング等の少ない高精度な、平面研削
加工を実現することができる。
第１図は本発明の実施例における研削加工装置の主要構
成図、第２図は第１図のエアーシリンダ一部の詳細図、
第３図は従来の研削加工装置の主要構成図である。 １・・・・・・ツールスピンドル、３・川・・砥石、６
・・・・・・ワークスピンドル、８・・・・・・ワーク
、１ｏ・・・・・・ｘ軸テーブル、１１・・・・・・エ
アーシリンダー、１４・・・・・・サブテーブル、１６
・・・・・・ボールネジ、１９・・・山精密減圧弁。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名！・
−ツールスピンドル ３−砥石 ６〜 ワークスピンドル ８− ワーク １０−Ｘ ％テーブル 第２図 （ａ） （ｂ） １２ Ｊ４−
成図、第２図は第１図のエアーシリンダ一部の詳細図、
第３図は従来の研削加工装置の主要構成図である。 １・・・・・・ツールスピンドル、３・川・・砥石、６
・・・・・・ワークスピンドル、８・・・・・・ワーク
、１ｏ・・・・・・ｘ軸テーブル、１１・・・・・・エ
アーシリンダー、１４・・・・・・サブテーブル、１６
・・・・・・ボールネジ、１９・・・山精密減圧弁。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名！・
−ツールスピンドル ３−砥石 ６〜 ワークスピンドル ８− ワーク １０−Ｘ ％テーブル 第２図 （ａ） （ｂ） １２ Ｊ４−
Claims (1)
- ボールネジによって一定量だけ強制して送る送り装置と
、前記送り装置に搭載されたエアーシリンダーにより任
意の力で押圧する可変式定圧送り装置からなり、前記送
り装置に被加工物を設け、かつ対向する他方に前記被加
工物を平面研削する砥石車を設けた研削加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33072587A JPH01171747A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 研削加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33072587A JPH01171747A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 研削加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01171747A true JPH01171747A (ja) | 1989-07-06 |
Family
ID=18235866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33072587A Pending JPH01171747A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 研削加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01171747A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05185349A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Toyo Glass Co Ltd | ガラス製品の表面加工装置 |
| JPH05192864A (ja) * | 1991-06-04 | 1993-08-03 | Seva | 工具から研磨すべき部品への作用力の空気圧調整を行う研磨用機械装置 |
| JPH0623665A (ja) * | 1992-02-14 | 1994-02-01 | Noritake Co Ltd | 砥石研削機 |
| JP2006181703A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Toyota Motor Corp | 精密加工装置および精密加工方法 |
| JP2007050509A (ja) * | 1995-10-14 | 2007-03-01 | Carl Zeiss Vision Gmbh | 光学的表面の製造方法およびこの方法を実施するための加工機 |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP33072587A patent/JPH01171747A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05192864A (ja) * | 1991-06-04 | 1993-08-03 | Seva | 工具から研磨すべき部品への作用力の空気圧調整を行う研磨用機械装置 |
| JPH05185349A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-07-27 | Toyo Glass Co Ltd | ガラス製品の表面加工装置 |
| JPH0623665A (ja) * | 1992-02-14 | 1994-02-01 | Noritake Co Ltd | 砥石研削機 |
| JP2007050509A (ja) * | 1995-10-14 | 2007-03-01 | Carl Zeiss Vision Gmbh | 光学的表面の製造方法およびこの方法を実施するための加工機 |
| JP4572187B2 (ja) * | 1995-10-14 | 2010-10-27 | カール ツァイス ヴィジオーン ゲーエムベーハー | 光学的表面または光学的表面を製造するための型枠のための加工機 |
| JP2006181703A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Toyota Motor Corp | 精密加工装置および精密加工方法 |
| JP4506461B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-07-21 | トヨタ自動車株式会社 | 精密加工装置および精密加工方法 |
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