JPH01227453A - ウエーハ搬送具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［目次］ 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段（第１図）作用 実施例 一実施例 拡張 発明の効果 ［概要］ ウェーハを保持し搬送するウェーハ搬送具に関し、 確実にウェーハを保持でき、かつ、太き（加減速し高速
搬送してもウェーハが位置ずれしたり、ウェーハが損傷
したりすることがなく、さらに、真空中でもウェーハを
確実に保持できるようにすることを目的とし、 ウェーハ搬送アームと、該ウェーハ搬送アームに固定さ
れた半導体板と、該半導体板のウェーハ搬送アー云側の
面に接する、互いに離れた２つ以上の電極と、を備えて
構成する。

［産業上の利用分野］ 本発明は、ウェーハを保持し搬送するウェーハ搬送”具
ｉこ関する。

［従来の技術］ 作業時間の短縮化するために、ウェーハの高速搬送化が
強く要請されている。

従来のウェーハ搬送具は、第４図に示す如く、ウェーハ
搬送アームｌの先端部に、凹状のトレイｌＯが設けられ
て構成されており、これにウェーハ６を載せて保持し搬
送していた。

また、他のウェーハ搬送具は、第５図に示す如く、ウェ
ーハ搬送アームｌの先端部に、吸気口１１．１１が設け
られて構成されており、ウェーハ６を負圧吸引して保持
し搬送していた。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、第４図に示すウェーハ搬送具８は、トレイ１０
の凹状部内径がウェーハ外径よりやや大きいため、高速
搬送する場合には、加減速時、ウェーハが位置ずれした
り、凹部内壁に衝突してウェーハが欠けたり、ウェーハ
がトレイから飛び出して落下することもあった。

また、第５図に示すウェーハ搬送具９の場合は、大気中
で使用する場合は有効であるが、真空中内では使用でき
ない。

本発明の目的は、上記問題点に鑑み、ウェーハを確実に
保持でき、太き（加減速して高速搬送する場合でもウェ
ーハが位置ずれしたり、損傷したりすることがなく、か
つ、真空中でもウェーハを確実に保持、搬送できるウェ
ーハ搬送具を提供することにある。

Ｅ問題点を解決するための手段］ 第１図は本発明の原理構成図である。

図中、■はウェーハ搬送アームであり、図示しない駆動
装置により移動される。

２は半導体板であり、ウェーハ搬送アームｌに固定され
ている。

３．３は互いに離れた１対以上の電圧印加用電極であり
、半導体板２のウェーハ搬送アーム側の面に接している
。

［作用コ 電極３．３間に電圧を印加すると、半導体板２の電極３
．３と反対面に電荷が分布する。静電誘導により、半導
体板２に接するウェーハには、該電荷と反対極性の電荷
が分布する。

したがって、半導体板２とウェーハとの間には、ジョン
セン−ラーベック（Ｊｏｈｎｓｅｎ−ｒａｈｂｅｃｋ）
効果による静電吸収力が発生し、ウェーハが搬送アーム
に保持される。

［実施例］ （１）−実施例 第２図は本発明の一実施例に係るウェーハ搬送具の要部
斜視図である。

図中、ＩＡはウェーハ搬送アームであり、例えばアルミ
ニウム製である。

２Ａは半導体板であり、例えば比抵抗ｔｏ”−”Ω”ａ
ｍ、幅３０ｍ５．奥行３０■、厚さ１　ａｍのＳｔＣ板
である。

５は絶縁板であり、幅及び奥行は半導体板５と同一であ
って、ウェーハ搬送アームｌａの先端上面に接着されて
いる。

また、３Ａ、３Ａは電極板であり、例えば幅１０ｍ５、
奥行２０ｍ−の金属膜で形成され、半導体板２Ａの一側
面に無電解メツキ等の手法によってパターン形成される
。電極膜３Ａ、３Ａ間の距離ｄは、例えば５會霞である
。

４．４は電気リード線であり、図示しない電圧供給源と
電極板３Ａ、３Ａ間を接続する。

上記の如く構成されたウェーハ搬送具１３において、電
圧供給源より電極３Ａ、３Ａ間に電圧を印加し、第３図
に示す如く、ウェーハ６を静電吸着して保持する。上記
具体的数値の構成で、電極板３Ａ、３Ａ間に直流電圧４
００■を印加し、直径６インチ、厚さ０．６ａｍウェー
ハ６の吸着力を測定したところ、４００　ｇｒ／ｃ＠”
もあった。またこのときの電流値は、数十μＡしがなか
った。

このような半導体板の代わりに誘電体板を用いることも
考えられるが、この場合の静電吸着力は数１０　ｇ／ａ
ｍ”程度しか得られず、ジョンセンラーベック効果を利
用した本実施例のものと比べると格段の差異があり、効
果が著しい。

（２）拡張 なお、本発明は他にも種々の変形例が含まれる。

例えば、上記実施例では搬送アームをアルミニウムで構
成した場合を説明したが、搬送アームを絶縁材料で構成
すれば、絶縁板５が不要になる。

また、第５図に示す如く、ウェーハ位置決め用の円弧上
段差部を搬送アームに形成してもよい。

さらに、電極板に印加する電圧は吸引力の点で直流の方
が好ましいが、商用周波数程度の低周波数であれば、交
流であってもよい。

また、電極板は２枚以上あればよく、その形状も任意で
あり、例えば円板電極と、この円板に同心で内径が該円
板の外形より大きいリング板状の電極（１枚以上）とを
用いてもよい。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明に係るウェーハ搬送具では
、ウェーハ搬送アームに半導体板を固定し、半導体板の
ウェーハ搬送アーム側の面に、互いに離れた２つ以上の
電極を接しており、電極間に電圧を印加すると、電極と
反対側の半導体面と、これにに接したウェーハとの間に
ジジンセンーラーベツク効果による強い静電吸引力が生
じ、したがって、確実にウェーハを保持でき、大きく加
減速し高速搬送してもウェーハが位置ずれしたりウェー
ハが損傷したりすることがないという優れた効果を奏し
、高速搬送による作業時間の短縮化に寄与するところが
大きい。

また、本発明のウェーハ搬送具は大気中のみならず真空
中であっても確実にウェーハを保持できるという優れた
効果も奏する。

さらに、電圧印加のオン・オフにより着脱を制御できる
ので、制御装置の構成が簡単になるという優れた効果も
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェーハ搬送具の原理構成図 第２図は本発明に係るウェーハ搬送具の一実施例要部斜
視図、 第３図は第２図に示すつ・エーハ搬送具の使用状況を示
す要部斜視図、 第４図は及び第５図は従来のウェーハ搬送具の構成を示
す要部斜視図である。 図中、 １、ＩＡはウェーハ搬送アーム ２．２Ａは半導体板 ３．３Ａは電極 ５は絶縁板 発明の原理後に図 一実静ＩＩに図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　ウェーハ搬送アーム（１）と、 該ウェーハ搬送アームに固定された半導体板（２）と、 該半導体板（２）のウェーハ搬送アーム側の面に接する
   、互いに離れた２つ以上の電極（３）と、を有すること
   を特徴とするウェーハ搬送具。