JPH01215487A - レーザビーム用ベンダ - Google Patents

レーザビーム用ベンダ

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Publication number
JPH01215487A
JPH01215487A JP63037139A JP3713988A JPH01215487A JP H01215487 A JPH01215487 A JP H01215487A JP 63037139 A JP63037139 A JP 63037139A JP 3713988 A JP3713988 A JP 3713988A JP H01215487 A JPH01215487 A JP H01215487A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main body
laser beam
mirror
bender
adjustment
Prior art date
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Pending
Application number
JP63037139A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Ishigaki
石垣 廣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP63037139A priority Critical patent/JPH01215487A/ja
Publication of JPH01215487A publication Critical patent/JPH01215487A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035Aligning the laser beam

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はレーザ応用装置に用いられてレーザビームの方
向転換を行なうレーザビーム用ベンダに関する。
(従来の技術) レーザ応用装置例えばレーザ加工機においては、レーザ
発振器からのレーザビームをベンダを用いて方向転換さ
せて加工点まで導く構成となっている。このようなレー
ザビーム用ベンダの従来例を第6図に示す。即ち、1は
ミラー取付台であり、これは側面1aが円弧状に形成さ
れており、さらに裏面の中心部にシャフト2が一体的に
形成されている。3は反射体たるミラーであり、これは
、ミラー取付台1の前面にボルト4で固定されている。
以て、これらミラー取付台1及びミラー3から反射部5
が構成されている。6は容器状のホルダであり、これは
内側面6aが前記ミラー取付台1の側面1aと密着する
ような円弧状に形成されており、裏面部中心部に孔6b
が形成されている。7はホルダ6の裏面部に固着された
座部であり、これには孔6bと連通する孔8が形成され
ている。そして、前記反射部5は、ミラー取付台1の側
面1aがホルダ6の内側面6aに摺接し且つシャフト2
が孔6b、8に遊挿されるようにして、リング9及びコ
イルばね10を介しボルト11によってホルダ6に取付
けられている。このとき、リング8とミラー取付台1と
の間に介装されたコイルばね10により、反射部5はホ
ルダ6の裏面部方向に押圧力を受けている。12は前記
座部7に螺挿された4本の調整ねじであり、これは、基
端につまみ12aを有していて、先端が前記孔8内に突
出して前記シャフト2に直交して当接するように等間隔
に配置されている。この調整ねじ12によって反射部5
はホルダ6に対して固定されている。13はペンドブロ
ックであり、これは、側面13aに入射口14を有し且
つ側面13aと直角をなす底面13bに出射口15を有
するとともに、これらの側面13a及び底面13bと4
50の角度をなす斜面13cを有するもので、この斜面
13cの中央部に開口部16が形成されている。そして
、このペンドブロック13の斜面13Cに、前記ミラー
3の反射面3aが開口部16に臨むようにして、ホルダ
6が固着されている。而して、このように構成されたレ
ーザビーム用ベンダは、レーザ加工機の適所に取付けら
れて、入射口14より入射したレーザビームLを、ミラ
ー3によって反射し90″の角度に転換して出射口15
から出射するようになっている。この場合、レーザビー
ムLを正確に加工点に導くためには、入射口14に対し
一定の角度で入射するレーザビームLの出射方向即ちミ
ラー3の反射角度の調整を行なう必要がある。この調整
は、4本の調整ねじ12を緩めるあるいは締めることに
よりシャフト2の位置を変化させて1.ミラー取付台1
の側面1aをホルダ6の内側面6aに摺動させつつ反射
部5をホルダ6に対して回動させることにより、出射口
15に対するミラー3の反射面3aの角度を変化させて
行なわれる。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記従来構成のものでは、ミラー3のレ
ーザビームLの反射角度を調整する場合、調整ねじ12
を緩めるあるいは締めるという操作によって直接位置変
化されるのはシャフト2部分という実際回動する反射部
5に対して小さな対象であるので、微妙な調整が行いに
<<、特にこの場合では、反射部5の回動軸線(シャフ
ト2の中心線)と:A整ねじ12の押圧方向とに90@
の角度のずれがあるためにこの調整が非常に面倒なもの
となっていた。又、この調整のために、ミラー取付台1
の側面1aとホルダ6の内側面6aとに球面状の成形加
工を行わなくてはならず、この加工には多大な時間を必
要として高価になるという問題点もあった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は
、反射体のレーザビームの反射角度調整の機能に優れ、
安価に製作できるレーザビーム用ベンダを提供するにあ
る。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明のレーザビーム用ベンダは、入射口及び出射口を
有する本体を取付基体に回動可能に支持させ、前記本体
内に入射口より入射したレーザビームを出射口に向けて
反射する反射体を取付け、前記反射体のレーザビームの
反射角度を前記本体を回動させて調整する調整機構を設
けたことを特徴とする。
(作用) 上記手段によれば、調整機構により本体全体を回動させ
て取付基体に対して本体を位置変化させることによって
、反射体によるレーザビームの反射角度を調整するもの
である。
(実施例) 以下本発明の第一実施例について第1図乃至第3図を参
照して説明する。
まず、第1図及び第2図において、21は矩形体状の本
体であり、これは、以下のように構成される。即ち、2
2はペンドブロックであり、これは、側面22aと、こ
の側面22aに対して900の角度をなす底面22bと
、これらの側面22a及び底面22bに対して45@の
角度をなす斜面22cとを有し、全体として矩形体を斜
めに切断した如き形状をなしている。そして、このペン
ドブロック22の側面22a、底面22b及び斜面22
cの夫々中央部には入射口23.出射口24及び開口部
25が形成されており、入射口23と開口部25とは通
路26にて連通され、出射口24と開口部25とは通路
27にて連通されている。28はホルダであり、これは
断面が直角二等辺三角形の角柱状をなし、この斜面部2
8aの中央部には円形のミラー取付凹部28bが形成さ
れている。29は反射体たる円形のミラーであり、これ
は、前記ホルダ28のミラー取付凹部28bに、反射面
29aを外側にしてリング30を介してボルト31にて
取付けられている。このようにミラー29が取付けられ
たホルダ2Bは、その斜面28aが前記ペンドブロック
22の斜面22cに接するようにして、ペンドブロック
22にボルト32により固定されている。このと春、ミ
ラー29の反射面29aは、ペンドブロック22の斜面
22cの開口部25に臨み、斜面22cと平行となるよ
うに位置される。33は円筒状の取付部材であり、その
上部に矩形状の鍔部34が一体形成されていて、この鍔
部34がペンドブロック22の底面22bにボルト35
によって固定されている。このとき、この取付部材33
の中空部たるa路33aはペンドブロック22の出射口
24と連通ずるようになっている。
さて、第3図をも参照するに、36は取付基体であり、
これは、通路36aを有する角柱状をなす。そして、前
記本体21における取付部材33の円筒部33bには球
面軸受37の内輪部37aが嵌着固定され、取付基体3
6の通路36aの上部には球面軸受37の外輪部37b
が嵌着固定され、以て本体21は取付基体36に球面軸
受37の中心の点Pを回動中心として回動可能に支持さ
れる。38は外輪部37bを押えるべく取付基体36の
上端にボルト39により取付けられたリングであり、こ
のリング38と取付部材33の鍔部34との間には一定
の間隔が存するようになっている。40は4個のコイル
ばねであり、これらは前記取付基体36と鍔部34との
間に介装されて取付基体36に対して本体21に常に上
方への押圧力を与えるようになっている。41は4本の
調整ねじであり、これらは、前記鍔部34に貫通状態に
設けられたねじ穴34aに螺合されて、先端部側のつま
み部41aが鍔部34と前記リング38との間に位置し
、さらに球面状に形成された先端部41bがリング38
の上面に当接するようになっている。これらのコイルば
ね40と調整ねじ41とから調整機構42が構成され、
この調整機構42により本体21は取付基体36に対す
る位置が固定されている。
次に、上記構成の作用につき説明する。レーザビーム発
振源方向からのレーザビームしは、取付基体36に対し
て一定の角度この場合直角をなすように投射されて本体
21の入射口23より入射される。このレーザビームし
はミラー29の反射面29aにて反射され90°の角度
転換されて出射口24を通り加工点方向へ導かれる。而
して、加工点に正確にレーザビームLを導くための出射
口24からの出射方向即ちミラー29による反射角度の
調整は以下のように行う。即ち、例えば、第1図におけ
る右側の調整ねじ41をつまみ部41aを介して締める
(螺進させる)とともに左側の調整ねじ41をつまみ部
41aを介して緩める(螺退させる)。この操作により
、本体21は締められた右側の調整ねじ41方向へ点P
を回動中心として取付基体36に対して回動する。従っ
て、この本体21の位置変化により、ミラー29の取付
基体36に対する角度が変化してレーザビームLの反射
角度が変化する。このように、4本の調整ねじ41を操
作して、レーザビームLを正確に加工点に導くように調
整を行なう。
このような本実施例によれば、次のような効果を得るこ
とができる。即ち、調整機構42により本体21全体を
回動させてミラー29の反射角度の調整を行うようにし
たので、従来の反射部5のみを調整ねじ12により回動
させて調整を行うものに比べ、回動させる対象が大きく
微妙な調整も簡単に行うことができ、この場合、本体2
1の回動軸線(点Pを含む取付部材33の中心線)方向
と調整ねじ41の螺進退方向とが一致するので、調整の
ための調整ねじ41の操作を容易に行うことができるも
のである。さらに、従来必要であったミラー取付台1の
側面1aとホルダ6の内側面6aとの円弧状の成形加工
が不要になるとともに、ミラー取付台1が不要になり、
又ホルダ28の形状の制約もさほどなくなり、総じて安
価に製作し得るものである。
第4図は本発明の第二実施例を示したもので、上記第一
実施例と異なるところはホルダ28に入射口23と対向
する出射口43を設け、ミラー29に代えて反射体たる
半透明ミラーからなるビームスプリッタ44を設けた点
であり、入射口23より入射したレーザビームLをビー
ムスプリッタ44により分光して、出射口24及び43
の双方から出射するような構成となっている。この場合
においても、調整機構42によってレーザビームLの反
射角度の調整を容易に行うことができる。
第5図は本発明の第三実施例を示すものであり、上記第
一実施例と異なるところは、調整機構42に代えて以下
の構成の調整機構45を設けた点である。即ち、46は
モータであり、47はこのモータ46の回転軸46aの
回転をナツト状の雌ねじ部材48に伝達するギア機構で
ある。49は前記雌ねじ部材48に貫通状態に螺合され
る雄ねじ部材であり、この雄ねじ部材49は、その先端
部に固定されたジヨイント50を介して本体21に固定
されている。而して、前記モータ4°6等は、レーザ加
工機の適所に固定され、モータ46が正。
逆回転されることにより、雌ねじ部材48を回転させて
雄ねじ部材49を往復移動させ、本体21を回動させる
ようになっている。この調整機構45はモータ46への
通電制御によりミラー29の反射角度を調整するように
なっているので、レーザビームLの反射角度を検出する
検出装置と組み合わせてミラー29の反射角度の自動調
整を行うことも容易となる。
その他、本発明は上記した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施
し得るものである。
[発明の効果] 以上の記述にて明らかなように、本発明のレーザビーム
用ベンダによれば、入射口及び出射口を有する本体を取
付基体に回動可能に支持させ、前記本体内に入射口より
入射したレーザビームを出射口に向けて反射する反射体
を取付け、この反射体のレーザビームの反射角度を前記
本体を回動させて調整する調整機構を設ける構成とした
ので、レーザビームの反射方向の調整が容易となり、さ
らに安価に製作し得るという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は本発明の第一実施例を示すもので、
第1図は全体の縦断側面図、第2図は別角度の調整機構
部分の縦断側面図、第3図は第1図の■−■線に沿った
横断上面図であり、第4図は本発明の第二実施例を示す
第1図相当図、第5図は本発明の第三実施例を示す一部
縦断した全体の側面図、第6図は従来例を示す本体の縦
断側面図である。 図面中、21は本体、23は入射口、24は出射口、2
9はミラー(反射体)、33は取付部材、36は取付基
体、37は球面軸受、41は調整ねじ、42は調整機構
、43は出射口、44はビームスプリッタ(反射体)、
45は調整機構、Lはレーザビームを示す。 第 1 図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、入射口及び出射口を有し取付基体に回動可能に支持
    された本体と、この本体内に取付けられ入射口より入射
    したレーザビームを出射口に向けて反射する反射体と、
    この反射体のレーザビームの反射角度を前記本体を回動
    させて調整する調整機構とを具備してなるレーザビーム
    用ベンダ。
JP63037139A 1988-02-19 1988-02-19 レーザビーム用ベンダ Pending JPH01215487A (ja)

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JP63037139A JPH01215487A (ja) 1988-02-19 1988-02-19 レーザビーム用ベンダ

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JP63037139A JPH01215487A (ja) 1988-02-19 1988-02-19 レーザビーム用ベンダ

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JPH01215487A true JPH01215487A (ja) 1989-08-29

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5418652A (en) * 1990-05-28 1995-05-23 Maschinenfabrik Karl H. Arnold Gmbh & Co. Kg Deflection mirror housing for laser material-machining systems and beam separating filter
JP2007124737A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Iai:Kk リニアモータ
CN102707411A (zh) * 2012-05-31 2012-10-03 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种紧凑型万向调节折轴反射镜机构
CN105277966A (zh) * 2015-11-11 2016-01-27 广东中能加速器科技有限公司 一种束流偏转跟踪检测和校正装置
CN110711951A (zh) * 2019-09-17 2020-01-21 江苏屹诚激光装备制造有限公司 一种高可靠性激光切割头

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