JPS60146214A - 光線修正装置 - Google Patents
光線修正装置Info
- Publication number
- JPS60146214A JPS60146214A JP59001982A JP198284A JPS60146214A JP S60146214 A JPS60146214 A JP S60146214A JP 59001982 A JP59001982 A JP 59001982A JP 198284 A JP198284 A JP 198284A JP S60146214 A JPS60146214 A JP S60146214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- spot diameter
- longitudinal direction
- concave mirror
- light beam
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/0977—Reflective elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0911—Anamorphotic systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明にペンドミラーを改良した光線伝達装置に関する
。
。
一般にレーザ光で被加工物たとえば鉄鋼板を切断する時
には、レーザ光のスポット径は、略円形形状で、かつ出
来るだけ小い直径の方がよいと云われている。それは、
電流密度つｔｂエネルギー密度が大きく、狭まい切断幅
で、かつ切断時間が早くできるので、歩留りがよく、作
業能率を上げることができるからである。そのために、
レーザ発生器では多くのミラーを使用し、レーザ光を共
振増幅し、エネルギー密度を高めて、外部に照射してい
る。しかしながら、多くのミラーを１更用すれば、各ミ
ラーの反射面の平坦度は、すべて同一条件の精度で製作
出来ず、多少精度が相違すること、およびミラー間の光
軸が多少狭うこと、等の理由から、外部に出力されるレ
ーザ光のスポット径は、略円形形状にならず、楕円形状
となる。このことは、レーザ光を細く絞るために、仮数
の焦点レンズを組合せて、太いレーザ光を細いスボッー
ト径のレーザ光に絞る場合にも、各焦点レンズの球面収
差によシ、スポット径は略円形形状にならず楕円形状に
なる。
には、レーザ光のスポット径は、略円形形状で、かつ出
来るだけ小い直径の方がよいと云われている。それは、
電流密度つｔｂエネルギー密度が大きく、狭まい切断幅
で、かつ切断時間が早くできるので、歩留りがよく、作
業能率を上げることができるからである。そのために、
レーザ発生器では多くのミラーを使用し、レーザ光を共
振増幅し、エネルギー密度を高めて、外部に照射してい
る。しかしながら、多くのミラーを１更用すれば、各ミ
ラーの反射面の平坦度は、すべて同一条件の精度で製作
出来ず、多少精度が相違すること、およびミラー間の光
軸が多少狭うこと、等の理由から、外部に出力されるレ
ーザ光のスポット径は、略円形形状にならず、楕円形状
となる。このことは、レーザ光を細く絞るために、仮数
の焦点レンズを組合せて、太いレーザ光を細いスボッー
ト径のレーザ光に絞る場合にも、各焦点レンズの球面収
差によシ、スポット径は略円形形状にならず楕円形状に
なる。
そうすると、上述のように被加工物を切断する時に、歩
留９が悪く、かつ切断時間を要する等の欠点を生ずるの
で、楕円形状の光スポツト径を略円形形状の光スポツト
径に簡単に修正できる光線修正装置の出現が望捷れてい
る。
留９が悪く、かつ切断時間を要する等の欠点を生ずるの
で、楕円形状の光スポツト径を略円形形状の光スポツト
径に簡単に修正できる光線修正装置の出現が望捷れてい
る。
〔発明の目的］
本発明の目的は、簡単に光線スポット径を修正できる光
線修正装置を提供することにある。
線修正装置を提供することにある。
本発明の光線修正装置な、ペンドミラーに回転自在な円
筒面鏡を使用し、楕円形状の光線を円筒面鏡に照射し、
楕円形状の長手方向の直径が円筒面鏡の曲率半径の大き
い方向に来るように回動すれば、円筒面鏡から反射され
る光線スポット径は、容易に略円形形状の光線スポット
径に修正できる。
筒面鏡を使用し、楕円形状の光線を円筒面鏡に照射し、
楕円形状の長手方向の直径が円筒面鏡の曲率半径の大き
い方向に来るように回動すれば、円筒面鏡から反射され
る光線スポット径は、容易に略円形形状の光線スポット
径に修正できる。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第３図に示すレー
ザ加工装置により説明する。
ザ加工装置により説明する。
レーザ発生器１からのレーザ光２ば、回転自在なペンド
ミラーである円筒凹面鏡３を介して直角方向に折曲げら
れて、焦点レンズを透過して図示していない被加工物を
照射する。円１＠１凹面鏡３は回転ｔＡ Ｑｊ部５によ
り回転自在に支持されている。
ミラーである円筒凹面鏡３を介して直角方向に折曲げら
れて、焦点レンズを透過して図示していない被加工物を
照射する。円１＠１凹面鏡３は回転ｔＡ Ｑｊ部５によ
り回転自在に支持されている。
回転（幾構部５は次のように構成１．ている。円筒凹面
鏡３の背面にイ・ジ溝イ」ホルダー６を取付け、ネジ溝
付ホルダ６に０Ｔ動部７を回転自在に挿嵌され、可動部
７の外側は小可動部８および固定部９を挿嵌し、可動部
７および小可動部８と固定部９との間には、ベアリング
１０を介在し−Ｃいる。ナツト１１をネジ溝付ホルダー
６に挿入して、ナツト１１を締結して、ネジ溝付ホルダ
ー６に可動部７、小可動部７、固定部９とを固定してい
る。固定部９は取付板１２に支持されている。・・ンド
ル１３は可動部７を貫通し、回転すれば小可動部８に接
離する。回転機構部５を、駆動するには、回転機構部５
を回転するには、ハンドル１２を回転して、小可動部８
を押圧した状態で、／・ンドル１３を同図（Ｂ）の如く
反時計方向Ａ、Ｂ、Ｃ，１，）。
鏡３の背面にイ・ジ溝イ」ホルダー６を取付け、ネジ溝
付ホルダ６に０Ｔ動部７を回転自在に挿嵌され、可動部
７の外側は小可動部８および固定部９を挿嵌し、可動部
７および小可動部８と固定部９との間には、ベアリング
１０を介在し−Ｃいる。ナツト１１をネジ溝付ホルダー
６に挿入して、ナツト１１を締結して、ネジ溝付ホルダ
ー６に可動部７、小可動部７、固定部９とを固定してい
る。固定部９は取付板１２に支持されている。・・ンド
ル１３は可動部７を貫通し、回転すれば小可動部８に接
離する。回転機構部５を、駆動するには、回転機構部５
を回転するには、ハンドル１２を回転して、小可動部８
を押圧した状態で、／・ンドル１３を同図（Ｂ）の如く
反時計方向Ａ、Ｂ、Ｃ，１，）。
Ｅの如く回動すれば、それに応じて円筒凹面鏡３も同方
向に回動する。ハンドル１３を微位置回動するには、調
整部１４を回せば、それに応じてつ万一ムギア１５およ
びギア１６も回動するので、小可動部８および可動部７
も微小回動をする。
向に回動する。ハンドル１３を微位置回動するには、調
整部１４を回せば、それに応じてつ万一ムギア１５およ
びギア１６も回動するので、小可動部８および可動部７
も微小回動をする。
次に、円筒凹面鏡３の動作について説明すると、レーザ
発生器ＩＡからのレーザ光２のスポット径２０は、第３
図（Ａ）のように楕円形状であり、長手方向２０ＡがＸ
−Ｘ’軸に位置している。ノンドル１３は第２図（Ｂ）
のＡ位置にあるので、円筒凹面鏡３の曲率半径の大きい
端部側３人には、長手方向２０Ａが照射されている。円
筒凹面鏡３から反射されたレーザ光２は、収束され、ス
ポット径２０ＢばＩ１１？ｉ円形形状に修正される。
発生器ＩＡからのレーザ光２のスポット径２０は、第３
図（Ａ）のように楕円形状であり、長手方向２０ＡがＸ
−Ｘ’軸に位置している。ノンドル１３は第２図（Ｂ）
のＡ位置にあるので、円筒凹面鏡３の曲率半径の大きい
端部側３人には、長手方向２０Ａが照射されている。円
筒凹面鏡３から反射されたレーザ光２は、収束され、ス
ポット径２０ＢばＩ１１？ｉ円形形状に修正される。
第３（ゾ１（Ａ）のスポット径２０がｘ−ｘ’軸より時
計方向に回動した位置に長手方向２０Ａが来ている時に
は、ノンドル１３を反時計方向ＡからＢに回動すれば、
円筒凹面鏡３の端部側３Ａも同方向に回動し、端部側３
Ａに長手方向２０Ａが照射され、円筒凹面鏡３から反射
されたＶ−ザ光２る。
計方向に回動した位置に長手方向２０Ａが来ている時に
は、ノンドル１３を反時計方向ＡからＢに回動すれば、
円筒凹面鏡３の端部側３Ａも同方向に回動し、端部側３
Ａに長手方向２０Ａが照射され、円筒凹面鏡３から反射
されたＶ−ザ光２る。
このように、本発明では、ノンドルＢを回動するだけで
、円筒凹面鏡３の端部側３Ａが回動して、端部側に楕円
形状の長手方向２０Ａを照射することにより、簡単に略
円形形状のスポット径２０Ｂに修正できるばかりか、筐
だ回転機構５の構成が簡単で経済的である。
、円筒凹面鏡３の端部側３Ａが回動して、端部側に楕円
形状の長手方向２０Ａを照射することにより、簡単に略
円形形状のスポット径２０Ｂに修正できるばかりか、筐
だ回転機構５の構成が簡単で経済的である。
尚、円筒面鏡は凹面鏡に代えて、凸面鏡を使用してもよ
い。また、レーザ光に代えて他の光線を使用してもよい
。
い。また、レーザ光に代えて他の光線を使用してもよい
。
以上のように、本発明によれば、ペンドミラーを回動す
るだけで、簡単に略円形形状のスポット径に修正できる
。
るだけで、簡単に略円形形状のスポット径に修正できる
。
第１図（Ａ、）、（Ｂ）は本発明の実施例として示した
レーザ加工機の側断面図、第２図（Ａ）は第１図（Ａ）
、ｊ＝宜工の回転機構部の側断面図、同図（８）は第２
図（Ａ）の平面図、第３図（Ａ）ないしくＣ）は概略説
明図である。 ２・・・レーザ光、３・・・ペンドミラー、５・・・回
転Ｇ’ＱＦｊ部。 韮１図 第２図 １３図 （Ｃ）
レーザ加工機の側断面図、第２図（Ａ）は第１図（Ａ）
、ｊ＝宜工の回転機構部の側断面図、同図（８）は第２
図（Ａ）の平面図、第３図（Ａ）ないしくＣ）は概略説
明図である。 ２・・・レーザ光、３・・・ペンドミラー、５・・・回
転Ｇ’ＱＦｊ部。 韮１図 第２図 １３図 （Ｃ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光線をペンドミラーに照射し、ペンドミラーで反射
した光線を被υ■工物に照射するものにおいて、上記ペ
ンドミラーにペンドミラーを回動する回転機構部を設け
ることを特徴とする光線修正装置。 ２、ペンドミラーに円筒凹面鏡を使用することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の光線修正装置。 ３、ペンドミラーに円筒凸面鏡を使用することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の光線修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001982A JPS60146214A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 光線修正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001982A JPS60146214A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 光線修正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146214A true JPS60146214A (ja) | 1985-08-01 |
Family
ID=11516714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59001982A Pending JPS60146214A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 光線修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60146214A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4943128A (en) * | 1986-10-28 | 1990-07-24 | Ricoh Company, Ltd. | Light scanning device |
| EP1293287A2 (de) * | 2001-09-10 | 2003-03-19 | LPKF Laser & Electronics Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung mittels eines Laserstrahles |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP59001982A patent/JPS60146214A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4943128A (en) * | 1986-10-28 | 1990-07-24 | Ricoh Company, Ltd. | Light scanning device |
| EP1293287A2 (de) * | 2001-09-10 | 2003-03-19 | LPKF Laser & Electronics Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung mittels eines Laserstrahles |
| EP1293287A3 (de) * | 2001-09-10 | 2005-03-30 | LPKF Laser & Electronics Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung mittels eines Laserstrahles |
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