JPH01209648A - Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法Info
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- JPH01209648A JPH01209648A JP8835688A JP3568888A JPH01209648A JP H01209648 A JPH01209648 A JP H01209648A JP 8835688 A JP8835688 A JP 8835688A JP 3568888 A JP3568888 A JP 3568888A JP H01209648 A JPH01209648 A JP H01209648A
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- rays
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、Ｘ線マイクロアナライザに関する。
（ロ）従来技術とその問題点
Ｘ線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）を使用した試料の
線分析、面分析、定量分析等においては、試料で得られ
た分析対象元素のにα、Ｋβ、Ｌα、Ｌβ等の特性Ｘ線
から一つの特性Ｘ線を選定し、選定したその特性Ｘ線の
Ｘ線強度を測定して、これを元素濃度に換算している。
線分析、面分析、定量分析等においては、試料で得られ
た分析対象元素のにα、Ｋβ、Ｌα、Ｌβ等の特性Ｘ線
から一つの特性Ｘ線を選定し、選定したその特性Ｘ線の
Ｘ線強度を測定して、これを元素濃度に換算している。
この場合、測定条件が安定し、かつ、試料が十分なバル
ク状態をしているならば、一つの特性Ｘ線で測定したＸ
線強度の値のみをもって元素濃度に換算することは特に
問題はない。しかし、試料表面が傾斜しているなど水平
でなく、Ｘ線の発生位置が相対的にずれる場合や、試料
が薄膜多層構造のような場合には、各特性Ｘ線によって
そのＸ線強度が異なる。たとえば、第３図に示すように
、Ｋα、しα等の波長によって試料の焦点位置Ｚ。
ク状態をしているならば、一つの特性Ｘ線で測定したＸ
線強度の値のみをもって元素濃度に換算することは特に
問題はない。しかし、試料表面が傾斜しているなど水平
でなく、Ｘ線の発生位置が相対的にずれる場合や、試料
が薄膜多層構造のような場合には、各特性Ｘ線によって
そのＸ線強度が異なる。たとえば、第３図に示すように
、Ｋα、しα等の波長によって試料の焦点位置Ｚ。
からの変位量に伴うＸ線強度の測定値ＩＫ／ＩＯＫ、Ｉ
Ｌ／ Ｉ ｏｉ−（Ｉ ｏに、Ｉ旺はそれぞれ標準試料
のにα線、Ｌα線の強度）の変化率が異なり、また、第
４図に示すように、試料が薄膜多層構造の場合には、Ｋ
α、Ｌα等の特性Ｘ線の種類によってＸ線発生領域や検
出領域が異なるため、検出領域Ｉ、■の深さが異なって
くる。したがって、これらを考慮に入れることなく無条
件で単一の特性Ｘ線のＸ線強度のみ測定してこれを濃度
に換算することは誤った分析結果を得ることになって好
ましくない。
Ｌ／ Ｉ ｏｉ−（Ｉ ｏに、Ｉ旺はそれぞれ標準試料
のにα線、Ｌα線の強度）の変化率が異なり、また、第
４図に示すように、試料が薄膜多層構造の場合には、Ｋ
α、Ｌα等の特性Ｘ線の種類によってＸ線発生領域や検
出領域が異なるため、検出領域Ｉ、■の深さが異なって
くる。したがって、これらを考慮に入れることなく無条
件で単一の特性Ｘ線のＸ線強度のみ測定してこれを濃度
に換算することは誤った分析結果を得ることになって好
ましくない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、測定したＸ線強度を濃度換算することが可能か否か
を確実に判断できるようにして、常に精度良い分析結果
か得られるようにすることを目的とする。
て、測定したＸ線強度を濃度換算することが可能か否か
を確実に判断できるようにして、常に精度良い分析結果
か得られるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段
本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。
る。
すなわち、本発明のＸ線マイクロアナライザは、同一元
素についてＸ線分光器で分光された特性Ｘ線のにα線、
Ｋβ線、Ｌα線等の内から少なくとも２つの特性Ｘ線の
Ｘ線強度を測定する測定部と、この測定部で測定された
Ｘ線強度に基づいてＸ線強度比を算出する強度比算出部
と、この強度比算出部の算出結果を予め設定された許容
値と比較してその大小を示す判別信号を出力する判別部
とを備えている。
素についてＸ線分光器で分光された特性Ｘ線のにα線、
Ｋβ線、Ｌα線等の内から少なくとも２つの特性Ｘ線の
Ｘ線強度を測定する測定部と、この測定部で測定された
Ｘ線強度に基づいてＸ線強度比を算出する強度比算出部
と、この強度比算出部の算出結果を予め設定された許容
値と比較してその大小を示す判別信号を出力する判別部
とを備えている。
（ニ）作用
上記構成によれば、試料の分析中、測定部によって、同
一元素についてＸ線分光器で分光できる特性Ｘ線のにα
線、Ｋβ線、Ｌα線等の内から少なくとも２つの特性Ｘ
線のＸ線強度が測定される。
一元素についてＸ線分光器で分光できる特性Ｘ線のにα
線、Ｋβ線、Ｌα線等の内から少なくとも２つの特性Ｘ
線のＸ線強度が測定される。
そして、この測定部で測定されたＸ線強度に基づいてＸ
線強度比が強度比算出部で算出される。その算出結果は
、次段の判定部に送出され、ここで、強度比算出部の算
出結果が予め設定された許容値と比較される。そして、
強度比が許容値を越えていてる場合には、これを示す判
別信号が出力される。
線強度比が強度比算出部で算出される。その算出結果は
、次段の判定部に送出され、ここで、強度比算出部の算
出結果が予め設定された許容値と比較される。そして、
強度比が許容値を越えていてる場合には、これを示す判
別信号が出力される。
したがって、この判別信号に基づいて測定したＸ線強度
をそのまま濃度換算することが可能か否かを確実に判断
することができる。
をそのまま濃度換算することが可能か否かを確実に判断
することができる。
（ホ）実施例
第１図はＸ線マイクロアナライザの要部ブロック図であ
る。同図において、符号１はＸ線マイクロアナライザの
全体を示し、２は電子銃、４は収束レンズ、６は走査コ
イル、８は対物レンズ、ＩＯは試料、１２ａ、１２ｂは
第１１第２分光器である。
る。同図において、符号１はＸ線マイクロアナライザの
全体を示し、２は電子銃、４は収束レンズ、６は走査コ
イル、８は対物レンズ、ＩＯは試料、１２ａ、１２ｂは
第１１第２分光器である。
また、１４は同一元素について第１、第２Ｘ線分光器１
２ａ、１２ｂでそれぞれ分光された２波長の特性Ｘ線の
強度を測定する測定部、１６は測定部１４で測定された
両波長のＸ線強度に基づいて両者の比を算出する強度比
算出部、１８は強度比算出部の算出結果を予め設定され
た許容値と比較してその大小を示す判別信号を出力する
判別部、２０は判別部Ｉ８の判別信号に基づいてデータ
処理する処理部である。
２ａ、１２ｂでそれぞれ分光された２波長の特性Ｘ線の
強度を測定する測定部、１６は測定部１４で測定された
両波長のＸ線強度に基づいて両者の比を算出する強度比
算出部、１８は強度比算出部の算出結果を予め設定され
た許容値と比較してその大小を示す判別信号を出力する
判別部、２０は判別部Ｉ８の判別信号に基づいてデータ
処理する処理部である。
上記構成において、電子銃２から放射された電子ビーム
は収束レンズ４と対物レンズ８によって試料１０の測定
点を照射し、走査コイル６により該試料ＩＯ上を走査さ
れる。これにより、試料１０からは波長の異なるにα、
Ｌα等の各特性Ｘ線が放出される。
は収束レンズ４と対物レンズ８によって試料１０の測定
点を照射し、走査コイル６により該試料ＩＯ上を走査さ
れる。これにより、試料１０からは波長の異なるにα、
Ｌα等の各特性Ｘ線が放出される。
一方、この実施例では、第１分光器１２ａはにα線、第
２分光器はＬα線を検出できるように予め設定される。
２分光器はＬα線を検出できるように予め設定される。
したがって、試料１０から放出された特性Ｘ線の内、Ｋ
α線が第１分光器１２ａで、また、Ｌα線が第２分光器
１２ｂでそれぞれ分光される。そして、第１、第２分光
器１２ａ、１２ｂで分光されたにα線、Ｌα線の各特性
Ｘ線の強度ＩＫｑｌＬが測定部１４で測定される。それ
らの各測定値ＩＫ、■Ｌは、次のＸ線強度比算出部１６
に送出され、ここで両者のＸ線強度比Ｆが算出されろ。
α線が第１分光器１２ａで、また、Ｌα線が第２分光器
１２ｂでそれぞれ分光される。そして、第１、第２分光
器１２ａ、１２ｂで分光されたにα線、Ｌα線の各特性
Ｘ線の強度ＩＫｑｌＬが測定部１４で測定される。それ
らの各測定値ＩＫ、■Ｌは、次のＸ線強度比算出部１６
に送出され、ここで両者のＸ線強度比Ｆが算出されろ。
すなわち、
Ｆ ＝（Ｉ Ｌ／ Ｉ ＯＬ） ／（Ｉ Ｋ／ Ｉ ０
Ｋ）（ここに、ｌ０ＫｑｌＯＬは標準試料のにα線、Ｌ
α線の強度）が算出される。そして、この算出結果Ｆが
次段の判定部１８に送出される。判別部Ｉ８は、Ｘ線強
度比Ｆと予め設定された許容値ｌ±Δ（Δは試料に応じ
て設定される許容幅）と比較する。Ｘ線強度比Ｆが許容
値の範囲内、すなわち、１−Δ≦Ｆ≦ １ ＋Δ の場合には、Ｘ線強度の変化は波長にα、Ｌαに依存し
ないので、濃度換算が可能であることを示す第１判別信
号を出力する。また、強度比Ｆが上記の許容範囲を越え
ていてる場合には、Ｘ線強度の変化が波長にα、Ｌαに
依存するので、濃度換算が正確でないことを示す第２判
別信号を出力する。
Ｋ）（ここに、ｌ０ＫｑｌＯＬは標準試料のにα線、Ｌ
α線の強度）が算出される。そして、この算出結果Ｆが
次段の判定部１８に送出される。判別部Ｉ８は、Ｘ線強
度比Ｆと予め設定された許容値ｌ±Δ（Δは試料に応じ
て設定される許容幅）と比較する。Ｘ線強度比Ｆが許容
値の範囲内、すなわち、１−Δ≦Ｆ≦ １ ＋Δ の場合には、Ｘ線強度の変化は波長にα、Ｌαに依存し
ないので、濃度換算が可能であることを示す第１判別信
号を出力する。また、強度比Ｆが上記の許容範囲を越え
ていてる場合には、Ｘ線強度の変化が波長にα、Ｌαに
依存するので、濃度換算が正確でないことを示す第２判
別信号を出力する。
処理部２０は、第１判別信号が入力された場合には、濃
度換算をそのまま実行する。また、第２判別信号が入力
された場合には、濃度換算を実行するとともに、各波長
によって強度比が異なる旨を記載するためのコメント信
号を出力する。したがって、Ｘ線強度の測定結果をプリ
ンタに出力した場合、Ｘ線強度比が許容範囲を越えてい
る場合にはその旨がコメントされる。また、コンテント
マツピング表示を行う場合には、第２図に示すように、
濃度表示色とは別の色（たとえば灰色等）を用いて濃度
換算が正確でないことを示すことができる。
度換算をそのまま実行する。また、第２判別信号が入力
された場合には、濃度換算を実行するとともに、各波長
によって強度比が異なる旨を記載するためのコメント信
号を出力する。したがって、Ｘ線強度の測定結果をプリ
ンタに出力した場合、Ｘ線強度比が許容範囲を越えてい
る場合にはその旨がコメントされる。また、コンテント
マツピング表示を行う場合には、第２図に示すように、
濃度表示色とは別の色（たとえば灰色等）を用いて濃度
換算が正確でないことを示すことができる。
したがって、測定結果を見ればＸ線強度の濃度換算値が
正確なものか否かを確実に判断することができる。
正確なものか否かを確実に判断することができる。
なお、この実施例では、２つのＸ線分光器１２ａ、１２
ｂを使用したが、単一のＸ線分光器を使用して上記の処
理を行うことも可能である。また、２波長でなくそれよ
りも多い波長について、上記の処理を行うことも可能で
ある。
ｂを使用したが、単一のＸ線分光器を使用して上記の処
理を行うことも可能である。また、２波長でなくそれよ
りも多い波長について、上記の処理を行うことも可能で
ある。
（へ）効果
本発明によれば、測定したＸ線強度に基づいて濃度換算
が可能か否かを確実に判断できるので、常に精度良い分
析結果が得られるようになる等の優れた効果が発揮され
る。
が可能か否かを確実に判断できるので、常に精度良い分
析結果が得られるようになる等の優れた効果が発揮され
る。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図はＸ線マイ
クロアナライザの要部ブロック図、第２図はコンテント
マツピングの表示において判別信号に基づく表示を示す
説明図、第３図は試料の焦点位置からの変位量とこれに
伴う各波長のＸ線強度の測定値との関係を正規化して示
す特性図、第４図は多薄膜層構造試料に対する特性Ｘ線
の各波長の検出領域の違いを示す説明図である。 １・・・Ｘ線マイクロアナライザ、ＩＯ・・・試料、１
２ａＳ １２ｂ・・・第１、第２分光器、１４・・・測
定部、１６・・・強度比算出部、１８・・・判別部。
クロアナライザの要部ブロック図、第２図はコンテント
マツピングの表示において判別信号に基づく表示を示す
説明図、第３図は試料の焦点位置からの変位量とこれに
伴う各波長のＸ線強度の測定値との関係を正規化して示
す特性図、第４図は多薄膜層構造試料に対する特性Ｘ線
の各波長の検出領域の違いを示す説明図である。 １・・・Ｘ線マイクロアナライザ、ＩＯ・・・試料、１
２ａＳ １２ｂ・・・第１、第２分光器、１４・・・測
定部、１６・・・強度比算出部、１８・・・判別部。
Claims (1)
- （１）同一元素についてＸ線分光器で分光されたＫα線
、Ｋβ線、Ｌα、Ｌβ、Ｍα、Ｍβ等の特性Ｘ線の内か
ら少なくとも２つの特性Ｘ線のＸ線強度を測定する測定
部と、 この測定部で測定されたＸ線強度に基づいてＸ線強度比
を算出する強度比算出部と、 この強度比算出部の算出結果を予め設定された許容値と
比較してその大小を示す判別信号を出力する判別部と、 を備えることを特徴とするＸ線マイクロアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035688A JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035688A JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209648A true JPH01209648A (ja) | 1989-08-23 |
| JP2536019B2 JP2536019B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=12448837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035688A Expired - Lifetime JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536019B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05209847A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-08-20 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
| US6992286B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-01-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system |
| JP2008057977A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析による被膜分析方法及び装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3950619B2 (ja) * | 2000-08-21 | 2007-08-01 | 日本電子株式会社 | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135850A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | 状態マツプ方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-02-17 JP JP63035688A patent/JP2536019B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135850A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | 状態マツプ方法及びその装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05209847A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-08-20 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
| US6992286B2 (en) | 2003-03-18 | 2006-01-31 | Hitachi High-Technologies Corporation | Material characterization system |
| JP2008057977A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析による被膜分析方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2536019B2 (ja) | 1996-09-18 |
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