JP2536019B2 - Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法Info
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- JP2536019B2 JP2536019B2 JP63035688A JP3568888A JP2536019B2 JP 2536019 B2 JP2536019 B2 JP 2536019B2 JP 63035688 A JP63035688 A JP 63035688A JP 3568888 A JP3568888 A JP 3568888A JP 2536019 B2 JP2536019 B2 JP 2536019B2
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- rays
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、Ｘ線マイクロアナライザを用いた分析方法
に関する。
に関する。
（ロ）従来技術とその問題点 Ｘ線マイクロアナライザ（EPMA）を使用した試料の線
分析、面分析、定量分析等においては、試料で得られた
分析対象元素のＫα、Ｋβ、Ｌα、Ｌβ等の特性Ｘ線か
ら一つの特性Ｘ線を選定し、選定したその特性Ｘ線のＸ
線強度を測定して、これを元素濃度に換算している。
分析、面分析、定量分析等においては、試料で得られた
分析対象元素のＫα、Ｋβ、Ｌα、Ｌβ等の特性Ｘ線か
ら一つの特性Ｘ線を選定し、選定したその特性Ｘ線のＸ
線強度を測定して、これを元素濃度に換算している。
この場合、測定条件が安定し、かつ、試料が十分なバ
ルク状態をしているならば、一つの特性Ｘ線で測定した
Ｘ線強度の値のみをもって元素濃度に換算することは特
に問題はない。しかし、試料表面が傾斜しているなど水
平でなく、Ｘ線の発生位置が相対的にずれる場合や、試
料が薄膜多層構造のような場合には、各特性Ｘ線によっ
てそのＸ線強度が異なる。たとえば、第３図に示すよう
に、Ｋα、Ｌα等の波長によって試料の焦点位置Z0から
の変位量に伴うＸ線強度の測定値IK/I0K、IL/I
0L（I0K、I0Lはそれぞれ標準試料のＫα線、Ｌα線の強
度）の変化率が異なり、また、第４図に示すように、試
料が薄膜多層構造の場合には、Ｋα、Ｌα等の特性Ｘ線
の種類によってＸ線発生領域や検出領域が異なるため、
検出領域Ｉ、IIの深さが異なってくる。したがって、こ
れらを考慮に入れることなく無条件で単一の特性Ｘ線の
Ｘ線強度のみ測定してこれを濃度に換算することは誤っ
た分析結果を得ることになって好ましくない。
ルク状態をしているならば、一つの特性Ｘ線で測定した
Ｘ線強度の値のみをもって元素濃度に換算することは特
に問題はない。しかし、試料表面が傾斜しているなど水
平でなく、Ｘ線の発生位置が相対的にずれる場合や、試
料が薄膜多層構造のような場合には、各特性Ｘ線によっ
てそのＸ線強度が異なる。たとえば、第３図に示すよう
に、Ｋα、Ｌα等の波長によって試料の焦点位置Z0から
の変位量に伴うＸ線強度の測定値IK/I0K、IL/I
0L（I0K、I0Lはそれぞれ標準試料のＫα線、Ｌα線の強
度）の変化率が異なり、また、第４図に示すように、試
料が薄膜多層構造の場合には、Ｋα、Ｌα等の特性Ｘ線
の種類によってＸ線発生領域や検出領域が異なるため、
検出領域Ｉ、IIの深さが異なってくる。したがって、こ
れらを考慮に入れることなく無条件で単一の特性Ｘ線の
Ｘ線強度のみ測定してこれを濃度に換算することは誤っ
た分析結果を得ることになって好ましくない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、測定したＸ線強度を濃度換算することが可能か否
かを確実に判断できるようにして、常に精度良い分析結
果が得られるようにすることを目的とする。
って、測定したＸ線強度を濃度換算することが可能か否
かを確実に判断できるようにして、常に精度良い分析結
果が得られるようにすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を
採る。
採る。
すなわち、本発明のＸ線マイクロアナライザによる分
析方法は、同一元素についてＸ線分光器で分光されたＫ
α線、Ｋβ線、Ｌα、Ｌβ、Ｍα、Ｍβ線の内の少なく
とも２つの特性Ｘ線から測定したＸ線強度に基づいてＸ
線強度比を算出し、その算出結果を予め設定された許容
値と比較してその大小に基づいて濃度換算が可能か否か
を判断することに特徴を有している。
析方法は、同一元素についてＸ線分光器で分光されたＫ
α線、Ｋβ線、Ｌα、Ｌβ、Ｍα、Ｍβ線の内の少なく
とも２つの特性Ｘ線から測定したＸ線強度に基づいてＸ
線強度比を算出し、その算出結果を予め設定された許容
値と比較してその大小に基づいて濃度換算が可能か否か
を判断することに特徴を有している。
（ニ）作用 上記構成によれば、測定したＸ線強度に基づいて算出
したＸ線強度比と予め設定された許容値とを比較して濃
度換算が可能か否かを判断しているので、測定したＸ線
強度をそのまま濃度換算することが可能か否かを確実に
判断することができる。
したＸ線強度比と予め設定された許容値とを比較して濃
度換算が可能か否かを判断しているので、測定したＸ線
強度をそのまま濃度換算することが可能か否かを確実に
判断することができる。
（ホ）実施例 第１図は本発明の分析方法を採用したＸ線マイクロア
ナライザの要部ブロック図である。同図において、符号
１はＸ線マイクロアナライザの全体を示し、２は電子
銃、４は収束レンズ、６は走査コイル、８は対物レン
ズ、10は試料、12a、12bは第１、第２分光器である。
ナライザの要部ブロック図である。同図において、符号
１はＸ線マイクロアナライザの全体を示し、２は電子
銃、４は収束レンズ、６は走査コイル、８は対物レン
ズ、10は試料、12a、12bは第１、第２分光器である。
また、14は同一元素について第１、第2X線分光器12
a、12bでそれぞれ分光された２波長の特性Ｘ線の強度を
測定する測定部、16は測定部14で測定された両波長のＸ
線強度に基づいて両者の比を算出する強度比算出部、18
は強度比算出部の算出結果を予め設定された許容値と比
較してその大小を示す判別信号を出力する判別部、20は
判別部18の判別信号に基づいてデータ処理する処理部で
ある。
a、12bでそれぞれ分光された２波長の特性Ｘ線の強度を
測定する測定部、16は測定部14で測定された両波長のＸ
線強度に基づいて両者の比を算出する強度比算出部、18
は強度比算出部の算出結果を予め設定された許容値と比
較してその大小を示す判別信号を出力する判別部、20は
判別部18の判別信号に基づいてデータ処理する処理部で
ある。
上記構成において、電子銃２から放射された電子ビー
ムは収束レンズ４と対物レンズ８によって試料10の測定
点を照射し、走査コイル６により該試料10上を走査され
る。これにより、試料10からは波長の異なるＫα、Ｌα
等の各特性Ｘ線が放出される。
ムは収束レンズ４と対物レンズ８によって試料10の測定
点を照射し、走査コイル６により該試料10上を走査され
る。これにより、試料10からは波長の異なるＫα、Ｌα
等の各特性Ｘ線が放出される。
一方、この実施例では、第１分光器12aはＫα線、第
２分光器はＬα線を検出できるように予め設定される。
したがって、試料10から放出された特性Ｘ線の内、Ｋα
線が第１分光器12aで、また、Ｌα線が第２分光器12bで
それぞれ分光される。そして、第１、第２分光器12a、1
2bで分光されたＫα線、Ｌα線の各特性Ｘ線の強度IK、
ILが測定部14で測定される。それらの各測定値IK、I
Lは、次のＸ線強度比算出部16に送出され、ここで両者
のＸ線強度比Ｆが算出される。すなわち、 Ｆ＝（IL/I0L）／（IK/I0K） （ここに、I0K、I0Lは標準試料のＫα線、Ｌα線の強
度）が算出される。そして、この算出結果Ｆが次段の判
定部18に送出される。判別部18は、Ｘ線強度比Ｆと予め
設定された許容値１±Δ（Δは試料に応じて設定される
許容幅）と比較する。Ｘ線強度比Ｆが許容値の範囲内、
すなわち、 １−Δ≦Ｆ≦１＋Δ の場合には、Ｘ線強度の変化は波長Ｋα、Ｌαに依存し
ないので、濃度換算が可能であることを示す第１判別信
号を出力する。また、強度比Ｆが上記の許容範囲を越え
ていてる場合には、Ｘ線強度の変化が波長Ｋα、Ｌαに
依存するので、濃度換算が正確でないことを示す第２判
別信号を出力する。
２分光器はＬα線を検出できるように予め設定される。
したがって、試料10から放出された特性Ｘ線の内、Ｋα
線が第１分光器12aで、また、Ｌα線が第２分光器12bで
それぞれ分光される。そして、第１、第２分光器12a、1
2bで分光されたＫα線、Ｌα線の各特性Ｘ線の強度IK、
ILが測定部14で測定される。それらの各測定値IK、I
Lは、次のＸ線強度比算出部16に送出され、ここで両者
のＸ線強度比Ｆが算出される。すなわち、 Ｆ＝（IL/I0L）／（IK/I0K） （ここに、I0K、I0Lは標準試料のＫα線、Ｌα線の強
度）が算出される。そして、この算出結果Ｆが次段の判
定部18に送出される。判別部18は、Ｘ線強度比Ｆと予め
設定された許容値１±Δ（Δは試料に応じて設定される
許容幅）と比較する。Ｘ線強度比Ｆが許容値の範囲内、
すなわち、 １−Δ≦Ｆ≦１＋Δ の場合には、Ｘ線強度の変化は波長Ｋα、Ｌαに依存し
ないので、濃度換算が可能であることを示す第１判別信
号を出力する。また、強度比Ｆが上記の許容範囲を越え
ていてる場合には、Ｘ線強度の変化が波長Ｋα、Ｌαに
依存するので、濃度換算が正確でないことを示す第２判
別信号を出力する。
処理部20は、第１判別信号が入力された場合には、濃
度換算をそのまま実行する。また、第２判別信号が入力
された場合には、濃度換算を実行するとともに、各波長
によって強度比が異なる旨を記載するためのコメント信
号を出力する。したがって、Ｘ線強度の測定結果をプリ
ンタに出力した場合、Ｘ線強度比が許容範囲を越えてい
る場合にはその旨がコメントされる。また、コンテント
マッピング表示を行う場合には、第２図に示すように、
濃度表示色とは別の色（たとえば灰色等）を用いて濃度
換算が正確でないことを示すことができる。
度換算をそのまま実行する。また、第２判別信号が入力
された場合には、濃度換算を実行するとともに、各波長
によって強度比が異なる旨を記載するためのコメント信
号を出力する。したがって、Ｘ線強度の測定結果をプリ
ンタに出力した場合、Ｘ線強度比が許容範囲を越えてい
る場合にはその旨がコメントされる。また、コンテント
マッピング表示を行う場合には、第２図に示すように、
濃度表示色とは別の色（たとえば灰色等）を用いて濃度
換算が正確でないことを示すことができる。
したがって、測定結果を見ればＸ線強度の濃度換算値
が正確なものか否かを確実に判断することができる。
が正確なものか否かを確実に判断することができる。
なお、この実施例では、２つのＸ線分光器12a、12bを
使用したが、単一のＸ線分光器を使用して上記の処理を
行うことも可能である。また、２波長でなくそれよりも
多い波長について、上記の処理を行うことも可能であ
る。
使用したが、単一のＸ線分光器を使用して上記の処理を
行うことも可能である。また、２波長でなくそれよりも
多い波長について、上記の処理を行うことも可能であ
る。
（ヘ）効果 本発明によれば、測定したＸ線強度に基づいて濃度換
算が可能か否かを確実に判断できるので、常に精度良い
分析結果が得られるようになる等の優れた効果が発揮さ
れる。
算が可能か否かを確実に判断できるので、常に精度良い
分析結果が得られるようになる等の優れた効果が発揮さ
れる。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図はＸ線マイ
クロアナライザの要部ブロック図、第２図はコンテント
マッピングの表示において判別信号に基づく表示を示す
説明図、第３図は試料の焦点位置からの変位量とこれに
伴う各波長のＸ線強度の測定値との関係を正規化して示
す特性図、第４図は多薄膜層構造試料に対する特性Ｘ線
の各波長の検出領域の違いを示す説明図である。 １……Ｘ線マイクロアナライザ、10……試料、12a、12b
……第１、第２分光器、14……測定部、16……強度比算
出部、18……判別部。
クロアナライザの要部ブロック図、第２図はコンテント
マッピングの表示において判別信号に基づく表示を示す
説明図、第３図は試料の焦点位置からの変位量とこれに
伴う各波長のＸ線強度の測定値との関係を正規化して示
す特性図、第４図は多薄膜層構造試料に対する特性Ｘ線
の各波長の検出領域の違いを示す説明図である。 １……Ｘ線マイクロアナライザ、10……試料、12a、12b
……第１、第２分光器、14……測定部、16……強度比算
出部、18……判別部。
Claims (1)
- 【請求項１】同一元素についてＸ線分光器で分光された
Ｋα線、Ｋβ線、Ｌα、Ｌβ、Ｍα、Ｍβ線の内の少な
くとも２つの特性Ｘ線から測定したＸ線強度に基づいて
Ｘ線強度比を算出し、その算出結果を予め設定された許
容値と比較してその大小に基づいて濃度換算が可能か否
かを判断することを特徴とするＸ線マイクロアナライザ
による分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035688A JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035688A JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209648A JPH01209648A (ja) | 1989-08-23 |
| JP2536019B2 true JP2536019B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=12448837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035688A Expired - Lifetime JP2536019B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | Ｘ線マイクロアナライザによる分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536019B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062270A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Jeol Ltd | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2706601B2 (ja) * | 1991-10-18 | 1998-01-28 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
| JP3888980B2 (ja) | 2003-03-18 | 2007-03-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 物質同定システム |
| JP5043387B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2012-10-10 | 日本電子株式会社 | 蛍光ｘ線分析による被膜分析方法及び装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60135850A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | 状態マツプ方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-02-17 JP JP63035688A patent/JP2536019B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002062270A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Jeol Ltd | 電子線を用いた表面分析装置における面分析データ表示方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01209648A (ja) | 1989-08-23 |
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