JPH01209248A - ロールコータの基板送りローラ - Google Patents
ロールコータの基板送りローラInfo
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- JPH01209248A JPH01209248A JP3357988A JP3357988A JPH01209248A JP H01209248 A JPH01209248 A JP H01209248A JP 3357988 A JP3357988 A JP 3357988A JP 3357988 A JP3357988 A JP 3357988A JP H01209248 A JPH01209248 A JP H01209248A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- substrate
- copper foil
- width direction
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 abstract description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 13
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 abstract 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 abstract 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、銅張りガラスエポキシ基板（以下単に基板と
いう）に液体レジストを塗布する際に使用するロールコ
ータの基板送りローラの改良に関する。
いう）に液体レジストを塗布する際に使用するロールコ
ータの基板送りローラの改良に関する。
（従来の技術）
ロールコータは基板に液体レジストを塗布する装置で、
基板は案内用の送りローラ上に載って送られ、液体レジ
スト塗布用ローラに入っていく。
基板は案内用の送りローラ上に載って送られ、液体レジ
スト塗布用ローラに入っていく。
第２図ａ、ｂに示す如〈従来の送りローラ１は、ガラス
エポキシ基板２に銅箔３を張った基板４の全面に接触す
るようになっており、送りローラ１上の左右両側には案
内板５が幅方向に可動可能に設けられているものである
。
エポキシ基板２に銅箔３を張った基板４の全面に接触す
るようになっており、送りローラ１上の左右両側には案
内板５が幅方向に可動可能に設けられているものである
。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで上記送りローラ１で基板４を図示せぬ液体塗布
用ローラに送り込むと、送りローラ１上に付着していた
ゴミ、繊維等が基板４の銅箔に付着した状態で送り込ま
れることが多く、この状態で液体レジストが塗布される
と、第３図ａに示す如（基板４の銅箔３と液体レジスト
６間にゴミ等７が入り込み、その位置が図示の如く配線
パターンの境界部になった場合、液体レジスト６を硬化
、露光及び現像した後エツチングして、第３図すに示す
如くレジスト６′以外の部分にガラスエポキシ面８を露
出すると、ゴミ等７の部分よりエツチング液が液体レジ
スト６′の下側に浸入する。その結果、レジスト６′を
剥離して第３図Ｃに示す如く配線パターンの銅箔３′を
露出すると、本来残しておきたい銅箔３′もエツチング
されて断線したり、また第４図ａに示す如くゴミ７が配
線パターンの間にまたがった場合ゴミ７がレジストの役
目となってゴミ７の陰の部分が第４図すに示す如くエツ
チングされず、配線が短絡してしまうという問題点があ
った。
用ローラに送り込むと、送りローラ１上に付着していた
ゴミ、繊維等が基板４の銅箔に付着した状態で送り込ま
れることが多く、この状態で液体レジストが塗布される
と、第３図ａに示す如（基板４の銅箔３と液体レジスト
６間にゴミ等７が入り込み、その位置が図示の如く配線
パターンの境界部になった場合、液体レジスト６を硬化
、露光及び現像した後エツチングして、第３図すに示す
如くレジスト６′以外の部分にガラスエポキシ面８を露
出すると、ゴミ等７の部分よりエツチング液が液体レジ
スト６′の下側に浸入する。その結果、レジスト６′を
剥離して第３図Ｃに示す如く配線パターンの銅箔３′を
露出すると、本来残しておきたい銅箔３′もエツチング
されて断線したり、また第４図ａに示す如くゴミ７が配
線パターンの間にまたがった場合ゴミ７がレジストの役
目となってゴミ７の陰の部分が第４図すに示す如くエツ
チングされず、配線が短絡してしまうという問題点があ
った。
そこで本発明は、基板の配線パターンを形成する銅箔に
ゴミ、繊維等が付着しないように、該基板を液体塗布用
ローラに送り込むことのできるロールコータの基板送り
ローラを提供しようとするものである。
ゴミ、繊維等が付着しないように、該基板を液体塗布用
ローラに送り込むことのできるロールコータの基板送り
ローラを提供しようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明によるロールコータ
の基板送りローラは、基板の両側端のみを支持する左右
対のディスクローラをローラ軸上に幅方向に可動可能に
支持すると共に該ディスクローラの両外側にて案内板を
幅方向に可動可能に設けたことを特徴とする。
の基板送りローラは、基板の両側端のみを支持する左右
対のディスクローラをローラ軸上に幅方向に可動可能に
支持すると共に該ディスクローラの両外側にて案内板を
幅方向に可動可能に設けたことを特徴とする。
（作用）
かようにして構成された本発明の基板送りローラは、基
板を液体レジスト塗布用ローラに送り込む際、ゴミ、繊
維等を基板の銅箔に付着させることなく送り込むことが
できる。従って、基板の配線パターンの銅箔がエツチン
グされて断線或いは短絡するようなことがない。
板を液体レジスト塗布用ローラに送り込む際、ゴミ、繊
維等を基板の銅箔に付着させることなく送り込むことが
できる。従って、基板の配線パターンの銅箔がエツチン
グされて断線或いは短絡するようなことがない。
（実施例）
本発明によるロールコータの基板送りローラの一実施例
を第１図ａＳｂによって説明すると、１０は基板送りロ
ーラで、ローラ軸１３がローラ枠１１に複数本、本例で
は４本交互に平行に等間隔に配列支持されている。各基
板送りローラ１０は、基板４の両側端のみを支持する左
右一対のディスクローラ１２を、ローラ軸１３上に幅方
向に可動可能に支持して成るものである。各基板送りロ
ーラ１０の左右一対のディスクローラ１２の両外側には
ローラ枠１１と平行に長尺の案内ｖｉ１４を幅方向に可
動可能に設けである。
を第１図ａＳｂによって説明すると、１０は基板送りロ
ーラで、ローラ軸１３がローラ枠１１に複数本、本例で
は４本交互に平行に等間隔に配列支持されている。各基
板送りローラ１０は、基板４の両側端のみを支持する左
右一対のディスクローラ１２を、ローラ軸１３上に幅方
向に可動可能に支持して成るものである。各基板送りロ
ーラ１０の左右一対のディスクローラ１２の両外側には
ローラ枠１１と平行に長尺の案内ｖｉ１４を幅方向に可
動可能に設けである。
かように構成された基板送りローラｌＯにて図示の如く
基板４を図示せぬ液体レジスト塗布ローラに向けておく
り出すと、基板４を基板送りローラ１０の左右一対のデ
ィスクローラ１２に左右両側端のみ支持されているので
、配線パターンの形成されている部分にはディスクロー
ラ１２上のゴミ、繊維等は付着しない。従って、液体レ
ジスト塗布ローラで液体レジストが塗布されても基板４
の銅箔と液体レジスト間にゴミ、繊維等が入り込むこと
はなく、エツチングによりレジストの下側にエツチング
液が浸入することがなく、また繊維等がレジストの役目
をして銅箔のエツチングを妨げたりすることがないので
、配線パターンの銅箔がエツチングされて断線或いは短
絡するというようなことは決して起らない。
基板４を図示せぬ液体レジスト塗布ローラに向けておく
り出すと、基板４を基板送りローラ１０の左右一対のデ
ィスクローラ１２に左右両側端のみ支持されているので
、配線パターンの形成されている部分にはディスクロー
ラ１２上のゴミ、繊維等は付着しない。従って、液体レ
ジスト塗布ローラで液体レジストが塗布されても基板４
の銅箔と液体レジスト間にゴミ、繊維等が入り込むこと
はなく、エツチングによりレジストの下側にエツチング
液が浸入することがなく、また繊維等がレジストの役目
をして銅箔のエツチングを妨げたりすることがないので
、配線パターンの銅箔がエツチングされて断線或いは短
絡するというようなことは決して起らない。
（発明の効果）
以上の説明で判るように、本発明のロールコータの基板
送りローラによれば、基板の配線パターンを形成する銅
箔にゴミ、繊維等を付着しないように、該基板を液体レ
ジスト塗布用ローラに送り込むことができるので、基板
には断線或いは短絡の無い配線パターンが形成されると
いう効果がある。
送りローラによれば、基板の配線パターンを形成する銅
箔にゴミ、繊維等を付着しないように、該基板を液体レ
ジスト塗布用ローラに送り込むことができるので、基板
には断線或いは短絡の無い配線パターンが形成されると
いう効果がある。
第１図ａ、ｂは本発明によるロールコータの基板送りロ
ーラの平面図及び正面図、第２図ａ、 ｂは、従来のロ
ールコータの基板送りローラの平面図及び正面図、第３
図ａ、ｂ、ｃは従来の基板送りローラにて液体レジスト
塗布用ローラに送り込まれた基板に断線を有する配線パ
ターンが形成される過程を示す要部断面及び斜視図であ
る。第４図ａ、ｂは従来の基板送りローラにて液体レジ
スト塗布用ローラに送り込まれた基板に短絡を有する配
線パターンが形成される過程を示す要部断面図及び斜視
図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第１図 第２図 第３図 第４図
ーラの平面図及び正面図、第２図ａ、 ｂは、従来のロ
ールコータの基板送りローラの平面図及び正面図、第３
図ａ、ｂ、ｃは従来の基板送りローラにて液体レジスト
塗布用ローラに送り込まれた基板に断線を有する配線パ
ターンが形成される過程を示す要部断面及び斜視図であ
る。第４図ａ、ｂは従来の基板送りローラにて液体レジ
スト塗布用ローラに送り込まれた基板に短絡を有する配
線パターンが形成される過程を示す要部断面図及び斜視
図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 銅張りガラスエポキシ基板に液体レジストを塗布する際
に使用するロールコータの基板送りローラに於いて、該
基板送りローラを基板の両側端のみを支持する左右対の
ディスクローラとなして幅方向に可動可能にローラ軸に
支持すると共に該ディスクローラの両外側にて案内板を
幅方向に設けたことを特徴とするロールコータの基板送
りローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357988A JPH01209248A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | ロールコータの基板送りローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357988A JPH01209248A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | ロールコータの基板送りローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209248A true JPH01209248A (ja) | 1989-08-23 |
Family
ID=12390439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3357988A Pending JPH01209248A (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | ロールコータの基板送りローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01209248A (ja) |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP3357988A patent/JPH01209248A/ja active Pending
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