KR100286738B1

KR100286738B1 - 감광액 양면 도포장치

Info

Publication number: KR100286738B1
Application number: KR1019980024788A
Authority: KR
Inventors: 함기영; 황길남; 권오유; 서상석
Original assignee: 김무; 주식회사아큐텍반도체기술
Priority date: 1998-06-29
Filing date: 1998-06-29
Publication date: 2001-04-16
Also published as: KR20000003536A

Abstract

본 발명은 티(플렉스) 비지에이[T(flex)-BGA] 또는 마이크로(플렉스) 비지에이(씨에스피류)[μ(flex)-BGA(CSP)] (이하 "티(플렉스) 비지에이"라 한다) 기판용 감광액 양면 도포장치에 관한 것으로, 릴투릴(reel to reel)방식으로 제공되는 모재가 이송수단에 의해 이송되면서 다수의 감광액 도포용 롤러에 의해 모재의 양면에 감광액을 동시에 도포되고, 수직식 및 수평식 가열수단을 경유하여 감광액이 베이킹되는 장치를 제공함으로써, 감광액 도포 및 베이킹 공정시 중복되는 공정을 단일화하여 작업 생산성을 증대시킬 수 있는 특징이 있다.

Description

감광액 양면 도포장치{double-faced spread device of sensitizer}

본 발명은 감광액 양면 도포장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이송되는 모재의 양표면과 접촉되면서 감광액을 동시에 양표면에 도포할 수 있도록 하고, 감광액이 도포된 모재를 가열하여 감광액을 베이킹하도록 한 감광액 양면 도포장치에 관한 것이다.

현재의 반도체 기술은 이동통신장비나 항공장비 또는, 고성능 전기전자장비의 소형경량화 목적에 따라 반도체 칩을 경박단소(輕薄短小)하게 제조하는 방향으로 진전되고 있다. 현재의 반도체 칩 제조기술은 상기의 목적을 충분히 만족시킬 수 있을 정도로 발전되어 있는 반면, 반도체 칩과 인쇄회로기판과 같은 전기전자장치를 전기적으로 연결하는 리드프레임 제작기술은 그에 상응하여 발전되어 있지 않다.

이러한 단점을 극복하고자 양면에 패턴을 형성하여 초다핀 패키지를 구현하고자 하는 모재는 통상적으로 생산성을 증대시키기 위해 사진석판기술과 릴투릴(reel to reel) 방식을 채택하여 제조된다. 이와 같은 모재는 감광액을 양면에 도포함에 있어, 우선 일면에 감광액을 도포하고 베이킹한 후 다시 다른 일면을 동일한 공정을 수행하여 제조한다.

따라서, 감광액을 모재에 도포하여 베이킹하는 종래기술은 동일한 기능을 갖는 장비가 추가적으로 요구되는 한편, 작업생산성 측면에 있어서도 매우 낮은 단점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은, 필름형상의 모재의 양표면에 감광액을 동시에 도포하고 베이킹시키기 위한 감광액 양면 도포장치를 제공함에 있다.

제1도는 본 발명에 의한 감광액 양면 도포장치의 내부를 개략적으로 나타내는 정면도.

제2도는 도포수단을 개략적으로 나타내는 사시도.

제3도는 제1도의 『A』 부분을 확대하여 개략적으로 나타내는 사시도.

제4도는 본 발명의 일 실시예에 의한 감광액 양면 도포장치에 적용되는 모재를 개략적으로 나타내는 평면도.

제5도는 제4도의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 단면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

30 : 도포수단 32a,32b : 감광액조

34a,34b,36a,36b : 롤러 40 : 가열수단

42,44,46,48 : 베이킹챔버 50 : 이송수단

52a,52b : 구동롤러 54 : 롤러

H : 히터 LF' : 모재

PA : 패턴 형성부 SR : 사이드 레일부

전술한 본 발명의 목적은, 플렉스 비지에이용 감광액 양면 도포장치에 있어서, 이송되는 모재(LF')를 중심으로 좌우측에 이격설치되는 한 쌍의 감광액조(32a,32b)와, 모재(LF')의 양표면에 면접촉하여 회전시 적어도 모재(LF')의 패턴형성부(PF)에 감광액(L)을 동시에 도포하는 한 쌍의 제1롤러(34a,34b)와, 감광액조(32a,32b)에 일부가 침적되며 제1롤러(34a,34b)와 상호마찰력에 의해 회전시 감광액조(32a,32b)의 감광액(L)을 제1롤러(34a,34b)를 통하여 패턴형성부(PF)에 전달하는 한 쌍의 제2롤러(36a,36b)와, 감광액(L)이 도포된 모재(LF')의 양표면을 건조시키도록 설치되며, 모재(LF')의 이송라인 길이를 줄일 수 있도록 모재(LF')의 이송방향이 상하방향으로 형성되는 수직식 베이킹챔버(42) 및 이와 연통되는 수평식 베이킹챔버(44,46,48)와, 모재(LF')의 사이드레일부(SR)만을 클램핑하여 이송시키며, 모재(LF')의 이송속도를 조절할 수 있는 이송수단(50)을 구비하는 것을 특징으로 하는 감광액 양면 도포장치를 제공함에 의해 달성될 수 있다.

바람직한 실시예에 의하면, 전술한 이송수단(50)은, 감광액(L)이 양표면에 도포되어 수직식 베이킹챔버(42) 및 수평식 베이킹챔버(44,46,48)에 이송되는 모재(LF')의 사이드레일부(SR)에 면접촉되어 지지하는 롤러(52b,54)를 구비한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 따라 상세하게 설명하되, 이는 본원이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본원발명의 기술적인 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는 것이다.

본 발명에 의한 감광액 양면 도포장치는 릴투릴(reel to reel) 생산방식에 적용된다.

먼저, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 적용되는 모재(LF')를 설명하면, 모재(LF')는 릴투릴(reel to reel) 방식에 적합한 티(플렉스) 비지에이로서, 다수의 관통공(18)이 형성된 폴리이미드 필름(10)의 상부면과 구리기판(20)이 접착제에 의해 접착되어 구성된다.

여기서, 폴리이미드 필름(10)은 종방향의 양단에 스프라켓 휠(sprocket wheel)의 기어에 대응되는 스프라켓 홀(14)이 다수 형성되어 있으며, 단위 모재를 판정하도록 양단에 형성된 스프라켓 홀(14)의 내측부에 각기 하나 또는 그 이상의 센싱홀(16)이 형성된 구조를 갖는다. 이러한 폴리이미드 필름(10)의 두께는 통상 25~125μm 이내로서 사용목적에 따라 변경될 수 있다.

그리고, 구리기판(20)은 구리박판(22)의 하부면 상에 니켈박막(24), 아연박막(26) 및 크롬박막(28)이 순차적층된 구조로서, 구리기판(20)의 하부면이 전술된 폴리이미드 필름(10)의 상부면과 접착되어 있다. 이후, 설명되는 패턴 형성부는 구리기판(20) 영역 및 그 구리기판(20)의 크기에 상응하는 폴리이미드 필름(10)의 하부면 영역을 의미한다.

여기서, 폴리이미드 필름(10)의 관통공(18)에 대응되는 구리기판(20)의 하부면은 니켈, 아연 및 크롬박막(24,26,28)이 순차적층되어 있지 않고 구리박판(22)이 직접 노출된 상태이다.

본 발명에 사용되는 폴리이미드 필름(10)의 두께는 일반적으로 25~125μm이고, 구리기판(20)의 두께는 9~18μm이다. 그리고, 니켈, 아연 및 크롬박막(24,26,28)의 두께는 각기 12±3Åm, 11±3Åm, 9±3Åm이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 의한 감광액 양면 도포장치는 전술된 모재(LF')의 양면에 감광액(L)을 동시에 도포하는 도포수단(30)과, 도포수단(30)의 상부면에 설치된 밀폐구조를 갖는 가열수단(40)과, 모재(LF')를 이송하여 도포수단(30)에 의해 감광액(L)이 양면에 도포된 것을 가열수단(40)을 통과시켜 베이킹(baking)되도록 모재(LF')를 이송하는 이송수단(50)으로 구성된다.

도포수단(30)은 이송되는 모재(LF')를 중심으로 이격설치된 한 쌍의 감광액조(32a,32b)와, 모재(LF')를 중심으로 양면에 각기 면접촉되도록 인접설치된 한 쌍의 제1롤러(34a,34b)와, 한 쌍의 제1롤러(36a,36b)와 각기 면접촉되는 동시에 각기 대응되는 감광액조(32a,32b) 내부에 일정부분이 수용되도록 설치된 한 쌍의 제2롤러(36a,36b)로 구성된다.

여기서, 제1롤러(34a,34b)와 제2롤러(36a,36b)의 축은 본체부에 회전자재하게 연결되어 있는 공전롤러로서, 이송수단(50)에 의해 모재(LF')가 이송되면 그 모재(LF')의 양표면과 밀착되어 제1롤러(34a,34b)가 각기 회전되고, 그와 연동된 제2롤러(36a,36b) 또한 회전하면서 감광액조(32a,32b)에 충전된 감광액(L)이 표면에 도포된다. 이에 따라 감광액조(32a,32b)에 충전된 감광액(L)은 제2롤러(36a,36b)의 표면을 통해 밀착되어 각기 연동되는 제1롤러(34a,34b)의 표면에 발라져서 최종적으로, 모재(LF')의 양표면에 도포된다.

또한, 전술된 제1롤러(34a,34b)는 적어도 모재(LF')의 패턴 형성부에 감광액(LF')을 도포할 수 있도록 적어도 그 부분과는 밀착되어 있어야 한다.

가열수단(40)은 각기 밀폐구조를 갖으며 다수의 구획으로 이루어진 구조로서, 전술된 도포수단(30)의 상부에 연통되도록 설치된 수직식 베이킹챔버(42)와, 그 수직식 베이킹챔버(42)의 측면부에 연통되도록 설치된 다수의 수평식 베이킹챔버(44,46,48)로 구성된다.

여기서, 수직식 베이킹챔버(42)는 도포수단(30)의 상부에 설치되어 있어 양면에 감광액(L)이 도포된 모재(LF')가 수직으로 이송되면서 베이킹될 수 있도록 모재(LF')를 중심으로 좌우에 히터(H)가 인접설치되어 있고, 다시 수평식 베이킹챔버(44,46,48)측으로 모재(LF')를 이송시키도록 이송방향을 절환하는 롤러(54)가 각 모서리 부분마다 설치되어 있다. 수직식 베이킹챔버(42)는 통상적인 수평식 베이킹챔버(44,46,48)에 비하여 모재(LF')가 이송되는 거리가 길기 때문에 공간활용도가 높은 장점이 있다.

수직식 및 수평식 베이킹챔버(42;44,46,48)의 내부온도는 대략 70~140℃ 온도를 유지하고, 모재(LF')의 감광액(L)을 베이킹 시간은 각기 1~5분으로 베이킹 공정은 대략 10분 정도이면 완료된다.

이송수단(50)은 모재(LF')를 도포수단(30)과 가열수단(40)을 통과하면서 작업이 수행되도록 적어도 도포수단(30)의 앞과 가열수단(40)의 뒷부분에 구동모터(도시 안됨)와 기계적으로 연결된 구동롤러(52a,52b)와 모재(LF')의 이송시 모재(LF')를 지지하는 공전롤러(54)로 이루어진다. 여기서, 도포수단(30)에 의해 감광액(L)이 양면에 도포된 모재(LF')를 지지하는 롤러(54b)는 사이드 레일부(SR)와는 면접촉(54b)되고, 패턴 형성부(PA)와는 접촉이 되지 않도록 패턴 형성부(PA)에 대응되는 부분(54c)의 직경을 사이드 레일부(SR)와 면접촉되는 부분(54b)의 직경보다 적게 형성되어 있다. 또한, 구동롤러(52b) 또한 동일한 구조를 갖는다. 이는 모재(LF')의 양면에 도포된 부분을 롤러(52b;54)가 면접촉하게 되면, 감광액(L)이 균일하게 형성되지 않기 때문에 추후 진행되는 노광, 현상 및 식각 공정이 모두 불안정해지기 때문이다.

이상에서와 같이, 바람직한 실시예에 의하면, 필름형상의 모재의 양표면에 감광액을 동시에 도포하고 베이킹할 수 있어 동일한 장비를 중복투자하지 않고, 작업생산성을 개선할 수 있는 효과가 있다.

Claims

플렉스 비지에이용 감광액 양면 도포장치에 있어서: 이송되는 모재(LF')를 중심으로 좌우측에 이격설치되는 한 쌍의 감광액조(32a,32b); 상기 모재(LF')의 양표면에 면접촉하여 회전시 적어도 모재(LF')의 패턴형성부(PF)에 감광액(L)을 동시에 도포하는 한 쌍의 제1롤러(34a,34b); 상기 감광액조(32a,32b)에 일부가 침적되며 상기 제1롤러(34a,34b)와 상호마찰력에 의해 회전시 감광액조(32a,32b)의 감광액(L)을 제1롤러(34a,34b)를 통하여 상기 패턴형성부(PF)에 전달하는 한 쌍의 제2롤러(36a,36b);

감광액(L)이 도포된 상기 모재(LF')의 양표면을 건조시키도록 설치되며, 모재(LF')의 이송라인 길이를 줄일 수 있도록 모재(LF')의 이송방향이 상하방향으로 형성되는 수직식 베이킹챔버(42) 및 이와 연통되는 수평식 베이킹챔버(44,46,48); 및 상기 모재(LF')의 사이드레일부(SR)만을 클램핑하여 이송시키며, 모재(LF')의 이송속도를 조절할 수 있는 이송수단(50)을 구비하는 것을 특징으로 하는 감광액 양면 도포장치.
제1항에 있어서, 상기 이송수단(50)은, 감광액(L)이 양표면에 도포되어 수직식 베이킹챔버(42) 및 수평식 베이킹챔버(44,46,48)에 이송되는 모재(LF')의 사이드레일부(SR)에 면접촉되어 지지하는 롤러(52b,54)를 구비하는 것을 특징으로 하는 감광액 양면 도포장치.